CN218115656U - 一种新型精密电镀液温度控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型精密电镀液温度控制系统,属于电镀液温度控制领域,一种新型精密电镀液温度控制系统,包括水槽和装配在水槽内部的镀液槽,水槽的内部设置有水,镀液槽的内部设置有热镀液,还包括有加热模块、温度监测模块和自动加水模块,温度监测模块包括有安装在水槽上的主机、第一铂电阻温度传感器和第二铂电阻温度传感器,主机、第一铂电阻温度传感器和第二铂电阻温度传感器串联连接,第一铂电阻温度传感器的下部为镀液温度监测部,它可以实现,通过镀液槽和第二铂电阻温度传感器同时进行串联温度控制,大大提高镀液控温精度和控温安全性,减少控温失控问题,保护镀液,减小安全隐患。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀液温度控制领域,更具体地说,涉及一种新型精密电镀液温度控制系统。
背景技术
精密电镀过程中,电镀槽液温度是影响电镀效果的一个重要参数,在镀镍过程中,电镀槽液温度过低时,镀层内应力大,造成镀层的结合强度低,电镀槽液温度过高时,将会发生镍盐水解,生成的氢氧化镍胶体使胶体氢气泡滞留,镀层出现针孔,只有在电镀槽液温度适中时,获得的镀镍层内应力低,且延展性好,因此,对精密电镀槽液温度进行精确检测并控制实为必要;
目前,现有技术中的电镀槽液温度控制,比较常用的有2种方法:
一种是温度传感器插在电镀液中,用电热管直接温控加热电镀液,使用这种温度控制方式时由于电热管周边的温升会比较高,容易引起镀液的失效,由此,此控温方式使用较少;
另一种是温度传感器插在水中,用电热管温度控制加热水,通过水再去加热镀液,这种温度控制方式,其水温受控制很稳定,但镀液温度波动较大,容易出现控温失控的问题,镀液的温度变化较大后,精密电镀的工艺质量会受到一定的影响,出现安全隐患,为此我们提出一种新型精密电镀液温度控制系统。
实用新型内容
1.要解决的技术问题
针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种新型精密电镀液温度控制系统,它可以实现,通过镀液槽和第二铂电阻温度传感器同时进行串联温度控制,大大提高镀液控温精度和控温安全性,减少控温失控问题,保护镀液,减小安全隐患。
2.技术方案
为解决上述问题,本实用新型采用如下的技术方案。
一种新型精密电镀液温度控制系统,包括水槽和装配在水槽内部的镀液槽,所述水槽的内部设置有水,所述镀液槽的内部设置有热镀液,还包括有加热模块、温度监测模块和自动加水模块;
所述温度监测模块包括有安装在水槽上的主机、第一铂电阻温度传感器和第二铂电阻温度传感器,所述主机、第一铂电阻温度传感器和第二铂电阻温度传感器串联连接,所述第一铂电阻温度传感器的下部为镀液温度监测部,所述镀液温度监测部插入镀液槽内部的热镀液中,所述第二铂电阻温度传感器的下部水温度监测部,所述水温度监测部插入水槽内部的水中。
进一步的,加热模块包括有与主机电性连接的加热丝,所述加热丝位于水槽和镀液槽之间。
进一步的,所述自动加水模块包括有液位传感器、出水管和电磁阀,所述液位传感器安装在水槽上,所述出水管固定连接在水槽外侧的上部,所述电磁阀安装在出水管上,且所述液位传感器和电磁阀均与主机电性连接。
进一步的,所述温度控制系统还包括有水垢清理机构,所述水垢清理机构包括有转动连接在水槽内壁上的环形座,所述环形座的下部固定连接有多个U型刮刀,所述U型刮刀和镀液槽之间形成有加热工作腔,所述加热丝位于加热工作腔的内部,所述水槽上还设置有动力组件。
进一步的,所述U型刮刀的中间位置且位于镀液槽的下部固定连接有螺旋推水板,所述螺旋推水板从上至下的螺旋反向和U型刮刀的转动方向相反。
进一步的,所述U型刮刀的内侧从上至下设置有多个分水板,所述分水板与其旋转方向相对的一侧朝上侧倾斜。
3.有益效果
相比于现有技术,本实用新型的优点在于:
(1)本方案通过镀液槽和第二铂电阻温度传感器同时进行串联温度控制,镀液控温精度和控温安全性大大提高,有效减少热电偶等故障引起控温失控问题,保护镀液,减小安全隐患。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的均布剖切结构示意图;
