CN218423830U - 一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体，机体呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽，机体顶端中心处贯穿设置有导料筒，且导料筒底部延伸至横槽内部，机体后端面中心处固定安装有L形固定杆，且其上端板体延伸至机体的上端面，固定杆上端面中心处固定连接有滴胶头，本实用新型是通过设置传输件，保持输送框平稳传动，减少置物槽内部晶圆片的晃动，实现快速准确地滴胶工作，通过置物槽内部设置限位件，方便根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移、错位而影响涂胶效果，提高晶圆片生产质量和生产效率。

Description

一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构

技术领域

本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构。

背景技术

半导体设备涂胶显影机是一种将不同工艺制程的机台整合在一起，半导体设备涂胶显影机主要由载片系统，传送系统和制程系统三部分构成，其主要功能是光刻胶在晶圆片表面的涂覆和显影；

而在晶圆片涂胶时，通常利用外部的传输机构实现将晶圆片或是批量晶圆片进行上下货于指定的区段，部分传输机构传送时，易出现晶圆片晃动、振动导致的偏移、偏转等多种造成错位现象，影响生产质量和生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于通过设置传输件，保持输送框平稳传动，减少置物槽内部晶圆片的晃动，实现快速准确地滴胶工作，通过置物槽内部设置限位件，方便根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移、错位而影响涂胶效果，提高晶圆片生产质量和生产效率。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体，所述机体呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽，所述机体顶端中心处贯穿设置有导料筒，且导料筒底部延伸至横槽内部，所述机体后端面中心处固定安装有L形固定杆，且其上端板体延伸至机体的上端面，所述固定杆上端面中心处固定连接有滴胶头，且滴胶头与导料筒上下对应，所述横槽内部设置有传输件；

所述传输件包括输送框，所述输送框呈回字形结构，且其两端呈曲面设置，所述输送框横向贯穿横槽内部，且横槽内部中心处固定安装有限位杆，且限位杆前后端分别与横槽的前后内壁固定连接，所述限位杆贯穿连接输送框内部框槽中，所述输送框下端面中间位置横向设置有若干组齿块。

进一步的，所述横槽内部位于输送框下端处靠近两端及中心处均设置有三组转轴，且转轴的前后端分别与横槽前后端内部转动连接，靠近中心所述转轴前端贯穿至机体并固定连接有电机，三组所述转轴外部的中心处均固定连接有齿环，且齿环与齿块相啮合。

进一步的，所述输送框上端面靠近两侧及中心处均开设有圆形置物槽，靠近两端所述置物槽分别位于横槽的外部中心处，所述置物槽与导料筒上下对应，三组所述置物槽内部均设置有限位件。

进一步的，所述限位件包括T形板，所述T形板转动连接在置物槽的中心处，且T形板上端面低于置物槽上端槽口，所述T形板外表面位置与中段处转动连接有齿盘，所述置物槽内部位于齿盘两侧处均活动连接有弧形抵板。

进一步的，两组所述抵板呈对称，且抵板上端延伸至置物槽上端处，两组所述抵板相对面呈对角线处均固定安装有齿条，且其两者分别与齿盘相啮合，两组所述抵板的相对面远离齿条一端固定安装有插筒，所述插筒与对立面的齿条左右对应，且齿条的一端贯穿在插筒内部并固定安装有齿滑块，所述滑块滑动连接在插筒内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在使用时，通过设置传输件，启动电机，其带动横槽内部中心处的转轴及齿环逆时针转动，而与齿环啮合的输送框向机体的左侧传动，输送框向左侧平移时，位于其底部两侧处的齿环以及转轴均实现转动，以此保持输送框平稳传动，减少置物槽内部晶圆片的晃动，与此同时，限位杆在输送框的框槽内部滑动，以防止输送框传动过度而发生脱轨的情况，以进一步保证输送框的平稳运行，减少晶圆片的震动，当输送框传动至其上端面的三组置物槽依次暴露在机体外部时，即可依次将其内部放入晶圆片，电机驱动输送框反向传动，右侧的置物槽最先进入横槽并与导料筒对齐，利用滴胶头滴胶，胶水通过导料筒内部竖直向下进入置物槽内部的晶圆片表面，以快速进行滴胶工作，同时提高滴胶位置的准确性，随着输送框的持续传动，多组置物槽交替使用，有序进行传输滴胶，实现滴胶与拿取晶圆片同时进行，提高涂胶及传输效率。

