CN218169823U

CN218169823U - 修磨装置

Info

Publication number: CN218169823U
Application number: CN202222418811.6U
Authority: CN
Inventors: 张兴宝; 刘兴平; 陈卫卫; 刘丹丹; 董越杰; 王豪斌; 刘开军; 王倩
Original assignee: Xinte Energy Co Ltd; Inner Mongolia Xinte Silicon Materials Co Ltd
Current assignee: Xinte Energy Co Ltd; Inner Mongolia Xinte Silicon Materials Co Ltd
Priority date: 2022-09-13
Filing date: 2022-09-13
Publication date: 2022-12-30
Anticipated expiration: 2032-09-13

Abstract

本实用新型公开了一种修磨装置，包括：机座；驱动机构可驱动刀具转动；夹持机构设置于机座，夹持机构包括具有第一螺孔的第一支撑板、具有第二螺孔的第二支撑板、第一螺杆、第二螺杆，第一支撑板与第二支撑板间隔设置，第一螺杆的一端穿设在第一螺孔中，第二螺杆的一端穿设在第二螺孔中；第一螺杆的一端的端部设有第一夹持部，第二螺杆的一端的端部设有第二夹持部，旋转第一螺杆与第二螺杆中的至少一个，第一夹持部与第二夹持部相互靠近或远离；吸尘装置包括吸尘筒，吸尘筒的吸入口邻近刀具设置。通过夹持部可以夹持修整的电极头，通过刀具修整电极头，吸尘筒吸收产生的碎屑，修整效率高，修整效果一致性好，不需要清扫碎屑。

Description

修磨装置

技术领域

本实用新型属于多晶硅技术领域，具体涉及一种修磨装置。

背景技术

目前，在多晶硅生产工序完成后，电极头及磁环表面会附着残留杂质，影响后续产品质量。现阶段均采取手动打磨机人工打磨，打磨效果不一致，容易损伤电极头镀层。人工打磨处理数次后，电极头镀层会被修磨掉，只能采取更换电极头的方式进行修复，影响生产进度及工作强度，并且劳动强度大，效率低。电极头修磨技术的落后不仅会造成产品的成本提高，生产效率降低，而且会直接影响产品的质量。现阶段的修磨工艺是单人单台针对单个电极头进行修磨，效率低下，并且修磨后产生的碎屑任意飞溅，清扫困难。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种修磨装置，用以解决电极头的修磨效率低，修磨产生的碎屑任意飞溅，不易清扫的问题。

本实用新型实施例提供了一种修磨装置，包括：

机座；

驱动机构，所述驱动机构设置于所述机座上；

刀具，所述刀具与所述驱动机构连接，所述驱动机构可驱动所述刀具转动；

夹持机构，所述夹持机构设置于所述机座上，所述夹持机构包括具有第一螺孔的第一支撑板、具有第二螺孔的第二支撑板、第一螺杆、第二螺杆，所述第一支撑板与所述第二支撑板间隔设置，所述第一螺杆的一端穿设在所述第一螺孔中，所述第二螺杆的一端穿设在所述第二螺孔中；

所述第一螺杆的一端的端部设有第一夹持部，所述第二螺杆的一端的端部设有第二夹持部，旋转所述第一螺杆与所述第二螺杆中的至少一个，所述第一夹持部与所述第二夹持部相互靠近或远离；

吸尘装置，所述吸尘装置包括吸尘筒，所述吸尘筒的吸入口邻近所述刀具设置。

其中，所述机座包括：

第一横板、第二横板，所述第一横板与所述第二横板平行间隔设置；

第一立板，所述第一立板的下端与所述第一横板连接，所述第一立板的上端与所述第二横板连接，所述第一支撑板与所述第二支撑板设置于所述第二横板远离所述第一横板的一侧。

其中，所述机座包括：

第三横板，所述第三横板设置于所述第二横板远离所述第一横板的一侧，所述第三横板与所述第二横板平行间隔设置；所述吸尘筒设置于所述第二横板与所述第三横板之间；

第二立板，所述第二立板的下端与所述第二横板连接，所述第二立板的上端与所述第三横板连接。

其中，所述吸尘装置还包括：

真空装置，所述吸尘筒的出口与所述真空装置的进气口连通；

收纳箱，所述真空装置的出气口与所述收纳箱连通，所述真空装置与所述收纳箱设置于所述第三横板上。

其中，所述第一支撑板与所述第二支撑板平行间隔设置且垂直于所述第二横板，所述刀具设置于所述第一支撑板与所述第二支撑板之间。

其中，所述驱动机构包括：

驱动电机，所述驱动电机设置于所述第一横板与所述第二横板之间；

第一齿轮与第二齿轮，所述第一齿轮与所述驱动电机的驱动轴连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合；

