CN218431352U - 掩膜版台车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种掩膜版台车，包括车架和设在车架顶部的平台，平台沿第一方向的相对两侧分别设有第一限位件和第二限位件，第一限位件设有第一驱动件，第一驱动件用于驱使第一限位件选择性阻挡掩模版，平台沿第二方向的相对两侧均设有第三限位件，第二方向和第一方向垂直，第三限位件包括支撑杆和第一滚轮，支撑杆的一端与平台连接，另一端与第一滚轮连接，第一滚轮用于抵接掩模版沿所述第二方向的相对两侧。本实用新型的掩膜版台车通过第一限位件、第二限位件和第三限位件能够阻挡掩模版沿水平方向移动，而且第一限位件能够升降，以使掩模版能够沿第一方向放置到平台上，并与第一滚轮滚动滑动，从而避免掩模版发生偏移而干涉第一限位件升降。

Description

掩膜版台车

技术领域

本实用新型涉及输送设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版台车。

背景技术

在光学元件的生产过程中，通常使用掩膜版台车对掩模版(mask)进行搬运，以实现掩模版在各个工位之间流转。掩模版放置在掩膜版台车上，由于掩膜版台车和掩模版的体型大、重量重，在掩膜版台车在工位停靠时，车上的掩模版在惯性作用下会发生移动，具有较大的安全隐患。因此，参照图1所示，现有的掩膜版台车包括车架1′和设置于车架顶部的平台2′，平台2′沿搬运方向的相对两端上设置有限位件3′，限位件3′能够选择性阻挡掩模版，但是在掩膜版台车转弯时，车上的掩模版还是会朝向垂直于搬运方向的发生移动，还是存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种掩膜版台车，其结构简单，能够有效地防止掩模版在搬运过程中因惯性而发生移动。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种掩膜版台车，包括车架和设置在所述车架顶部的平台，所述平台沿第一方向的相对两侧分别设置有第一限位件和第二限位件，所述第一限位件与第一驱动件连接，所述第一驱动件用于驱使所述第一限位件选择性阻挡掩模版，所述平台沿第二方向的相对两侧均设置有第三限位件，所述第二方向和所述第一方向垂直，所述第三限位件包括支撑杆和第一滚轮，所述支撑杆的一端与所述平台连接，另一端与所述第一滚轮连接，所述第一滚轮用于抵接所述掩模版沿所述第二方向的相对两侧。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述平台的顶部设置有多个第二滚轮，所有所述第二滚轮用于使所述掩模版沿所述第一方向放置到所述平台上。

作为掩膜版台车的一种优选方案，还包括控制器，所述平台上设置有第一检测件，所述第一检测件用于检测所述掩模版在所述平台上的位置，所述第一检测件和所述第一驱动件均与所述控制器连接。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架设置有驱动机构，所述车架的底部设置有第三滚轮，所述驱动机构与所述第三滚轮连接，以驱使所述第三滚轮转动。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架上还设置有电源，所述电源与所述驱动机构连接，所述车架设置有安装槽，所述安装槽内设置有减震机构，所述减震机构包括缓冲板和弹性组件，所述弹性组件设置在所述安装槽的槽底和所述缓冲板之间，所述电源设置在所述缓冲板远离所述弹性组件的一侧面上。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述减震机构还包括多个第一弹性件，所述安装槽至少两个相对的槽壁上设置有所述第一弹性件，所述第一弹性件抵紧所述电源。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架包括底板和支撑件，所述支撑件的一端与所述底板连接，另一端与所述平台连接，以使所述底板和所述平台沿竖直方向间隔设置，所述电源设置在所述底板朝向所述平台的一侧。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述平台朝向所述底板的一侧设置有升降机构和防护罩，所述升降机构包括第三驱动件和升降杆，所述升降杆的一端与所述第三驱动件连接，另一端与所述防护罩连接，驱使所述防护罩沿竖直移动以罩设于所述电源外。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述平台朝向所述底板的一侧还设置有第二检测件，所述第二检测件用于检测所述电源是否着火。

