CN217691116U - 承片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种承片装置，其包括：导通开关件和承片台；所述承片台的表面开设有至少两个不同尺寸的吸附区域，不同尺寸的吸附区域用于吸附相应尺寸的料片；每个吸附区域内均设置有多个吸附孔，不同的吸附区域内的吸附孔与不同的导通开关件的一端连通；所述导通开关件的另一端用于与外接负压产生装置连通；所述导通开关件用于控制相应的吸附区域内的吸附孔与所述外接负压产生装置的通断，以使与外接负压产生装置连通的吸附孔产生负压并吸附料片。本实用新型能够吸附不同尺寸的料片。

Description

承片装置

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种承片装置。

背景技术

目前在半导体封装领域，通常使用真空承片台的吸附区域吸附料片，以带动料片移动。

但是，一般真空承片台只具有一个吸附区域，而在真空承载台吸附料片的过程中，则要求吸附区域与料片的长宽尺寸对应。如此当更换不同尺寸的料片时，需要更换相应适合的承片台，加大了承片装置的操作难度。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供的承片装置，通过导通开关件能够控制不同尺寸的吸附区域中的吸附孔与通气通道通断，从而能够根据不同尺寸的料片，开启不同尺寸的吸附区域吸附料片。

本实用新型提供一种承片装置，包括：导通开关件和承片台；

所述承片台的表面开设有至少两个不同尺寸的吸附区域，不同尺寸的吸附区域用于吸附相应尺寸的料片；

每个吸附区域内均设置有多个吸附孔，不同的吸附区域内的吸附孔与不同的导通开关件的一端连通；

所述导通开关件的另一端用于与外接负压产生装置连通；

所述导通开关件用于控制相应的吸附区域内的吸附孔与所述外接负压产生装置的通断，以使与外接负压产生装置连通的吸附孔产生负压并吸附料片。

可选地，所述承片装置还包括：真空底板；

所述承片台与所述真空底板可拆卸连接；

所述真空底板内开设有通气通道，所述导通开关件与所述承片台或所述真空底板连接，所述导通开关件的另一端通过所述通气通道与外接负压产生装置连通。

可选地，所述承片装置还包括：压合组件；

所述压合组件与所述真空底板连接，所述压合组件用于将所述承片台固定在所述真空底板的一侧。

可选地，所述压合组件包括：锁定组件和抵压块；

所述抵压块与所述真空底板固定连接，所述抵压块和所述锁定组件分别位于所述真空底板相对的两端；

所述锁定组件用于推动所述承片台向所述抵压块移动，以将承片台夹持在抵压块和锁定组件之间。

可选地，所述锁定组件包括：连接块和顶压螺杆；

所述连接块与所述真空底板或所述承片台固定连接；

在所述连接块与所述真空底板固定连接时，所述连接块位于所述真空底板背离所述抵压块的一侧，所述抵压块的一端与所述真空底板固定连接，所述抵压块的另一端与所述承片台和所述抵压块在同一直线上，所述抵压块的另一端与所述顶压螺杆螺纹连接，所述顶压螺杆穿过所述抵压块的另一端并朝向抵压块与所述承片台相抵触；

在所述连接块与所述承片台固定连接时，所述连接块位于所述承片台中朝向所述真空底板的一侧，所述真空底板中朝向所述承片台的表面开设有连接槽，所述连接块通过所述连接槽与所述真空底板插接，所述顶压螺杆位于所述连接块中背离所述抵压块的一侧，所述顶压螺杆与所述真空底板螺纹连接，所述顶压螺杆的一端插入所述连接槽内并与所述连接块相抵触。

可选地，所述抵压块中朝向锁定组件的一端开设有抵压槽；

所述抵压块开设有第一抵压斜面，所述第一抵压斜面位于所述抵压槽中背离所述真空底板的一端，所述抵压斜面的一端与所述抵压槽连接，所述第一抵压斜面的另一端与所述抵压块中朝向所述锁定组件的表面连接；

所述承片台中朝向所述抵压块的一端开设有第二抵压斜面，所述第二抵压斜面与所述第一抵压斜面相匹配。

可选地，所述承片装置还包括：定位件；

所述定位件与所述真空底板或所述承片台固定连接；

在所述定位件与所述真空底板固定连接时，所述定位件位于所述真空底板中朝向所述承片台的一侧，所述承片台中朝向所述真空底板的表面开设有定位孔，所述定位孔与所述定位件适配；

在所述定位件与所述承片台固定连接时，所述定位件位于所述承片台中朝向所述真空底板的一侧，所述真空底板中朝向所述承片台的表面开设有定位孔，所述定位孔与所述定位件适配。

可选地，所述承片台开设有至少两个不同尺寸的通气槽；

所述通气槽与所述吸附区域一一对应，每个吸附区域内的吸附孔通过通气槽与相应的导通开关件连通；

所述导通开关件通过所述通气槽与相应的吸附区域内的吸附孔连通。

可选地，所述承片台的表面设置有助拉部。

本实用新型实施例提供的承片装置，通过设置不同尺寸的吸附区域，并针对每个吸附区域设置导通开关件，能够根据不同尺寸的料片，打开相应的吸附区域所对应的导通开关件，以使相应的吸附区域内的吸附孔与通气通道连通，进行料片的吸附，从而使得承片装置能够在不更换承片台的情况下吸附不同尺寸的料片。

附图说明

图1为本申请一实施例的承片装置的结构图；

图2为本申请一实施例的承片装置的剖视图；

图3为本申请一实施例的真空底板的剖视图；

图4为本申请一实施例的真空底板的结构图；

图5为本申请一实施例的承片装置的侧视图。

附图标记

1、导通开关件；2、承片台；21、吸附区域；22、吸附孔；23、通气槽； 24、第二抵压斜面；25、助拉部；3、真空底板；31、通气通道；32、真空螺孔； 33、连接槽；4、压合组件；41、锁定组件；411、连接块；412、顶压螺杆；42、抵压块；421、抵压槽；422、第一抵压斜面；5、定位件；6、料片。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在本实用新型中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本实施例提供一种承片装置，参见图1和图2，该承片装置包括：多个导通开关件1、一个承片台2和一个真空底板3。

结合图3，所述承片台2位于所述真空底板3的正上方。所述导通开关件1 与所述承片台2或所述真空底板3连接。所述真空底板3内开设有通气通道31。所述承片台2的表面开设有至少两个不同尺寸的吸附区域21，每个吸附区域21 内均设置有多个吸附孔22。

其中，通气通道31的开口位于所述真空底板3的侧面，通气通道31通过所述开口与外接负压产生装置连通；多个导通开关件1的一端均与所述通气通道31连通，不同的吸附区域21内的吸附孔22与至少一个导通开关件1的另一端连通；所述导通开关件1用于控制相应的吸附区域21内的吸附孔22与所述通气通道31的通断；不同尺寸的吸附区域21用于吸附相应尺寸的料片6；所述通气通道31用于外接负压产生装置，以使吸附区域21通过相应的吸附孔22 吸附料片6。

所述承片台2中设置有至少两个不同尺寸的通气槽23。所述通气槽23与所述吸附区域21一一对应，每个吸附区域21内的吸附孔22通过通气槽23与相应的导通开关件1连通。其中，通气槽23可位于所述承片台2的内部，也可位于所述承片台2的下表面。所述导通开关件1真空开关或电控气阀等。

在本实施例中，所述通气槽23开设在所述承片台2的下表面。所述导通开关件1为真空堵头。所述通气槽23与所述吸附区域21一一对应，且每个通气槽23位于相应的吸附区域21的正下方。承片台2不但可以通过单个的吸附区域21吸附相应尺寸的料片6，同时还能够可以通过将多个邻近的吸附区域21 组合起来吸附更大尺寸的料片6。其中，真空底板3的上表面开设都有真空螺孔32，所述真空螺孔32与所述通气通道31连通，每个吸附区域21内的吸附孔22通过通气槽23与相应的导通开关件1的一端连通；所述导通开关件1通过真空螺孔32与所述真空底板3螺纹连接。通过将通气槽23设置在承片台2 的下表面，所述承片台2可以为一体成型结构，从而降低了承片台2的加工难度。

在一种可选的实施例中，所述通气槽23开设在所述承片台2的内部，承片台2可通过拼接的方式实现所述通气槽23，而该可选的实施例不对承片台2的拼接方式做具体限定。其中，通气槽23可通过在承片台2的侧面或下表面通孔与导通开关件1连通。此时，所述导通开关件1固定在真空底板3上，也可固定在承片台2上，在该可选的实施例不做具体限定。

进一步的，在本实施例中，所述吸附区域21的形状为长方形；所述承片台 2的上表面设有五种不同尺寸大小的吸附区域21，本实施例不对吸附区域21 的尺寸做具体限定。

结合图4，所述承片装置还包括：压合组件4和定位件5。其中，所述压合组件4用于将所述承片台2固定在所述真空底板3的一侧；所述定位件5用于在将承片台2安装至真空底板3上时，对承片台2的安装位置进行定位，以保证每个吸附区域21中的吸附孔22都能够与对应的导通开关件1连通。

具体的，所述定位件5的形状可为杆状或圆锥状，但并不限于此。在本实施例中，所述定位件5为杆状，定位件5的数量为两个，两个定位件5分别位于所述真空底板3的相对两端。所述定位件5竖直朝上，并位于所述真空底板 3的正上方，且定位件5的底端与所述真空底板3固定连接。所述承片台2的下表面开设有两个定位孔，且两个定位孔分别与两个定位件5适配。如此，在将承片台2安装至真空底板3上时，将定位件5插入对应的定位孔中即可对承片台2进行定位。

在一种可选的实施例中，所述定位件5与所述承片台2固定连接，所述定位件5位于所述承片台2中朝向所述真空底板3的一侧，所述真空底板3中朝向所述承片台2的表面开设有定位孔，所述定位孔与所述定位件5适配。在该可选的实施例中，定位件5的工作原理与上一实施例中的定位件5的工作原理相同，不同点仅在于定位件5和定位孔所在位置相互对调。

结合图5，在本实施例中，所述压合组件4包括：锁定组件41和抵压块42。所述抵压块42与所述真空底板3固定连接，所述抵压块42和所述锁定组件41 分别位于所述真空底板3相对的两端。其中，抵压块42的数量为两个，且两个抵压块42均通过螺钉与所述真空底板3固定连接。所述锁定组件41用于推动所述承片台2向所述抵压块42移动，以将承片台2夹持在抵压块42和锁定组件41之间。

如此，在将承片台2安装至真空底板3上的过程中，先将承片台2放置在真空底板3上；然后，控制锁定组件41，使锁定组件41推动承片台2向抵压块42的方向移动；当承片台2与抵压块42相抵触时，继续控制锁定组件41，从而将承片台2夹持在抵压块42与锁定组件41之间。

需要说明的，所述锁定组件41包括：连接块411和顶压螺杆412。

所述连接块411与所述承片台2固定连接。所述连接块411位于所述承片台2中朝向所述真空底板3的一侧。所述真空底板3中朝向所述承片台2的表面开设有连接槽33。所述连接块411通过所述连接槽33与所述真空底板3插接。所述顶压螺杆412位于所述连接块411中背离所述抵压块42的一侧，所述顶压螺杆412与所述真空底板3螺纹连接，所述顶压螺杆412的一端沿朝向抵压块42的方向插入所述连接槽33内并与所述连接块411相抵触。在本实施例中，所述锁定组件41的数量为两个，且两个锁定组件41分别位于所述承片台 2相对的两端；所述连接槽33的数量也为两个，并连接块411所在的位置适配。

如此，当需要固定承片台2时，先通过定位件5将顶压放置在真空底板3 上，并使连接块411插入所述连接槽33内；然后，向所述抵压块42所在的方向拧动顶压螺杆412，顶压螺杆412通过推动连接块411即可推动承片台2向抵压块42所在的方向移动微小的距离，直至承片台2与抵压块42相抵触，从而使承片台2夹持在抵压块42和顶压螺杆412之间。当需要拆卸承片台2时，向背离抵压块42的方向拧动顶压螺杆412，在顶压螺杆412向背离抵压块42的方向移动一定距离后，顶压螺杆412与连接块411相分离，如此即可将承片台2从真空底板3上拆卸下来。

在一种可选的实施例中，所述连接块411与所述真空底板3固定连接，所述连接块411位于所述真空底板3背离所述抵压块42的一侧，所述抵压块42 的一端与所述真空底板3固定连接，所述抵压块42的另一端与所述承片台2 和所述抵压块42在同一直线上，所述顶压螺杆412沿朝向抵压块42的方向穿过所述抵压块42的另一端并与所述抵压块42螺纹连接。如此，当需要固定承片台2时，向所述抵压块42所在的方向拧动顶压螺杆412，顶压螺杆412即可推动承片台2向抵压块42所在的方向移动微小的距离，并使承片台2与抵压块 42相抵触，从而使承片台2夹持在抵压块42和顶压螺杆412之间；当需要拆卸承片台2时，向背离抵压块42的方向拧动顶压螺杆412，在顶压螺杆412向背离抵压块42的方向移动一定距离后，顶压螺杆412与承片台2相分离，如此即可将承片台2从真空底板3上拆卸下来。

进一步的，所述抵压块42中朝向锁定组件41的一端开设有抵压槽421。其中，所述抵压槽421可位于所述抵压块42的中部或底部。在本实施例中，所述抵压槽421位于抵压块42的底部。

所述抵压块42开设有第一抵压斜面422。所述第一抵压斜面422位于所述抵压槽421中背离所述真空底板3的一端，所述抵压斜面的一端与所述抵压槽 421连接，所述第一抵压斜面422的另一端与所述抵压块42中朝向所述锁定组件41的表面连接。所述承片台2中朝向所述抵压块42的一端设置有凸起结构。所述凸起结构的顶部设有第二抵压斜面24。所述凸起结构与所述低压槽适配，其中，第一抵压斜面422倾斜朝下，第二抵压斜面24倾斜朝上，所述第二抵压斜面24与所述第一抵压斜面422相匹配。

通过设置第一抵压斜面422和第二抵压斜面24，当顶压螺杆412推动承片台2与抵压块42相抵触的过程中，第一抵压斜面422与第二抵压斜面24相贴合。在顶压螺杆412推动承片台2向抵压块42移动微小的距离的过程中，承片台2在第一抵压斜面422的导向下同时向下移动微小距离。如此能够进一步使承片台2牢固的锁定在真空底板3上。

进一步的，所述承片台2的表面设置有助拉部25。所述助拉部25可以是凸起结构，也可以为凹陷结构。在本实施例中，所述助拉部25为凹陷结构，所述助拉部25的数量为两个，且分别位于承片台2相对的两侧，助拉部25的凹陷方向与所述顶压螺杆412的长度方向垂直。通过设置所述助拉部25，能够便于操作人员对承片台2的拿取。

该承片装置结构简单，加工方便，且其中的承片台2不但能够在不更换承片台2的情况下吸附不同尺寸的料片6，灵活方便，适用范围广，同时还拆卸方便，便于操作人员对承片台2进行维修或更换。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种承片装置，其特征在于，包括：导通开关件和承片台；