2、本实用新型在使用时，通过置物槽内部设置限位件，输送框输送晶圆片均分别卡接在若干组置物槽内部，晶圆片放置在T形板顶端，再分别向中心推动两组抵板，两组齿条分别相对运动并同时与齿盘啮合，从而迫使齿盘转动，同时齿条的一端向其对立面的插筒内部插入，滑块在插筒内部滑动，以此保持抵板的平稳推动，两组抵板相互靠近并将晶圆片两端夹持限定，以此根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移而影响涂胶效果。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型机体的剖视图；

图3为本实用新型机体的侧面剖视图；

图4为本实用新型传输件与限位件的剖面图；

图5为本实用新型的输送框局部俯视图。

图中：1、机体；11、横槽；2、导料筒；3、固定杆；4、滴胶头；5、传输件；51、输送框；511、齿块；52、限位杆；53、转轴；54、电机；55、齿环；6、置物槽；7、限位件；71、T形板；72、齿盘；73、抵板；74、齿条；75、插筒；76、滑块。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

请参阅图1-5所示，一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体1，机体1呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽11，机体1顶端中心处贯穿设置有导料筒2，且导料筒2底部延伸至横槽11内部，机体1后端面中心处固定安装有L形固定杆3，且其上端板体延伸至机体1的上端面，固定杆3上端面中心处固定连接有滴胶头4，且滴胶头4与导料筒2上下对应，横槽11内部设置有传输件5；传输件5包括输送框51，输送框51呈回字形结构，且其两端呈曲面设置，输送框51横向贯穿横槽11内部，且横槽11内部中心处固定安装有限位杆52，且限位杆52前后端分别与横槽11的前后内壁固定连接，限位杆52贯穿连接输送框51内部框槽中，输送框51下端面中间位置横向设置有若干组齿块511；横槽11内部位于输送框51下端处靠近两端及中心处均设置有三组转轴53，且转轴53的前后端分别与横槽11前后端内部转动连接，靠近中心转轴53前端贯穿至机体1并固定连接有电机54，三组转轴53外部的中心处均固定连接有齿环55，且齿环55与齿块511相啮合；输送框51上端面靠近两侧及中心处均开设有圆形置物槽6，靠近两端置物槽6分别位于横槽11的外部中心处置物槽6与导料筒2上下对应；晶体表面涂胶时，先是启动电机54，其带动横槽11内部中心处的转轴53及齿环55逆时针转动，而与齿环55啮合的输送框51向机体1的左侧传动，输送框51向左侧平移时，位于其底部两侧处的齿环55以及转轴53均实现转动，以此保持输送框51平稳传动，减少置物槽6内部晶圆片的晃动，与此同时，限位杆52在输送框51的框槽内部滑动，以防止输送框51传动过度而发生脱轨的情况，以进一步保证输送框51的平稳运行，减少晶圆片的震动，当输送框51传动至其上端面的三组置物槽6依次暴露在机体1外部时，即可依次将其内部放入晶圆片，接着电机54驱动输送框51反向传动，再依次将置物槽6推动至横槽11内部，右侧的置物槽6最先进入横槽11并与导料筒2对齐，利用滴胶头4滴胶，胶水通过导料筒2内部竖直向下进入置物槽6内部的晶圆片表面，以快速进行滴胶工作，同时提高滴胶位置的准确性，随着输送框51的持续传动，右侧置物槽6推离至横槽11外部进行风干时，靠近中部的置物槽6与导料筒2对齐，以此类推，有序进行传输滴胶，实现滴胶与拿取晶圆片同时进行，提高涂胶及传输效率。

实施例二：

请参阅图3-5所示，三组置物槽6内部均设置有限位件7，限位件7包括T形板71，T形板71转动连接在置物槽6的中心处，且T形板71上端面低于置物槽6上端槽口，T形板71外表面位置与中段处转动连接有齿盘72，置物槽6内部位于齿盘72两侧处均活动连接有弧形抵板73；两组抵板73呈对称，且抵板73上端延伸至置物槽6上端处，两组抵板73相对面呈对角线处均固定安装有齿条74，且其两者分别与齿盘72相啮合，两组抵板73的相对面远离齿条74一端固定安装有插筒75，插筒75与对立面的齿条74左右对应，且齿条74的一端贯穿在插筒75内部并固定安装有滑块76，滑块76滑动连接在插筒75内部；输送框51输送晶圆片均分别卡接在若干组置物槽6内部，晶圆片放置在T形板71顶端，再分别向中心推动两组抵板73，两组齿条74分别相对运动并同时与齿盘72啮合，从而迫使齿盘72转动，同时齿条74的一端向其对立面的插筒75内部插入，滑块76在插筒75内部滑动，以此保持抵板73的平稳推动，两组抵板73相互靠近并将晶圆片两端夹持限定，以此根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移而影响涂胶效果。

