CN218957757U - 一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，包括扩散炉、进气管、进气匀流板、石英舟、石英舟托和舟托匀流板，进气管安装于扩散炉的一端，进气匀流板设置于扩散炉腔体内靠近进气管的出气口的位置且进气匀流板的边缘与扩散炉的腔体内壁相切，石英舟设置于扩散炉腔体内靠近进气匀流板的远离进气口一侧，石英舟托设置于石英舟的顶部，舟托匀流板设置于石英舟顶部远离进气匀流板的一端，扩散炉靠近舟托匀流板的一端设置有出气口。本实用新型可以显著改善扩散炉腔体内的气体氛围，使工艺气体与硅片表面均匀接触，反应更加充分，能极大改善整管硅片扩散方阻的均匀性和稳定性，进而提高光伏电池片的生产效率及良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池的生产技术领域，尤其涉及一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构。
背景技术
在晶体硅太阳能电池制造中，扩散工序是指将掺杂气体导入放有硅片的高温炉中将杂质扩散到硅片内以改变半导体基片、形成P-N结的过程。扩散方阻大小及均匀性是衡量硅片扩散质量好坏的重要指标。
在扩散炉中，石英舟承载着制绒后的硅片在高温低压条件下与工艺气体（POCl3，BCl3等）发生化学反应，生成P（磷扩）或B（硼扩）原子。由于工艺腔体内的进气方式为炉尾进气，炉口抽气，进气口和出气口的气体流速较快，容易形成紊流，对炉口和炉尾处硅片的方阻均匀性影响较大，进而影响整体的效率及良率。因此，需要一种可以改善太阳能电池扩散方阻均匀性的技术方案。
发明内容
技术目的
针对现有的扩散炉中工艺气体容易形成紊流降低炉口和炉尾方阻均匀性的问题，本实用新型提供了一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构。
技术方案
为实现以上目的，本实用新型采取了以下技术方案。
一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，包括扩散炉、进气管、进气匀流板、石英舟、石英舟托和舟托匀流板，进气管安装于扩散炉的一端，进气匀流板设置于扩散炉腔体内靠近进气管的出气口的位置且进气匀流板的边缘与扩散炉的腔体内壁相切，石英舟设置于扩散炉腔体内靠近进气匀流板的远离进气口一侧，石英舟托设置于石英舟的顶部，舟托匀流板设置于石英舟顶部远离进气匀流板的一端，扩散炉靠近舟托匀流板的一端设置有出气口。
进一步地，进气匀流板包括第一匀流片、第二匀流片和连接柱，第一匀流片和第二匀流片系边缘轮廓相同、彼此平行的表面设置有圆形通气孔的板片结构，第一匀流片和第二匀流片的边缘均设置有卡槽凸口和圆弧凹口，连接柱的一端与第一匀流片固定连接，连接柱的另一端与第二匀流片固定连接。
当工艺气体从进气管的出气口喷出打到进气匀流板的第一匀流片时，一部分气体可以穿过通气孔直接到达第二匀流片前方，另一部分撞击折返的气体可以通过边缘的圆弧凹口逸入，然后再通过第二匀流板的通气孔或圆弧凹口流出，气体经过进气匀流板时被均匀打散，流速变慢且更平稳。
进一步地，第一匀流板较第二匀流片更靠近进气管，第一匀流板与进气管的出气口的距离为六十到一百毫米。
具体距离应当根据气压和温度等条件和工艺要求，在所述范围内调整。
进一步地，第一匀流片上的通气孔数量为四个、直径为四十至八十毫米，第二匀流片上的通气孔的直径为八至二十毫米，第二匀流片上的通气孔彼此间隔为直径的二至三倍且均匀排布于第二匀流片的整个表面。
进一步地，舟托匀流板系表面设置有圆形过气孔的方形单层板片结构，过气孔的直径为六到十四毫米，过气孔彼此间隔为直径的一倍且均匀排布于舟托匀流板的整个表面，舟托匀流板与最靠近出气口的一个石英舟的距离为八十到一百四十毫米。
有益效果
本实用新型可以显著改善扩散炉腔体内的气体氛围，使工艺气体与硅片表面均匀接触，反应更加充分，解决了由于进气口和出气口气体流速快造成炉尾和炉口方阻均匀性差的问题，能极大改善整管硅片扩散方阻的均匀性和稳定性，进而提高光伏电池片的生产效率及良率。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的进气匀流板的结构示意图；
图3为本实用新型的进气匀流板的正视图；
图4为本实用新型的进气匀流板的左视图；
图5为本实用新型的进气匀流板的俯视图；
图6为本实用新型的石英舟、石英舟托和舟托匀流板的结构示意图；
图7为本实用新型的石英舟、石英舟托和舟托匀流板的正视图；
图8为本实用新型的石英舟、石英舟托和舟托匀流板的左视图；
图9为本实用新型的石英舟、石英舟托和舟托匀流板的俯视图；
其中，1-扩散炉，2-进气管，3-出气口，4-进气匀流板，5-石英舟，6-石英舟托，7-舟托匀流板，8-卡槽凸口，9-圆弧凹口，10-连接柱，11-第一匀流片，12-第二匀流片。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型的内容，现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。
实施例
一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，包括扩散炉1、进气管2、进气匀流板4、石英舟5、石英舟托6和舟托匀流板7，进气管2安装于扩散炉1的一端，进气匀流板4设置于扩散炉1腔体内靠近进气管2的出气口3的位置且进气匀流板4的边缘与扩散炉1的腔体内壁相切，石英舟5设置于扩散炉1腔体内靠近进气匀流板4的远离进气口一侧，石英舟托6设置于石英舟5的顶部，舟托匀流板7设置于石英舟5顶部远离进气匀流板4的一端，扩散炉1靠近舟托匀流板7的一端设置有出气口3。
