CN218317745U - 撕膜机构、撕膜设备及电子元件的检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电子器件制造领域，特别是涉及一种撕膜机构、撕膜设备及电子元件的检测装置。一种撕膜机构，安装于机架上，包括夹爪组件、安装组件和支架组件，所述夹爪组件连接于所述支架组件，所述支架组件连接于所述安装组件并能够沿着所述安装组件移动；所述夹爪组件包括第一夹爪及第二夹爪，所述第一夹爪及所述第二夹爪分别连接于所述支架组件，所述第二夹爪能够相对所述支架组件旋转并与所述第一夹爪配合以夹持或松开薄膜，及/或，所述第一夹爪能够相对所述支架组件旋转并与所述第二夹爪配合以夹持或松开薄膜。本实用新型的优点在于：第一夹爪及第二夹爪之间的夹持区域更大，从而夹持到更多的薄膜。

Description

撕膜机构、撕膜设备及电子元件的检测装置

技术领域

本实用新型涉及电子器件制造领域，特别是涉及一种撕膜机构、撕膜设备及电子元件的检测装置。

背景技术

撕膜机构用于夹住芯片上的薄膜，以将薄膜从芯片上撕下。

现有的第一夹爪及第二夹爪相对移动以夹紧薄膜，导致第一夹爪与第二夹爪之间的夹持空间小，无法夹住更多的薄膜。

实用新型内容

基于此，本实用新型针对上述技术问题，提供一种撕膜机构，技术方案如下：

一种撕膜机构，安装于机架上，包括夹爪组件、安装组件和支架组件，所述夹爪组件连接于所述支架组件，所述支架组件连接于所述安装组件并能够沿着所述安装组件移动；所述夹爪组件包括第一夹爪及第二夹爪，所述第一夹爪及所述第二夹爪分别连接于所述支架组件，所述第二夹爪能够相对所述支架组件旋转并与所述第一夹爪配合以夹持或松开薄膜，及/或，所述第一夹爪能够相对所述支架组件旋转并与所述第二夹爪配合以夹持或松开薄膜。

如此设置，能够加大第一夹爪及第二夹爪张开时的夹持区域，从而让更多的薄膜落入第一夹爪及第二夹爪之间，进而夹持到更多的薄膜。

在其中一个实施方式中，所述夹爪组件为多个，多个夹爪组件并列设置，且相邻的所述夹爪组件间隔设置。

如此设置，戳膜机构能够伸入避让位中进行戳膜，使得戳膜机构和撕膜机构能够相互独立运动，提高工作效率。

在其中一个实施方式中，所述支架组件包括支架本体及旋转轴，所述旋转轴与所述支架本体转动连接，所述支架本体与所述第一夹爪固定连接，所述第二夹爪与所述旋转轴固定连接。

如此设置，能够简化结构。

在其中一个实施方式中，所述支架组件还包括第一驱动件及连杆单元，所述第一驱动件设于支架本体上并连接于所述连杆单元，所述第一驱动件能够驱动所述连杆单元伸缩，所述连杆单元远离所述第一驱动件的一端与所述旋转轴或所述第二夹爪转动连接，所述第一驱动件通过所述连杆单元驱动所述第二夹爪旋转。

在其中一个实施方式中，所述安装组件包括两块连接板，两块连接板分别位于所述支架组件的两侧，所述支架组件的两侧开设有滑槽，两块所述连接板的内侧均设有滑轨，所述滑轨穿设于所述滑槽内，所述支架组件带动所述夹爪组件沿着所述滑轨移动；或，所述支架组件的两侧设有滑轨，两块所述连接板的内侧均开设有滑槽，所述滑轨穿设于所述滑槽内，所述支架组件带动所述夹爪组件沿着所述滑槽移动。

如此设置，夹爪组件能够上下移动，以夹持薄膜，在夹持住薄膜后，夹爪组件朝下运动进行撕膜。

在其中一个实施方式中，所述连接板的一端设有连接块，所述连接块具有与所述机架贴合的连接面，所述滑轨相对于所述连接面倾斜设置。

如此设置，能够满足长距离的输送需求，从而满足对于更多规格的薄膜的夹持，并且，倾斜的撕膜机构能够降低整体的高度。

在其中一个实施方式中，所述第一夹爪及所述第二夹爪之间设有检测元件，所述检测元件用于检测所述夹爪组件所处的状态。

如此设置，能够检测夹爪组件是否夹持到位。

本实用新型还提供如下技术方案：

一种撕膜设备，包括戳膜机构及上述的撕膜机构，所述夹爪组件为多个，多个所述夹爪组件间隔设置以形成避让位，所述戳膜机构能够升降以使所述戳膜机构的一端伸入所述避让位中。

