CN217691103U - 一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统，包括运输组件，包括运输驱动件、运输件，运输驱动件与运输件连接，运输件设有推料槽，且置放有待装卸硅片的石英舟；上下料组件，包括顶齿推送模块、移动驱动件、硅片抓取模块，顶齿推送模块安装于运输件的一侧，且顶齿推送模块的水平中心线与推料槽的水平中心线平行；移动驱动件安装于运输件的另一侧，且与硅片抓取模块连接；硅片抓取模块用于夹持待运输的硅片。本实用新型降低了硅片的碎片率高，又提高了硅片的运输效率，且减少了因运输对硅片产生的污染。

Description

一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统

技术领域

本实用新型涉及硅片上下料技术领域，具体涉及一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，而随着半导体行业的发展，硅片的加工产能需求也日趋增加；

目前，硅片在工序加工时，需要作业人员将硅片从上一工序所用的储片容器中取出，并按照设定的节距逐一填入至石英舟中，或，从石英舟中将硅片取出，并按照设定的节距逐一填入至储片容器中，既所谓的手动插舟作业，存在着碎片率高、运输效率低、对硅片存在污染的缺陷。

因此，目前亟需一种能够自动化对硅片进行上下料，且降低碎片率的上下料装置。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片上下料碎片率高，且运输效率低的缺陷。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，包括：

运输组件，包括运输驱动件、运输件，所述运输驱动件与所述运输件连接，所述运输件设有推料槽，且置放有待装卸硅片的石英舟；

上下料组件，包括顶齿推送模块、移动驱动件、硅片抓取模块，所述顶齿推送模块安装于所述运输件的一侧，且所述顶齿推送模块的水平中心线与所述推料槽的水平中心线平行；所述移动驱动件安装于所述运输件的另一侧，且与所述硅片抓取模块连接；所述硅片抓取模块用于夹持待运输的硅片。

作为本实用新型的一种优选方式，所述运输组件还包括位置补偿模块，所述位置补偿模块包括第一气缸、第二气缸、位移传感器，所述第一气缸安装于所述运输件的一端；所述第二气缸安装于所述第一气缸的推送端；所述位移传感器安装于所述第二气缸的推送端，用于检测所述运输件置放的待装卸硅片的石英舟轴线方向的偏移数据。

作为本实用新型的一种优选方式，所述运输组件还包括固定件，所述固定件包括抵触块、第三气缸、压块，所述抵触块安装于所述运输件的一端；所述第三气缸安装于所述抵触块上，且与压块连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述顶齿推送模块包括第一驱动件、移动件、第二驱动件、第一升降顶齿，所述移动件与所述第一驱动件连接，所述第二驱动件分别与所述移动件以及第一升降顶齿连接；通过第二驱动件驱动所述第一升降顶齿穿过所述推料槽。

作为本实用新型的一种优选方式，所述移动驱动件包括第三驱动件、第一连接件、第四驱动件、第二连接件，所述第一连接件分别与所述第三驱动件以及第四驱动件连接；所述二连接件与所述第四驱动件的驱动端连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述硅片抓取模块包括第五驱动件、旋转件、第一夹持件、第二夹持件，所述第五驱动件安装于所述第二连接件的一侧，且与所述旋转件连接；所述旋转件的一端与第一夹持件连接，所述旋转件的另一端与所述第二夹持件连接，用于驱动所述第一夹持件向第一方向移动，同时驱动所述第二夹持件向第二方向移动，将待运输的硅片夹持。

作为本实用新型的一种优选方式，还包括储片组件，所述储片组件包括储片容器、顶齿模块，所述顶齿模块安装于所述储片容器的一侧。

作为本实用新型的一种优选方式，所述顶齿模块至少设有一个。

作为本实用新型的一种优选方式，所述顶齿模块包括直线驱动器、第二升降顶齿，所述第二升降顶齿与所述直线驱动器连接。

本实用新型还提供一种新型石英舟直插式硅片上下料系统，包括所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，还包括：

石英舟。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统，自动化运输待装卸硅片的石英舟，进而通过所述上下料组件与储片组件的配合，进行自动化的硅片上料或下料，既降低了硅片的碎片率高，又提高了硅片的运输效率，且减少了因运输对硅片产生的污染。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的新型石英舟直插式硅片上下料装置的示意图。

