CN202167467U - 一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括扩散炉管，在扩散炉管的一端设有炉门，在扩散炉管内设有石英舟，其特征在于：在石英舟的正上方及正下方或在石英舟的正下方及正上方分别设有进气喷淋管及抽气管，进气喷淋管及抽气管的一端分别用堵头堵住，另一端通出扩散炉管外，在进气喷淋管上开有至少一排进气孔，在抽气管上开有至少一排抽气孔。本实用新型的扩散工艺气体从石英进气喷淋管进入扩散炉管，通过硅片后经抽气管排出扩散炉管，在此过程中减少了扩散工艺气体的横向流动，避免了工艺气体在横向流动时硅片阻挡导致的气流不均匀。在硅片内形成均匀的PN结，得到比较一至的方块电阻。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置。
背景技术
在太阳能电池加工过程中，扩散炉是对硅基片进行高温掺杂的设备，是对太阳能电池的转换效率起着决定性作用的设备。为了得到高效的太阳能电池，要求扩散时炉管内气流稳定，气场分布均匀。现有的喷淋扩散技术解决了原有的扩散方式单片内方阻不均匀的不足。但由于采用的是单孔抽风，扩散炉管内的气流不均匀，尤其是炉尾部分离抽风口较远容易造成抽风盲区，从而导致扩散炉管内炉口和炉尾的源浓度不均匀，最终影响扩散工艺质量，扩散后的硅片片间方块电阻不均匀。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种适用于喷淋扩散装置的尾气收集系统，使扩散源更加均匀地通过每一片硅片，在硅片上形成均匀的PN结，从而做出高方阻的高效太阳能电池。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括扩散炉管，在扩散炉管的一端设有炉门，在扩散炉管内设有石英舟，其特征在于：在石英舟的正上方及正下方或在石英舟的正下方及正上方分别设有进气喷淋管及抽气管，进气喷淋管及抽气管的一端分别用堵头堵住，另一端通出扩散炉管外，在进气喷淋管上开有至少一排进气孔，在抽气管上开有至少一排抽气孔。
优选地，所述扩散炉管为圆柱形石英扩散炉管。
优选地，所述炉门为自动炉门。
优选地，所述抽气孔为至少两排。
优选地，所述抽气孔的开口方向朝上，其开口方向与竖直方向成45°夹角，所述抽气孔的孔径<3mm，同一排上邻近两个所述抽气孔之间的间距<5mm。
本实用新型的扩散工艺气体从石英进气喷淋管进入扩散炉管，通过硅片后经抽气管排出扩散炉管，在此过程中减少了扩散工艺气体的横向流动，避免了工艺气体在横向流动时硅片阻挡导致的气流不均匀。工艺气体只在垂直平面内经过硅片，使硅片与工艺气体均匀充分的接触，从而在硅片内形成均匀的PN结，得到比较一至的方块电阻。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置的结构示意图；
图2为图1的截面图。
具体实施方式
为使本实用新型更明显易懂，兹以一优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
如图1及图2所示，本实用新型提供的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括圆柱形石英扩散炉管2，在圆柱形石英扩散炉管2的一端安装有自动炉门3。石英舟6放置于圆柱形石英扩散炉管2内的下部，石英舟6上承载着待扩散的硅片5。进气喷淋管1及抽气管7分别设置在石英舟6的正上方及正下方，当然，也可以将进气喷淋管1及抽气管7分别设置在石英舟6的正下方及正上方。进气喷淋管1及抽气管7的一端用堵头4封闭，另一端通出圆柱形石英扩散炉管2外。进气喷淋管1、抽气管7及堵头4分别为石英材质的。沿进气喷淋管1轴向开有一排进气孔9，为了减少局部抽风过大带来的影响，沿抽气管7轴向开有两排抽气孔8。
两排抽气孔8的开口方向朝上，开口方向与竖直方向成45°夹角，孔径<3mm，同一排上邻近两个抽气孔8间的间距<5mm。抽气管7的开孔数具体要结合进气喷淋管1的开孔数设计，与喷淋孔一一对应。开孔的孔径越小数量越多对均匀性的提高越好。
当扩散工艺运行时，工艺气体通过进气喷淋管1从进气孔9进入圆柱形石英扩散炉管2内，均匀的向下喷洒在竖直插在石英舟6上的硅片5上。经过硅片5后的工艺废气直接从设置于石英舟下方的抽气管7的抽气孔8中排出圆柱形石英扩散炉管2。如图2所示，工艺气体在从进入圆柱形石英扩散炉管2到排出圆柱形石英扩散炉管2的整个过程中主要在竖直方向的运动，减少了工艺气体的横向运动，从而避免了由于工艺气体横向运动造成的硅片边缘扩散的杂质浓度比中间高的问题，同时也避免了单孔抽风时扩散炉内炉尾与炉口的工艺气体流速不一致而导致管口与管尾杂质源浓度不均匀的问题。本实用新型能让工艺气体均匀快速的从竖直平面上通过硅片5，从而在硅片5表面形成均匀的PN结，做出均匀的高方阻电池，提高太阳能电池的转换效率。
Claims (5)
1.一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，包括扩散炉管，在扩散炉管的一端设有炉门，在扩散炉管内设有石英舟（6），其特征在于：在石英舟（6）的正上方及正下方或在石英舟（6）的正下方及正上方分别设有进气喷淋管（1）及抽气管（7），进气喷淋管（1）及抽气管（7）的一端分别用堵头（4）堵住，另一端通出扩散炉管外，在进气喷淋管（1）上开有至少一排进气孔（9），在抽气管（7）上开有至少一排抽气孔（8）。
2.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述扩散炉管为圆柱形石英扩散炉管（2）。
3.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述炉门为自动炉门（3）。
4.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述抽气孔（8）为至少两排。
5.如权利要求1或4所述的一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置，其特征在于：所述抽气孔（8）的开口方向朝上，其开口方向与竖直方向成45°夹角，所述抽气孔（8）的孔径<3mm，同一排上邻近两个所述抽气孔（8）之间的间距<5mm。
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