CN217933748U - 承载装置以及腔室 - Google Patents

Abstract

本公开涉及承载装置以及腔室。根据一实施例的承载装置包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并固定，所述单元包括：载置台，位于所述承载基座之上，并具有能够装载下部材料的上面；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动，并且具有能够装载上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。

Description

承载装置以及腔室

技术领域

本公开涉及一种用于粘合工艺的承载装置、利用其的粘合方法以及腔室，更具体地涉及一种用于真空粘合工艺的承载装置、利用其的真空粘合方法以及腔室。

背景技术

在显示装置的制造工艺中，需要板或者膜形态的两个构成要件彼此粘合的过程。作为粘合方法可以使用利用轧辊或者利用腔室的粘合工艺。

在粘合工艺的情况下，可以使用按如下顺序进行的真空粘合方法：将待粘合的下部材料和上部材料分别装载于构成腔室的腔室下部和腔室上部，在腔室内分别对下部材料和上部材料进行必要的前处理之后，将下部材料和上部材料彼此对齐，在使腔室内成为真空的状态下将下部材料和上部材料彼此粘合。

实用新型内容

根据基于现有技术的粘合工艺，除了在腔室内的粘合以外的工艺也进行，整个工艺时间变长，由此用于粘合工艺的设备的数量以及占有空间也增加，从而费用也增加。

本实施例用于解决以上的问题，用于通过缩短粘合工艺的时间来提高生产率并减少投资设备的费用。

根据一实施例的承载装置包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并被固定，所述单元包括：载置台，位于所述承载基座之上，并具有能够装载下部材料的上面；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动，并且具有能够装载上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。

可以是，所述装载部的上面的高度初始设定为比所述载置台的上面的高度高。

可以是，所述承载装置还包括：下防滑垫，位于所述载置台的上面；以及上防滑垫，位于所述装载部的上面。

可以是，所述下防滑垫以及所述上防滑垫中的至少一个包含乙烯醋酸乙烯酯(EVA)。

可以是，所述上防滑垫的上面的高度初始设定为比装载于所述下防滑垫之上的所述下部材料的上面的高度高。

可以是，所述承载装置还包括：移动导件，位于所述推动器和所述承载基座的侧部之间，并能够引导所述推动器的上下方向的移动。

所述移动导件包括固定于所述承载基座的侧部的轨道以及固定于所述推动器的侧面的块，所述块能够被所述轨道引导而沿着所述轨道在上下方向上移动。

可以是，所述推动器的上面形成为台阶形，所述装载部的上面形成比所述台阶形的上面中最高部分低的上面。

可以是，多个所述单元位于所述承载基座之上。

可以是，所述单元能够从所述承载基座分离，所述承载基座还包括：隔板，位于相邻的所述单元之间。

根据一实施例的粘合方法包括：将下部材料装载于能够移动的承载装置的步骤；将装载的所述下部材料进行前处理的步骤；将上部材料进行前处理的步骤；将被前处理的所述上部材料装载于所述承载装置的步骤；将所述下部材料和所述上部材料彼此对齐的步骤；以及使所述承载装置位于用于粘合工艺的腔室内，并粘合所述下部材料和所述上部材料的步骤。

可以是，将所述下部材料进行前处理的步骤包括：清洗所述下部材料的步骤；剥离附着于所述下部材料之上的保护膜的步骤；以及将所述下部材料的被剥离的表面进行等离子体处理的步骤。

可以是，将所述上部材料进行前处理的步骤在除所述承载装置之外的空间进行。

可以是，所述承载装置包括：承载基座；以及至少一个单元，位于所述承载基座之上并固定；所述单元包括：载置台，能够装载所述下部材料；推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上可移动，并且具有能够装载所述上部材料的装载部；弹簧，位于所述推动器的底面；以及锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。

可以是，所述腔室包括：加压部，能够加压所述推动器；以及弹性部件，附着在所述加压部的下面，所述弹性部件的底面形成中央部分的厚度最厚且厚度随着前往边缘逐渐变薄的斜度。

可以是，在粘合所述下部材料和所述上部材料的步骤中，所述腔室内部为真空状态。

可以是，在粘合所述下部材料和所述上部材料的步骤中，随着所述推动器下降而所述上部材料与所述下部材料开始粘合并从所述装载部离开，若完成粘合，则所述推动器的位置被所述锁定部固定。

