CN218460310U - 一种气相清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气相清洗设备，包括工作模块、循环模块和集中控制柜；工作模块包括自动上料台、自动下料台、移动机械臂和槽体；槽体分为清洗槽和蒸汽干燥槽，所述的清洗槽包括超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽；超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽之间分别设置有隔板；超声漂洗槽和浸泡漂洗槽之间的隔板高度高于超声清洗槽和超声漂洗槽之间的隔板高度；循环模块包括储水箱、油水分离器、循环过滤装置和再生槽。本实用新型集超声清洗、超声漂洗、浸泡漂洗、蒸汽浴和冷冻干燥为一体，通过高低落差实现逐级溢流方式简化管路设计，保证漂洗的清洁度。配备有循环过滤系统，有效延长清洗剂的使用周期，减少废液排放，降低生产成本。

Description

一种气相清洗设备

技术领域

本实用新型涉及电子器件清洗技术领域，具体为一种气相清洗设备。

背景技术

气相超声波清洗机清洗时通过强烈的超声波空化作用，使被洗工件在很短的时间内清洗干净，把工件放到清洗机的蒸汽区域内，工件碰到蒸汽产生凝露，并与工件表面的污物产生作用，随着液滴下落而带走污物，再将工件放到冷冻区域内，进行冷冻干燥，雷士气相式超声波清洗机使用有机溶剂作为清洗剂，具有极强的溶解油污能力，再经过超声波作用，效果更加显著。

在工业应用中，气相超声波清洗机主要针对电子器件、半导体硅片、电路板、电子产品零配件上残留的助焊剂、焊锡膏、胶等的清洗，同时也广泛应用于中小电镀零件，机械五金零件、汽车零件、航空、国防武器、钟表、轴承、精密零件、压缩机配件、治具载具、工具等附着物的清洗。

在授权公告号为CN 214391405 U，授权公告日为2021.10.15的中国实用新型专利中公开了一种全自动气相超声清洗机，包括机舱，所述机舱侧端设有控制器，其特征在于：所述机舱底部设有通过隔板隔档的多组横向排列的超声波清洗舱，所述超声波清洗舱底部设有超声波发生器，多组所述超声波清洗舱底部设有通向机舱外部的排水管道组，多组所述超声波清洗舱上端设有冷干舱，所述机舱内部设有冷气机组，所述冷气机组通过管道对冷干舱内部提供冷气，所述超声波清洗舱侧端固定设有置于机舱内部的取料舱，所述取料舱底端固定设有滑轨导料台，所述滑轨导料台上端滑动设有料框，所述冷干舱上端一侧固定设有机械手，所述机械手通过驱动机构沿取料舱和冷干舱的排布方向做位移运动，所述机械手对料框进行夹持，且进行上下位移运动。

所述机舱底部设有通过隔板隔档的多组横向排列的超声波清洗舱，所述超声波清洗舱底部设有超声波发生器，多组所述超声波清洗舱底部设有通向机舱外部的排水管道组，多组所述超声波清洗舱上端设有冷干舱。该实用新型涉及机械加工设备技术领域，具体涉及一种全自动气相超声清洗机。通过机械手带动料框内的工件设备分别置于多组超声波清洗舱内，通过超声波发生器对工件装置进行超声波清洗，清洗后置于冷干舱内，通过冷气机组进行冷干，再将料框置于取料舱内，实现自动化清洗。但该实用新型废液产生量多，生产成本高；仅包含超声清洗和冷却两部分，清洗效果差；且一次仅能实现一组料框的清洗，生产效率低。

在授权公告号为CN 209406971 U，授权公告日为2019.09.20的中国实用新型专利中公开了一种五槽超声波气相清洗机，包括底盘、升降台、滑轨和冷浸洗槽，底盘的上端面固定连接有上料马达和输送马达，上料马达位于输送马达的左侧，上料马达的左侧设置有升降台，底盘的正上方固定连接有滑轨，滑轨的下端面滑动连接有移动组合，滑轨的前壁设置有移动气缸；所述底盘的正上方包括有冷浸洗槽、蒸汽浴洗槽和冷区干燥槽，所述冷浸洗槽和冷区干燥槽固定连接在所述蒸汽浴洗槽左右两侧，所述移动气缸远离所述滑轨的一侧固定连接有升降装置。通过上料马达将工件传输至清洗篮中，升降台在提升马达的驱动下，将清洗篮向上拉动并将清洗篮固定在移动组合上，通过移动组合在滑轨上的滑动，并通过升降装置调节清洗篮的高度，使得工件在五个槽之间的自动转换，实现了工件输送的高度自动化，且在二级超声波清洗槽的右侧设置一个冷浸洗槽，利用高低温反差，达到高密度蒸汽洗的目的，使得工件洗后不留印痕。但该实用新型废液产生量多，生产成本高；还需单独对清洗槽进行补液。

实用新型内容

为克服现有技术中存在的问题，本实用新型目的在于提供一种气相清洗设备，采取全封闭结构，可以有效防止清洗液气味逸出，避免对工作环境造成破坏。集超声清洗、超声漂洗、浸泡漂洗、蒸汽浴和冷冻干燥为一体，通过高低落差实现逐级溢流方式简化管路设计，保证漂洗的清洁度。配备有循环过滤系统，有效延长清洗剂的使用周期，减少废液排放，降低生产成本。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种气相清洗设备，所述的气相清洗设备包括工作模块、循环模块和集中控制柜；所述的工作模块和循环模块设置于机架内部，由挡板分隔，所述的集中控制柜设置于所述的机架一侧；

所述的工作模块包括自动上料台、自动下料台、移动机械臂和槽体；所述的槽体分为清洗槽和蒸汽干燥槽，所述的清洗槽包括超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽；所述的超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽之间分别设置有隔板；所述的超声漂洗槽和浸泡漂洗槽之间的隔板高度高于超声清洗槽和超声漂洗槽之间的隔板高度；所述的蒸汽干燥槽包括蒸汽加热槽和冷冻干燥槽，所述的冷冻干燥槽位于所述的蒸汽加热槽的上方；所述的移动机械臂设置于工作模块与循环模块间的挡板上；

所述的循环模块包括储水箱、再生槽油水分离器、再生槽循环过滤装置和再生槽；所述的再生槽与所述的超声清洗槽通过管路连接，用于将超声清洗槽中的清洗液回收进再生槽中蒸馏；所述的再生槽还连接再生槽油水分离器，所述的再生槽油水分离器与所述的浸泡漂洗槽连接，使得蒸馏产生的液体冷却后通过再生槽油水分离器处理后再输送回浸泡漂洗槽中。循环模块可有效延长清洗剂的使用周期，减少废液排放，降低生产成本。

本实用新型进一步设置为：所述的自动上料台和自动下料台分别设置于所述的槽体两侧；所述的自动上料台和自动下料台分别包括料台架、多个动力辊筒、调速电机、多楔带和感应开关；所述的动力辊筒安装在所述的料台架上，各个动力辊筒通过所述的多楔带连接；当所述的感应开关感应到料台上有料框时，感应开关启动电机带动多楔带运动，多楔带带动动力辊轮转动，使料框移动。

本实用新型进一步设置为：所述的移动机械臂包括机械臂电机、垂直丝杠滑台、水平同步带滑台、轴心支撑座和料框钩爪；所述的水平同步带滑台和轴心支撑座平行安装在所述的工作模块与循环模块间的挡板上，所述的水平同步带行程与挡板长度一致；所述的垂直丝杠滑台安装在所述的水平同步带滑台和轴心支撑座上；所述的垂直丝杠滑台上设置有料框钩爪，所述的料框钩爪上还设置有掉框检查传感器。

本实用新型进一步设置为：所述的槽体还包括自动盖板、冷凝管、升降料框机构和排水管；所述的冷凝管安装于槽体内部，分别位于所述的超声清洗槽、超声漂洗槽、浸泡漂洗槽和蒸汽干燥槽的上方；所述的升降料框机构安装在所述的槽体上，位于所述的蒸汽干燥槽一侧；所述的自动盖板安装在槽体上，设置于蒸汽干燥槽另一侧，所述的自动盖板包括无杆气缸和盖板，所述的无杆气缸安装于所述的槽体上，所述的盖板通过螺栓与无杆气缸连接。

本实用新型进一步设置为：所述的槽体底部均为倾斜面，所述的排水管位于最低点，便于排污及槽体清洁；所述的超声清洗槽、超声漂洗槽、浸泡漂洗槽和蒸汽干燥槽内分别设置有冷水管路、加热管和液位保护传感器；所述的蒸汽干燥槽底部还连接有液位传感器；所述的蒸汽干燥槽还通过管路连接蒸汽干燥槽油水分离器。

本实用新型进一步设置为：所述的超声清洗槽、超声漂洗槽还分别连接循环过滤装置。

本实用新型进一步设置为：所述的储水箱包括储水槽、抽水气动隔膜泵、液位计和补水管路；所述的液位计安装在储水槽的一侧，所述的补水管路分为与浸泡漂洗槽连接的清洗槽补水管路和与蒸汽干燥槽连接的蒸汽干燥槽补水管路。

本实用新型进一步设置为：所述的再生槽内设置有加热棒、温度传感器和液位传感器，所述的再生槽底部为倾斜面，再生槽排水口位于最低处；所述的再生槽通过管路与所述的再生槽油水分离器连接，所述的管路上设置有散热翅片，所述的散热翅片底部还设置有散热风扇。

本实用新型进一步设置为：所述的循环模块顶部还设置有喷淋装置，用于对循环模块中的管路进行冷却。

本实用新型进一步设置为：所述的机架顶部还设置有照明灯。

本实用新型进一步设置为：所述的清洗装置整体为全封闭式结构，所述的工作模块、循环模块和集中控制柜均设置有活动门，方便设备检修维护；所述的清洗装置顶部还设置有排风系统，所述的排风系统为轴流风机。

在工作过程中，通过集中控制柜控制气相清洗设备，当自动上料台上的感应开关感应到料台上有料框时，感应开关启动电机带动多楔带运动，多楔带带动动力辊轮转动，使料框移动至移动机械臂处，移动机械臂通过钩爪固定好料框，沿垂直丝杠滑台上升至一定高度，再通过水平同步带滑台带动料框至按清洗工艺顺序，依次将料框放入超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽中清洗。通过多组清洗槽的清洗后，移动机械臂将料框放入蒸汽干燥槽上方的升降料框机构中；此时移动机械臂可进行下一组料框的移动。

升降料框机构通过气缸带动料框下降至蒸汽干燥槽底部；自动盖板启动，将蒸汽干燥槽封闭，减少蒸汽流失。蒸汽结束后，升降料框机构启动，将料框提升至蒸汽干燥槽上部，通过冷凝管对产品进行冷冻干燥，再将料框提升至指定位置，等待移动机械臂将料框移动放置在自动下料台上，自动下料台的感应开关感应到料台上有料框时启动电机带动多楔带运动，多楔带带动动力辊轮转动，使料框移动处清洗装置。

循环模块中的再生槽连接工作模块中的超声清洗槽，将超声清洗槽中的清洗液回收至再生槽中，通过再生槽加热蒸馏，蒸馏出的液体通过管路流经散热翅片，使蒸馏出的液体迅速降温，减少液体的挥发与浪费；再通过再生槽油水分离器过滤在回到浸泡漂洗槽中。同时再生槽连接的循环过滤装置，将再生槽内部循环过滤至外部过滤器，保持槽内干净，延长液体使用寿命。所述的超声清洗槽和超声漂洗槽同样分别连接有循环过滤装置，可对超声清洗槽和超声漂洗槽内液体进行过滤。

蒸汽干燥槽通过管路连接蒸汽干燥槽油水分离器，可将蒸汽干燥槽内蒸发的水分循环流入槽内。

储液箱上的抽水气动隔膜泵可将桶装清洗剂自动抽入储液槽中，当液位传感器检测到浸泡漂洗槽或蒸汽干燥槽需要补液时，储液箱可通过补水管路分别对浸泡漂洗槽和蒸汽干燥槽进行补液。

综上，本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

1、本实用新型采用全封闭结构，可以有效防止清洗液气味逸出，避免对工作环境造成破坏。

2、本实用新型设有再生槽,对液体进行蒸馏处理,使液体可以循环使用，降低加工成本；再生槽连接有散热风机和散热翅片，可使蒸馏后流出的液体迅速降温，减少液体的挥发与浪费。再生槽、超声清洗槽和超声漂洗槽均配备有循环过滤装置，有效延长清洗剂的使用周期，减少废液排放，降低生产成本。

3、集超声清洗、超声漂洗、浸泡漂洗、蒸汽浴和冷冻干燥为一体，清洗效果更好，提高了清洗效率，且占地少；清洗槽内部通过隔板的高低落差实现逐级溢流方式简化管路设计，保证漂洗的清洁度。

4、本实用新型还设置有储水箱，可对清洗槽进行自动补液。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型总体结构示意图；

图2为本实用新型俯视图；

图3为本实用新型工作模块结构示意图；

图4为本实用新型循环模块结构示意图；

图5为移动机械臂结构示意图；

图6为槽体内部结构示意图；

图7为自动盖板结构示意图；

图8为升降料框机构结构示意图；

图9为本实用新型后视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-机架，2-集中控制柜，3-排风系统，4-自动上料台，5-自动下料台，6- 移动机械臂，61-机械臂电机，62-垂直丝杠滑台，63-水平同步带滑台，64-轴心支撑座，65-料框钩爪，66-掉框检查传感器，7-槽体，71-清洗槽，72-蒸汽干燥槽，73-排水管，711，超声清洗槽，712-超声漂洗槽，713-浸泡漂洗槽，721液位传感器，730-冷凝管，740-自动盖板，741-无杆气缸，742-盖板，750-升降料框机构，751-气缸，752-料框架，760-加热棒，770-液位保护传感器，780-超声波发生器(68khz)，780-超声波发生器(40khz)，790-冷水管路，8-再生槽，801- 再生槽循环过滤装置，802-散热翅片，803-再生槽油水分离器，9-蒸汽干燥槽油水分离器，10-储水箱，101-抽水气动隔膜泵，102-清洗槽补水管路，130-蒸汽干燥槽补水管路，104-液位计，11喷淋装置，12-照明灯，13-隔板，14-超声清洗槽循环过滤装置，15-超声漂洗槽循环过滤装置。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例：

如图1所示，为本实用新型较佳实施例的基本结构示意图，一种气相清洗设备，包括工作模块、循环模块和集中控制柜2；所述的工作模块和循环模块设置于所述的机架1内部，由挡板13分隔，所述的集中控制柜2设置于所述的机架1一侧；清洗装置顶部还设置有排风系统3，所述的排风系统3为轴流风机。

如图2、图3所示，所述的工作模块包括自动上料台4、自动下料台5、移动机械臂6和槽体7，所述的自动上料台4和自动下料台5分别设置于所述的槽体7两侧；所述的移动机械臂6安装在工作模块与循环模块间的挡板13上。

如图5所示，移动机械臂6包括机械臂电机61、垂直丝杠滑台62、水平同步带滑台63、轴心支撑座64和料框钩爪65；所述的水平同步带滑台63和轴心支撑座64 平行安装在所述的工作模块与循环模块间的挡板13上，所述的水平同步带63行程与挡板13长度一致；所述的垂直丝杠滑台62安装在所述的水平同步带滑台63和轴心支撑杆64上；所述的垂直丝杠滑台62上设置有料框钩爪65，所述的料框钩爪65 上还设置有掉框检查传感器66。

如图6所示，槽体7分为清洗槽710和蒸汽干燥槽720，所述的清洗槽710包括超声清洗槽711、超声漂洗槽712和浸泡漂洗槽713；所述的超声清洗槽711、超声漂洗槽712和浸泡漂洗槽713之间分别设置有隔板；所述的超声漂洗槽712和浸泡漂洗槽713之间的隔板高度高于超声清洗槽711和超声漂洗槽712之间的隔板高度；所述的蒸汽干燥槽720包括蒸汽加热槽和冷冻干燥槽，所述的冷冻干燥槽位于所述的蒸汽加热槽的上方；

如图6、图7、图8所示，槽体7还包括自动盖板740、冷凝管730、升降料框机构750和排水管73；所述的冷凝管730安装于槽体7内部，分别位于所述的超声清洗槽711、超声漂洗槽712、浸泡漂洗槽713和蒸汽干燥槽720的上方；所述的升降料框机构750包括气缸751和料框架752；所述的升降料框机构750 安装在所述的槽体7上，位于所述的蒸汽干燥槽720一侧；所述的自动盖板740 安装在槽体7上，设置于蒸汽干燥槽720另一侧。所述的自动盖板740包括无杆气缸741和盖板742，所述的无杆气缸741安装于所述的槽体7上，所述的盖板742通过螺栓与无杆气缸741连接。

如图2、图4所示，循环模块包括储水箱10、再生槽油水分离器803，蒸汽干燥槽油水分离器9、循环过滤装置和再生槽8；所述的再生槽8与所述的超声清洗槽711通过管路连接，用于将超声清洗槽711中的清洗液回收进再生槽8 中蒸馏；所述的再生槽8还通过管路连接再生槽油水分离器803，管路上设置有散热翅片802，所述的散热翅片802底部还设置有散热风扇。

所述的再生槽油水分离器803与所述的浸泡漂洗槽713连接，使得蒸馏产生的液体冷却后通过再生槽油水分离器803处理后再输送回浸泡漂洗槽713中。

所述的储水箱10包括储水槽、抽水气动隔膜泵101、液位计104和补水管路；所述的液位计104安装在储水槽的一侧，所述的补水管路分为与浸泡漂洗槽连接的清洗槽补水管路120和与蒸汽干燥槽连接的蒸汽干燥槽补水管路130。

如图4所示，循环模块顶部还设置有喷淋装置11，用于对循环模块中的管路进行冷却；机架1顶部还设置有照明灯12。

如图1、图9所示，清洗装置整体为全封闭式结构，所述的工作模块、循环模块和集中控制柜均设置有活动门，方便设备检修维护。

在工作过程中，通过集中控制柜2控制气相清洗设备，当自动上料台4上的感应开关感应到料台上有料框时，感应开关启动电机带动多楔带运动，多楔带带动动力辊轮转动，使料框移动至移动机械臂6处，移动机械臂6通过料框钩爪65固定好料框，沿垂直丝杠滑台62上升至一定高度，再通过水平同步带滑台63带动料框至按清洗工艺顺序，依次将料框放入超声清洗槽711、超声漂洗槽712和浸泡漂洗槽713中清洗。通过多组清洗槽的清洗后，移动机械臂6将料框放入蒸汽干燥槽720 上方的升降料框机构750中；此时移动机械臂6可进行下一组料框的移动。

升降料框机构750通过气缸751带动料框下降至蒸汽干燥槽底部；自动盖板 740启动，将蒸汽干燥槽720封闭，减少蒸汽流失。蒸汽结束后，升降料框机构750 启动，将料框提升至蒸汽干燥槽720上部，通过冷凝管730对产品进行冷冻干燥，再将料框提升至指定位置，等待移动机械臂6将料框移动放置在自动下料台5上，自动下料台5的感应开关感应到料台上有料框时启动电机带动多楔带运动，多楔带带动动力辊轮转动，使料框移动处清洗装置。完成清洗工序。

循环模块中的再生槽8连接工作模块中的超声清洗槽711，将超声清洗槽711 中的清洗液回收至再生槽8中，通过再生槽8加热蒸馏，蒸馏出的液体通过管路流经散热翅片820，使蒸馏出的液体迅速降温，减少液体的挥发与浪费；再通过再生槽油水分离器803过滤，回到浸泡漂洗槽713中。同时再生槽8连接的再生槽循环过滤装置801，将再生槽8内部循环过滤至外部过滤器，保持槽内干净，延长液体使用寿命。所述的超声清洗槽711和超声漂洗槽712同样分别连接有循环过滤装置，可对超声清洗槽711和超声漂洗槽712内液体进行过滤。

蒸汽干燥槽720通过管路连接蒸汽干燥槽油水分离器9，可将蒸汽干燥槽720 内蒸发的水分循环流入槽内。

储液箱10上的抽水气动隔膜泵101可将桶装清洗剂自动抽入储液槽中，当液位传感器检测到浸泡漂洗槽713或蒸汽干燥槽720需要补液时，储液箱10可通过补水管路分别对浸泡漂洗槽713和蒸汽干燥槽720进行补液；浸泡干燥槽 713中较为干净的清洗液由于隔板间高度的差异，会溢流至超声漂洗槽712中，超声清洗槽712中的清洗液会溢流进超声清洗槽711中。

最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

Claims (11)

