CN217809640U - 一种离子注入复合镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于镀膜技术领域，公开了一种离子注入复合镀膜设备，该设备包括设备主体，所述设备主体的上方设置有第一传输带，且第一传输带的上方设置有水箱，所述第一传输带的一侧设置有联动机构，且联动机构的一侧设置有第二传输带，并且第二传输带的上方设置有转动杆，所述转动杆的一侧连接有清理轮，并且清理轮的一侧设置有碾压块，所述碾压块的一侧设置有固定块，且固定块的下方设置有辅助海绵，所述设备主体的一侧设置有驱动电机。该离子注入复合镀膜设备，通过在传输带的上方设置有M型的碾压块，从而在基材进行入料时对基材进行刮动，保证基材进入时处于平铺状态，便于防止基材出现褶皱，提高工作效率。

Description

一种离子注入复合镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体为一种离子注入复合镀膜设备。

背景技术

离子镀膜是指利用等离子轰击膜层，从而使得膜层紧密贴合在基材的表面，最后构成薄膜的方法，在许多的半导体的或者需要进行保护层的器件表面都会使用到离子镀膜技术，其中离子镀膜设备就是为基材进行镀膜的设备，但是目前市场上的离子镀膜设备还是存在以下问题：

1、目前市场上的离子镀膜设备在进行镀膜时，并没有对基材表面进行处理，一旦基材表面设置有灰尘，就容易使得膜层表面不均匀，从而影响成本效果的出产，不利于工作人员操作；

2、在基材进行镀膜时，需要通过传输带置入设备的内部，在进行传输的过程中，基材容易出现褶皱现象，从而在离子镀膜时出现折叠区域无法覆盖的现象，影响基材的后续使用。

针对上述问题，在原有的镀膜设备的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种离子注入复合镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的目前市场上的离子镀膜设备在进行镀膜时，并没有对基材表面进行处理，一旦基材表面设置有灰尘，就容易使得膜层表面不均匀，从而影响成本效果的出产，不利于工作人员操作，在基材进行镀膜时，需要通过传输带置入设备的内部，在进行传输的过程中，基材容易出现褶皱现象，从而在离子镀膜时出现折叠区域无法覆盖的现象，影响基材的后续使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入复合镀膜设备，包括设备主体，所述设备主体的上方设置有第一传输带，且第一传输带的上方设置有水箱，所述第一传输带的一侧设置有联动机构，且联动机构的一侧设置有第二传输带，并且第二传输带的上方设置有转动杆，所述转动杆的一侧连接有清理轮，并且清理轮的一侧设置有碾压块，所述碾压块的一侧设置有固定块，且固定块的下方设置有辅助海绵，所述设备主体的一侧设置有驱动电机，且驱动电机的下方连接有驱动杆，并且驱动杆的下方连接有吹动扇。

优选的，所述联动机构包括涡轮、第一皮带、限位块、第一齿轮、第二皮带和第二齿轮，所述涡轮的一侧连接有第一皮带，所述第一皮带穿过限位块之间，所述第一皮带一侧套有第一齿轮，所述涡轮通过第一皮带和第一齿轮构成转动结构。

优选的，所述第一齿轮的一侧套有第二皮带，所述第二皮带的另一侧套有第二齿轮，所述第一齿轮通过第二皮带与第二齿轮构成转动结构。

优选的，所述水箱的宽度大于第一传输带的宽度，且水箱的下方均匀等距分布有喷头，并且水箱的上方开设有入水口。

优选的，所述驱动杆与涡轮构成蜗轮蜗杆结构，且驱动杆与吹动扇呈一体化安装。

优选的，所述清理轮均匀等距分布在第二传输带的上方，且清理轮与转动杆的连接方式为转动连接，所述清理轮之间交叉分布有凸块，且凸块均匀等距分布在固定块的下方，并且固定块与凸块之间滑动连接有辅助海绵。

优选的，碾压块呈“M”型，且碾压块两侧与设备主体构成直角。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该离子注入复合镀膜设备，

1、在传输带的上方设置有水箱、吹动扇和清理轮，经过多重过滤对基材的表面进行处理，从而保证基材表面的干净，防止后续镀膜过程中造成凸起，便于保护基材镀膜的质量；

2、通过在传输带的上方设置有M型的碾压块，从而在基材进行入料时对基材进行刮动，保证基材进入时处于平铺状态，便于防止基材出现褶皱，提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型整体正视结构示意图；

图2为本实用新型联动机构正视结构示意图；

图3为本实用新型碾压块俯视剖面结构示意图；

图4为本实用新型联动机构俯视结构示意图；

图5为本实用新型固定块仰视结构示意图。

图中：1、设备主体；2、联动机构；201、涡轮；202、第一皮带；203、限位块；204、第一齿轮；205、第二皮带；206、第二齿轮；3、第一传输带；4、第二传输带；5、水箱；6、驱动电机；7、驱动杆；8、吹动扇；9、转动杆；10、清理轮；11、固定块；12、碾压块；13、辅助海绵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种离子注入复合镀膜设备，包括设备主体1，设备主体1的上方设置有第一传输带3，且第一传输带3的上方设置有水箱5，第一传输带3的一侧设置有联动机构2，且联动机构2的一侧设置有第二传输带4，并且第二传输带4的上方设置有转动杆9，转动杆9的一侧连接有清理轮10，并且清理轮10的一侧设置有碾压块12，碾压块12的一侧设置有固定块11，且固定块11的下方设置有辅助海绵13，设备主体1的一侧设置有驱动电机6，且驱动电机6的下方连接有驱动杆7，并且驱动杆7的下方连接有吹动扇8。

