CN217948314U - 药水交换阳极盒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了药水交换阳极盒，包括盒体、设置在盒体内的阳极网，盒体上设有液体入口，盒体上设吸入口，由所述液体入口进入盒体内的液体经所述吸入口流出。本实用新型的阳极盒设置在电镀槽内的阳极区，药液从盒体的吸入口抽到外置的喷淋泵，然后泵浦再打入到电镀槽内的喷管，药水通过喷管喷射至阴极区的电镀基板。本申请的阳极盒用于垂直电镀铜设备，跟常规阳极盒最大的不同就是增加了吸入口，药液可以快速进到盒体，然后经过泵浦再打入到电镀铜槽内，提升了离子交换速率。阳极网采用倾斜放置，能够增加药水冲刷面积，有利于阳极盒内药水离子置换，有效提高电镀表面均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀设备，具体涉及电镀铜槽中的阳极盒。
背景技术
电镀是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，电镀槽是电镀设备中最基础的设备，主要功能是装置溶液，内部设有阳极区和阴极区。
例如，授权公告号为CN 216039902 U的专利文件公开了一种电镀槽内阴阳极分隔控制装置，包括电镀槽，电镀槽内壁底端的中部安装有两个分流管，两个分流管的顶部均固定连通有喷管，两个喷管之间设有电镀基板，电镀基板所在区域为阴极区，阳极板所在区域为阳极区。实际操作中，将阳极区的药水抽出电镀槽，经过反应处理后，再用泵打入阴极区，药水通过喷管喷射至电镀基板。
现有技术中，存在将阳极盒设置在电镀槽内的阳极区，用来进行离子交换，但是，阳极盒内镀铜药水几乎是不流动的，不利于离子交换效率的提升。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题：提升离子交换效率。
为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：药水交换阳极盒，包括盒体、设置在盒体内的阳极网，盒体上设有液体入口，盒体上设吸入口，由所述液体入口进入盒体内的液体经所述吸入口流出。
本实用新型的阳极盒设置在电镀槽内的阳极区，药液从盒体的吸入口抽到外置的喷淋泵，然后泵浦再打入到电镀槽内的喷管，药水通过喷管喷射至阴极区的电镀基板。
所述液体入口位于盒体面向电镀基板的一侧，所述吸入口位于盒体的底部。本申请的阳极盒用于垂直电镀铜设备，属于一种全新的阳极盒，跟常规阳极盒最大的不同就是增加了吸入口，药液可以快速进到盒体，然后经过泵浦再打入到电镀铜槽内。
本实用新型的阳极盒提升了离子交换速率，进而提升电镀效果。
作为一种改进，阳极网倾斜放置在盒体内。阳极网作为电镀铜槽阳极，影响电镀效果，电镀效果主要参数就是均匀性，阳极网的放置方式，距离电镀基板的距离会直接影响电镀均匀性。阳极网采用倾斜放置，应用在电镀设备上，能够增加药水冲刷面积，有利于阳极盒内药水离子置换，并能有效提高电镀表面均匀性。
附图说明
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：
图1为本实用新型所述的阳极盒的示意图；
图2为设有本实用新型所述阳极盒的电镀槽。
图中符号说明：
10、本实用新型所述的阳极盒；1、阳极网；2、PP布；3、挂钩；4、盒体；5、吸入口；6、电镀基板；7、喷管；8、喷淋吸口。
具体实施方式
结合图1、图2，药水交换阳极盒，包括盒体4、设置在盒体内的阳极网1，盒体上设有液体入口，盒体上设吸入口5，由所述液体入口进入盒体内的液体经所述吸入口流出。
本实用新型的阳极盒设置在电镀槽内的阳极区，药液从盒体4的吸入口5抽到外置的喷淋泵(经过电镀槽底部的喷淋吸口8)，然后泵浦再打入到电镀槽内的喷管7，药水通过喷管喷射至阴极区的电镀基板6。
所述液体入口位于盒体4面向电镀基板6的一侧，所述吸入口位于盒体的底部。本申请的阳极盒用于垂直电镀铜设备，具体为垂直电镀铜槽。
所述液体入口覆盖PP布2，来自阴极区的药水能够均匀进入盒体4。
盒体4上设有挂钩3，电镀槽的侧壁上设有与挂钩3配合的挂件，方便操作者从电镀槽中取出阳极盒，以及，将阳极盒放入电镀槽。
阳极网1倾斜放置在盒体4内，相比较竖直放置，药水冲刷面积增加，而且能够降低电镀过程中电镀基板6上面铜厚偏厚问题，从而提升电镀基板电镀的均匀性。作为一种选择，阳极网1采用氧化铱网。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施方式，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (5)
1.药水交换阳极盒，包括盒体(4)、设置在盒体内的阳极网(1)，盒体上设有液体入口，其特征在于：盒体上设吸入口(5)，由所述液体入口进入盒体内的液体经所述吸入口流出。
2.如权利要求1所述的药水交换阳极盒，其特征在于：所述液体入口位于盒体(4)面向电镀基板(6)的一侧，所述吸入口位于盒体的底部。
3.如权利要求1所述的药水交换阳极盒，其特征在于：所述液体入口覆盖PP布(2)。
4.如权利要求1所述的药水交换阳极盒，其特征在于：盒体(4)上设有挂钩(3)。
5.如权利要求1所述的药水交换阳极盒，其特征在于：阳极网(1)倾斜放置在盒体(4)内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222243932.1U CN217948314U (zh) | 2022-08-25 | 2022-08-25 | 药水交换阳极盒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222243932.1U CN217948314U (zh) | 2022-08-25 | 2022-08-25 | 药水交换阳极盒 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217948314U true CN217948314U (zh) | 2022-12-02 |
Family
ID=84232451
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222243932.1U Active CN217948314U (zh) | 2022-08-25 | 2022-08-25 | 药水交换阳极盒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217948314U (zh) |
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2022
- 2022-08-25 CN CN202222243932.1U patent/CN217948314U/zh active Active
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