CN220400549U - 一种分散气流的石英舟托 - Google Patents
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 69
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 58
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000003351 stiffener Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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Abstract
本实用新型涉及光伏电池片加工用石英舟托结构技术领域，特别涉及一种分散气流的石英舟托，包括侧板、端板及加强板，所述侧板之间设置有连接侧板的横向加强筋，该横向加强筋沿所述侧板的长度方向均布有若干组，且该横向加强筋上设置有用于对工艺气流进行导向的导向部件，该导向部件将工艺气流导向至硅片处，通过对石英舟托底部的横向加强筋进行改进，在横向加强筋上设置导向部件，利用导风部件对石英舟托底部流通的工艺气流进行导向，使得工艺气流导向至上方承载的硅片处，进一步提升硅片表面与工艺气流的接触效果，促进硅片的工艺效果的提升。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏电池片加工用石英舟托结构技术领域，特别涉及一种分散气流的石英舟托。
背景技术
太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。石英舟是一种常用的载片工具，多个石英舟放置在石英舟托上，通过石英舟托送入工艺炉内。在工艺过程中工艺气体和硅片表面的接触越充分，工艺效果越是显著，但是石英舟托两端部处的端板会工艺气体产生阻挡，并且设置于石英舟托内部的加强板也会对工艺气体形成阻挡。
在专利申请号为CN202221346775.0的专利中具体公开了一种匀流加强型石英舟托，包括前端板、后端板、左侧板、右侧板以及在前端板处同时连接前端板和左右两个侧板的前加强板、在后端板处同时连接后端板和左右两个侧板的后加强板，并且前、后加强板上均开设了用于透气的均流孔，用于对工艺气流进行输送。
虽然，上述专利记载的技术方案达到了减少对工艺气流阻挡的目的，但是，该石英舟托仍有改进的空间，进一步增强硅片与感应气体的接触效果。
实用新型内容
针对以上问题，本实用新型提供了一种分散气流的石英舟托，通过对石英舟托底部的横向加强筋进行改进，在横向加强筋上设置导向部件，利用导风部件对石英舟托底部流通的工艺气流进行导向，使得工艺气流导向至上方承载的硅片处，进一步提升硅片表面与工艺气流的接触效果，促进硅片的工艺效果的提升。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种分散气流的石英舟托，包括侧板、端板及加强板，所述侧板之间设置有连接侧板的横向加强筋，该横向加强筋沿所述侧板的长度方向均布有若干组，且该横向加强筋上设置有用于对工艺气流进行导向的导向部件，该导向部件将工艺气流导向至硅片处。
作为改进，所述导向部件包括导风部及导风孔；
所述导风部安装于所述横向加强筋朝向工艺气流流动方向一侧的侧壁上，该导风部呈倾斜设置，将工艺气流导流至所述横向加强筋的顶端；
所述导风孔贯穿设置于横向加强筋的顶部，该导风孔将所述导风部导向的工艺气流朝向硅片输送。
作为改进，所述导风部的倾斜角度为15-25°。
作为改进，所述导风孔倾斜管材所述横向加强筋，该导风孔的倾斜角度与所述导风部一致。
作为改进，所述导向部件还包括送风部，该送风部安装于所述横向加强筋背向工艺气流流动方向一侧的侧壁上，且该送风部呈斜坡设置，对所述导风孔输出的工艺气流进行导向输送。
作为改进，所述送风部的倾斜角度与所述导风部的倾斜角度一致。
作为改进，所述送风部的斜坡端面上均布有若干的齿牙，该齿牙将工艺气流进行分散。
作为改进，所述端板垂直安装连接于所述侧板的两端部，该端板与所述横向加强筋之间以及相邻的所述横向加强筋之间设置有纵向加强筋。
作为改进，所述侧板与所述端板上均挖空开设有气体导流口。
作为改进，两组的所述加强板安装于所述侧板朝向工艺气流输入的端部，该加强板上均布有若干的均流孔。
本实用新型的有益效果在于：
(1)本实用新型通过对石英舟托底部的横向加强筋进行改进，在横向加强筋上设置导向部件，利用导风部件对石英舟托底部流通的工艺气流进行导向，使得工艺气流导向至上方承载的硅片处，进一步提升硅片表面与工艺气流的接触效果，促进硅片的工艺效果的提升；
(2)本实用新型通过将导风部件与横向加强筋相结合，使得石英舟托底部的工艺气流被导风部导向穿过导风孔后被送风部上的齿牙进行分散，同时又沿着送风部的斜坡进行输送，包装工艺气流导向上方的硅片。
综上所述，本实用新型具有工艺气流导向性好、硅片与工艺气流接触充分等优点，尤其适用于石英舟托结构技术领域。
附图说明
图1为本实用新型实施例1立体结构示意图；
图2为本实用新型实施例1剖视结构示意图；
图3为本实用新型实施例1导向部件立体结构示意图；
图4为本实用新型实施例1导向部件剖视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
实施例1：
如图1至图4所示，一种分散气流的石英舟托，包括侧板1、端板2及加强板3，所述侧板1之间设置有连接侧板1的横向加强筋4，该横向加强筋4沿所述侧板1的长度方向均布有若干组，且该横向加强筋4上设置有用于对工艺气流进行导向的导向部件5，该导向部件5将工艺气流导向至硅片处。
进一步的，所述导向部件5包括导风部51及导风孔52；
所述导风部51安装于所述横向加强筋4朝向工艺气流流动方向一侧的侧壁上，该导风部51呈倾斜设置，将工艺气流导流至所述横向加强筋4的顶端；
所述导风孔52贯穿设置于横向加强筋4的顶部，该导风孔52将所述导风部51导向的工艺气流朝向硅片输送。其中，优选，所述导风部51的倾斜角度为15-25°，15-25°的倾斜角度，使得导风部件5既可以对工艺气流进行导向，又可以不会使得工艺气流与横向加强筋4形成阻挡。
所述导风孔52倾斜管材所述横向加强筋4，该导风孔52的倾斜角度与所述导风部51一致。
更进一步的，所述导向部件5还包括送风部53，该送风部53安装于所述横向加强筋4背向工艺气流流动方向一侧的侧壁上，且该送风部53呈斜坡设置，对所述导风孔52输出的工艺气流进行导向输送。