图3为本实用新型的整体剖切结构示意图;
图4为本实用新型水垢清理机构的结构示意图。
图中标号说明:
1、水槽;2、镀液槽;3、主机;4、加热丝;5、第一铂电阻温度传感器;6、第二铂电阻温度传感器;7、液位传感器;8、出水管;9、电磁阀;10、传动电机;11、锥齿轮;12、锥齿圈;13、环形座;14、U型刮刀;15、分水板;16、螺旋推水板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例:
请参阅图1-4所示,一种新型精密电镀液温度控制系统,包括水槽1和装配在水槽1内部的镀液槽2,水槽1和镀液槽2均为上侧开口的筒状结构,水槽1的内部设置有水,镀液槽2的内部设置有热镀液;
本技术方案的核心之处在于,温度控制系统还包括有加热模块、温度监测模块和自动加水模块;
其中,温度监测模块安装在水槽1上,用以监测水和热镀液的温度,并根据水和热镀液的温度调节加热模块的加热温度;
在此,温度监测模块包括有安装在水槽1上的主机3、第一铂电阻温度传感器5和第二铂电阻温度传感器6,主机3、第一铂电阻温度传感器5和第二铂电阻温度传感器6串联连接,第一铂电阻温度传感器5为控温方式为PID控制,第一铂电阻温度传感器5的下部为镀液温度监测部,镀液温度监测部插入镀液槽2内部的热镀液中,用于监测热镀液的温度,并形成镀液温度信号发送给主机3,第二铂电阻温度传感器6的控温方式为位式控制,第二铂电阻温度传感器6的下部水温度监测部,水温度监测部插入水槽1内部的水中,用于监测水温,并形成水温信号发送给主机3,主机3根据镀液温度信号和水温信号进行运算具体的运算过程通过电子程序进行,为成熟的现有技术,在此不再进行详细赘述,对加热模块进行控制,调节加热模块的加热温度。
在此,镀液设定温度为镀液工艺温度,水设定温度比镀液设定温度高。一般高于5℃以上,这样保证镀液温度稳定控制在工艺设定温度。
其中,加热模块安装在镀液槽2内部,用于对水槽1的内部进行加热;
在此,加热模块包括有与主机3电性连接的加热丝4,加热丝4位于水槽1和镀液槽2之间,当加热丝4启动后会适当大量的热能对水槽1内部的水进行加热,且主机3输出端的电能功率不同,加热的温度也不同,达到温度调节的目的。
其中,自动加水模块安装在水槽1上,用于在水槽1内部水较少时,自动向水槽1的内部添加水;
自动加水模块包括有液位传感器7、出水管8和电磁阀9,液位传感器7安装在水槽1上,出水管8固定连接在水槽1外侧的上部,电磁阀9安装在出水管8上,且液位传感器7和电磁阀9均与主机3电性连接,当液位传感器7检测到水液面较低时,会向主机3发送缺水信号,让主机3将电磁阀9启动,通过出水管8向水槽1的内部进行供水。
请参阅图2-4所示,为了减少水槽1内壁上的水垢,温度控制系统还包括有水垢清理机构,水垢清理机构包括有转动连接在水槽1内壁上的环形座13,环形座13的下部固定连接有多个U型刮刀14,U型刮刀14和镀液槽2之间形成有加热工作腔,加热丝4位于加热工作腔的内部,水槽1上还设置有动力组件,用于带动环形座13进行转动;
此时,当动力组件带动锥齿圈12进行转动时会带动锥齿圈12下部的U型刮刀14一起进行转动,U型刮刀14转动时会对水槽1内壁上的水垢进行清理,同时,会对水槽1内部的水进行搅拌,让水和加热丝4能够均匀的接触,提升加热效果。
在此,动力组件包括有传动电机10、锥齿轮11和锥齿圈12,传动电机10固定连接在水槽1上,锥齿圈12固定连接在环形座13上侧,锥齿轮11固定连接在传动电机10的输出端,且锥齿轮11和锥齿圈12啮合连接,当传动电机10启动后会带动锥齿轮11进行转动,锥齿轮11转动时会通过锥齿圈12对环形座13进行推动,为环形座13提供转动所需的动能。
为了进一步的提升水槽1内部水的流动性,U型刮刀14的中间位置且位于镀液槽2的下部固定连接有螺旋推水板16,螺旋推水板16从上至下的螺旋反向和U型刮刀14的转动方向相反,当U型刮刀14转动时会带动螺旋推水板16进行转动,螺旋推水板16转动时会将水槽1内部中间位置的水向上进行推动。
