CN218003208U - 腐蚀装置 - Google Patents

Abstract

提供一种腐蚀装置，其包括手柄、上框体、下框体以及至少两个底三棱锥；上框体具有多个上贯通口，多个上贯通口沿前后方向间隔排列，各上贯通口用于收容对应的被腐蚀对象的顶缘附近的部位；下框体具有多个下贯通口，多个下贯通口沿前后方向间隔排列，各下贯通口与对应的一个上贯通口在上下方向上对齐，各下贯通口用于收容对应的被腐蚀对象的底缘附近的部位；各底三棱锥沿前后方向延伸，各底三棱锥的顶棱的一部分向上露出于下框体的各下贯通口以用于线支撑对应的被腐蚀对象的底面。由此，能适用于对多个被腐蚀对象同时腐蚀、进而也适用于区熔腐蚀的晶体的多个切片的表面腐蚀。

Description

腐蚀装置

技术领域

本公开涉及表面处理领域，更具体地涉及一种腐蚀装置。

背景技术

在采用区熔方式制备的晶体中，通常需要从所制备的同一晶体从头到尾进行切片，将多个切片进行表面腐蚀以进行后续的微观晶格缺陷检测。为了适应在同一腐蚀液槽中腐蚀同一晶体的切片，需要开发一种腐蚀装置。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种腐蚀装置，其能适用于对多个被腐蚀对象同时腐蚀、进而也适用于区熔腐蚀的晶体的多个切片的表面腐蚀。

由此，在一些实施例中，一种腐蚀装置包括手柄、上框体、下框体以及至少两个底三棱锥；手柄位于上框体和下框体的侧方并与上框体和下框体固定连接且相对上框体向上突出；上框体和下框体在上下方向上间隔开，上框体具有多个上贯通口，多个上贯通口沿前后方向间隔排列，各上贯通口沿上下方向贯通上框体而在前后方向和左右方向上封闭，各上贯通口用于收容对应的被腐蚀对象的顶缘附近的部位；下框体具有多个下贯通口，多个下贯通口沿前后方向间隔排列，各下贯通口沿上下方向贯通下框体而在前后方向和左右方向上封闭，各下贯通口与对应的一个上贯通口在上下方向上对齐，各下贯通口用于收容对应的被腐蚀对象的底缘附近的部位；所述至少两个底三棱锥固定于下框体的下方且在左右方向上位于下框体的下贯通口的左右方向两侧的壁之间，各底三棱锥沿前后方向延伸，各底三棱锥的顶棱的一部分向上露出于下框体的各下贯通口以用于线支撑对应的被腐蚀对象的底面。

在一些实施例中，形成上贯通口的前后方向及左右方向的壁均为平面。

在一些实施例中，形成下贯通口的前后方向及左右方向的壁均为平面。

在一些实施例中，上框体还具有多个第一上三棱锥，各第一上三棱锥位于各上贯通口的前后方向的壁上且沿左右方向延伸，各第一上三棱锥的顶棱沿前后方向向各上贯通口的内部突出。

在一些实施例中，上框体还具有多个第二上三棱锥，各第二上三棱锥位于各上贯通口的左右方向的壁上且沿前后方向延伸，各第二上三棱锥的顶棱沿左右方向向各上贯通口的内部突出。

在一些实施例中，上框体还具有多个上凹槽，各上凹槽位于各上贯通口的左右方向的壁上且相对各上贯通口的左右方向的壁向外凹入，各上凹槽的前后方向的尺寸设置为大于被腐蚀对象的前后方向的尺寸。

在一些实施例中，下框体还具有多个第一下三棱锥，各第一下三棱锥位于各下贯通口的前后方向的壁下且沿左右方向延伸，各第一下三棱锥的顶棱沿前后方向向各下贯通口的内部突出。

在一些实施例中，下框体还具有多个第二下三棱锥，各第二下三棱锥位于各下贯通口的左右方向的壁下且沿前后方向延伸，各第二下三棱锥的顶棱沿左右方向向各下贯通口的内部突出。

在一些实施例中，下框体还具有多个下凹槽，各下凹槽位于各下贯通口的左右方向的壁上且相对各下贯通口的左右方向的壁向外凹入，各下凹槽的前后方向的尺寸设置为大于被腐蚀对象的前后方向的尺寸。

