CN218364030U - 一种毛刷整理器 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种毛刷整理器，包括机台，所述机台的端面转动设有旋转座，所述旋转座的上方套设有基体，所述基体的底部开设有圆槽，所述圆槽与旋转座共同连接有安装机构，所述基体的端面固定设有毛刷片，所述毛刷片的端面固定设有多个刷毛，所述毛刷片的端面设有网片，多个所述刷毛均穿过网片的网孔设置，所述机台与旋转座共同连接有驱动机构。本申请可以用作对晶圆表面的研磨整平处理，且处理时产生的尘粒可以被截留在刷毛内，不易产生尘粒飞溅甩出的现象，并且可以将截留在刷毛空隙之间的尘粒快速向上拉出，以便于将截留的尘粒快速清理排出，无需拆卸毛刷片，提高使用的便捷性。

Description

一种毛刷整理器

技术领域

本申请涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种毛刷整理器。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其在生产的时候，需要通过如钻石整理器对其表面的杂质或不平坦处进行研磨整平处理。

在实现本申请过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题，在通过钻石整理器对晶圆表面进行研磨处理后，一般还需要搭配毛刷整理器，毛刷整理器可以对晶圆表面进行进一步细致的处理，并可以将钻石整理器研磨后晶圆表面附着的研磨碎屑、研磨液等去除，毛刷整理器在对晶圆进行处理时，被刷下的尘粒杂质会被截留在刷毛之间的间隙，所以毛刷整理器还可以防止尘粒飞溅，但是被截留在刷毛之间的尘粒，后续需要将毛刷片拆下并通过外力振动才能将截留的尘粒排出，影响使用的便捷性，因此，提出一种毛刷整理器。

实用新型内容

本申请的目的是为了解决现有技术中毛刷整理器在对晶圆进行处理时，被刷下的尘粒杂质会被截留在刷毛之间的间隙，所以毛刷整理器还可以防止尘粒飞溅，但是被截留在刷毛之间的尘粒，后续需要将毛刷片拆下并通过外力振动才能将截留的尘粒排出，影响使用的便捷性的问题，而提出的一种毛刷整理器。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：

一种毛刷整理器，包括机台，所述机台的端面转动设有旋转座，所述旋转座的上方套设有基体，所述基体的底部开设有圆槽，所述圆槽与旋转座共同连接有安装机构，所述基体的端面固定设有毛刷片，所述毛刷片的端面固定设有多个刷毛，所述毛刷片的端面设有网片，多个所述刷毛均穿过网片的网孔设置，所述机台与旋转座共同连接有驱动机构。

优选的，所述网片的底部两侧均固定设有L形杆，所述毛刷片的两个侧壁均开设有凹槽，且两个凹槽的上槽壁均开设有与L形杆相匹配的滑孔，两个所述L形杆的水平部上端与同侧凹槽的上槽壁之间均共同固定设有上顶弹簧，两个所述L形杆均与毛刷片共同连接有锁紧组件。

优选的，所述安装机构包括开设于圆槽两个槽壁的收纳槽，两个所述收纳槽的内部均活动设有卡接圆柱，两个所述收纳槽的槽底均螺纹连接有安装螺栓，两个所述安装螺栓的杆端均与同侧卡接圆柱的柱端固定连接，所述旋转座的两个侧壁均开设有与卡接圆柱相匹配的卡接槽。

优选的，所述驱动机构包括固定设置于旋转座底部的转轴，且转轴的轴壁与机台的底面转动连接，所述机台的底部固定设有驱动电机，且驱动电机的输出端与转轴连接。

优选的，两个所述锁紧组件均包括固定设置于L形杆水平部杆端的锁紧块，所述锁紧块的侧壁与毛刷片的侧壁共同螺纹连接有锁紧螺栓。

优选的，多个所述刷毛均分为两组设置，且两组刷毛均相向倾斜设置，两组所述刷毛均相互错开设置。

与现有技术相比，本申请提供了一种毛刷整理器，具备以下有益效果：

1、该毛刷整理器，通过设有的机台、旋转座、机体、毛刷片、刷毛和驱动机构的相互配合，可以用作对晶圆表面的研磨整平处理，且处理时产生的尘粒可以被截留在刷毛内，不易产生尘粒飞溅甩出的现象，通过设置的网片，可以在使用完成后，将网片向上拉出，从而可以将截留在刷毛空隙之间的尘粒快速向上拉出，以便于将截留的尘粒快速清理排出，无需拆卸毛刷片，提高使用的便捷性。