图2是本实用新型的位置补偿模块的第一示意图。

图3是本实用新型的位置补偿模块的第二示意图。

图4是本实用新型的运输件与固定件的第一局部示意图。

图5是本实用新型的运输件与固定件的第二局部示意图。

图6是本实用新型的顶齿推送模块的示意图。

图7是本实用新型的移动驱动件与硅片抓取模块的第一局部示意图。

图8是本实用新型的移动驱动件与硅片抓取模块的第二局部示意图。

图9是本实用新型的硅片抓取模块的示意图。

说明书附图标记说明：4、石英舟，5、硅片，10、运输驱动件，11、运输件，12、推料槽，13、位置补偿模块，14、固定件，20、顶齿推送模块，21、移动驱动件，22、硅片抓取模块，30、储片容器，130、第一气缸，131、第二气缸，132、位移传感器，140、抵触块，141、第三气缸，142、压块，200、第一驱动件，201、移动件，202、第二驱动件，203、第一升降顶齿，210、第三驱动件，211、第一连接件，212、第四驱动件，213、第二连接件，220、第五驱动件，221、第一旋转块，222、第二旋转块，223、第一夹持件，224、第二夹持件，310、直线驱动器，311、第二升降顶齿。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第二”、“第一”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。此外，术语“包括”意图在于覆盖不排他的包含，例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或单元而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

参照图1-9所示，本实用新型一种新型石英舟4直插式硅片上下料装置的实施例，包括：

运输组件，包括运输驱动件10、运输件11，所述运输驱动件10与所述运输件11连接，所述运输件11设有推料槽12，且置放有待装卸硅片的石英舟4；

上下料组件，包括顶齿推送模块20、移动驱动件21、硅片抓取模块22，所述顶齿推送模块20安装于所述运输件11的一侧，所述移动驱动件21安装于所述运输件11的另一侧，且与所述硅片抓取模块22连接；所述硅片抓取模块22用于夹持待运输的硅片。

其中，所述运输驱动件10包括但不仅限于输送线电机，所述运输件11由作业人员根据实际生产需求设定，在本实施例中参考输送带；所述顶齿推送模块20、硅片抓取模块22的水平中心线与所述推料槽12的水平中心线平行；参考图5所示，所述运输件11开设有推料槽12；所述移动驱动件21包括但不仅限于直线驱动滑台。

通过采用上述技术方案，所述运输件11在所述运输驱动件10的驱动下向所述顶齿推送模块20方向运动，通过所述运输件11将待装卸硅片的石英舟4运输至指定位置；

下料步骤为：

所述顶齿推送模块20穿过所述运输件11的推料槽12，将待装卸硅片的石英舟4的待运输的硅片推出；

所述硅片抓取模块22在所述移动驱动件21的驱动下向所述顶齿推送模块20方向移动，进而通过所述硅片抓取模块22将推出的待运输的硅片抓取；

所述硅片抓取模块22在所述移动驱动件21的驱动下向硅片的储片容器30方向移动，进而通过所述硅片抓取模块22将抓取的待运输的硅片置放于所述储片容器30内；

其中，所述上料步骤为所述下料步骤的逆向过程；所述指定位置由作业人员设定。

参考图2-3所示，所述运输组件还包括位置补偿模块13，所述位置补偿模块13包括第一气缸130、第二气缸131、位移传感器132；

其中，所述第一气缸130安装于所述运输件11的一端；所述第二气缸131安装于所述第一气缸130的推送端；所述位移传感器132安装于所述第二气缸131的推送端，用于检测所述运输件11置放的待卸料的石英舟4轴线方向的偏移数据；其中所述位移传感器132包括但不仅限于基恩士GT2位移感应器，由作业人员根据实际需求设定。

通过采用上述技术方案，在待装卸硅片的石英舟4进行进舟或退舟动作时，所述第一气缸130驱动所述第二气缸131向第一方向运动，所述第二气缸131驱动所述位移传感器132向第二方向运动，避让待装卸硅片的石英舟4；

在待装卸硅片的石英舟4运输完成后，通过该所述位移传感器132检测待卸料的石英舟4轴线方向的偏移数据，以便于顶齿推送模块20、移动驱动件21、硅片抓取模块22进行与所述偏移数据匹配的移动距离补偿，防止所述顶齿推送模块20、移动驱动件21、硅片抓取模块22出现偏移造成石英舟4碎舟或硅片碎片；其中所述第一方向以及第二方向由作业人员根据实际安装位置进行设定。

参考图4-5所示，所述运输组件还包括固定件14；

其中，所述固定件14包括抵触块140、第三气缸141、压块142，所述抵触块140安装于所述运输件11的一端；所述第三气缸141安装于所述抵触块140上，且与压块142连接。

通过采用上述技术方案，在所述运输件11将待装卸硅片的石英舟4运输至与抵触块140抵触后，所述压块142在所述第三气缸141的驱动下向待装卸硅片的石英舟4运动，进而通过所述压块142将所述石英舟4固定，避免在上下料时，待装卸硅片的石英舟4出现偏移。

参考图6所示，所述顶齿推送模块20包括第一驱动件200、移动件201、第二驱动件202、第一升降顶齿203；

其中，所述第一驱动件200以及第二驱动件202包括但不仅限于直线模组滑台，由作业人员根据实际生产需求设定；所述移动件201包括但不仅限于板体、条体、块体等，且所述移动件201与所述第一驱动件200连接，所述第二驱动件202分别与所述移动件201以及第一升降顶齿203连接。

通过采用上述技术方案，通过所述第一驱动件200驱动所述移动件201向第一运动方向运动，通过第二驱动件202驱动所述第一升降顶齿203向第二运动方向运动，进而将所述第一升降顶齿203穿过所述推料槽12；其中，所述第一运动方向以及第二运动方向由作业人员根据实际安装位置设定。

参考图7所示，所述移动驱动件21包括第三驱动件210、第一连接件211、第四驱动件212、第二连接件213；

其中，所述第三驱动件210包括但不仅限于直线模组滑台，由作业人员根据实际生产需求设定；所述第四驱动件212包括但不仅限于直线模组滑台、驱动气缸，由作业人员根据实际生产需求设定；所述第一连接件211采用连接板，且分别与所述第三驱动件210以及第四驱动件212连接；所述二连接件采用连接架，且分别与所述第四驱动件212的驱动端以及硅片抓取模块22连接。

通过采用上述技术方案，所述第一连接件211在所述第三驱动件210的驱动下向第一运动方向运动，通过所述第一连接件211带动第四驱动件212以及第二连接件213同步运动；所述第二连接件213在所述第四移动件201的驱动下向第二运动方向运动，通过所述第二连接件213带动所述硅片抓取模块22同步运动。

参考图7-9所示，所述硅片抓取模块22包括第五驱动件220、旋转件、第一夹持件223、第二夹持件224；

其中，所述第五驱动件220包括但不仅限于旋转气缸、旋转电机，由作业人员根据实际生产需求设定；所述第五驱动件220安装于所述第二连接件213的一侧，且与所述旋转件连接；参考图9所示，所述旋转件包括第一旋转块221、第二旋转块222，所述第一旋转块221的一端与所述第一夹持件223连接，所述第一旋转块221的另一端与所述第五驱动件220的驱动端连接；所述第二旋转块222的一端与所述第二夹持件224连接，所述第二旋转块222的另一端与所述第五驱动件220的驱动端连接。

通过采用上述技术方案，在夹持时：通过所述第五驱动件220驱动所述第一旋转块221带动所述第一夹持件223向夹持方向运动，同时通过所述第五驱动件220驱动所述第二旋转块222带动所述第二夹持件224向夹持方向运动，进而将待运输的硅片夹持；

在下料时，通过所述第五驱动件220驱动所述第一旋转块221带动所述第一夹持件223向夹持方向的相反方向运动，同时通过所述第五驱动件220驱动所述第二旋转块222带动所述第二夹持件224向夹持方向的相反方向运动，进而将待运输的硅片松开。

参考图1所示，还包括储片组件，所述储片组件包括储片容器30、顶齿模块；

其中，所述顶齿模块安装于所述储片容器30的一侧，且所述顶齿模块至少设有一个；所述顶齿模块包括直线驱动器310、第二升降顶齿311，所述第二升降顶齿311与所述直线驱动器310连接。

通过采用上述技术方案，在下料时：所述第二升降顶齿311在所述直线驱动器310的驱动下向储片容器30方向运动，且穿过所述储片容器30；然后所述硅片抓取模块22将抓取的硅片置放于所述第二升降顶齿311上，进而通过所述直线驱动器310驱动第二升降顶齿311向所述储片容器30的相反方向运动，将硅片置放于储片容器30内；

在上料时：所述第二升降顶齿311在所述直线驱动器310的驱动下向储片容器30方向运动，将所述储片容器30内待运输的硅片推出；然后所述硅片抓取模块22将推出的硅片夹持，且通过所述移动驱动件21驱动所述硅片抓取模块22向所述运输件11方向运动；进而通过所述直线驱动器310驱动第二升降顶齿311向所述储片容器30的相反方向运动，进行复位。

本实用新型还提供一种新型石英舟4直插式硅片上下料系统，包括所述的一种新型石英舟4直插式硅片上下料装置，还包括：

石英舟4。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置及系统，通过运输件运输待装卸硅片的石英舟，进而通过所述顶齿推送模块、移动驱动件以及硅片抓取模块与储片组件配合，进行自动化的硅片上料或下料，既降低了硅片的碎片率高，又提高了硅片的运输效率，且减少了因运输对硅片产生的污染。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，包括：

运输组件，包括运输驱动件、运输件，所述运输驱动件与所述运输件连接，所述运输件设有推料槽，且置放有待装卸硅片的石英舟；

上下料组件，包括顶齿推送模块、移动驱动件、硅片抓取模块，所述顶齿推送模块安装于所述运输件的一侧，且所述顶齿推送模块的水平中心线与所述推料槽的水平中心线平行；所述移动驱动件安装于所述运输件的另一侧，且与所述硅片抓取模块连接；所述硅片抓取模块用于夹持待运输的硅片。

2.根据权利要求1所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述运输组件还包括位置补偿模块，所述位置补偿模块包括第一气缸、第二气缸、位移传感器，所述第一气缸安装于所述运输件的一端；所述第二气缸安装于所述第一气缸的推送端；所述位移传感器安装于所述第二气缸的推送端，用于检测所述运输件置放的待装卸硅片的石英舟轴线方向的偏移数据。

3.根据权利要求1所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述运输组件还包括固定件，所述固定件包括抵触块、第三气缸、压块，所述抵触块安装于所述运输件的一端；所述第三气缸安装于所述抵触块上，且与压块连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述顶齿推送模块包括第一驱动件、移动件、第二驱动件、第一升降顶齿，所述移动件与所述第一驱动件连接，所述第二驱动件分别与所述移动件以及第一升降顶齿连接；通过第二驱动件驱动所述第一升降顶齿穿过所述推料槽。

5.根据权利要求4所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述移动驱动件包括第三驱动件、第一连接件、第四驱动件、第二连接件，所述第一连接件分别与所述第三驱动件以及第四驱动件连接；所述二连接件与所述第四驱动件的驱动端连接。

6.根据权利要求5所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述硅片抓取模块包括第五驱动件、旋转件、第一夹持件、第二夹持件，所述第五驱动件安装于所述第二连接件的一侧，且与所述旋转件连接；所述旋转件的一端与第一夹持件连接，所述旋转件的另一端与所述第二夹持件连接，用于驱动所述第一夹持件向第一方向移动，同时驱动所述第二夹持件向第二方向移动，将待运输的硅片夹持。

7.根据权利要求1所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，还包括储片组件，所述储片组件包括储片容器、顶齿模块，所述顶齿模块安装于所述储片容器的一侧。

8.根据权利要求7所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述顶齿模块至少设有一个。

9.根据权利要求7所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，所述顶齿模块包括直线驱动器、第二升降顶齿，所述第二升降顶齿与所述直线驱动器连接。

10.一种新型石英舟直插式硅片上下料系统，包括权利要求1-9任一项所述的一种新型石英舟直插式硅片上下料装置，其特征在于，还包括：

石英舟。

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