1.一种气相清洗设备，其特征在于，包括工作模块、循环模块和集中控制柜；所述的工作模块和循环模块设置于机架内部，由挡板分隔，所述的集中控制柜设置于所述的机架一侧；

所述的工作模块包括自动上料台、自动下料台、移动机械臂和槽体；所述的槽体分为清洗槽和蒸汽干燥槽，所述的清洗槽包括超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽；所述的超声清洗槽、超声漂洗槽和浸泡漂洗槽之间分别设置有隔板；所述的超声漂洗槽和浸泡漂洗槽之间的隔板高度高于超声清洗槽和超声漂洗槽之间的隔板高度；所述的蒸汽干燥槽包括蒸汽加热槽和冷冻干燥槽，所述的冷冻干燥槽位于所述的蒸汽加热槽的上方；所述的移动机械臂设置于工作模块与循环模块间的挡板上；

所述的循环模块包括储水箱、再生槽油水分离器、再生槽循环过滤装置和再生槽；所述的再生槽与所述的超声清洗槽通过管路连接，所述的再生槽还连接所述的再生槽油水分离器，所述的再生槽油水分离器与所述的浸泡漂洗槽连接。

2.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的自动上料台和自动下料台分别设置于所述的槽体两侧；所述的自动上料台和自动下料台分别包括料台架、多个动力辊筒、调速电机、多楔带和感应开关；所述的动力辊筒安装在所述的料台架上，各个动力辊筒通过所述的多楔带连接；当所述的感应开关感应到料台上有料框时，感应开关启动电机带动多楔带运动，多楔带带动动力辊轮转动，使料框移动。

3.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的移动机械臂包括机械臂电机、垂直丝杠滑台、水平同步带滑台、轴心支撑座和料框钩爪；所述的水平同步带滑台和轴心支撑座平行安装在所述的工作模块与循环模块间的挡板上，所述的水平同步带行程与挡板长度一致；所述的垂直丝杠滑台安装在所述的水平同步带滑台和轴心支撑杆上；所述的垂直丝杠滑台上设置有料框钩爪，所述的料框钩爪上还设置有掉框检查传感器。

4.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的槽体还包括自动盖板、冷凝管、升降料框机构和排水管；所述的冷凝管安装于槽体内部，分别位于所述的超声清洗槽、超声漂洗槽、浸泡漂洗槽和蒸汽干燥槽的上方；所述的升降料框机构安装在所述的槽体上，位于所述的蒸汽干燥槽一侧；所述的自动盖板安装在槽体上，设置于蒸汽干燥槽另一侧，所述的自动盖板包括无杆气缸和盖板，所述的无杆气缸安装于所述的槽体上，所述的盖板通过螺栓与无杆气缸连接。

5.根据权利要求4所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的槽体底部均为倾斜面，所述的排水管位于最低点，便于排污及槽体清洁；所述的超声清洗槽、超声漂洗槽、浸泡漂洗槽和蒸汽干燥槽内分别设置有冷水管路、加热管和液位保护传感器；所述的蒸汽干燥槽底部还连接有液位传感器；所述的蒸汽干燥槽还通过管路连接蒸汽干燥槽油水分离器。

6.根据权利要求5所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的超声清洗槽、超声漂洗槽还分别连接循环过滤装置。

7.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的储水箱包括储水槽、抽水气动隔膜泵、液位计和补水管路；所述的液位计安装在储水槽的一侧，所述的补水管路分为与浸泡漂洗槽连接的清洗槽补水管路和与蒸汽干燥槽连接的蒸汽干燥槽补水管路。

8.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的再生槽内设置有加热棒、温度传感器和液位传感器，所述的再生槽底部为倾斜面，再生槽排水口位于最低处；所述的再生槽通过管路与所述的再生槽油水分离器连接，所述的管路上设置有散热翅片。

9.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的循环模块顶部还设置有喷淋装置，用于对循环模块中的管路进行冷却。

10.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的机架顶部还设置有照明灯。

11.根据权利要求1所述的一种气相清洗设备，其特征在于，所述的气相清洗设备整体为全封闭式结构，所述的工作模块、循环模块和集中控制柜均设置有活动门，方便设备检修维护；所述的气相清洗设备顶部还设置有排风系统，所述的排风系统为轴流风机。

Images