在其中一个实施方式中，所述撕膜机构包括安装板、压膜件和吹气模块，多个所述压膜件连接于所述安装板，所述压膜件能够伸入所述避让位中，所述吹气模块设于所述压膜件内并位于所述压膜件远离所述安装板的一端，所述吹气模块能够朝向薄膜吹气。

本实用新型还提供如下技术方案：

一种电子元件的检测装置，其特征在于，包括：

机架；

上料设备，所述上料设备连接于所述机架，且所述上料设备内承载有待测的工件；

上述的撕膜设备，所述撕膜设备连接于所述机架并设于所述上料设备的一端，用于撕下所述工件上的薄膜；

搬运设备，所述搬运设备连接于所述机架，用于搬运所述工件；

多个检测设备，多个所述检测设备分别设于所述机架上，所述搬运设备能够将完成撕膜的所述工件依次搬运至各个所述检测设备进行性能检测；

第一翻转模块，多个所述检测设备之间设有所述第一翻转模块，在其中一个所述检测设备完成检测的工件经所述第一翻转模块翻转，以供另外一个所述检测设备检测；

收料设备，所述收料设备设于所述检测设备的一侧并设于所述机架上，所述搬运设备将完成检测的工件搬运至所述收料设备内；

第二翻转模块，所述第二翻转模块设于所述检测设备及所述收料设备之间，能够将完成检测的所述工件进行翻转。

如此设置，能够实现自动化检测，提高效率，且适用于不同工件的检测。

在其中一个实施方式中，多个所述检测设备包括第一检测模块、第一料梭、第二检测模块、第二料梭、第三检测模块和第三料梭，所述第一检测模块、所述第一料梭、所述第二检测模块、所述第二料梭、所述第三检测模块及所述第三料梭均设于机架上，所述第一检测模块能够检测所述搬运设备从所述撕膜设备上搬运的工件所处的状态，所述第一料梭能够根据所述第一检测模块的检测信息调整工件的位姿，所述第二检测模块在所述第二料梭上对工件进行检测，所述第三检测模块在所述第三料梭上对所述工件进行检测。

如此设置，能够提高取放料稳定性，同时提高稼动率。

与现有技术相比，本实用新型提供的撕膜机构，第一夹爪及第二夹爪张开时夹持区域呈扇形状，夹持区域更大，能够让更多的薄膜落入第一夹爪及第二夹爪之间，从而夹持到更多的薄膜。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的撕膜机构一视角的立体图；

图2为撕膜机构另一视角的立体图；

图3为夹爪组件连接于支架组件的结构示意图；

图4为夹爪组件连接于支架组件的背视图；

图5为第一驱动件的结构示意图；

图6为传送组件的结构示意图；

图7为一实施例中电子元件的检测装置的俯视图；

图8为图7中的A处的局部放大图；

图9为另一个实施例中电子元件的检测装置的俯视图。

图中各符号表示含义如下：

1000、电子元件的检测装置；100、撕膜机构；10、夹爪组件；11、第一夹爪；12、第二夹爪；13、避让位；20、支架组件；21、支架本体；211、安装底板；212、轴承；22、旋转轴；23、第一驱动件；24、连杆单元；241、推拉杆；242、推拉块；25、支撑板；251、滑块；26、检测元件；30、安装组件；31、滑轨；32、连接板；33、连接块；331、连接面；34、固定板；40、传送组件；41、驱动单元；411、第二电机；412、第二传送带；413、主动轮；42、第一传送带；43、从动轮；200、机架；300、上料设备；301、推拉组件；302、第一料匣；400、搬运设备；401、取料拾取模块；402、第一拾取模块；403、第二拾取模块；404、收料拾取模块；500、检测设备；501、第一检测组件；511、第一料梭；502、第二检测组件；512、第二检测模块；513、第二料梭；503、第三检测组件；514、第三检测模块；515、第三料梭；600、收料设备；700、撕膜设备；701、戳膜机构；702、压膜件；703、安装板；800、第一翻转模块；900、第二翻转模块。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本实用新型的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