支撑座与连接杆，所述连接杆可转动地设置于所述支撑座上，所述第二齿轮套设在所述连接杆上，所述刀具设置于所述连接杆上；

所述第一齿轮带动所述第二齿轮转动，所述第二齿轮转动带动所述连接杆转动。

其中，所述第二齿轮上连接有所述刀具。

其中，所述吸尘装置还包括：

收纳箱，所述真空装置的出气口与所述收纳箱连通。

其中，所述收纳箱上设有通孔，所述通孔上设有过滤网。

其中，所述第一螺杆与所述第二螺杆的轴线共线。

在本实用新型实施例的修磨装置中，所述驱动机构设置于所述机座上，所述刀具与所述驱动机构连接，所述驱动机构可驱动所述刀具转动；所述夹持机构设置于所述机座上，所述夹持机构包括具有第一螺孔的第一支撑板、具有第二螺孔的第二支撑板、第一螺杆、第二螺杆，所述第一支撑板与所述第二支撑板间隔设置，所述第一螺杆的一端穿设在所述第一螺孔中，所述第二螺杆的一端穿设在所述第二螺孔中；所述第一螺杆的一端的端部设有第一夹持部，所述第二螺杆的一端的端部设有第二夹持部，旋转所述第一螺杆与所述第二螺杆中的至少一个，所述第一夹持部与所述第二夹持部相互靠近或远离；吸尘装置，所述吸尘装置包括吸尘筒，所述吸尘筒的吸入口邻近所述刀具设置。

在使用过程中，可以将待修整的电极头设置于第一夹持部与第二夹持部之间，通过第一夹持部与第二夹持部可以夹持修整的电极头，通过刀具修整电极头，通过吸尘装置中的吸尘筒可以吸收产生的碎屑和飞尘，修整的效率高，修整效果一致性好，不需要清扫碎屑，减少工作强度。

附图说明

图1为修磨装置的一个结构示意图；

图2为修磨装置的另一个结构示意图。

附图标记

第一横板11；第二横板12；第三横板13；

第一立板14；第二立板15；

刀具20；

第一支撑板21；第二支撑板22；

第一螺杆31；第二螺杆32；

吸尘筒40；第一夹持部41；第二夹持部42；过滤网43；

盖体44；连接管45；吸入管46；真空装置47；收纳箱48；

驱动电机50；第一齿轮51；第二齿轮52；

支撑座53；连接杆54。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

下面结合附图1至图2所示，通过具体的实施例及其应用场景对本实用新型实施例提供的修磨装置进行详细地说明。

如图1和图2所示，本实用新型实施例的修磨装置，包括：机座、驱动机构、刀具20、夹持机构与吸尘装置，驱动机构设置于机座上，刀具20与驱动机构连接，驱动机构可驱动刀具20转动，通过驱动机构驱动刀具20转动可以修整电极头。夹持机构设置于机座上，夹持机构包括具有第一螺孔的第一支撑板21、具有第二螺孔的第二支撑板22、第一螺杆31、第二螺杆32，第一支撑板21与第二支撑板22间隔设置，第一螺杆31的一端穿设在第一螺孔中，第一螺杆31的一端在第一螺孔中可以旋转，第二螺杆32的一端穿设在第二螺孔中，第二螺杆32的一端在第二螺孔中可以旋转。

第一螺杆31的一端的端部可以设有第一夹持部41，第二螺杆32的一端的端部可以设有第二夹持部42，第一夹持部41与第二夹持部42可以位于第一支撑板21与第二支撑板22之间，以便于第一夹持部41与第二夹持部42夹持电极头。旋转第一螺杆31与第二螺杆32中的至少一个，第一夹持部41与第二夹持部42相互靠近或远离，通过旋转第一螺杆31与第二螺杆32中的至少一个可以调节第一夹持部41与第二夹持部42之间的间距，通过第一夹持部41与第二夹持部42可以夹持待修整的电极头。刀具20可以邻近第一夹持部41与第二夹持部42设置。第一夹持部41与第二夹持部42上和电极头对应的区域可以设置弹性层，弹性层具有缓冲作用，在第一夹持部41与第二夹持部42夹持待修整的电极头时，通过弹性层直接与电极头接触可以减少对于电极头的损伤。