本实用新型的工作过程及原理如下：

本实用新型在使用时，晶体表面涂胶时，先是启动电机54，其带动横槽11内部中心处的转轴53及齿环55逆时针转动，而与齿环55啮合的输送框51向机体1的左侧传动，输送框51向左侧平移时，位于其底部两侧处的齿环55以及转轴53均实现转动，以此保持输送框51平稳传动，减少置物槽6内部晶圆片的晃动，与此同时，限位杆52在输送框51的框槽内部滑动，以防止输送框51传动过度而发生脱轨的情况，以进一步保证输送框51的平稳运行，减少晶圆片的震动，当输送框51传动至其上端面的三组置物槽6依次暴露在机体1外部时，即可依次将其内部放入晶圆片，接着电机54驱动输送框51反向传动，再依次将置物槽6推动至横槽11内部，右侧的置物槽6最先进入横槽11并与导料筒2对齐，利用滴胶头4滴胶，胶水通过导料筒2内部竖直向下进入置物槽6内部的晶圆片表面，以快速进行滴胶工作，同时提高滴胶位置的准确性，随着输送框51的持续传动，右侧置物槽6推离至横槽11外部进行风干时，靠近中部的置物槽6与导料筒2对齐，以此类推，有序进行传输滴胶，实现滴胶与拿取晶圆片同时进行，提高涂胶及传输效率；

输送框51输送晶圆片均分别卡接在若干组置物槽6内部，晶圆片放置在T形板71顶端，再分别向中心推动两组抵板73，两组齿条74分别相对运动并同时与齿盘72啮合，从而迫使齿盘72转动，同时齿条74的一端向其对立面的插筒75内部插入，滑块76在插筒75内部滑动，以此保持抵板73的平稳推动，两组抵板73相互靠近并将晶圆片两端夹持限定，以此根据晶圆片的直径大小进一步限定，进一步减少其在运行过程的偏移而影响涂胶效果。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)呈凸形机构设置，且其上端二分之一开设有横槽(11)，所述机体(1)顶端中心处贯穿设置有导料筒(2)，且导料筒(2)底部延伸至横槽(11)内部，所述机体(1)后端面中心处固定安装有L形固定杆(3)，且其上端板体延伸至机体(1)的上端面，所述固定杆(3)上端面中心处固定连接有滴胶头(4)，且滴胶头(4)与导料筒(2)上下对应，所述横槽(11)内部设置有传输件(5)；

所述传输件(5)包括输送框(51)，所述输送框(51)呈回字形结构，且其两端呈曲面设置，所述输送框(51)横向贯穿横槽(11)内部，且横槽(11)内部中心处固定安装有限位杆(52)，且限位杆(52)前后端分别与横槽(11)的前后内壁固定连接，所述限位杆(52)贯穿连接输送框(51)内部框槽中，所述输送框(51)下端面中间位置横向设置有若干组齿块(511)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，其特征在于，所述横槽(11)内部位于输送框(51)下端处靠近两端及中心处均设置有三组转轴(53)，且转轴(53)的前后端分别与横槽(11)前后端内部转动连接，靠近中心所述转轴(53)前端贯穿至机体(1)并固定连接有电机(54)，三组所述转轴(53)外部的中心处均固定连接有齿环(55)，且齿环(55)与齿块(511)相啮合。

3.根据权利要求1所述的一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，其特征在于，所述输送框(51)上端面靠近两侧及中心处均开设有圆形置物槽(6)，靠近两端所述置物槽(6)分别位于横槽(11)的外部中心处，所述置物槽(6)与导料筒(2)上下对应，三组所述置物槽(6)内部均设置有限位件(7)。

4.根据权利要求3所述的一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，其特征在于，所述限位件(7)包括T形板(71)，所述T形板(71)转动连接在置物槽(6)的中心处，且T形板(71)上端面低于置物槽(6)上端槽口，所述T形板(71)外表面位置与中段处转动连接有齿盘(72)，所述置物槽(6)内部位于齿盘(72)两侧处均活动连接有弧形抵板(73)。

5.根据权利要求4所述的一种全自动涂胶显影机用晶圆片校准传输机构，其特征在于，两组所述抵板(73)呈对称，且抵板(73)上端延伸至置物槽(6)上端处，两组所述抵板(73)相对面呈对角线处均固定安装有齿条(74)，且其两者分别与齿盘(72)相啮合，两组所述抵板(73)的相对面远离齿条(74)一端固定安装有插筒(75)，所述插筒(75)与对立面的齿条(74)左右对应，且齿条(74)的一端贯穿在插筒(75)内部并固定安装有滑块(76)，所述滑块(76)滑动连接在插筒(75)内部。

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