CN218049303U

CN218049303U - 一种晶圆摇摆喷淋机构

Info

Publication number: CN218049303U
Application number: CN202222300891.5U
Authority: CN
Inventors: 马彪; 徐涛; 尤良伟
Original assignee: Nanjing Huayitai Electronic Technology Co Ltd
Current assignee: Nanjing Huayitai Electronic Technology Co Ltd
Priority date: 2022-08-31
Filing date: 2022-08-31
Publication date: 2022-12-16
Anticipated expiration: 2032-08-31

Abstract

本实用新型涉及喷淋机构技术领域，尤其为一种晶圆摇摆喷淋机构，包括工作台，所述工作台的顶部固连接有旋转平台，所述旋转平台的顶部设置有晶圆，所述工作台顶部的右侧开设有收纳槽，所述收纳槽内腔滑动连接有升降台，所述升降台底部的后侧固定连接有电机，所述工作台底部的右侧固定连接有支架。本实用新型具备结构紧凑、空间利用率高，密封性好，药液喷射均匀和效率高等优势的优点，在实际使用过程中，通过升降气缸、电机、喷头和旋转平台的配合使用，通过实现同步运动，结构紧凑，空间利用率高的效果，喷头上集成两种喷嘴，可通过高度、角度调节，可对晶圆进行全面清洗，从而达到空间利用率高、密封性好、清洗高质高效等优势。

Description

一种晶圆摇摆喷淋机构

技术领域

本实用新型涉及喷淋机构技术领域，具体为一种晶圆摇摆喷淋机构。

背景技术

晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

现代工艺对用于外延的晶圆表面洁净度、平坦度、弯曲度的要求都非常高，为了保证晶圆表面的清洁，经常需要对晶圆进行清洗，晶圆清洗分为手动清洗和自动清洗，现有晶圆摇摆喷淋机构的自动清洗效率低、合格率差的等问题，无法逐渐替代手动清洗，人工清洗但却总是不能够完全将晶圆表面清洗干净，影响后续处理，传统的喷淋机构体积庞大、空间利用率低，密封性差等问题，又不便于使用者使用，因此为解决上述问题，一种晶圆摇摆喷淋机构，亟待开发。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆摇摆喷淋机构，具备结构紧凑、空间利用率高，密封性好，药液喷射均匀和效率高等优势的优点，解决了现有晶圆摇摆喷淋机构的自动清洗效率低、合格率差的等问题，无法逐渐替代手动清洗，人工清洗但却总是不能够完全将晶圆表面清洗干净，影响后续处理，传统的喷淋机构体积庞大、空间利用率低，密封性差等问题，又不便于使用者使用，因此为解决上述问题，一种晶圆摇摆喷淋机构，亟待开发的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆摇摆喷淋机构，包括工作台，所述工作台的顶部固连接有旋转平台，所述旋转平台的顶部设置有晶圆，所述工作台顶部的右侧开设有收纳槽，所述收纳槽内腔滑动连接有升降台，所述升降台底部的后侧固定连接有电机，所述工作台底部的右侧固定连接有支架，所述支架的右侧固定连接有升降气缸，所述升降气缸的输出端与升降台固定连接，所述升降台的底部且位于电机的前侧通过轴承转动连接有进液管，所述进液管的顶端贯穿至升降台的顶部并连通有连接管，所述连接管的顶部固定连接有驱动臂，所述驱动臂底部的左侧固定连接有喷头，所述喷头底部的前侧与后侧均设置有喷嘴，所述喷头的内腔设置有集成喷液管，所述集成喷液管的数量为两个，所述进液管的表面固定连接有皮带轮一，所述电机的输出轴贯穿至升降台的顶部并固定连接有皮带轮二，所述皮带轮一与皮带轮二的表面通过皮带传动连接。