在一些实施例中，上框体和下框体的外形为矩形；手柄为等厚度的板条。

本公开的有益效果如下：在腐蚀装置中，通过一个上贯通口和一个下贯通口形成一个贯通口对来收容一个被腐蚀对象，从而多个上贯通口和多个下贯通口以一一对应的方式同时收容多个被腐蚀对象，通过所述至少两个底三棱锥的顶棱的对应部分各自支撑多个被腐蚀对象，当支撑多个被腐蚀对象的腐蚀装置置于腐蚀液槽中时，能够对多个被腐蚀对象同时进行腐蚀，这尤其适用于被腐蚀对象是来自区熔制备的同一晶体的从头到尾的多个切片的表面腐蚀，提高了同一晶体的多个切片在同一腐蚀条件下的进行表面腐蚀的腐蚀效率和腐蚀质量的稳定性。

附图说明

图1是根据本公开的腐蚀装置的一实施例的分解图。

图2是图1的组装立体图，其中被腐蚀对象未示出。

图3是的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。

图4是根据本公开的腐蚀装置的另一实施例的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。

图5是根据本公开的腐蚀装置的再一实施例的组装立体图，其中一个被腐蚀对象未示出。

图6是根据本公开的腐蚀装置的又一实施例的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。

其中，附图标记说明如下：

100腐蚀装置 24上凹槽

D1上下方向 3下框体

D2前后方向 31下贯通口

D3左右方向 32第一下三棱锥

1手柄 321顶棱

2上框体 33第二下三棱锥

21上贯通口 331顶棱

22第一上三棱锥 34下凹槽

221顶棱 4底三棱锥

23第二上三棱锥 41顶棱

231顶棱 200被腐蚀对象

具体实施方式

附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。

参照图1至图6，腐蚀装置100包括手柄1、上框体2、下框体3以及至少两个底三棱锥4。

手柄1位于上框体2和下框体3的侧方并与上框体2和下框体3固定连接且相对上框体2向上突出。手柄1供操作员抓握。注意的是，操作员可以为机器人、机器臂或操作人员。

上框体2和下框体3在上下方向D1上间隔开。

上框体2具有多个上贯通口21，多个上贯通口21沿前后方向D2间隔排列，各上贯通口21沿上下方向D1贯通上框体2而在前后方向D2和左右方向D3上封闭，各上贯通口21用于收容对应的被腐蚀对象200的顶缘附近的部位。

下框体3具有多个下贯通口31，多个下贯通口31沿前后方向D2间隔排列，各下贯通口31沿上下方向D1贯通下框体3而在前后方向D2和左右方向D3上封闭，各下贯通口31与对应的一个上贯通口21在上下方向D1上对齐，各下贯通口31用于收容对应的被腐蚀对象200的底缘附近的部位。

所述至少两个底三棱锥4固定于下框体3的下方且在左右方向D3上位于下框体3的下贯通口31的左右方向D3两侧的壁之间，各底三棱锥4沿前后方向D2延伸，各底三棱锥4的顶棱41的一部分向上露出于下框体3的各下贯通口31以用于线支撑对应的被腐蚀对象200的底面。

注意的是，手柄1、上框体2、下框体3以及至少两个底三棱锥4的材质均为耐腐蚀液的材质，例如但不限于聚丙烯。

注意的是，腐蚀装置100在实际应用时会放置到腐蚀液槽(未示出)中进行腐蚀操作，例如，图3至图6所示的带有被腐蚀对象200的腐蚀装置100置于腐蚀液槽进行腐蚀，由此实现被腐蚀对象200的整个表面腐蚀。

注意的是，无论是从将被腐蚀对象200放置到腐蚀装置100的对应的上贯通口21和下贯通口31并由所述至少两个底三棱锥4的顶棱41的一部分支撑的操作过程的方便性，还是从降低腐蚀过程中的接触面积考虑，上贯通口21的轮廓和下贯通口31的轮廓均大于被腐蚀对象200的前后左右四侧形成的轮廓的尺寸，同时上框体2和下框体3的间隔以及各上贯通口21的前后方向D2的尺寸以适应被腐蚀对象200的上下方向D3的尺寸且以相邻腐蚀对象200在前后方向D2倾斜而不相互接触为准。