吸尘装置可以包括吸尘筒40，吸尘筒40的数量可以为一个或多个，吸尘筒40的吸入口邻近刀具20设置，通过吸尘筒40可以吸收产生的碎屑和飞尘，不需要清扫碎屑。吸尘筒40的位置可以调节，以便于根据需要调节吸尘筒40的吸入口的朝向与位置。吸尘筒40与刀具20之间的相对位置距离可以调节，以便于可以产生不同的吸附强度。

在使用过程中，可以将待修整的电极头设置于第一夹持部41与第二夹持部42之间，通过第一夹持部41与第二夹持部42可以夹持修整的电极头，避免手持所带来的安全隐患。可以通过刀具修整电极头，通过吸尘装置中的吸尘筒40可以吸收产生的碎屑和飞尘，修整的效率高，修整效果一致性好，不需要清扫碎屑，减少工作强度。此装置针对电极头及磁环的修磨，可以将使用过的电极头及磁环修磨回原貌，并保证尽量不损伤镀层，从而达到生产需要，能提高加工产品质量。该装置结构简单，布置合理，制造成本低，具有效率高、稳定性好、产品质量统一且标准的优点。

在一些实施例中，机座可以包括：第一横板11、第二横板12、第一立板14，第一横板11与第二横板12平行间隔设置，第一立板14的下端与第一横板11连接，第一立板14的上端与第二横板12连接，第一立板14与第一横板11、第二横板12可以垂直，第一支撑板21与第二支撑板22设置于第二横板12远离第一横板11的一侧，第一螺杆31、第二螺杆32设置于对应的支撑板上。通过第一横板11、第二横板12、第一立板14可以连接成稳定的机座结构。第一立板14的数量可以为两个，两个第一立板14可以平行间隔设置，第一立板14可以设置于第一横板11与第二横板12的边缘区域，第一立板14可以具有支撑作用。

可选地，机座包括：第三横板13与第二立板15，第三横板13设置于第二横板12远离第一横板11的一侧，第三横板13与第二横板12平行间隔设置；吸尘筒40设置于第二横板12与第三横板13之间，第一支撑板21与第二支撑板22设置于第二横板12与第三横板13之间，通过第二横板12与第三横板13可以将碎屑限定在第二横板12与第三横板13之间，防止上下飞溅。

第二立板15的下端与第二横板12连接，第二立板15的上端与第三横板13连接。通过第二横板12、第三横板13与第二立板15可以限定出一个空间，可以将第一支撑板21与第二支撑板22设置于该空间中，可以具有保护作用，防止对周围人员带来伤害。

可选地，吸尘装置还包括：真空装置47与收纳箱48，吸尘筒40的出口与真空装置47的进气口连通，吸尘筒40的出口与真空装置47的进气口可以通过吸入管46连通，真空装置47的出气口与收纳箱48连通，真空装置47与收纳箱48设置于第三横板13上。通过真空装置47可以吸收碎屑，可以将碎屑吸收到收纳箱48中进行储存。真空装置47与收纳箱48可以设置于第三横板13远离第二横板12的一侧，将刀具20与真空装置47、收纳箱48分别设置在第三横板13的两侧，可以防止碎屑飞溅到真空装置47、收纳箱48上。

可选地，第一支撑板21与第二支撑板22平行间隔设置，第一支撑板21与第二支撑板22垂直于第二横板12，刀具20设置于第一支撑板21与第二支撑板22之间，便于对待修整的电极头进行修整。通过第二横板12、第三横板13与第二立板15可以限定出一个空间，将刀具20设置于该空间中，可以具有保护作用，防止对周围人员带来伤害。第一支撑板21与第二支撑板22之间的间隔距离可以调节，可以增大第一夹持部41与第二夹持部42之间的距离调节范围。第一支撑板21与第二支撑板22的位置可以调节，可以根据需要改变第一支撑板21与第二支撑板22的位置，以便适应不同的电极头。在第二横板12上可以设置多个安装孔，安装孔可以为非圆形，比如，安装孔可以为椭圆形、多边形，在第一支撑板21与第二支撑板22的底部可以设置插杆，插杆可以与安装孔相匹配，插杆可以插入安装孔中，在需要调节第一支撑板21与第二支撑板22的位置时，可以将插杆插入不同位置的安装孔中。