可以是，在使所述承载装置位于所述腔室内的步骤中，使多个所述承载装置位于所述腔室内。

可以是，多个所述单元位于所述承载基座之上。

根据一实施例的腔室用于粘合工艺，并能够使得能够移动且装载待粘合的下部材料和上部材料的承载装置位于内部，所述腔室包括：加压部，能够加压所述承载装置所包括的推动器；以及弹性部件，附着在所述加压部的下面，所述弹性部件的底面形成中央部分的厚度最厚且厚度随着前往边缘逐渐变薄的斜度。

根据实施例，通过缩短粘合工艺的时间，能够提高生产率并减少投资设备的费用。

附图说明

图1示出根据一实施例的承载装置的结构。

图2是根据一实施例的粘合方法的流程图。

图3示出基于根据一实施例的粘合方法的工艺流程的承载装置。

图4示出根据一实施例的粘合方法中使用的承载装置的移动。

图5是根据一实施例的粘合方法的粘合步骤的流程图。

图6示出在根据一实施例的粘合方法的一步骤中将下部材料以及上部材料装载于承载装置的步骤。

图7示出作为图6中示出的步骤的下一步骤，使承载装置位于腔室内的步骤。

图8示出作为图7中示出的步骤的下一步骤，使加压部下降并使腔室内成为真空的步骤。

图9示出作为图8中示出的步骤的下一步骤，推动器下降而下部材料和上部材料开始彼此粘合的步骤。

图10示出作为图9中示出的步骤的下一步骤，推动器锁定而下部材料和上部材料彼此粘合的步骤。

图11示出作为图10中示出的步骤的下一步骤，完成下部材料和上部材料的粘合之后加压部上升的步骤。

图12示出作为图11中示出的步骤的下一步骤，将承载装置从腔室卸载的步骤。

图13示出作为图12中示出的步骤的下一步骤，从承载装置卸载被粘合的产品的步骤。

图14示出根据一实施例的承载装置的结构。

图15以及图16分别示出根据一实施例的承载装置和腔室的结构。

图17以及图18分别示出可以装载于根据一实施例的承载装置的下部材料以及上部材料的例子。

(附图标记说明)

10：下部材料

20：上部材料

100、100A：承载装置

111：承载基座

112：载置台

113：推动器

114：弹簧

115：锁定部

116、117：防滑垫

118：移动导件

200：清洗装置

300：等离子体处理装置

400、600：相机装置

500：腔室

540：加压部

550：压力传递部

具体实施方式

以下，参考所附附图对本实用新型的各实施例进行详细说明以使得本实用新型所属技术领域中具有通常知识的人能够容易实施。本实用新型可以以各种不同的方式实现，不限于在此说明的实施例。

为了清楚地说明本实用新型，省略了与说明无关的部分，并贯穿说明书全文针对相同或者类似的构成要件标注相同的附图标记。

另外，在附图中示出的各结构的尺寸以及厚度是为了便于说明而任意表示的，因此本实用新型并非限定于所图示那样。为了在附图中清楚地表现出各层以及区域，将厚度放大示出。而且，在附图中，为了便于说明，夸张地表示了一部分层以及区域的厚度。

另外，当说到层、膜、区域、板等部分在其它部分“之上”或“上”时，其不仅包括“直接”在其它部分“之上”的情况，也包括其中间具有又另一部分的情况。相反地，当某个部分在其它部分“正上方”时，表示中间没有其它部分。另外，在成为基准的部分“之上”或“上”表示位于成为基准的部分之上或之下，并不意指必须向重力相反方向侧位于“之上”或“上”。

另外，在说明书全文中，当说到某个部分“包括”某个构成要件时，其意指除非有特别相反的记载，否则不排除其它构成要件，而可以还包括其它构成要件。

另外，在说明书全文中，当说到“平面上”时，这意指从上方观察对象部分的情况，当说到“截面上”时，这意指从侧面观察将对象部分垂直截取的截面的情况。

参照图1，针对根据一实施例的用于粘合方法的承载装置进行说明。

图1示出根据一实施例的承载装置100的结构。

根据一实施例的承载装置100包括至少一个单元UN以及将至少一个单元UN容纳而固定的承载底座111。

承载底座111可以移动，并包括底板以及从底板在上下方向DR1中向上凸出的侧部。

各单元UN包括载置台(stage)112、推动器(pusher)113、弹簧(spring)114、锁定部(locking unit)115、上防滑垫(upper non-slip pad)116、下防滑垫(lower non-slippad)117以及移动导件(motion guide)118。