作为掩膜版台车的一种优选方案，所述车架沿自身移动方向的前端设置有第三检测件，所述第三检测件用于对位所述掩膜版台车和掩模转运装置。

本实用新型的有益效果为：第一限位件具有第一状态和第二状态，当第一限位件处于第一状态，第一驱动件能够驱使第一限位件移动，以使第一限位件顶部端面高度低于平台的顶部端面高度，掩模版能够沿第一方向移动并放置在平台上，而且在掩模版移动过程中，第一滚轮能够与掩模版沿第二方向的侧壁抵接，以使掩模版与第二限位件能够正对并抵接，防止掩模版偏移而对第一限位件的移动造成干涉，而且第一滚轮和掩模版之间为滚动摩擦，能够减少掩模版的移动阻力；当掩模版移动至与其抵接时，掩模版放置到位，在掩模版放置到位后，第一限位件由第一状态切换为第二状态，第一驱动件能够驱使第一限位件移动，以使第一限位件的顶部端面高度高于平台的顶部端面高度，第一限位件和第二限位件能够阻挡掩模版沿第一方向移动，第三限位件能够阻挡掩模版板沿第二方向移动，从而防止掩膜版台车在搬运过程中掩模版因惯性而发生移动。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术的所述掩膜版台车的结构示意图。

图2为本实用新型实施例所述掩膜版台车的立体视图。

图3为本实用新型实施例所述掩膜版台车的第一侧视图。

图4为本实用新型实施例所述掩膜版台车的俯视图。

图5为本实用新型实施例所述掩膜版台车的底板的剖视图。

图6为本实用新型实施例所述掩膜版台车的第二侧视图。

图1中：

100′、掩膜版台车；200′、掩模版；

1′、车架；2′平台；3′、限位件；

图2至图6中；

1、车架；101、底板；102、支撑件；2、平台；3、第一限位件；4、第二限位件；5、第一驱动件；6、第三限位件；601、支撑杆；602、第一滚轮；7、第二滚轮；8、第一检测件；9、控制件；10、第三滚轮；11、电源；12、减震机构；1201、缓冲板；1202、弹性组件；1203、第一弹性件；13、升降机构；1301、第三驱动件；1302、升降杆；14、防护罩；15、第二检测件；16、第三检测件。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图2至图4所示，本实用新型提供的一种掩膜版台车，包括车架1和设置在车架1顶部的平台2，平台2沿第一方向的相对两侧分别设置有第一限位件3和第二限位件4，第一限位件3设置有第一驱动件5，第一驱动件5用于驱使第一限位件3选择性阻挡掩模版，平台2沿第二方向的相对两侧均设置有第三限位件6，第二方向和第一方向垂直，在本实施例中，第一方向和第二方向均为水平方向，第一限位件3沿竖直方向移动，第三限位件6包括支撑杆601和第一滚轮602，支撑杆601的一端与平台2连接，另一端与第一滚轮602连接，第一滚轮602用于抵接掩模版沿第二方向的相对两侧。

第二限位件4固定在平台2的一侧，且第二限位件4的顶部端面高度高于平台2的顶部端面高度，第一限位件3具有第一状态和第二状态，当第一限位件3处于第一状态，第一驱动件5能够驱使第一限位件3沿竖直方向移动，以使第一限位件3的顶部端面高度低于平台2的顶部端面高度，掩模版能够沿第一方向移动并放置在平台2上，同时在掩模版移动过程中，第一滚轮602能够与掩模版沿第二方向的相对两侧壁抵接，以限制掩模版的移动方向，掩模版与第二限位件4能够正对并抵接，防止掩模版偏移而对第一限位件3的移动造成干涉，而且第一滚轮602和掩模版之间为滚动摩擦，能够减少掩模版的移动阻力。

当掩模版移动至与第二限位件4抵接时，掩模版放置到位，并在掩模版放置到位后，第一限位件3由第一状态切换为第二状态，第一驱动件5能够驱使第一限位件3沿竖直方向上升，以使第一限位件3的顶部端面高度高于平台2的顶部端面高度，第一限位件3和第二限位件4能够阻挡掩模版沿第一方向移动，而且相对的第三限位件6能够阻挡掩模版板沿第二方向移动，从而防止掩膜版台车在搬运过程中掩模版因惯性而发生移动。

在本实施例中，第一驱动件5为气缸。

优选地，如图2和图4所示，平台2的顶部设置有多个第二滚轮7，在掩模版在平台2上移动的过程中，第二滚轮7能够与掩模版抵接并转动，第二滚轮7和掩模版之间为滚动摩擦，能够减少掩模版与平台2之间的摩擦力，以便掩模版装卸。