除非另有定义，本实用新型的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本实用新型的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参见图1，本实用新型提供一种撕膜机构100，连接于电子元件的检测装置1000的机架200，用于夹住电子元件上的薄膜，以将薄膜撕下。

撕膜机构100包括夹爪组件10、支架组件20及安装组件30，夹爪组件10连接于支架组件20，支架组件20连接于安装组件30，并能够带动夹爪组件10沿着安装组件30运动。

夹爪组件10包括第一夹爪11及第二夹爪12，第一夹爪11及第二夹爪12分别连接于支架组件20，第二夹爪12与支架组件20转动连接，第二夹爪12能够朝向靠近或远离第一夹爪11的方向运动；或者，第一夹爪11与支架组件20转动连接，第一夹爪11能够朝向靠近或远离第二夹爪12的方向运动；或者，第一夹爪11和第二夹爪12均与支架组件20转动连接，第一夹爪11和第二夹爪12同时相向转动或相背转动，以夹持或松开薄膜。如此设置，在夹爪组件10张开时，第一夹爪11及第二夹爪12张开如扇形结构，夹持区域更大，能够让更多的薄膜落入第一夹爪11及第二夹爪12之间，能够夹持到更多的薄膜。

夹爪组件10为多个，多个夹爪组件10之间并列设置，且相邻的夹爪组件10之间间隔设置以形成避让位13。也即，一个第一夹爪11和一个第二夹爪12配合形成一个夹爪组件10，第一夹爪11和第二夹爪12均为多个，多个第一夹爪11之间并列且间隔设置，多个第二夹爪12之间并列且间隔设置，第一夹爪11和第二夹爪12一一对应。夹爪组件10可为2个、3个、4个或4个以上。

请参见图3及图4，第一夹爪11及第二夹爪12的内侧表面呈锯齿状，即，第一夹爪11靠近第二夹爪12的表面呈锯齿状，第二夹爪12靠近第一夹爪11的表面呈锯齿状，从而增大夹持的摩擦力。

支架组件20包括支架本体21及旋转轴22，旋转轴22与支架本体21转动连接，旋转轴22与第二夹爪12固定连接。支架本体21上设有安装底板211，第一夹爪11固定地连接于安装底板211，第一夹爪11固定不动，只需要驱动第二夹爪12旋转即可，能够减少驱动力，同时简化结构。

支架本体21内设有轴承212，旋转轴22穿设于轴承212内，轴承212的内圈与旋转轴22转动连接，轴承212的外圈与支架本体21连接。

支架组件20还包括第一驱动件23及连杆单元24，第一驱动件23设于支架本体21上，连杆单元24的一端与第一驱动件23连接，另一端与旋转轴22或第二夹爪12转动连接，第一驱动件23能够驱动连杆单元24伸缩，从而驱动第二夹爪12旋转。

在一实施例中，连杆单元24与旋转轴22转动连接，当第一驱动件23拉连杆单元24时，旋转轴22带动第二夹爪12旋转，夹爪组件10张开；当第一驱动件23推连杆单元24时，旋转轴22带动第二夹爪12旋转，夹爪组件10夹紧。

在另一实施例中，连杆单元24与任意一个第二夹爪12转动连接。当连杆单元24与第二夹爪12靠近旋转轴22的一端连接时，在第一驱动件23拉连杆单元24时，第二夹爪12旋转，夹爪组件10张开，在第一驱动件23推连杆单元24时，第二夹爪12旋转，夹爪组件10闭合；当连杆单元24与第二夹爪12远离旋转轴22的一端连接时，在第一驱动件23拉连杆单元24时，夹爪组件10闭合，在第一驱动件23推连杆单元24时，夹爪组件10张开。

第一驱动件23与支架本体21转动连接，在第一驱动件23驱动连杆单元24运动时，第一驱动件23能够具有更强的灵活性，防止第一驱动件23被支架本体21卡住。

请参见4及图5，在一实施例中，第一驱动件23为伸缩气缸，结构简单。在其他实施例中，第一驱动件23还可包括第一电机、螺母及丝杆，第一电机与丝杆连接，丝杆与螺母螺纹连接，螺母被周向限位而无法转动，丝杆旋转而带动螺母往复运动，螺母与连杆单元24固定连接，从而推拉连杆单元24。