进气匀流板4包括第一匀流片11、第二匀流片12和连接柱10，第一匀流片11和第二匀流片12系边缘轮廓相同、彼此平行的表面设置有圆形通气孔的板片结构，第一匀流片11和第二匀流片12的边缘均设置有两个卡槽凸口8和四个圆弧凹口9，四个圆弧凹口9等距排列在第一匀流片11的边缘，两个卡槽凸口8以一组相对的圆弧凹口9所在直径为对称轴呈轴对称分布，连接柱10的数量为六个，六个连接柱10彼此平行且沿着以第一匀流片11的中心为圆心、以第一匀流片11的半径为直径的圆等距排布，每个连接柱10的一端与第一匀流片11固定连接，同一个连接柱10的另一端与第二匀流片12固定连接。
第一匀流板较第二匀流片12更靠近进气管2，第一匀流板与进气管2的出气口3的距离为八十毫米。第一匀流片11上的通气孔数量为四个、直径为六十毫米，第二匀流片12上的通气孔的直径为十二毫米，第二匀流片12上的通气孔彼此间隔为直径的二倍且均匀排布于第二匀流片12的整个表面。
舟托匀流板7系表面设置有圆形过气孔的方形单层板片结构，过气孔的直径为十毫米，过气孔彼此间隔为直径的一倍且均匀排布于舟托匀流板7的整个表面，舟托匀流板7与最靠近出气口3的一个石英舟5的距离为一百毫米。
在实际生产环节，首先将工艺气体自进气管2喷入扩散炉1，工艺气体穿过四个通气孔和圆弧凹口9到达第二匀流片12前，再通过第二匀流片12上密布的通气孔进入扩散炉1的腔体，此时气体已经被均匀打散，流速变慢且更加平稳。工艺气体可以均匀地穿插流过硅片表面，和硅片充分反应，之后经扩散炉1的腔体到达扩散炉1的尾端，并从出气口3被抽出，出气口3的气体流速较快，但舟托匀流板7设置于出气口3和硅片之间，可以有效避免石英舟托6靠近出气口3的一端形成湍流，极大地改善了整管硅片扩散方阻的均匀性和稳定性。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，其特征在于：包括扩散炉（1）、进气管（2）、进气匀流板（4）、石英舟（5）、石英舟托（6）和舟托匀流板（7），进气管（2）安装于扩散炉（1）的一端，进气匀流板（4）设置于扩散炉（1）腔体内靠近进气管（2）的出气口（3）的位置且进气匀流板（4）的边缘与扩散炉（1）的腔体内壁相切，石英舟（5）设置于扩散炉（1）腔体内靠近进气匀流板（4）的远离进气口一侧，石英舟托（6）设置于石英舟（5）的顶部，舟托匀流板（7）设置于石英舟（5）顶部远离进气匀流板（4）的一端，扩散炉（1）靠近舟托匀流板（7）的一端设置有出气口（3）。
2.根据权利要求1所述的一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，其特征在于：所述进气匀流板（4）包括第一匀流片（11）、第二匀流片（12）和连接柱（10），第一匀流片（11）和第二匀流片（12）系边缘轮廓相同、彼此平行的表面设置有圆形通气孔的板片结构，第一匀流片（11）和第二匀流片（12）的边缘均设置有卡槽凸口（8）和圆弧凹口（9），连接柱（10）的一端与第一匀流片（11）固定连接，连接柱（10）的另一端与第二匀流片（12）固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，其特征在于：所述第一匀流片较第二匀流片（12）更靠近进气管（2），第一匀流板与进气管（2）的出气口（3）的距离为六十到一百毫米。
4.根据权利要求2所述的一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，其特征在于：所述第一匀流片（11）上的通气孔数量为四个、直径为四十至八十毫米，所述第二匀流片（12）上的通气孔的直径为八至二十毫米，第二匀流片（12）上的通气孔彼此间隔为直径的二至三倍且均匀排布于第二匀流片（12）的整个表面。
5.根据权利要求1所述的一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构，其特征在于：所述舟托匀流板（7）系表面设置有圆形过气孔的方形单层板片结构，过气孔的直径为六到十四毫米，过气孔彼此间隔为直径的一倍且均匀排布于舟托匀流板（7）的整个表面，舟托匀流板（7）与最靠近所述出气口（3）的一个石英舟（5）的距离为八十到一百四十毫米。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202223489890.6U CN218957757U (zh) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 一种改善太阳能电池扩散方阻均匀性的匀流板机构 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN (1) | CN218957757U (zh) |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN116504611A (zh) * | 2023-06-28 | 2023-07-28 | 无锡松煜科技有限公司 | 一种硼扩散设备及其使用方法 |
| CN117691002A (zh) * | 2024-02-04 | 2024-03-12 | 无锡松煜科技有限公司 | 一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的硼扩散装置 |
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