为了进一步的提升水的流动性,U型刮刀14的内侧从上至下设置有多个分水板15,分水板15与其旋转方向相对的一侧朝上侧倾斜,此时,当U型刮刀14转动时会带动分水板15一起进行转动,分水板15转动时会将水槽1内部边缘位置的水向下进行推动,与螺旋推水板16配合,形成水的循环流动。
在使用时:通过第一铂电阻温度传感器5监测热镀液的温度,并形成镀液温度信号发送给主机3,通过第二铂电阻温度传感器6监测水温,并形成水温信号发送给主机3,主机3根据镀液温度信号和水温信号进行运算,对加热模块进行控制,调节加热模块的加热温度,对水温进行控制;
通过镀液槽2和第二铂电阻温度传感器6同时进行串联温度控制,镀液控温精度和控温安全性大大提高,有效减少热电偶等故障引起控温失控问题,保护镀液,减小安全隐患。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式;但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种新型精密电镀液温度控制系统,包括水槽(1)和装配在水槽(1)内部的镀液槽(2),其特征在于:所述水槽(1)的内部设置有水,所述镀液槽(2)的内部设置有热镀液,还包括有加热模块、温度监测模块和自动加水模块;
所述温度监测模块包括有安装在水槽(1)上的主机(3)、第一铂电阻温度传感器(5)和第二铂电阻温度传感器(6),所述主机(3)、第一铂电阻温度传感器(5)和第二铂电阻温度传感器(6)串联连接,所述第一铂电阻温度传感器(5)的下部为镀液温度监测部,所述镀液温度监测部插入镀液槽(2)内部的热镀液中,所述第二铂电阻温度传感器(6)的下部水温度监测部,所述水温度监测部插入水槽(1)内部的水中。
2.根据权利要求1所述的一种新型精密电镀液温度控制系统,其特征在于:加热模块包括有与主机(3)电性连接的加热丝(4),所述加热丝(4)位于水槽(1)和镀液槽(2)之间。
3.根据权利要求1所述的一种新型精密电镀液温度控制系统,其特征在于:所述自动加水模块包括有液位传感器(7)、出水管(8)和电磁阀(9),所述液位传感器(7)安装在水槽(1)上,所述出水管(8)固定连接在水槽(1)外侧的上部,所述电磁阀(9)安装在出水管(8)上,且所述液位传感器(7)和电磁阀(9)均与主机(3)电性连接。
4.根据权利要求2所述的一种新型精密电镀液温度控制系统,其特征在于:所述温度控制系统还包括有水垢清理机构,所述水垢清理机构包括有转动连接在水槽(1)内壁上的环形座(13),所述环形座(13)的下部固定连接有多个U型刮刀(14),所述U型刮刀(14)和镀液槽(2)之间形成有加热工作腔,所述加热丝(4)位于加热工作腔的内部,所述水槽(1)上还设置有动力组件。
5.根据权利要求4所述的一种新型精密电镀液温度控制系统,其特征在于:所述U型刮刀(14)的中间位置且位于镀液槽(2)的下部固定连接有螺旋推水板(16),所述螺旋推水板(16)从上至下的螺旋反向和U型刮刀(14)的转动方向相反。
6.根据权利要求4所述的一种新型精密电镀液温度控制系统,其特征在于:所述U型刮刀(14)的内侧从上至下设置有多个分水板(15),所述分水板(15)与其旋转方向相对的一侧朝上侧倾斜。
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CN202221715789.5U CN218115656U (zh) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | 一种新型精密电镀液温度控制系统 |
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CN117822083A (zh) * | 2024-03-06 | 2024-04-05 | 苏州尊恒半导体科技有限公司 | 一种晶圆电镀液循环温控系统 |
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2022
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