连杆单元24包括推拉杆241及推拉块242，推拉杆241与第一驱动件23连接，推拉杆241远离第一驱动件23的一端与推拉块242转动连接，推拉块242的一端与推拉杆241转动连接，另一端与旋转轴22转动连接。如此设置，推拉杆241能够伸到旋转轴22的下方，再通过通过推拉块242推拉旋转轴22，能够保证旋转轴22旋转的顺畅性，避免推拉杆241对于旋转轴22产生轴向上的推力而无法带动旋转轴22旋转。

支架组件20还包括支撑板25，安装组件30上设有滑轨31，支撑板25的端部设有滑块251，滑块251开设有滑槽，滑槽能够沿着滑轨31运动；或者，在安装组件30的侧面开设滑槽，在支撑板25的两侧设置滑轨31，支撑板25沿着滑槽运动。

第一夹爪11与第二夹爪12之间设有检测元件26，检测元件26用于检测夹爪组件10所处的状态。检测元件26可为光电传感器、金属感应传感器等。

检测元件26连接于安装底板211并朝向第二夹爪12设置，检测元件26不需要运动，避免检测元件26在运动的过程中脱落。

安装组件30包括两块连接板32，两块连接板32分别位于支撑板25的两侧，两块连接板32能够使得支架组件20稳定地移动。

安装组件30还包括连接块33，连接块33具有与机架200贴合的连接面331，滑轨31相对于连接面331倾斜设置。也就是说，撕膜机构100倾斜地安装于机架200上，能够满足长距离的输送需求，从而满足对于更多规格的薄膜的夹持，并且，倾斜的撕膜机构100能够降低整体的高度。

安装组件30还包括固定板34，固定板34设于支撑板25远离连接块33的一端，用于连接机架200框体，从而实现撕膜机构100整体的安装牢固性。

撕膜机构100还包括传送组件40，传送组件40设于连接板32上并连接于滑块251，用于驱动滑块251在滑轨31上运动。

请参见图6，传送组件40包括驱动单元41、第一传送带42及两个从动轮43，第一传送带42沿着连接板32的长度方向设置，两个从动轮43分别设于连接板32的两端并连接于第一传送带42，驱动单元41连接于其中一个从动轮43，用于驱动相应的从动轮43旋转，从而实现第一传送带42沿着滑轨31传动。第一传送带42上设有驱动块，驱动块连接于滑块251，第一传送带42传动时，驱动块带着滑块251在滑轨31上运动，从而带动夹爪组件10沿着滑轨31运动。

驱动单元41包括第二电机411、第二传送带412及主动轮413，第二电机411的输出轴上设有驱动轮，第二传送带412分别连接于第二电机411的驱动轮及主动轮413，主动轮413的轮轴连接于其中一个从动轮43，第二电机411驱动驱动轮旋转，通过第二传送带412带动主动轮413旋转，从而带动从动轮43旋转。

请参见图2，本实用新型还提供一种撕膜设备700，包括戳膜机构701及上述的撕膜机构100，戳膜机构701的一端能够伸入避让位13中，进行戳膜。

戳膜机构701包括安装板703、压膜件702和吹气模块，多个压膜件702连接于安装板703，压膜件702能够伸入避让位13中，吹气模块设于压膜件702内并设于压膜件702远离安装板703的一端，吹气模块能够朝向薄膜吹气，辅助其定位。

本实用新型的戳膜机构701和撕膜机构100能够独立运动，即，夹爪组件10张开或夹紧的过程中，戳膜机构701也能够同时升降戳膜，能够提高撕膜设备700整体的效率。

本实用新型的撕膜设备700具有两种撕膜方式：

1.压膜件702向下移动，同时，夹爪组件10沿着滑轨31上升到目标位置，压膜件702下压戳膜，第二夹爪12旋转以使夹爪组件10张开并夹持薄膜；在此过程中，一方面，吹气模块对薄膜吹气，压膜件702抬升，等待下一次戳膜；另一方面，检测元件26检测夹爪组件10是否夹持到位，若夹持到位，则，电机控制夹爪组件10沿着滑轨31向下运动，将薄膜从晶圆上撕下。

2.压膜件702向下移动并戳膜，同时，吹气模块吹气以对薄膜进行定位，压膜件702抬升，等待下一次戳膜；夹爪组件10沿着滑轨31上移到目标位置，第二夹爪12旋转以使夹爪组件10张开并夹持薄膜，检测元件26检测夹爪组件10是否夹持到位，若夹持到位，则，电机控制夹爪组件10沿着滑轨31向下运动，将薄膜从电子元件上撕下。