载置台112设置于承载基座的底板之上而固定，并具有形成下部材料10的装载的上面。

推动器113与载置台112的边缘相邻设置，并能够沿着载置台112的侧面在上下方向DR1上移动。推动器113具有在真空粘合工艺中与腔室上部的加压部接触的上面。推动器113可以通过加压部的压力下降而使上部材料20下降。推动器113包括为了装载上部材料20而形成为台阶形的装载部113A。装载部113A形成比推动器113的上面中最高部分低的上面。

弹簧114位于推动器113的底面。弹簧114起到在下部材料10和上部材料20的粘合工艺中控制并支承上部材料20的上下方向DR1的高度的作用。另外，弹簧114可以在完成下部材料10和上部材料20的粘合工艺后，使推动器113恢复到原处。也可以替代弹簧114使用具有恢复力的弹性体。

锁定部115位于弹簧114的下端，并位于承载底座111的底板(base plate)和弹簧114之间。锁定部115可以固定在承载底座111的底板。锁定部115起到将推动器113固定在下降的位置直到下部材料10和上部材料20的粘合步骤和粘合的产品从承载装置100卸载为止。

上防滑垫116位于推动器113的装载部113A上面，可以在上部材料20的装载之后，将上部材料20的位置固定成在承载装置100的移动以及粘合工艺中不向垂直于上下方向DR1的横向(in a lateral direction)歪斜。相反，上防滑垫116可以具有低粘合特性以使得粘合工艺中上部材料20在上下方向DR1上从上防滑垫116容易分离。上防滑垫116可以包含用于防滑的材质，例如乙烯醋酸乙烯酯(EVA)等材料。

下防滑垫117位于载置台112的上面，可以在下部材料10的装载之后，将下部材料10的位置固定成在承载装置100的移动以及粘合工艺中不向垂直于上下方向DR1的横向歪斜。相反，下防滑垫117可以具有低粘合特性以使得粘合工艺之后粘合的产品在上下方向DR1上从下防滑垫117容易分离。下防滑垫117可以包含用于防滑的材质，例如乙烯醋酸乙烯酯(EVA)等材料。

移动导件118可以位于推动器113和承载底座111的侧部之间，并引导推动器113的上下方向DR1的移动。移动导件118可以包括固定于承载底座111的侧部的轨道119以及固定于推动器113的侧面的块120。块120可以被轨道119引导而沿着轨道119在上下方向DR1上移动。

可以将载置台112的上面的高度和推动器113的装载部113A的上面的高度初始设定为当将下部材料10以及上部材料20分别装载于承载装置100时使得下部材料10和上部材料20能够彼此不接触而保持一定的间隔。为此，以承载底座111的底板为基准的推动器113的装载部113A的上面的高度可以高于载置台112的上面的高度。即，在图1中，可以初始设定为上防滑垫116的上面的高度高于装载于下防滑垫117之上的下部材料10的上面的高度。如果上部材料20具有由于柔韧而装载时上部材料20的中间部分下垂的材质，则考虑这一点，可以使上防滑垫116的上面比装载于下防滑垫117之上的下部材料10的上面更高以使得下部材料10和上部材料20以彼此不接触的状态装载。

接下来，参照图2、图3以及图4，针对利用图1中示出的承载装置的粘合方法进行说明。

图2是根据一实施例的粘合方法的流程图，图3示出基于根据一实施例的粘合方法的工艺流程的承载装置，图4示出根据一实施例的粘合方法中使用的承载装置的移动。

首先，将下部材料10装载于承载装置100的载置台112之上(S10)。图3示出两个下部材料10装载于一个承载装置100的情况。在此情况下，一个承载装置100可以包括多个单元UN而在各单元UN中装载各下部材料10。针对其具体的结构在后面进行说明。

接下来，在将下部材料10装载于承载装置100的状态下，利用清洗装置200清洗下部材料10(S11)。清洗方法可以使用例如超声波清洗(ultrasonic cleaning，USC)方法。

接下来，剥离附着于下部材料10的上面的保护膜(S12)。

接下来，将下部材料10的被剥离的表面进行处理(S13)。此时，可以利用等离子体处理装置300将下部材料10的表面进行等离子体处理。由此，可以通过降低下部材料10的表面的接触角来改善表面材质并提高粘合力。