所述承片台的表面开设有至少两个不同尺寸的吸附区域，不同尺寸的吸附区域用于吸附相应尺寸的料片；

每个吸附区域内均设置有多个吸附孔，不同的吸附区域内的吸附孔与不同的导通开关件的一端连通；

所述导通开关件的另一端用于与外接负压产生装置连通；

所述导通开关件用于控制相应的吸附区域内的吸附孔与所述外接负压产生装置的通断，以使与外接负压产生装置连通的吸附孔产生负压并吸附料片。

2.根据权利要求1所述的承片装置，其特征在于，所述承片装置还包括：真空底板；

所述承片台与所述真空底板可拆卸连接；

所述真空底板内开设有通气通道，所述导通开关件与所述承片台或所述真空底板连接，所述导通开关件的另一端通过所述通气通道与外接负压产生装置连通。

3.根据权利要求2所述的承片装置，其特征在于，所述承片装置还包括：压合组件；

所述压合组件与所述真空底板连接，所述压合组件用于将所述承片台固定在所述真空底板的一侧。

4.根据权利要求3所述的承片装置，其特征在于，所述压合组件包括：锁定组件和抵压块；

所述抵压块与所述真空底板固定连接，所述抵压块和所述锁定组件分别位于所述真空底板相对的两端；

所述锁定组件用于推动所述承片台向所述抵压块移动，以将承片台夹持在抵压块和锁定组件之间。

5.根据权利要求4所述的承片装置，其特征在于，所述锁定组件包括：连接块和顶压螺杆；

所述连接块与所述真空底板或所述承片台固定连接；

在所述连接块与所述真空底板固定连接时，所述连接块位于所述真空底板背离所述抵压块的一侧，所述抵压块的一端与所述真空底板固定连接，所述抵压块的另一端与所述承片台和所述抵压块在同一直线上，所述抵压块的另一端与所述顶压螺杆螺纹连接，所述顶压螺杆穿过所述抵压块的另一端并朝向抵压块与所述承片台相抵触；

在所述连接块与所述承片台固定连接时，所述连接块位于所述承片台中朝向所述真空底板的一侧，所述真空底板中朝向所述承片台的表面开设有连接槽，所述连接块通过所述连接槽与所述真空底板插接，所述顶压螺杆位于所述连接块中背离所述抵压块的一侧，所述顶压螺杆与所述真空底板螺纹连接，所述顶压螺杆的一端插入所述连接槽内并与所述连接块相抵触。

6.根据权利要求5所述的承片装置，其特征在于，所述抵压块中朝向锁定组件的一端开设有抵压槽；

所述抵压块开设有第一抵压斜面，所述第一抵压斜面位于所述抵压槽中背离所述真空底板的一端，所述抵压斜面的一端与所述抵压槽连接，所述第一抵压斜面的另一端与所述抵压块中朝向所述锁定组件的表面连接；

所述承片台中朝向所述抵压块的一端开设有第二抵压斜面，所述第二抵压斜面与所述第一抵压斜面相匹配。

7.根据权利要求2所述的承片装置，其特征在于，所述承片装置还包括：定位件；

所述定位件与所述真空底板或所述承片台固定连接；

在所述定位件与所述真空底板固定连接时，所述定位件位于所述真空底板中朝向所述承片台的一侧，所述承片台中朝向所述真空底板的表面开设有定位孔，所述定位孔与所述定位件适配；

在所述定位件与所述承片台固定连接时，所述定位件位于所述承片台中朝向所述真空底板的一侧，所述真空底板中朝向所述承片台的表面开设有定位孔，所述定位孔与所述定位件适配。

8.根据权利要求2所述的承片装置，其特征在于，所述承片台开设有至少两个不同尺寸的通气槽；

所述通气槽与所述吸附区域一一对应，每个吸附区域内的吸附孔通过通气槽与相应的导通开关件连通；

所述导通开关件通过所述通气槽与相应的吸附区域内的吸附孔连通。

9.根据权利要求1所述的承片装置，其特征在于，所述承片台的表面设置有助拉部。

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