请参见图7及图8，本实用新型还提供一种电子元件的检测装置1000，用于对手机指纹芯片、屏下指纹芯片、计算机芯片等半导体电子元件进行取片及性能检测。

随着全球智能化的快速发展，特别是手机全面屏幕的发展，各种手机指纹芯片等半导体电子元件顺势发展，针对此，需要向手机等厂商供应电子元件，而在向出厂之前，需要对于电子元件的性能进行检测。

电子元件的检测装置1000包括机架200、上料设备300、撕膜设备700、搬运设备400、多个检测设备500、收料设备600、第一翻转模块800及第二翻转模块900，上料设备300内承载有待测工件，上料设备300、撕膜设备700、搬运设备400、检测设备500、收料设备600、第一翻转模块800及第二翻转模块900均设于机架200上，上料设备300用于上料，撕膜设备700位于上料设备300的一端并用于将工件上的薄膜撕下，搬运设备400能够将完成撕膜的待测的工件搬运至多个检测设备500处进行检测；多个检测设备500之间设有第一翻转模块800，在其中一个检测设备500完成检测的工件经第一翻转模块800翻转后，再供给另外一个检测设备500检测；第二翻转模块900设于检测设备500及收料设备600之间，用于将完成检测的工件进行翻转；收料设备600设于检测设备500的一侧，搬运设备400将第二翻转模块900翻转后的工件搬运至收料设备600内存放。在本实用新型中，工件指的是半导体电子元件。

本实用新型的电子元件的检测装置1000实现电子元件的性能检测，通过上料设备300上料，搬运设备400搬运，多个检测设备500检测，收料设备600收料，第一翻转模块800及第二翻转模块900的翻转，实现自动化检测，提高效率。需要说明的是，在有些电子元件的检测过程中，在工件完成检测设备500的检测后，第二翻转模块900不对工件进行翻转而直接存放至收料设备600内，第二翻转模块900的设置，能够使得电子元件的检测装置1000适用于不同工件的检测。

搬运设备400包括取料拾取模块401，取料拾取模块401位于上料设备300的一端，用于将上料设备300上的待测工件搬运至多个检测设备500处进行检测。

多个检测设备500包括第一检测组件501，第一检测组件501设于上料设备300的一侧，搬运设备400将完成撕膜的工件拾取至第一检测组件501进行检测。

第一检测组件501包括第一料梭511及第一检测模块(图未示)，第一料梭511及第一检测模块均设于机架200上，第一检测模块对于取料拾取模块401从撕膜设备700到第一料梭511搬运的工件的状态进行检测，第一料梭511能够根据第一检测模块的检测信息对于第一料梭511中的工件的位姿进行调整。

第一检测模块为视觉定位，通过相机连续拍摄并判断从撕膜设备700到第一料梭511的工件的状态，并将信息发送，以供第一料梭511调整位姿。

第一料梭511能够在沿着机架200的长度方向运动，或，第一料梭511能够沿着机架200的宽度方向运动，或，第一料梭511包括多个第一工位，多个第一工位中放置有多个工件，第一工位能够分别各自旋转以调整工件，从而将工件摆正，或，第一料梭511能够同时具有以上任意两种功能或三种功能。

搬运设备400还包括第一拾取模块402，第一拾取模块402设于机架200上，第一拾取模块402将第一料梭511上的工件拾取至其他检测设备500中检测。

在一实施例中，第一拾取模块402沿着机架200的宽度方向延伸，可通过第一拾取模块402调整工件在第一料梭511上的Y轴方向(机架200的宽度方向)上的位置，则第一料梭511无需再额外设置能够调整Y轴方向的结构，能够简化结构。

第一料梭511的X轴方向(机架200的长度方向)的位置调整可通过设置传送组件40实现，第一料梭511的多个工位的旋转可通过电机驱动其旋转。

多个检测设备500还包括第二检测组件502，第二检测组件502用于对工件的一个面的性能，例如检测工件的表面是否有划痕、污迹或碎屑等。

第二检测组件502包括第二检测模块512及第二料梭513，第二料梭513位于第一拾取模块402的一端，第二料梭513依次经过第二检测模块512及第一翻转模块800，第二检测模块512在第二料梭513上对于工件进行检测，从而提高检测精度，在完成第二检测模块512的检测后，第一翻转模块800将工件进行翻转。第二料梭513可通过传送带从第二检测模块512的一端传送至第一翻转模块800处。