与对下部材料10的清洗(S11)、保护膜剥离(S12)以及表面处理(S13)之类的下部材料10装载于承载装置100的状态下的前处理(pre-process)同时或者在不同时间，对上部材料20进行前处理。上部材料20的前处理可以在不是承载装置100的其它空间进行。

上部材料20的前处理包括清洗(S21)、保护膜剥离(S22)以及表面处理(S23)步骤。针对上部材料20的清洗(S21)、保护膜剥离(S22)以及表面处理(S23)方法可以与上面说明的对下部材料10的清洗(S11)、保护膜剥离(S12)以及表面处理(S13)方法相同。

接下来，将被前处理的上部材料20装载于承载装置100(S14)。上部材料20可以位于下部材料10之上，并与下部材料10不接触而安放于推动器113的装载部113A之上。如上面所说明那样，图3示出两个上部材料20装载于一个承载装置100的情况。在此情况下，一个承载装置100可以包括多个单元UN而在各单元UN中装载各上部材料20。

接下来，将下部材料10和上部材料20彼此对齐(S15)。此时，可以利用相机装置400视觉确认下部材料10和上部材料20的对齐状态。

接下来，使承载装置100位于腔室500内，并粘合下部材料10和上部材料20(S16)。此时，可以在将腔室500内形成为真空的状态下进行粘合工艺，提高粘合质量。将其称为真空粘合工艺(vacuum bonding process)。

接下来，检查下部材料10和上部材料20粘合的产品(S17)。此时，可以利用相机装置600视觉确认下部材料10和上部材料20的粘合状态。相机装置600可以与在前面利用的相机装置400相同。

接下来，从承载装置100卸载产品(S18)。

接下来，参照图4，卸载产品的承载装置100可以向与从下部材料10的装载步骤(S10)进行到产品的卸载步骤(S18)的层F1不同的层F2下降或者上升后，再次移动到用于装载下部材料10的位置(S19)。

在这样的过程中，装载下部材料10及/或上部材料20的承载装置100可以为了各工艺步骤而移动，易于为了粘合工艺而在设置于腔室500内之前执行各种前处理步骤。另外，可以与腔室500内的粘合工艺单独地或者同时对下部材料10进行前处理，从而可以缩短粘合方法的整个工艺的时间，可以提高生产率，并可以减少投资设备的费用。

那么，与前面说明的附图一起参照图5至图13，针对根据一实施例的粘合方法中腔室内的粘合工艺(S16)的具体步骤进行说明。

图5是根据一实施例的粘合方法的粘合步骤的流程图，图6示出在根据一实施例的粘合方法的一步骤中将下部材料以及上部材料装载于承载装置的步骤，图7示出作为图6中示出的步骤的下一步骤，使承载装置位于腔室内的步骤，图8示出作为图7中示出的步骤的下一步骤，使加压部下降并使腔室内成为真空的步骤，图9示出作为图8中示出的步骤的下一步骤，推动器下降而下部材料和上部材料开始彼此粘合的步骤，图10示出作为图9中示出的步骤的下一步骤，推动器锁定而下部材料和上部材料彼此粘合的步骤，图11示出作为图10中示出的步骤的下一步骤，完成下部材料和上部材料的粘合之后加压部上升的步骤，图12示出作为图11中示出的步骤的下一步骤，将承载装置从腔室卸载的步骤，图13示出作为图12中示出的步骤的下一步骤，从承载装置卸载被粘合的产品的步骤。

首先，参照图6，将下部材料10和上部材料20装载于承载装置100。上部材料20的边缘可以置于上防滑垫116之上，下部材料10可以全部置于下防滑垫117之上。此时，如上所说明那样，将推动器113的位置设定成使得上部材料20和下部材料10能够不接触而在上下方向DR1上保持一定高度。

接下来，参照图7，向包括腔室下部(chamber lower portion)510和腔室上部(chamber upper portion)520的腔室500投入承载装置100(S161)。腔室下部510和腔室上部520可以在上下方向DR1上分离或者粘合。

腔室500可以包括位于腔室上部520的上侧的压力传递部(pressuretransmitting unit)550以及连接于压力传递部550的下方而能够向下方向施加压力的加压部(pressor)540。