在腐蚀装置100中，通过一个上贯通口21和一个下贯通口31形成一个贯通口对来收容一个被腐蚀对象200，从而多个上贯通口21和多个下贯通口31以一一对应的方式同时收容多个被腐蚀对象200，通过所述至少两个底三棱锥4的顶棱41的对应部分各自支撑多个被腐蚀对象200，当支撑多个被腐蚀对象200的腐蚀装置100置于腐蚀液槽中时，能够对多个被腐蚀对象200同时进行腐蚀，这尤其适用于被腐蚀对象200是来自区熔制备的同一晶体的从头到尾的多个切片的表面腐蚀，提高了同一晶体的多个切片在同一腐蚀条件下的进行表面腐蚀的腐蚀效率和腐蚀质量的稳定性。

在腐蚀装置100中，所述至少两个底三棱锥4的顶棱41的一部分线支撑对应的被腐蚀对象200的底面，降低了与被腐蚀对象200的底面的接触面积，从而提高了被腐蚀对象200的底面的被腐蚀的充分性。此外，结合前述的上贯通口21的轮廓和下贯通口31轮廓均大于被腐蚀对象200的前后左右四侧形成的轮廓的尺寸，在实际操作中，可以适度地在左右方向D1通过手柄1来晃动被腐蚀装置100，被腐蚀对象200会在左右方向D1上稍微移动，使得被腐蚀对象200的底面与所述至少两个底三棱锥4的顶棱41的接触的部位发生变化，从而使得被腐蚀对象200的下表面的腐蚀更充分。

此外，在腐蚀装置100中，如前所述，上贯通口21的轮廓和下贯通口31的轮廓均大于被腐蚀对象200的前后左右四侧形成的轮廓的尺寸，上贯通口21与被腐蚀对象200在前后左右四侧之间的间隙、下贯通口31与被腐蚀对象200在前后左右四侧之间的间隙、上贯通口21和下贯通口31之间的间隔、多个下贯通口31向下的未被所述至少两个底三棱锥4遮挡的开口形成供腐蚀液槽中的腐蚀液流动的连通的通路，这种连通的通路提高了腐蚀液的流动性，进而提高了腐蚀的充分性，此外，腐蚀过程中产生的热会随着整个连通的腐蚀液经由所述至少两个底三棱锥4和腐蚀液槽的槽底进行有效地散热。

此外，在腐蚀装置100中，所述至少两个底三棱锥4增加了腐蚀液槽的槽底与下框体3之间的间隔，该间隔增加处于该间隔内的腐蚀液的量，进而提高了腐蚀液的连通性和流动性，进而提高了腐蚀的充分性，同时使得在腐蚀液槽中腐蚀过程中产生的热随着这种连通的腐蚀液以及腐蚀液槽的底壁进行有效地散热。

在腐蚀装置100中，如图1至图6所示，所述至少两个底三棱锥4为两个底三棱锥4，两个底三棱锥4居中布置，这样在满足支撑稳定性的情况下，底三棱锥4的数量最少，进而降低接触被腐蚀对象200的底面的接触面积，提高腐蚀质量。

在一示例中，如图1至图3所示，形成上贯通口21的前后方向D2及左右方向D3的壁均为平面；形成下贯通口31的前后方向D2及左右方向D3的壁均为平面。也就是说，上贯通口21形成为长方体形状，下贯通口31形成为长方体形状，在这种情况下，上贯通口21在上下方向D3的尺寸和下贯通口31在上下方向D3的尺寸在满足强度的情况下越小越好，进而能够尽可能地减小与被腐蚀对象200的接触面积，提高表面腐蚀质量。

在一示例中，如4所示，上框体2还具有多个第一上三棱锥22，各第一上三棱锥22位于各上贯通口21的前后方向D2的壁上且沿左右方向D3延伸，各第一上三棱锥22的顶棱221沿前后方向D2向各上贯通口21的内部突出。由此，各上贯通口21处的两第一上三棱锥22的顶棱221均以线支撑方式来支撑对应的被腐蚀对象，减小与被腐蚀对象200的接触面积，提高表面腐蚀质量。此外，各上贯通口21处的两第一上三棱锥22的顶棱221一起形成从上往下渐缩的喇叭口形状，从而从上往下放入被腐蚀对象200时，从上往下渐缩的喇叭口形状起到导引作用。此外，上往下渐缩的喇叭口形状还能起到限制被腐蚀对象200沿前后方向D1倾斜与相邻的被腐蚀对象200接触的作用。