第二料梭513与第一料梭511位于第一拾取模块402两端的同侧，第一拾取模块402将第一料梭511中的工件拾取至第二料梭513中而无需转弯，能够简化结构。

多个检测设备500还包括第三检测组件503，第三检测组件503位于收料设备600及第二检测组件502之间，第二检测组件502完成检测后，第一翻转模块800将工件翻转后，再到第三检测模块514进行工件反面的检测，检测工件的另外一个面的性能，例如，检测工件的表面是否有划痕、污迹或碎屑等。

第三检测组件503包括第三料梭515及第三检测模块514，第三检测模块514依次经过第三料梭515及第二翻转模块900。第三检测模块514在第三料梭515上对于工件进行检测。第三料梭515可通过传送带从第三检测模块514的一端传送至第二翻转模块900处。

本实用新型通过在检测时直接在料梭上对于工件的不同面进行检测，能够提高取放料稳定性，同时提高稼动率。

在一实施例中，第二检测模块512为屏幕检测模块，用于对于工件的屏幕面进行检测，第三检测模块514为指纹检测模块，用于对于工件的指纹面进行检测，工件先进行屏幕面的检测，再进行指纹面的检测。在其他实施例中，第二检测模块512可为指纹检测模块，第三检测模块514可为屏幕检测模块。

搬运设备400还包括第二拾取模块403，第二拾取模块403位于第三料梭515和第一翻转模块800之间，第二拾取模块403将经第一翻转模块800翻转的工件拾取至第三料梭515中，通过第一拾取模块402和第二拾取模块403两套不同的拾取模块进行取放料，能够提高取放料的稳定性。

搬运设备400还包括收料拾取模块404，第二翻转模块900位于第三检测模块514与收料拾取模块404之间，收料拾取模块404位于第二翻转模块900的一侧。工件在完成指纹面检测后，经过第二翻转模块900翻转，收料拾取模块404根据工件的性能进行分类，并根据不同级别将完成检测的工件存放至收料设备600内。

上料设备300包括推拉组件301及第一料匣302，推拉组件301位于第一料匣302的一侧，第一料匣302内设有多层用于承载工件的第一托盘，上料设备300内具有暂存区，推拉组件301能够将任意一层第一托盘推/拉出至暂存区内。如此，能够实现产品一次性多个工件同时上料，且将工件放置于第一托盘上，在运输过程中不会磨损工件，并通过推拉组件将第一料匣中的任意一层的第一托盘推出或拉出至第一料匣外，实现自动化上料。

在一实施例中，推拉组件301设于第一料匣302远离暂存区的一侧，能够将第一料匣302中的第一托盘推出至暂存区。

请参见图9，在另一实施例中，推拉组件301设于暂存区内，能够将第一料匣302中的第一托盘拉出至暂存区。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种撕膜机构，安装在机架(200)上，包括夹爪组件(10)、安装组件(30)和支架组件(20)，所述夹爪组件(10)连接于所述支架组件(20)，所述支架组件(20)连接于所述安装组件(30)并能够沿着所述安装组件(30)移动；

其特征在于，所述夹爪组件(10)包括第一夹爪(11)及第二夹爪(12)，所述第一夹爪(11)及所述第二夹爪(12)分别连接于所述支架组件(20)，所述第二夹爪(12)能够相对所述支架组件(20)旋转并与所述第一夹爪(11)配合以夹持或松开薄膜，及/或，所述第一夹爪(11)能够相对所述支架组件(20)旋转并与所述第二夹爪(12)配合以夹持或松开薄膜。

2.根据权利要求1所述的撕膜机构，其特征在于，所述夹爪组件(10)为多个，多个夹爪组件(10)并列设置，且相邻的所述夹爪组件(10)间隔设置。

3.根据权利要求1所述的撕膜机构，其特征在于，所述支架组件(20)包括支架本体(21)及旋转轴(22)，所述旋转轴(22)与所述支架本体(21)转动连接，所述支架本体(21)与所述第一夹爪(11)固定连接，所述第二夹爪(12)与所述旋转轴(22)固定连接。