优选的，所述皮带轮一与皮带轮二的表面套设有保护罩，所述保护罩的底部与升降台固定连接。

优选的，所述旋转平台内腔的一侧开设有凹槽，所述凹槽的形状为方形。

优选的，所述支架的一侧设置有斜面，且斜面光滑。

优选的，所述收纳槽的槽形为L形，且收纳槽的内腔设置有弧面。

优选的，所述工作台顶部的左侧固定连接有集液桶，所述集液桶与喷头配合使用。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过喷嘴喷淋清洗晶圆，清洗完毕之后，换集成喷液管喷射高压氮气，对晶圆表面进行干燥处理，处理完启动升降气缸，升降气缸带动喷头上升，启动电机，电机带动喷头旋转并通过升降气缸将喷头移回集液桶内，从而达到清洗效果好的目的，使得该晶圆摇摆喷淋机构，具备结构紧凑、空间利用率高，密封性好，药液喷射均匀和效率高等优势的优点，在实际使用过程中，通过升降气缸、电机、喷头和旋转平台的配合使用，通过实现同步运动，结构紧凑，空间利用率高的效果，喷头上集成两种喷嘴，可通过高度、角度调节，可对晶圆进行全面清洗，从而达到空间利用率高、密封性好、清洗高质高效等优势，解决了现有晶圆摇摆喷淋机构的自动清洗效率低、合格率差的等问题，无法逐渐替代手动清洗，人工清洗但却总是不能够完全将晶圆表面清洗干净，影响后续处理，传统的喷淋机构体积庞大、空间利用率低，密封性差等问题，又不便于使用者使用，因此为解决上述问题，一种晶圆摇摆喷淋机构，亟待开发的问题。

2、本实用新型通过保护罩的设置，能够对皮带轮一和皮带轮二起到保护作用，避免皮带轮一和皮带轮二受到外界撞击造成损坏，通过凹槽的设置，能够便于使用者将清洗后的晶圆取出，从而提高喷嘴的清洗效率，通过斜面的设置，能够减少支架的加工成本，并提高支架的美观，通过收纳槽和弧面的配合使用，能够对升降台起到收纳作用，防止升降台受到外界撞击，通过集液桶的设置，能够起到收集药液的作用，从而方便喷嘴对晶圆进行清洗。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构的侧视图；

图3为本实用新型结构的立体示意图一；

图4为本实用新型结构的立体示意图二。

图中：1、工作台；2、旋转平台；3、晶圆；4、电机；5、集液桶；6、连接管；7、喷嘴；8、集成喷液管；9、驱动臂；10、喷头；11、皮带轮一；12、保护罩；13、进液管；14、支架；15、升降气缸；16、收纳槽；17、凹槽；18、皮带轮二；19、升降台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如附图1至附图4所示：本实用新型提供一种晶圆摇摆喷淋机构，包括工作台1，工作台1的顶部固连接有旋转平台2，旋转平台2的顶部设置有晶圆3，工作台1顶部的右侧开设有收纳槽16，收纳槽16内腔滑动连接有升降台19，升降台19底部的后侧固定连接有电机4，工作台1底部的右侧固定连接有支架14，支架14的右侧固定连接有升降气缸15，升降气缸15的输出端与升降台19固定连接，升降台19的底部且位于电机4的前侧通过轴承转动连接有进液管13，进液管13的顶端贯穿至升降台19的顶部并连通有连接管6，连接管6的顶部固定连接有驱动臂9，驱动臂9底部的左侧固定连接有喷头10，喷头10底部的前侧与后侧均设置有喷嘴7，工作台1顶部的左侧固定连接有集液桶5，集液桶5与喷头10配合使用，通过集液桶5的设置，能够起到收集药液的作用，从而方便喷嘴7对晶圆3进行清洗，喷头10的内腔设置有集成喷液管8，集成喷液管8的数量为两个，进液管13的表面固定连接有皮带轮一11，电机4的输出轴贯穿至升降台19的顶部并固定连接有皮带轮二18，皮带轮一11与皮带轮二18的表面套设有保护罩12，保护罩12的底部与升降台19固定连接，通过保护罩12的设置，能够对皮带轮一11和皮带轮二18起到保护作用，避免皮带轮一11和皮带轮二18受到外界撞击造成损坏，皮带轮一11与皮带轮二18的表面通过皮带传动连接。