在第二横板12上远离第一横板11的一侧表面，可以设置第一刻度线与第二刻度线，第一刻度线可以沿着第一螺杆31的长度方向分布，第二刻度线可以沿着垂直于第一螺杆31的方向分布，以便可以准确地确定电极头所在的位置。

可选地，驱动机构可以包括：驱动电机50、第一齿轮51、第二齿轮52、支撑座53与连接杆54，驱动电机50可以为气动马达，第一齿轮51、第二齿轮52可以为锥齿轮。驱动电机50设置于第一横板11与第二横板12之间，第一齿轮51与驱动电机50的驱动轴连接，第一齿轮51与第二齿轮52啮合，通过驱动电机50的驱动轴可以带动第一齿轮51转动。驱动电机50设置于第一横板11与第二横板12之间，刀具20设置于第二横板12、第三横板13之间，将刀具20与驱动电机50设置在第二横板12的两侧，防止碎屑飞溅到驱动电机50上，避免碎屑进入驱动电机50中损坏驱动电机50。

连接杆54可转动地设置于支撑座53上，支撑座53上可以设置转孔，连接杆54可以穿设在转孔中，连接杆54在转孔中可以转动。第二齿轮52套设在连接杆54上，刀具20可以设置于连接杆54上。通过驱动电机50的驱动轴可以带动第一齿轮51转动，第一齿轮51可以带动第二齿轮52转动，第二齿轮52转动带动连接杆54转动，连接杆54可以带动刀具20转动，通过刀具20可以修整电极头。支撑座53上可以设置轴承，连接杆54可以穿设在轴承中，便于连接杆54的转动。转孔中可以设置轴承，连接杆54可以穿设在轴承中，便于连接杆54的转动。

可选地，第二齿轮52上可以连接有刀具20，在第二齿轮52上不具有键齿的区域可以连接有刀具20，可以同时通过连接杆54与第二齿轮52上的刀具20修整电极头。

可选地，吸尘装置还包括：真空装置47与收纳箱48，吸尘筒40的出口与真空装置47的进气口连通，真空装置47的出气口与收纳箱48连通，真空装置47的出气口与收纳箱48可以通过连接管45连通。通过真空装置47可以吸收碎屑，可以将碎屑吸收到收纳箱48中进行储存。

可选地，收纳箱48上设有通孔，通孔上设有过滤网43，通过通孔便于气体的流出，通过过滤网43可以防止收纳箱48中碎屑流出，便于通过真空装置47吸收碎屑。收纳箱48的顶部可以设置开口，开口上可以设置盖体44，盖体44可以打开或封闭开口，在需要清除碎屑时，可以打开盖体44来清理收纳箱48中的碎屑。

在一些实施例中，第一螺杆31与第二螺杆32的轴线可以共线，便于稳定地夹持待修整的电极头。连接杆54可以与第一螺杆31、第二螺杆32平行设置，便于刀具20修整夹持部上夹持的待修整的电极头。第一螺杆31与第二螺杆32可以均和第二横板12、第三横板13平行间隔设置。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本实用新型的保护之内。

Claims

1.一种修磨装置，其特征在于，包括：

机座；

驱动机构，所述驱动机构设置于所述机座上；

2.根据权利要求1所述的修磨装置，其特征在于，所述机座包括：

3.根据权利要求2所述的修磨装置，其特征在于，所述机座包括：

4.根据权利要求3所述的修磨装置，其特征在于，所述吸尘装置还包括：

5.根据权利要求2所述的修磨装置，其特征在于，所述第一支撑板与所述第二支撑板平行间隔设置且垂直于所述第二横板，所述刀具设置于所述第一支撑板与所述第二支撑板之间。

6.根据权利要求2所述的修磨装置，其特征在于，所述驱动机构包括：

7.根据权利要求6所述的修磨装置，其特征在于，所述第二齿轮上连接有所述刀具。

8.根据权利要求1所述的修磨装置，其特征在于，所述吸尘装置还包括：

收纳箱，所述真空装置的出气口与所述收纳箱连通。

9.根据权利要求8所述的修磨装置，其特征在于，所述收纳箱上设有通孔，所述通孔上设有过滤网。

10.根据权利要求1所述的修磨装置，其特征在于，所述第一螺杆与所述第二螺杆的轴线共线。