压力传递部550可以以气缸形态向加压部540传递均匀的压力。

加压部540可以包括向垂直于上下方向DR1的横向延伸的上板541和从上板541向下凸出的加压凸出部(pressing protrusion)542。加压凸出部542设定成与承载装置100的推动器113的具有最高上面的部分接触而能够加压的位置。

腔室500可以还包括附着在加压部540的上板541的下面中的弹性部件530。弹性部件530可以具有形成在与压力传递部550相对应的中央部分最厚且越前往边缘越变薄的平缓斜度的底面。由此，从与弹性部件530接触的上部材料20的中央部分向边缘侧依次施加压力，从而能够减少气泡的产生。弹性部件530的材质可以包含例如硅。

接下来，参照图8，将腔室下部510和腔室上部520在上下方向DR1上关闭而密闭腔室500内部，使腔室500内部成为真空状态，使压力传递部550以及加压部540向下下降(S162)。

接下来，参照图9，与加压部540接触而向下受力的推动器113下降，从而下部材料10和上部材料20的上下方向DR1的距离变近并开始粘合(S163)。此时，弹簧114在上下方向DR1上压缩。如放大图A所示，通过弹性部件530的斜度，从下部材料10和上部材料20的中央部分开始接触并向边缘方向进行粘合。如放大图B所示，随着上部材料20与下部材料10相碰，从推动器113的装载部113A之上的上防滑垫116离开。

接下来，参照图10，下降到最后的推动器113被锁定部115锁定并固定，下部材料10和上部材料20粘合到最后(S164)。

接下来，参照图11，在推动器113的位置被固定的状态下，完成下部材料10和上部材料20的粘合(S165)。腔室上部520和腔室下部510分离而解除真空状态，压力传递部550和加压部540向上升起。

接下来，参照图12，从腔室卸载承载装置100(S166)。此时推动器113的固定位置也被保持而与被粘合的产品30不接触。

接下来，参照图13，从承载装置100卸载被粘合的产品30(S167)。

这样的粘合工艺作为真空粘合工艺，能够有效进行粘合工艺，在腔室外利用承载装置进行粘合工艺前的前处理，从而能够缩短整个粘合方法的工艺时间，提高生产率，减少投资设备的费用。

接下来，参照图14，针对根据一实施例的承载装置进行说明。

图14示出根据一实施例的承载装置100A的结构。

根据实施例的承载装置100A如在前面也说明那样可以在承载底座111之上包括至少一个单元UN。前面说明的图1示出在承载底座111之上包括一个单元UN的例子。图14示出在承载底座111之上包括两个单元UN的例子。

承载底座111可以还包括划分相邻的单元UN之间的隔板111A。

各单元UN的结构与前面说明的实施例相同。

承载底座111之上的至少一个单元UN可以从承载底座111分离，可以自由地改变一个承载装置100A所包括的单元UN的结构以及数量。因此，可以按照待制造的电子产品的尺寸构成各种承载装置100A，利用相同的设备生产产品，因此能够节减附加费用。

接下来，参照图15以及图16，针对根据一实施例的腔室以及利用其的粘合工艺进行说明。

图15以及图16分别示出根据一实施例的承载装置和腔室的结构。

首先，参照图15，可以在根据一实施例的腔室500A内投入多个承载装置100。为此，根据一实施例的腔室500A可以包括能够向承载装置100加压的多个压力传递部550、多个加压部540以及多个弹性部件530。

相邻的加压部540可以包括延伸为一个的上板541和从上板541向下凸出而与承载装置100的各推动器相对应的位置的多个加压凸出部542。也可以与图15中示出的不同，多个加压部540的上板541彼此分离。多个弹性部件530也可以与各承载装置100相对应地配置。

根据图15中示出的实施例的腔室500A可以具有比前面说明的腔室500大的尺寸。腔室500A包括具有与前面说明的腔室下部510以及腔室上部520相同的特征和功能的腔室下部510A以及腔室上部520A。

图15示出了一个腔室500A内投入两个承载装置100的例子，但也可以投入三个以上承载装置100来进行粘合工艺。针对图15中示出的结构，也与如前面所说明那样的粘合工艺(S16)相同地执行工艺，从而能够有效地粘合下部材料和上部材料。

接下来，参照图16，可以在根据一实施例的腔室500B内投入多个承载装置100A。为此，根据一实施例的腔室500B可以包括能够向承载装置100A加压的多个压力传递部550、多个加压部540以及多个弹性部件530。