2、该毛刷整理器，通过设有的L形杆、上顶弹簧和锁紧组件的相互配合，可以使网片自动上顶，无需人工一直手持，进一步提高操作的便捷性。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本申请可以用作对晶圆表面的研磨整平处理，且处理时产生的尘粒可以被截留在刷毛内，不易产生尘粒飞溅甩出的现象，并且可以将截留在刷毛空隙之间的尘粒快速向上拉出，以便于将截留的尘粒快速清理排出，无需拆卸毛刷片，提高使用的便捷性。

附图说明

图1为本申请提出的一种毛刷整理器的结构示意图；

图2为图1中A部分的结构放大图。

图中：1、机台；2、旋转座；3、基体；4、毛刷片；5、刷毛；6、网片；7、L形杆；8、上顶弹簧；9、收纳槽；10、卡接圆柱；11、安装螺栓；12、驱动电机；13、锁紧块；14、锁紧螺栓。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种毛刷整理器，包括机台1，机台1的端面转动设有旋转座2，旋转座2的上方套设有基体3，基体3的底部开设有圆槽，圆槽与旋转座2共同连接有安装机构，基体3的端面固定设有毛刷片4，毛刷片4的端面固定设有多个刷毛5，毛刷片4的端面设有网片6，多个刷毛5均穿过网片6的网孔设置，机台1与旋转座2共同连接有驱动机构。

网片6的底部两侧均固定设有L形杆7，毛刷片4的两个侧壁均开设有凹槽，且两个凹槽的上槽壁均开设有与L形杆7相匹配的滑孔，两个L形杆7的水平部上端与同侧凹槽的上槽壁之间均共同固定设有上顶弹簧8，两个L形杆7均与毛刷片4共同连接有锁紧组件，通过两个上顶弹簧8可以带动两个L形杆7上移，从而可以将网片6向上顶出，无需人工手持拉拽，且通过L形杆7配合凹槽，可以对网片6进行一定的限位，防止网片6脱离刷毛5，导致后续重新安装较为困难。

安装机构包括开设于圆槽两个槽壁的收纳槽9，两个收纳槽9的内部均活动设有卡接圆柱10，两个收纳槽9的槽底均螺纹连接有安装螺栓11，两个安装螺栓11的杆端均与同侧卡接圆柱10的柱端固定连接，旋转座2的两个侧壁均开设有与卡接圆柱10相匹配的卡接槽，通过转动安装螺栓11，可以带动卡接圆柱10移动并卡入同侧的卡接槽内部，从而可以完成将机体3与旋转座2的稳定卡接。

驱动机构包括固定设置于旋转座2底部的转轴，且转轴的轴壁与机台1的底面转动连接，机台1的底部固定设有驱动电机12，且驱动电机12的输出端与转轴连接，通过驱动电机12工作，可以带动转轴转动，从而可以带动旋转座2转动，以通过基体3、毛刷片4带动多个刷毛5转动。

两个锁紧组件均包括固定设置于L形杆7水平部杆端的锁紧块13，锁紧块13的侧壁与毛刷片4的侧壁共同螺纹连接有锁紧螺栓14，通过此种设置，可以对两个L形杆7进行限位锁紧，防止刷毛5工作时网片6上移被甩出。

多个刷毛5均分为两组设置，且两组刷毛5均相向倾斜设置，两组刷毛5均相互错开设置，通过此种设置，可以提高刷毛5的多方向形，以提高对晶圆的研磨整平除尘处理，也一定程度上提高对尘粒的截留效果。

本申请中，使用时，将经过钻石整理器初步研磨后的晶圆至于刷毛5上方，然后启动驱动电机12，可以通过转轴带动旋转座2转动，从而可以带动基座3转动，进而可以带动毛刷片4和多个刷毛5转动，以对晶圆表面进行进一步的研磨整平除尘处理，刷下的尘粒落在多个刷毛5之间的间隙，会因为刷毛5的阻挡，而使尘粒无法被甩出，后续处理完成后，将网片6上移，在网片6的作用下，可以将多个刷毛5空隙之间的尘粒向上带出至刷毛5表面，此时通过对网片6表面进行扫动，即可完成对截留下来的尘粒进行快速清理。