具体地，平台2设置有多个凹槽，每个凹槽内均设置有一个第二滚轮7，凹槽的槽壁上设置有转轴，第二滚轮7设置在转轴上，部分第二滚轮7伸出凹槽外。

在一实施例中，转轴与电机连接，电机能够驱使转轴转动并带动第二滚轮7转动，第二滚轮7能够驱动掩模版沿第一方向移动，能够进一步提高掩模版装卸效率。

具体地，如图4所示，掩膜版台车还包括控制器，平台2上设置有第一检测件8，第一检测件8用于检测掩模版在平台2上的位置，第一检测件8和第一驱动件5均与控制器连接。在本实施例中，第一检测件8设置在平台2邻近于第二限位件4的一侧，当掩模版从平台2邻近于第一限位件3的一侧移动至第二限位件4抵接时，第一检测件8能够检测到掩模版放置到位，并在掩模版放置到位后，控制器能够控制第一驱动件5驱使第一限位件3自动上升，以阻挡掩模版。

示例的，第一检测件8为位置传感器或视觉传感器。

具体地，如图2至图4所示，车架1设置有驱动机构，车架1的底部设置有第三滚轮10，驱动机构与第三滚轮10连接，以驱使第三滚轮10转动并带动车架1移动。由于掩膜版台车和掩模版都比较重，需要两个或两个以上工作人员推动掩膜版台车搬运掩模版。此设计能够通过电驱动代替人力推动掩膜版台车移动，省时省力，可一人控制掩膜版台车移动完成掩模版的搬运工作，有利于降低人力成本和提高搬运效率。

在本实施例中，驱动机构包括第二驱动件和控制件9，第二驱动件与第三滚轮10连接，控制件9与第二驱动件连接，控制件9能够控制第二驱动件的输出功率，以限制掩膜版台车的车速。

其中，第二驱动件的最大转速限制为预设转速，以将控制车架1的车速控制在安全可控的速度范围内，避免车架1的车速过快而出现事故。

优选地，车架1的一侧设置有把手，把手能够便于工作人员控制车架1的移动方向，把手上设置有控制件9，控制件9为控制按钮或控制旋钮，以便控制车架1的车速。

具体地，如图2和图3所示，车架1上还设置有电源11，电源11与第二驱动机构连接，以为第二驱动件提供电能。

示例的，第二驱动件为电机，电源11为蓄电池。

在一实施例中，车架1还设置有刹车组件(图中未示出)，刹车组件包括刹车片和手刹，刹车片设置在第三滚轮10上，手刹设置在把手上。由于车架1具有一定惯性，通过刹车组件能够快速降低车架1的车速，有利于提高掩膜版台车的安全性。

在本实施例中，如图1、图3和图5所示，车架1包括底板101和支撑件102，第三滚轮10设置在底板101上，支撑件102分别连接底板101和平台2，以使底板101和平台2沿竖直方向间隔设置。此设计能够在保证的车架1结构强度下减少车架1的重量，以便控制车架1的移动，而且支撑件102能够将平台2支撑在底板101的上方，以使平台2能够具有适合的高度，以便装卸掩模版。

在一实施例中，支撑件102为升降架，通过支撑件102能够调节平台2的高度，以便装卸掩模版。升降架可采用现有技术的结构，在此不在赘述。

具体地，如图5所示，底板101设置有安装槽，安装槽内设置有减震机构12，减震机构12包括缓冲板1201和弹性组件1202，弹性组件1202设置在安装槽的槽底和缓冲板1201之间，电源11设置在缓冲板1201远离弹性组件1202的一侧面上。在掩膜版台车移动过程中电源11容易因震动而发生碰撞，电源11具有燃烧或爆炸的安全隐患。缓冲板1201采用橡胶材料制成，当电源11与缓冲板1201发生碰撞时，缓冲板1201能够缓冲电源11的部分冲击力，同时缓冲板1201在受到冲击力后能够具有朝向弹性组件1202方向移动的趋势，弹性组件1202能够二次缓冲电源11的冲击力，从而能够有效地降低电源11的冲击力，降低电源11因碰撞出现燃烧或爆炸的风险。

在本实施例中，弹性组件1202包括第二弹性件、两个连接杆和两个滑块，两个滑块分别滑动设置在安装槽的槽底，两个滑块能够朝向二者相背或相对的方向移动，两个连接杆的一端分别与两个滑块连接，两个连接杆的另一端与缓冲板1201铰接，且两个连接杆呈夹角设置在缓冲板1201上，第二弹性件分别连接两个连接杆。当缓冲板1201压缩弹性组件1202，两个滑块朝向相背离的方向移动，同时第一杆和第二杆也朝向相背离的方向转动，并拉伸第二弹性件，第二弹性件驱使两个连接杆具有朝向相靠近移动的趋势，以抵消缓冲板1201对弹性组件1202的作用力。