参考如图3和图4，旋转平台2内腔的一侧开设有凹槽17，凹槽17的形状为方形，通过凹槽17的设置，能够便于使用者将清洗后的晶圆3取出，从而提高喷嘴7的清洗效率。

参考如图1、图3和图4，支架14的一侧设置有斜面，且斜面光滑，通过斜面的设置，能够减少支架14的加工成本，并提高支架14的美观。

参考如图3和图4，收纳槽16的槽形为L形，且收纳槽16的内腔设置有弧面，通过收纳槽16和弧面的配合使用，能够对升降台19起到收纳作用，防止升降台19受到外界撞击。

工作原理：本实用新型使用时，使用者将晶圆3放置到工作台1的顶部，启动升降气缸15，升降气缸15带动升降台19向上运动，升降台19带动进液管13和电机4向上运动，进液管13带动连接管6向上运动，连接管6带动驱动臂9上升，驱动臂9带动喷头10离开集液桶5的内腔，喷头10带动喷嘴7远离集液桶5，驱动臂9上升至适当位置后，启动电机4，电机4带动皮带轮二18转动，皮带轮二18通过皮带带动皮带轮一11转动，皮带轮一11带动进液管13转动，进液管13带动连接管6转动，驱动臂9移动至晶圆3上方后，电机4带动驱动臂9在晶圆3上方摆动，然后晶圆3做旋转运动，再次启动升降气缸15，使喷头10下降至适当位置，通过喷嘴7喷淋清洗晶圆3，清洗完毕之后，换集成喷液管8喷射高压氮气，对晶圆3表面进行干燥处理，处理完启动升降气缸15，升降气缸15带动喷头10上升，启动电机4，电机4带动喷头10旋转并通过升降气缸15将喷头10移回集液桶5内，从而达到清洗效果好的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种晶圆摇摆喷淋机构，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的顶部固连接有旋转平台（2），所述旋转平台（2）的顶部设置有晶圆（3），所述工作台（1）顶部的右侧开设有收纳槽（16），所述收纳槽（16）内腔滑动连接有升降台（19），所述升降台（19）底部的后侧固定连接有电机（4），所述工作台（1）底部的右侧固定连接有支架（14），所述支架（14）的右侧固定连接有升降气缸（15），所述升降气缸（15）的输出端与升降台（19）固定连接，所述升降台（19）的底部且位于电机（4）的前侧通过轴承转动连接有进液管（13），所述进液管（13）的顶端贯穿至升降台（19）的顶部并连通有连接管（6），所述连接管（6）的顶部固定连接有驱动臂（9），所述驱动臂（9）底部的左侧固定连接有喷头（10），所述喷头（10）底部的前侧与后侧均设置有喷嘴（7），所述喷头（10）的内腔设置有集成喷液管（8），所述集成喷液管（8）的数量为两个，所述进液管（13）的表面固定连接有皮带轮一（11），所述电机（4）的输出轴贯穿至升降台（19）的顶部并固定连接有皮带轮二（18），所述皮带轮一（11）与皮带轮二（18）的表面通过皮带传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构，其特征在于：所述皮带轮一（11）与皮带轮二（18）的表面套设有保护罩（12），所述保护罩（12）的底部与升降台（19）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构，其特征在于：所述旋转平台（2）内腔的一侧开设有凹槽（17），所述凹槽（17）的形状为方形。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构，其特征在于：所述支架（14）的一侧设置有斜面，且斜面光滑。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构，其特征在于：所述收纳槽（16）的槽形为L形，且收纳槽（16）的内腔设置有弧面。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构，其特征在于：所述工作台（1）顶部的左侧固定连接有集液桶（5），所述集液桶（5）与喷头（10）配合使用。