总的来说，针对技术问题：毛刷整理器在对晶圆进行处理时，被刷下的尘粒杂质会被截留在刷毛之间的间隙，所以毛刷整理器还可以防止尘粒飞溅，但是被截留在刷毛之间的尘粒，后续需要将毛刷片拆下并通过外力振动才能将截留的尘粒排出，影响使用的便捷性；采用技术方案：包括机台1，机台1的端面转动设有旋转座2，旋转座2的上方套设有基体3，基体3的底部开设有圆槽，圆槽与旋转座2共同连接有安装机构，基体3的端面固定设有毛刷片4，毛刷片4的端面固定设有多个刷毛5，毛刷片4的端面设有网片6，多个刷毛5均穿过网片6的网孔设置，机台1与旋转座2共同连接有驱动机构；因为技术方案实现的过程是：将晶圆置于刷毛5上方，并与刷毛5相接触，此时启动驱动电机12，配合转轴、旋转座2、基座3、刷毛片4，可以带动多个刷毛5转动，从而可以对晶圆表面进行研磨整平除尘处理，刷下的尘粒落在多个刷毛5之间的间隙，会因为刷毛5的阻挡，而使尘粒无法被甩出，后续处理完成后，将网片6上移，在网片6的作用下，可以将多个刷毛5空隙之间的尘粒向上带出至刷毛5表面，此时通过对网片6表面进行扫动，即可完成对截留下来的尘粒进行快速清理；所以必然能解决该技术问题，实现的技术效果就是：可以用作对晶圆表面的研磨整平处理，且处理时产生的尘粒可以被截留在刷毛内，不易产生尘粒飞溅甩出的现象，并且可以将截留在刷毛空隙之间的尘粒快速向上拉出，以便于将截留的尘粒快速清理排出，无需拆卸毛刷片，提高使用的便捷性。

以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，根据本申请的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种毛刷整理器，包括机台（1），其特征在于，所述机台（1）的端面转动设有旋转座（2），所述旋转座（2）的上方套设有基体（3），所述基体（3）的底部开设有圆槽，所述圆槽与旋转座（2）共同连接有安装机构，所述基体（3）的端面固定设有毛刷片（4），所述毛刷片（4）的端面固定设有多个刷毛（5），所述毛刷片（4）的端面设有网片（6），多个所述刷毛（5）均穿过网片（6）的网孔设置，所述机台（1）与旋转座（2）共同连接有驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种毛刷整理器，其特征在于，所述网片（6）的底部两侧均固定设有L形杆（7），所述毛刷片（4）的两个侧壁均开设有凹槽，且两个凹槽的上槽壁均开设有与L形杆（7）相匹配的滑孔，两个所述L形杆（7）的水平部上端与同侧凹槽的上槽壁之间均共同固定设有上顶弹簧（8），两个所述L形杆（7）均与毛刷片（4）共同连接有锁紧组件。

3.根据权利要求1所述的一种毛刷整理器，其特征在于，所述安装机构包括开设于圆槽两个槽壁的收纳槽（9），两个所述收纳槽（9）的内部均活动设有卡接圆柱（10），两个所述收纳槽（9）的槽底均螺纹连接有安装螺栓（11），两个所述安装螺栓（11）的杆端均与同侧卡接圆柱（10）的柱端固定连接，所述旋转座（2）的两个侧壁均开设有与卡接圆柱（10）相匹配的卡接槽。

4.根据权利要求1所述的一种毛刷整理器，其特征在于，所述驱动机构包括固定设置于旋转座（2）底部的转轴，且转轴的轴壁与机台（1）的底面转动连接，所述机台（1）的底部固定设有驱动电机（12），且驱动电机（12）的输出端与转轴连接。

5.根据权利要求2所述的一种毛刷整理器，其特征在于，两个所述锁紧组件均包括固定设置于L形杆（7）水平部杆端的锁紧块（13），所述锁紧块（13）的侧壁与毛刷片（4）的侧壁共同螺纹连接有锁紧螺栓（14）。

6.根据权利要求1所述的一种毛刷整理器，其特征在于，多个所述刷毛（5）均分为两组设置，且两组刷毛（5）均相向倾斜设置，两组所述刷毛（5）均相互错开设置。

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