同样地，在一示例中，如图4所示，下框体3还具有多个第一下三棱锥32，各第一下三棱锥32位于各下贯通口31的前后方向D2的壁下且沿左右方向D3延伸，各第一下三棱锥32的顶棱321沿前后方向D2向各下贯通口31的内部突出。由此，各下贯通口31处的两第一下三棱锥32的顶棱321均以线支撑方式来支撑对应的被腐蚀对象，减小与被腐蚀对象200的接触面积，提高表面腐蚀质量。此外，各下贯通口31处的两第一下三棱锥32的顶棱321一起形成从上往下渐缩的喇叭口形状，从而从上往下放入被腐蚀对象200时，从上往下渐缩的喇叭口形状起到导引作用。此外，上往下渐缩的喇叭口形状还能起到限制被腐蚀对象200沿前后方向D1倾斜与相邻的被腐蚀对象200接触的作用。

在一示例中，如图5所示，上框体2还具有多个第二上三棱锥23，各第二上三棱锥23位于各上贯通口21的左右方向D3的壁上且沿前后方向D2延伸，各第二上三棱锥23的顶棱231沿左右方向D3向各上贯通口21的内部突出。由此，各下贯通口31处的两第二上三棱锥23的顶棱231均以线支撑方式来支撑对应的被腐蚀对象，减小与被腐蚀对象200的接触面积，提高表面腐蚀质量。此外，各上贯通口21处的两第二上三棱锥23的顶棱231一起形成从上往下渐缩的喇叭口形状，从而从上往下放入被腐蚀对象200时，从上往下渐缩的喇叭口形状起到导引作用。

同样地，在一示例中，如图5所示，下框体3还具有多个第二下三棱锥33，各第二下三棱锥33位于各下贯通口31的左右方向D3的壁下且沿前后方向D2延伸，各第二下三棱锥33的顶棱331沿左右方向D3向各下贯通口31的内部突出。由此，各下贯通口31处的两第二下三棱锥33的顶棱331均以线支撑方式来支撑对应的被腐蚀对象，减小与被腐蚀对象200的接触面积，提高表面腐蚀质量。此外，各下贯通口31处的两第二下三棱锥33的顶棱331一起形成从上往下渐缩的喇叭口形状，从而从上往下放入被腐蚀对象200时，从上往下渐缩的喇叭口形状起到导引作用。

在一示例中，如图6所示，上框体2还具有多个上凹槽24，各上凹槽24位于各上贯通口21的左右方向D3的壁上且相对各上贯通口21的左右方向D3的壁向外凹入，各上凹槽24的前后方向D2的尺寸设置为大于被腐蚀对象200的前后方向D2的尺寸。通过各上贯通口21的左右方向D3的两上凹槽24，如前前述地适度地在左右方向D1通过手柄1来晃动被腐蚀装置100，被腐蚀对象200会在左右方向D1上移动有足够的空间，使得被腐蚀对象200的底面与所述至少两个底三棱锥4的顶棱41的接触的部位发生变化的余地增加，从而提高被腐蚀对象200的下表面的腐蚀的充分性。

同样地，如图6所示。下框体3还具有多个下凹槽34，各下凹槽34位于各下贯通口31的左右方向D3的壁上且相对各下贯通口31的左右方向D3的壁向外凹入，各下凹槽34的前后方向D2的尺寸设置为大于被腐蚀对象200的前后方向D2的尺寸。通过各下贯通口31的左右方向D3的两下凹槽34，如前前述地适度地在左右方向D1通过手柄1来晃动被腐蚀装置100，被腐蚀对象200会在左右方向D1上移动有足够的空间，使得被腐蚀对象200的底面与所述至少两个底三棱锥4的顶棱41的接触的部位发生变化的余地增加，从而提高被腐蚀对象200的下表面的腐蚀的充分性，尤其是下凹槽34与上凹槽24一起配合使用，当然图6的结构也可以与图1至图5的结构组合，即上框体2采用图1至图5的结构，下框体3采用图6的结构，或者下框体3采用图1至图5的结构而上框体2采用图6的结构。