与各承载装置100A相对应的多个加压部540可以包括延长为一个或者分离的上板541以及与承载装置100A的各推动器相对应的位置的多个加压凸出部542。位于彼此不同的承载装置100A的多个加压部540也可以如图16所示那样彼此分离，也可以与此不同地包括延长为一个的上板541。

多个弹性部件530也可以与承载装置100A之上的各单元UN相对应地配置。

图16中示出的根据实施例的腔室500B可以具有比前面说明的腔室500或者腔室500A大的尺寸。腔室500B包括具有与前面说明的腔室下部510以及腔室上部520相同的特征和功能的腔室下部510B以及腔室上部520B。

图16示出了在一个腔室500B内投入两个承载装置100A的例子，但也可以投入三个以上的承载装置100A来进行粘合工艺。针对图16中示出的结构，也与如前面所说明那样的粘合工艺(S16)相同地执行工艺，从而能够有效地粘合下部材料和上部材料。

根据图15以及图16中示出的实施例，可以增加在利用一个腔室的粘合工艺中能够粘合的下部材料10以及上部材料20的数量，从而能够进一步提高生产率。

接下来，参照图17以及图18，针对能够装载于根据一实施例的承载装置来进行粘合工艺的下部材料10以及上部材料20的例子进行说明。

图17以及图18分别示出可以装载于根据一实施例的承载装置的下部材料10以及上部材料20的例子。

参照图17，当待制造的产品为显示装置的结构时，下部材料10可以是透明粘合膜OCA等粘合膜，上部材料20可以是显示装置的覆盖窗。

参照图18，可以是，上部材料20是图17中示出的作为下部材料10的透明粘合膜21和作为上部材料20的覆盖窗22粘合的产品成为新的上部材料20，作为与其相对应的下部材料10是显示面板。可以通过根据实施例的粘合方法，将覆盖窗22通过透明粘合膜21有效地附着到显示面板之上。

以上，对本实用新型的实施例进行了详细说明，但本实用新型的权利范围并不限于此，本领域技术人员利用权利要求书中所定义的本实用新型的基本概念进行的各种变形以及改良形式也属于本实用新型的权利范围。

Claims (11)

1.一种承载装置，其中，包括：

承载基座；以及

至少一个单元，位于所述承载基座之上并被固定，

所述单元包括：

载置台，位于所述承载基座之上，并具有能够装载下部材料的上面；

推动器，与所述载置台的边缘相邻设置，并能够沿着所述载置台的侧面在上下方向上移动，并且具有能够装载上部材料的装载部；

弹簧，位于所述推动器的底面；以及

锁定部，位于所述弹簧下端而能够固定下降的所述推动器的位置。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其中，

所述装载部的上面的高度初始设定为比所述载置台的上面的高度高。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其中，

所述承载装置还包括：

下防滑垫，位于所述载置台的上面；以及

上防滑垫，位于所述装载部的上面。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其中，

所述下防滑垫以及所述上防滑垫中的至少一个包含乙烯醋酸乙烯酯。

5.根据权利要求3所述的承载装置，其中，

所述上防滑垫的上面的高度初始设定为比装载于所述下防滑垫之上的所述下部材料的上面的高度高。

6.根据权利要求1所述的承载装置，其中，

所述承载装置还包括：

移动导件，位于所述推动器和所述承载基座的侧部之间，并能够引导所述推动器的上下方向的移动。

7.根据权利要求6所述的承载装置，其中，

所述移动导件包括固定于所述承载基座的侧部的轨道以及固定于所述推动器的侧面的块，

所述块能够被所述轨道引导而沿着所述轨道在上下方向上移动。

8.根据权利要求1所述的承载装置，其中，

所述推动器的上面形成为台阶形，

所述装载部的上面形成比所述台阶形的上面中最高部分低的上面。

9.根据权利要求1所述的承载装置，其中，

多个所述单元位于所述承载基座之上。

10.根据权利要求9所述的承载装置，其中，

所述单元能够从所述承载基座分离，

所述承载基座还包括：隔板，位于相邻的所述单元之间。

11.一种腔室，用于粘合工艺，并能够使得能够移动且装载待粘合的下部材料和上部材料的承载装置位于内部，其中，

所述腔室包括：

加压部，能够加压所述承载装置所包括的推动器；以及

弹性部件，附着在所述加压部的下面，

所述弹性部件的底面形成中央部分的厚度最厚且厚度随着前往边缘逐渐变薄的斜度。

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