联动机构2包括涡轮201、第一皮带202、限位块203、第一齿轮204、第二皮带205和第二齿轮206，涡轮201的一侧连接有第一皮带202，第一皮带202穿过限位块203之间，第一皮带202一侧套有第一齿轮204，涡轮201通过第一皮带202和第一齿轮204构成转动结构，通过涡轮201带动第一齿轮204进行转动，有利于第一传输带3的运行，便于后续工作的进行。

第一齿轮204的一侧套有第二皮带205，第二皮带205的另一侧套有第二齿轮206，第一齿轮204通过第二皮带205与第二齿轮206构成转动结构，有利于装置一体化运行。

水箱5的宽度大于第一传输带3的宽度，且水箱5的下方均匀等距分布有喷头，并且水箱5的上方开设有入水口，有利于对基材进行喷水，便于后续工作的进行。

驱动杆7与涡轮201构成蜗轮蜗杆结构，且驱动杆7与吹动扇8呈一体化安装，有利于对基材进行吹动，便于清理基材上方的水分。

清理轮10均匀等距分布在第二传输带4的上方，且清理轮10与转动杆9的连接方式为转动连接，清理轮10之间交叉分布有凸块，且凸块均匀等距分布在固定块11的下方，并且固定块11与凸块之间滑动连接有辅助海绵13，有利于清理基材上方残存的水分与灰尘，便于保证后续镀膜工作的进行。

碾压块12呈M型，且碾压块12两侧与设备主体1构成直角，有利于防止基材出现褶皱。

工作原理：根据图1-5，首先，将基材放置在第一传输带3的上方，后打开驱动电机6，驱动电机6带动驱动杆7进行转动，驱动杆7与涡轮201发生啮合，从而带动涡轮201进行转动，涡轮201通过第一皮带202带动第一齿轮204转动，从而第一传输带3开始进行工作，同时第一齿轮204通过第二皮带205带动第二齿轮206进行旋转，后第二齿轮206带动第二传输带4开始进行工作，第一传输带3在带动基材经过水箱5时，水箱5的喷头对基材进行喷水，进行初步处理，在经过吹动扇8时，吹动扇8随着驱动杆7进行转动，对基材进行吹动，带走一部分的水分与灰尘，后经过清理轮10时，清理轮10与基材摩擦，从而基材带动清理轮10转动，同时清理轮10将灰尘清理干净，后清理轮10在转动过程中与辅助海绵13摩擦，将灰尘沾染到辅助海绵13的上方，最后经过碾压块12，首先接触到直杆，后经过交叉分布的斜杆，最后由直杆进行碾平，完成整平工作进入到设备主体1的内部进行镀膜工作，以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种离子注入复合镀膜设备，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)的上方设置有第一传输带(3)，且第一传输带(3)的上方设置有水箱(5)，所述第一传输带(3)的一侧设置有联动机构(2)，且联动机构(2)的一侧设置有第二传输带(4)，并且第二传输带(4)的上方设置有转动杆(9)，所述转动杆(9)的一侧连接有清理轮(10)，并且清理轮(10)的一侧设置有碾压块(12)，所述碾压块(12)的一侧设置有固定块(11)，且固定块(11)的下方设置有辅助海绵(13)，所述设备主体(1)的一侧设置有驱动电机(6)，且驱动电机(6)的下方连接有驱动杆(7)，并且驱动杆(7)的下方连接有吹动扇(8)。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入复合镀膜设备，其特征在于：所述联动机构(2)包括涡轮(201)、第一皮带(202)、限位块(203)、第一齿轮(204)、第二皮带(205)和第二齿轮(206)，所述涡轮(201)的一侧连接有第一皮带(202)，所述第一皮带(202)穿过限位块(203)之间，所述第一皮带(202)一侧套有第一齿轮(204)，所述涡轮(201)通过第一皮带(202)和第一齿轮(204)构成转动结构。

3.根据权利要求2所述的一种离子注入复合镀膜设备，其特征在于：所述第一齿轮(204)的一侧套有第二皮带(205)，所述第二皮带(205)的另一侧套有第二齿轮(206)，所述第一齿轮(204)通过第二皮带(205)与第二齿轮(206)构成转动结构。

4.根据权利要求1所述的一种离子注入复合镀膜设备，其特征在于：所述水箱(5)的宽度大于第一传输带(3)的宽度，且水箱(5)的下方均匀等距分布有喷头，并且水箱(5)的上方开设有入水口。

5.根据权利要求2所述的一种离子注入复合镀膜设备，其特征在于：所述驱动杆(7)与涡轮(201)构成蜗轮蜗杆结构，且驱动杆(7)与吹动扇(8)呈一体化安装。

6.根据权利要求1所述的一种离子注入复合镀膜设备，其特征在于：所述清理轮(10)均匀等距分布在第二传输带(4)的上方，且清理轮(10)与转动杆(9)的连接方式为转动连接，所述清理轮(10)之间交叉分布有凸块，且凸块均匀等距分布在固定块(11)的下方，并且固定块(11)与凸块之间滑动连接有辅助海绵(13)。

7.根据权利要求1所述的一种离子注入复合镀膜设备，其特征在于：所述碾压块(12)呈“M”型，且碾压块(12)两侧与设备主体(1)构成直角。

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