在一示例中，上框体2和下框体3的外形为矩形；手柄1为等厚度的板条。

上面详细的说明描述多个示范性实施例，但本文不意欲限制到明确公开的组合。因此，除非另有说明，本文所公开的各种特征可以组合在一起而形成出于简明目的而未示出的多个另外组合。

Claims (10)

1.一种腐蚀装置(100)，其特征在于，包括手柄(1)、上框体(2)、下框体(3)以及至少两个底三棱锥(4)；

手柄(1)位于上框体(2)和下框体(3)的侧方并与上框体(2)和下框体(3)固定连接且相对上框体(2)向上突出；

上框体(2)和下框体(3)在上下方向(D1)上间隔开，

上框体(2)具有多个上贯通口(21)，多个上贯通口(21)沿前后方向(D2)间隔排列，各上贯通口(21)沿上下方向(D1)贯通上框体(2)而在前后方向(D2)和左右方向(D3)上封闭，各上贯通口(21)用于收容对应的被腐蚀对象(200)的顶缘附近的部位；

下框体(3)具有多个下贯通口(31)，多个下贯通口(31)沿前后方向(D2)间隔排列，各下贯通口(31)沿上下方向(D1)贯通下框体(3)而在前后方向(D2)和左右方向(D3)上封闭，各下贯通口(31)与对应的一个上贯通口(21)在上下方向(D1)上对齐，各下贯通口(31)用于收容对应的被腐蚀对象(200)的底缘附近的部位；

所述至少两个底三棱锥(4)固定于下框体(3)的下方且在左右方向(D3)上位于下框体(3)的下贯通口(31)的左右方向(D3)两侧的壁之间，各底三棱锥(4)沿前后方向(D2)延伸，各底三棱锥(4)的顶棱(41)的一部分向上露出于下框体(3)的各下贯通口(31)以用于线支撑对应的被腐蚀对象(200)的底面。

2.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

形成上贯通口(21)的前后方向(D2)及左右方向(D3)的壁均为平面。

3.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

形成下贯通口(31)的前后方向(D2)及左右方向(D3)的壁均为平面。

4.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上框体(2)还具有多个第一上三棱锥(22)，各第一上三棱锥(22)位于各上贯通口(21)的前后方向(D2)的壁上且沿左右方向(D3)延伸，各第一上三棱锥(22)的顶棱(221)沿前后方向(D2)向各上贯通口(21)的内部突出。

5.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上框体(2)还具有多个第二上三棱锥(23)，各第二上三棱锥(23)位于各上贯通口(21)的左右方向(D3)的壁上且沿前后方向(D2)延伸，各第二上三棱锥(23)的顶棱(231)沿左右方向(D3)向各上贯通口(21)的内部突出。

6.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上框体(2)还具有多个上凹槽(24)，各上凹槽(24)位于各上贯通口(21)的左右方向(D3)的壁上且相对各上贯通口(21)的左右方向(D3)的壁向外凹入，各上凹槽(24)的前后方向(D2)的尺寸设置为大于被腐蚀对象(200)的前后方向(D2)的尺寸。

7.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

下框体(3)还具有多个第一下三棱锥(32)，各第一下三棱锥(32)位于各下贯通口(31)的前后方向(D2)的壁下且沿左右方向(D3)延伸，各第一下三棱锥(32)的顶棱(321)沿前后方向(D2)向各下贯通口(31)的内部突出。

8.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

下框体(3)还具有多个第二下三棱锥(33)，各第二下三棱锥(33)位于各下贯通口(31)的左右方向(D3)的壁下且沿前后方向(D2)延伸，各第二下三棱锥(33)的顶棱(331)沿左右方向(D3)向各下贯通口(31)的内部突出。

9.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

下框体(3)还具有多个下凹槽(34)，各下凹槽(34)位于各下贯通口(31)的左右方向(D3)的壁上且相对各下贯通口(31)的左右方向(D3)的壁向外凹入，各下凹槽(34)的前后方向(D2)的尺寸设置为大于被腐蚀对象(200)的前后方向(D2)的尺寸。

10.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上框体(2)和下框体(3)的外形为矩形；

手柄(1)为等厚度的板条。

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