CN217997412U - 一种扩散用进气管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种扩散用进气管，应用于扩散炉管内，其特征在于：所述进气管为长直双层套管结构，包括第一外管和第二内管，第二内管内置于第一外管之中，且与第一外管等长，第一外管左右侧壁上对称的开设有散气孔单元，散气孔单元从第一外管的进气口一端依次向出气口一端“一”字延伸分布。使用该改进后的进气管，可以在炉管内对硅片进行均匀快速有效的扩散，从而提高方阻均匀性，提高电池片的转换效率。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种扩散用进气管。
背景技术
在现有晶硅太阳电池生产的扩散工序中，扩散炉管内的通气管普遍使用的是单管进气，如图1，扩散工艺中通过放置在炉管底部的直管对炉管内通气，气体由炉尾通入向炉口方向输送，再由炉尾的抽气装置将通入炉管的混合气体从炉口向炉尾抽出，以此使气体经过炉管内石墨舟上的硅片反应沉积，但是该方式过程长，进气管配套炉管长度较长，用时多，而且通入的气体在炉口端易堆积，形成炉口与炉尾浓度差距，造成管内硅片两端均匀性差异，又因为硅片尺寸越做越大，炉管的管径也就随之变大，那么抽气时就造成炉管内中间掺杂浓度高于四周的情况，总的来说就是现在使用的进气单管不仅使扩散过程长，所用气体量多且均匀性效果差。尽管现有专利中也有对进气管结构进行改造，如CN211947290U，但是该改造存在结构复杂成本较高的缺点。
发明内容
鉴于以上，本实用新型提供一种扩散用进气管，使用该改进后的进气管，可以在炉管内对硅片进行均匀快速有效的扩散，从而提高方阻均匀性，提高电池片的转换效率。具体技术方案如下。
一种扩散用进气管，应用于扩散炉管内，其特征在于：所述进气管为长直双层套管结构，包括第一外管和第二内管，第二内管内置于第一外管之中，且与第一外管等长，第二内管直径小于第一外管直径，第一外管左右侧壁上对称的开设有散气孔单元，散气孔单元从第一外管的进气口一端依次向出气口一端“一”字延伸分布。
进一步，所述散气孔单元为至少3组，每组所述散气孔单元包括若干均匀排列的散气孔。
进一步，对称位于第一外管左右侧壁上的散气孔之间的夹角为180°，散气孔的开孔直径为5mm。
进一步，所述第二内管的外侧壁与第一外管的底部内壁连接，第一外管的直径为14㎜，第二内管的直径为10㎜，除二者连接处第二内管与第一外管之间均具有间隙。
本实用新型的扩散用进气管，优化现有单管进气管的结构设计，采用双层直管结构，外面一层的第一外管左右两侧壁上均匀的开设散气孔单元，里面一层的第二内管为直通管，侧壁上不开孔，通气时从进气口一端同时向第一外管和第二内管通入混合后所需的特殊气体，经由第二内管的气体直接输送到炉管深处的炉口，由于散气孔单元从第一外管的进气口一端依次向出气口一端“一”字延伸分布，所以从第一外管通入的气体会直接由炉管的开端炉尾处就开始扩散，从而弥补现有单管进气炉尾处气体浓度低于炉口浓度的差距。
另外散气孔对称成180°的开设在第一外管的左右两侧，从散气孔溢出的气体不会直接吹至进气管上方的石墨舟，而是向炉管周边吹扫，弥补炉尾抽气时炉管内四周浓度与中间浓度的差距。
无论是解决炉尾处气体浓度低于炉口浓度的差距还是炉尾抽气时炉管内四周浓度与中间浓度的差距的问题，都可以起到快速实现炉管内气体浓度均匀达标从而缩短整个扩散过程的效果，进而节省时间和气体的使用，而且本实用新型中的通气管结构较全方位的散气可以使气体更均匀的遍布每一片电池片，从而改善沉积均匀性，提高整个扩散效果更利于后续的操作。
本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1所述为现有技术炉管内直管通气的示意图；
图2所示为本实用新型扩散用进气管的结构示意图：
图3所示为本实用新型扩散用进气管的横截面示意图；
其中，1-进气管，10-第一外管，11-第二内管，12-进气口，13-出气口，2-散气孔单元，20-散气孔。
具体实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语 “上”、“下”、 “顶”、“底”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
术语“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通，对于本领域的技术人员而言，是可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义的。
参照图2-图3，本实施例的扩散用进气管，应用于扩散炉管内，进气管1为长直双层套管结构，包括第一外管10和第二内管11，第二内管11内置于第一外管10之中，且与第一外管10等长，第一外管10左右侧壁上对称的开设有散气孔单元2，散气孔单元2从第一外管10的进气口12一端依次向出气口13一端“一”字延伸分布。
优选的散气孔单元2为至少3组，每组散气孔单元2包括若干均匀排列的散气孔20。对称位于第一外管10左右侧壁上的散气孔20之间的夹角为180°，散气孔20的开孔直径为5mm。
优选的，第二内管11的外侧壁与第一外管10的底部内壁连接，第一外管10的直径为14㎜，第二内管11的直径为10㎜，除二者连接处第二内管与第一外管之间均具有间隙。第二内管11可通过卡扣固定或者胶水或其他现有固定方式与第一外管10固定在一起。
实施例1
第一外管10和第二内管11管长3319mm，壁厚4mm，第一外管10的直径为14㎜，第二内管11的直径为10㎜，第一外管10左右侧壁上呈180°对称设有散气孔单元2，每组散气孔单元2间隔500mm，共四组散气孔单元2从第一外管10的进气口12一端依次向出气口13一端“一”字延伸分布，第一组散气孔单元2距第一外管10的进气口也为500mm，在靠近第一外管10的出气口13一端的侧壁上可不设散气孔单元2。每组散气孔单元2中具有4个孔径5mm的散气孔，散气孔20均匀排列，间距20mm。
以下在炉管内的石墨舟上选取5个和45个位置点进行对比测试，结果如下表：
使用本实用新型中的对炉管内多位置扩散进气的进气管，较现有技术中的单管进气的沉积均匀性具有明显改善，而且结构优化简单、成本低。
尽管参照本实用新型的示意性实施例对本实用新型的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本实用新型原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本实用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种扩散用进气管，应用于扩散炉管内，其特征在于：所述进气管为长直双层套管结构，包括第一外管和第二内管，第二内管内置于第一外管之中，且与第一外管等长，第二内管直径小于第一外管直径，一外管左右侧壁上对称的开设有散气孔单元，散气孔单元从第一外管的进气口一端依次向出气口一端“一”字延伸分布。
2.根据权利要求1所述的扩散用进气管，其特征在于，所述散气孔单元为至少3组，每组所述散气孔单元包括若干均匀排列的散气孔。
3.根据权利要求2所述的扩散用进气管，其特征在于，对称位于第一外管左右侧壁上的散气孔之间的夹角为180°。
4.根据权利要求2所述的扩散用进气管，其特征在于，散气孔的开孔直径为5mm。
5.根据权利要求1所述的扩散用进气管，其特征在于，所述第二内管的外侧壁与第一外管的底部内壁连接。
6.根据权利要求5所述的扩散用进气管，其特征在于，所述第一外管的直径为14㎜，所述第二内管的直径为10㎜。
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|---|---|---|---|
| CN202221444403.1U CN217997412U (zh) | 2022-06-10 | 2022-06-10 | 一种扩散用进气管 |
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2022
- 2022-06-10 CN CN202221444403.1U patent/CN217997412U/zh active Active
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