4.根据权利要求3所述的撕膜机构，其特征在于，所述支架组件(20)还包括第一驱动件(23)及连杆单元(24)，所述第一驱动件(23)设于支架本体(21)上并连接于所述连杆单元(24)，所述第一驱动件(23)能够驱动所述连杆单元(24)伸缩，所述连杆单元(24)远离所述第一驱动件(23)的一端与所述旋转轴(22)或所述第二夹爪(12)转动连接，所述第一驱动件(23)通过所述连杆单元(24)驱动所述第二夹爪(12)旋转。

5.根据权利要求1所述的撕膜机构，其特征在于，所述安装组件(30)包括两块连接板(32)，两块连接板(32)分别位于所述支架组件(20)的两侧，所述支架组件(20)的两侧开设有滑槽，两块所述连接板(32)的内侧均设有滑轨(31)，所述滑轨(31)穿设于所述滑槽内，所述支架组件(20)带动所述夹爪组件(10)沿着所述滑轨(31)移动；

或，所述支架组件(20)的两侧设有滑轨(31)，两块所述连接板(32)的内侧均开设有滑槽，所述滑轨(31)穿设于所述滑槽内，所述支架组件(20)带动所述夹爪组件(10)沿着所述滑槽移动。

6.根据权利要求5所述的撕膜机构，其特征在于，所述连接板(32)的一端具有与所述机架(200)贴合的连接面(331)，所述滑轨(31)相对于所述连接面(331)倾斜设置。

7.根据权利要求1所述的撕膜机构，其特征在于，所述第一夹爪(11)及所述第二夹爪(12)之间设有检测元件(26)，所述检测元件(26)用于检测所述夹爪组件(10)所处的状态。

8.一种撕膜设备，其特征在于，包括戳膜机构(701)及如权利要求1或3-7任意一项所述的撕膜机构，所述夹爪组件(10)为多个，多个所述夹爪组件(10)间隔设置以形成避让位(13)，所述戳膜机构(701)能够升降以使所述戳膜机构(701)的一端伸入所述避让位(13)中。

9.根据权利要求8所述的撕膜设备，其特征在于，所述戳膜机构(701)包括安装板(703)、压膜件(702)和吹气模块，多个所述压膜件(702)连接于所述安装板(703)，所述压膜件(702)能够伸入所述避让位(13)中，所述吹气模块设于所述压膜件(702)内并位于所述压膜件(702)远离所述安装板(703)的一端，所述吹气模块能够朝向薄膜吹气。

10.一种电子元件的检测装置，其特征在于，包括：

机架(200)；

上料设备(300)，所述上料设备(300)连接于所述机架(200)，且所述上料设备(300)内承载有待测的工件；

如权利要求8或9所述的撕膜设备，所述撕膜设备连接于所述机架(200)并设于所述上料设备(300)的一端，用于撕下所述工件上的薄膜；

搬运设备(400)，所述搬运设备(400)连接于所述机架(200)，用于搬运所述工件；

多个检测设备(500)，多个所述检测设备(500)分别设于所述机架(200)上，所述搬运设备(400)能够将完成撕膜的所述工件依次搬运至各个所述检测设备(500)进行性能检测；

第一翻转模块(800)，多个所述检测设备(500)之间设有所述第一翻转模块(800)，在其中一个所述检测设备(500)完成检测的工件经所述第一翻转模块(800)翻转，以供另外一个所述检测设备(500)检测；

收料设备(600)，所述收料设备(600)设于所述检测设备(500)的一侧并设于所述机架(200)上，所述搬运设备(400)将完成检测的工件搬运至所述收料设备(600)内；

第二翻转模块(900)，所述第二翻转模块(900)设于所述检测设备(500)及所述收料设备(600)之间，能够将完成检测的所述工件进行翻转。

11.根据权利要求10所述的电子元件的检测装置，其特征在于，多个所述检测设备(500)包括第一检测模块、第一料梭(511)、第二检测模块(512)、第二料梭(513)、第三检测模块(514)和第三料梭(515)，所述第一检测模块、所述第一料梭(511)、所述第二检测模块(512)、所述第二料梭(513)、所述第三检测模块(514)及所述第三料梭(515)均设于机架(200)上，所述第一检测模块能够检测所述搬运设备从所述撕膜设备上搬运的工件所处的状态，所述第一料梭(511)能够根据所述第一检测模块的检测信息调整工件的位姿，所述第二检测模块(512)在所述第二料梭(513)上对工件进行检测，所述第三检测模块(514)在所述第三料梭(515)上对所述工件进行检测。

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