在另一实施例中，弹性组件1202为压缩弹簧，压缩弹簧分别抵接在缓冲板1201和安装槽的槽底上，直接抵消缓冲板1201对弹性组件1202的作用力。

进一步地，安装槽至少两个相对的槽壁上设置有第一弹性件1203，第一弹性件1203能够抵紧电源11的相对两个侧壁上，以固定电源11，而且能够对电源11的侧壁进行缓冲保护，防止电源11侧壁发生碰撞。

具体地，第一弹性件1203和第二弹性件均为弹簧。

在一实施例中，如图6所示，平台2朝向底板101的一侧设置有升降机构13和防护罩14，升降机构13包括第三驱动件1301和升降杆1302，升降杆1302的一端与第三驱动件1301连接，另一端与防护罩14连接，以驱使防护罩14罩设于电源11。当电源11燃烧或爆炸时，升降机构13能够驱使防护罩14罩设在电源11上，以防止火焰蔓延并引发更严重的安全事故。

进一步地，平台2朝向底板101的一侧还设置有第二检测件15，第二检测件15用于检测是否着火。第二检测件15和第三驱动件1301均与控制器连接，当第二检测件15检测到着火，防护罩14自动下降并罩设在电源11上。

具体地，第三驱动件1301为气缸，第二检测件15为明火探测器或烟雾传感器。

在本实施例中，如图3所示，车架1沿自身移动方向的前端设置有第三检测件16。当掩膜版台车搬运至卸载位置时，能够通过第三检测件16判断掩膜版台车和掩模转运装置是否对位准确，若对位准确，能够卸载掩模版，若对位不准则需重新调节掩膜版台车的位置直至对位准确。

具体地，第三检测件16为红外传感器。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种掩膜版台车，包括车架和设置在所述车架顶部的平台，其特征在于，所述平台沿第一方向的相对两侧分别设置有第一限位件和第二限位件，所述第一限位件与第一驱动件连接，所述第一驱动件用于驱使所述第一限位件选择性阻挡掩模版，所述平台沿第二方向的相对两侧均设置有第三限位件，所述第二方向和所述第一方向垂直，所述第三限位件包括支撑杆和第一滚轮，所述支撑杆的一端与所述平台连接，另一端与所述第一滚轮连接，所述第一滚轮用于抵接所述掩模版沿所述第二方向的相对两侧。

2.根据权利要求1所述的掩膜版台车，其特征在于，所述平台的顶部设置有多个第二滚轮，所有所述第二滚轮用于使所述掩模版沿所述第一方向放置到所述平台上。

3.根据权利要求1所述的掩膜版台车，其特征在于，还包括控制器，所述平台上设置有第一检测件，所述第一检测件用于检测所述掩模版在所述平台上的位置，所述第一检测件和所述第一驱动件均与所述控制器连接。

4.根据权利要求1至3任一项所述的掩膜版台车，其特征在于，所述车架设置有驱动机构，所述车架的底部设置有第三滚轮，所述驱动机构与所述第三滚轮连接，以驱使所述第三滚轮转动。

5.根据权利要求4所述的掩膜版台车，其特征在于，所述车架上还设置有电源，所述电源与所述驱动机构连接，所述车架设置有安装槽，所述安装槽内设置有减震机构，所述减震机构包括缓冲板和弹性组件，所述弹性组件设置在所述安装槽的槽底和所述缓冲板之间，所述电源设置在所述缓冲板远离所述弹性组件的一侧面上。

6.根据权利要求5所述的掩膜版台车，其特征在于，所述减震机构还包括多个第一弹性件，所述安装槽至少两个相对的槽壁上设置有所述第一弹性件，所述第一弹性件抵紧所述电源。

7.根据权利要求5所述的掩膜版台车，其特征在于，所述车架包括底板和支撑件，所述支撑件的一端与所述底板连接，另一端与所述平台连接，以使所述底板和所述平台沿竖直方向间隔设置，所述电源设置在所述底板朝向所述平台的一侧。

8.根据权利要求7所述的掩膜版台车，其特征在于，所述平台朝向所述底板的一侧设置有升降机构和防护罩，所述升降机构包括第三驱动件和升降杆，所述升降杆的一端与所述第三驱动件连接，另一端与所述防护罩连接，驱使所述防护罩沿竖直移动以罩设于所述电源外。

9.根据权利要求8所述的掩膜版台车，其特征在于，所述平台朝向所述底板的一侧还设置有第二检测件，所述第二检测件用于检测所述电源是否着火。

10.根据权利要求1至3任一项所述的掩膜版台车，其特征在于，所述车架沿自身移动方向的前端设置有第三检测件，所述第三检测件用于对位所述掩膜版台车和掩模转运装置。

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