并且，所述送风部53的倾斜角度与所述导风部51的倾斜角度一致。
此外，所述端板2垂直安装连接于所述侧板1的两端部，该端板2与所述横向加强筋4之间以及相邻的所述横向加强筋4之间设置有纵向加强筋6。
并且，所述侧板1与所述端板2上均挖空开设有气体导流口11，利用气体导流口11取消对工艺气体的阻挡。
作为一种优选的实施方式，两组的所述加强板3安装于所述侧板1朝向工艺气流输入的端部，该加强板3上均布有若干的均流孔31，利用均流孔31对工艺气体进行分散，取消加强板3对工艺气体的阻挡。
需要说明的是，现有的石英舟托均只关注于端板及加强板对工艺气体的阻隔对硅片的影响，大多忽略了石英舟托上、下方流转的工艺气体对硅片的影响，石英舟托上方属于硅片的进料口，无法设置导风结构，因此，本申请创新的采用了导风节结构与横向加强筋相结和，利用导风部51迎着工艺气流将工艺气流导向至导风孔52处，之后再通过送风部53将工艺气流导向至硅片处，使得石英舟托底部的工艺气流也得到利用，促进硅片与工艺气流接触效果。
进一步说明的是，导风部51与送风部53倾斜角度一致，保证了被改向工艺气流流动的流畅性，并且倾斜角度指向硅片处，使得工艺气流在整个导向过程中，尽可能的减少损耗。
实施例2：
参照实施例1描述本申请实施例2与实施例1的区别点在于：
如图4所示，所述送风部53的斜坡端面上均布有若干的齿牙531，该齿牙531将工艺气流进行分散。
需要说明的是，在送风部52上设置齿牙，使得工艺气流在送风部53上进行导向输送时，工艺气流每碰到一组的齿牙531时，工艺气流就会分散一部分，分散的气流被导向至上方的硅片处，工艺气流被齿牙531逐一分散，达到所有的工艺气流被齿牙531充分分散导向的目的。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种分散气流的石英舟托，包括侧板(1)、端板(2)及加强板(3)，其特征在于：
所述侧板(1)之间设置有连接侧板(1)的横向加强筋(4)，该横向加强筋(4)沿所述侧板(1)的长度方向均布有若干组，且该横向加强筋(4)上设置有用于对工艺气流进行导向的导向部件(5)，该导向部件(5)将工艺气流导向至硅片处。
2.根据权利要求1所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述导向部件(5)包括导风部(51)及导风孔(52)；
所述导风部(51)安装于所述横向加强筋(4)朝向工艺气流流动方向一侧的侧壁上，该导风部(51)呈倾斜设置，将工艺气流导流至所述横向加强筋(4)的顶端；
所述导风孔(52)贯穿设置于横向加强筋(4)的顶部，该导风孔(52)将所述导风部(51)导向的工艺气流朝向硅片输送。
3.根据权利要求2所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述导风部(51)的倾斜角度为15-25°。
4.根据权利要求2所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述导风孔(52)倾斜管材所述横向加强筋(4)，该导风孔(52)的倾斜角度与所述导风部(51)一致。
5.根据权利要求2所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述导向部件(5)还包括送风部(53)，该送风部(53)安装于所述横向加强筋(4)背向工艺气流流动方向一侧的侧壁上，且该送风部(53)呈斜坡设置，对所述导风孔(52)输出的工艺气流进行导向输送。
6.根据权利要求5所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述送风部(53)的倾斜角度与所述导风部(51)的倾斜角度一致。
7.根据权利要求5所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述送风部(53)的斜坡端面上均布有若干的齿牙(531)，该齿牙(531)将工艺气流进行分散。
8.根据权利要求1所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述端板(2)垂直安装连接于所述侧板(1)的两端部，该端板(2)与所述横向加强筋(4)之间以及相邻的所述横向加强筋(4)之间设置有纵向加强筋(6)。
9.根据权利要求1所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
所述侧板(1)与所述端板(2)上均挖空开设有气体导流口(11)。
10.根据权利要求1所述的一种分散气流的石英舟托，其特征在于：
两组的所述加强板(3)安装于所述侧板(1)朝向工艺气流输入的端部，该加强板(3)上均布有若干的均流孔(31)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322017644.9U CN220400549U (zh) | 2023-07-28 | 2023-07-28 | 一种分散气流的石英舟托 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322017644.9U CN220400549U (zh) | 2023-07-28 | 2023-07-28 | 一种分散气流的石英舟托 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220400549U true CN220400549U (zh) | 2024-01-26 |
Family
ID=89604229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322017644.9U Active CN220400549U (zh) | 2023-07-28 | 2023-07-28 | 一种分散气流的石英舟托 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220400549U (zh) |
-
2023
- 2023-07-28 CN CN202322017644.9U patent/CN220400549U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |