CN217728200U - 一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及透镜研磨领域，公开了一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，包括固定底座和磁性贴座，所述固定底座的上端右侧中部固定连接在第一电机的底部，所述第一电机的转轴固定连接在立柱的底端中部，所述立柱的外侧中部滑动连接有滑套，所述滑套的一侧中部固定连接有固定块，所述固定块的右侧固定连接在伸缩杆缸体底端，所述立柱的一侧上端固定连接有固定座，所述固定底座的上端右侧中部固定连接有抽水泵。本实用新型中，通过第一电机带动立柱转动，第二电机带动螺纹杆转动，使磁性贴座可以水平转动和上下移动，减少人工搬运浪费的时间，同时通过抽水泵将研磨时产生的粉尘打湿，防止落入机器和空气中。

Description

一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机

技术领域

本实用新型涉及透镜研磨领域，尤其涉及一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机。

背景技术

微透镜的加工方法主要有磨削、铣削、模压、注塑、滚珠研磨等，磨削加工通过大量高速运动的磨粒去除多余材料；铣削加工通过切削刃去除多余材料；滚珠研磨通过滚珠的运动带动游离的磨料运动去除多余材料；注塑和模压均利用材料在模具中熔融填充来形成微透镜，胚料在经过切削及研削，其基本尺寸及表面光洁度已经形成，但仍不能满足客户光学上的要求，必须进行研磨工序，研磨是获得光学表面的最主要的工序。

现有的透镜研磨机，在进行研磨工作时，需要将磁性贴座的重心与硅晶圆的中心和铸铁底座的中心重合，由于人工搬运重合需要耗费大量时间，在透镜研磨结束后需要将磁性贴座搬运开，再进行放置，浪费时间导致工作效率降低，同时在透镜研磨过程中，容易产生大量粉尘，对工作环境造成污染，并且粉尘容易进入机器内部，对机器造成损坏，影响研磨精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，包括固定底座和磁性贴座，所述固定底座的上端右侧中部固定连接在第一电机的底部，所述第一电机的转轴固定连接在立柱的底端中部，所述立柱的外侧中部滑动连接有滑套，所述滑套的一侧中部固定连接有固定块，所述固定块的右侧固定连接在伸缩杆缸体底端，所述立柱的一侧上端固定连接有固定座，所述固定座的上端中部固定连接在第二电机的底端，所述第二电机的转轴贯穿固定座并固定连接在螺纹杆的一端，所述螺纹杆的另一端贯穿固定块的上端右侧中部并向下延伸，所述磁性贴座的一侧中部设置有固定槽，所述伸缩杆杆体顶端延伸至固定槽的内部，所述固定底座的上端中部固定连接在二轴机的底端，所述二轴机的转轴固定连接在铸铁底座的底端中部，所述铸铁底座的上端设置有硅晶圆，所述固定底座的上端右侧中部固定连接在固定杆的一端，所述固定杆的另一端固定连接在滑槽套的右侧中部，所述滑槽套的内侧滑动连接有聚氨酯抛光垫，所述固定底座的上端右侧中部固定连接有抽水泵。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定底座的底端四角处均固定连接有支座。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定底座的上端中右侧中部设置水槽，所述水槽的前侧下端右部设置有排水口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述磁性贴座的底端中部固定连接右吸盘。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述滑槽套的右侧上部前后端均固定连接右卡扣。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述抽水泵的上端左侧中部出水口处固定连接有出水管。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述抽水泵的右侧底端中部入水口处固定连接有入水管。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，首先第一电机带动立柱转动，使滑套和伸缩杆水平转动，然后第二电机带动螺纹杆转动，使滑套和伸缩杆在立柱上垂直方向移动，伸缩杆杆体通过固定槽与磁性贴座固定，其次将硅晶圆中心点与铸铁底座中心点重合，然后伸缩杆杆体与磁性贴座分离，使磁性贴座重心移动到硅晶圆中心处重合，开启二轴机，使聚氨酯抛光垫对硅晶圆进行倒边抛光，避免了人工将磁性贴座与硅晶圆进行重合，减少了磁性贴座的来回搬运，增加工作效率。

2、本实用新型中，首先开启抽水泵，将出水管一端与聚氨酯抛光垫和硅晶圆接触点对齐，然后出水管流出的水将研磨时的粉尘打湿，流入水槽中，最后通过排水口将带有粉尘的水排除，降低了研磨时粉尘飞入空气中对工作环境造成的污染，同时防止粉尘进入机器内部，对机器造成损坏，从而影响工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机的主视结构图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机的后视图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机的滑槽套结构图；

图4为本实用新型提出的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机的磁性贴座结构图。

图例说明：

1、固定底座；2、第一电机；3、立柱；4、滑套；5、固定座；6、第二电机；7、螺纹杆；8、伸缩杆；9、磁性贴座；10、固定槽；11、吸盘；12、二轴机；13、铸铁底座；14、硅晶圆；15、固定杆；16、滑槽套；17、聚氨酯抛光垫；18、抽水泵；19、出水管；20、入水管；21、水槽；22、支座； 23、排水口；24、卡扣；25、固定块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，包括固定底座1和磁性贴座9，固定底座1的上端右侧中部固定连接在第一电机2的底部，第一电机2的转轴固定连接在立柱3的底端中部，立柱3的外侧中部滑动连接有滑套4，滑套4的一侧中部固定连接有固定块25，固定块25的右侧固定连接在伸缩杆8缸体底端，立柱3的一侧上端固定连接有固定座5，固定座5的上端中部固定连接在第二电机6的底端，第二电机6的转轴贯穿固定座5并固定连接在螺纹杆7的一端，螺纹杆7的另一端贯穿固定块25缸体的上端右侧中部并向下延伸，磁性贴座9的一侧中部设置有固定槽10，伸缩杆8杆体顶端延伸至固定槽10的内部，将伸缩杆8杆体与磁性贴座9进行连接，固定底座1的上端中部固定连接在二轴机12的底端，二轴机12的转轴固定连接在铸铁底座13的底端中部，铸铁底座13的上端设置有硅晶圆14，固定底座1的上端右侧中部固定连接在固定杆15的一端，固定杆15的另一端固定连接在滑槽套16的右侧中部，滑槽套16的内侧滑动连接有聚氨酯抛光垫17，固定底座1的上端右侧中部固定连接有抽水泵18，适用于一种晶圆边抛光用的二轴透镜研磨机。

固定底座1的底端四角处均固定连接有支座22，固定底座1的上端中右侧中部设置水槽21，水槽21的前侧下端右部设置有排水口23，将带有粉尘的水排出，磁性贴座9的底端中部固定连接右吸盘11，防止硅晶圆14破碎，滑槽套16的右侧上部前后端均固定连接右卡扣24，用于固定聚氨酯抛光垫 17，抽水泵18的上端左侧中部出水口处固定连接有出水管19，抽水泵18的右侧底端中部入水口处固定连接有入水管20。

工作原理：首先第一电机2带动立柱3转动，使滑套4和伸缩杆8水平转动，第二电机6带动螺纹杆7转动，使滑套4和伸缩杆8在立柱3上垂直方向移动，伸缩杆8杆体通过固定槽10与磁性贴座9固定，其次将硅晶圆14 中心点与铸铁底座13中心点重合，然后伸缩杆8杆体与磁性贴座9分离，使磁性贴座9重心移动到硅晶圆14中心处重合，开启二轴机12，使聚氨酯抛光垫17对硅晶圆14进行倒边抛光，然后开启抽水泵18，将出水管19一端与聚氨酯抛光垫17和硅晶圆14接触点对齐，出水管19流出的水将研磨时的粉尘打湿，流入水槽21中，最后通过排水口23将带有粉尘的水排除。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，包括固定底座(1)和磁性贴座(9)，其特征在于：所述固定底座(1)的上端右侧中部固定连接在第一电机(2)的底部，所述第一电机(2)的转轴固定连接在立柱(3)的底端中部，所述立柱(3)的外侧中部滑动连接有滑套(4)，所述滑套(4)的一侧中部固定连接有固定块(25)，所述固定块(25)的右侧固定连接在伸缩杆(8)缸体底端，所述立柱(3)的一侧上端固定连接有固定座(5)，所述固定座(5)的上端中部固定连接在第二电机(6)的底端，所述第二电机(6)的转轴贯穿固定座(5)并固定连接在螺纹杆(7)的一端，所述螺纹杆(7)的另一端贯穿固定块(25)的上端右侧中部并向下延伸，所述磁性贴座(9)的一侧中部设置有固定槽(10)，所述伸缩杆(8)杆体顶端延伸至固定槽(10)的内部，所述固定底座(1)的上端中部固定连接在二轴机(12)的底端，所述二轴机(12)的转轴固定连接在铸铁底座(13)的底端中部，所述铸铁底座(13)的上端设置有硅晶圆(14)，所述固定底座(1)的上端右侧中部固定连接在固定杆(15)的一端，所述固定杆(15)的另一端固定连接在滑槽套(16)的右侧中部，所述滑槽套(16)的内侧滑动连接有聚氨酯抛光垫(17)，所述固定底座(1)的上端右侧中部固定连接有抽水泵(18)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，其特征在于：所述固定底座(1)的底端四角处均固定连接有支座(22)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，其特征在于：所述固定底座(1)的上端中右侧中部设置水槽(21)，所述水槽(21)的前侧下端右部设置有排水口(23)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，其特征在于：所述磁性贴座(9)的底端中部固定连接右吸盘(11)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，其特征在于：所述滑槽套(16)的右侧上部前后端均固定连接右卡扣(24)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，其特征在于：所述抽水泵(18)的上端左侧中部出水口处固定连接有出水管(19)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆边抛光用二轴透镜研磨机，其特征在于：所述抽水泵(18)的右侧底端中部入水口处固定连接有入水管(20)。

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