CN217668332U - 一种坩埚内表面打磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种坩埚内表面打磨装置，包括安装板、水平移动板、打磨组件、气缸，所述打磨组件与水平移动板配合安装，所述安装板上设有驱动水平移动板直线移动的移动组件，所述安装板对应设有驱动安装板升降的升降组件；所述气缸的壳体与水平移动板铰接，所述气缸的输出轴与打磨组件的一端铰接，所述打磨组件的另一端与水平移动板铰接。本实用新型有益效果：使用过程中不需要人工手持角磨机进行打磨，降低了劳动强度，提高了工作效率，降低了生产成本。

Description

一种坩埚内表面打磨装置

技术领域

本实用新型属于石英坩埚打磨技术领域，尤其是涉及一种坩埚内表面打磨装置。

背景技术

石英坩埚作为单晶硅拉制重要的器具，其对拉晶成晶率、拉晶次数及晶棒品质有着重要影响。在单晶硅熔制过程中石英坩埚的石英砂会发生气化、待温度降低后会凝固成白色固体颗粒附着在坩埚内表面，这部分颗粒会提高坩埚内表面的粗糙度，因此石英坩埚使用一段时间后要对其内表面进行打磨，当前打磨石英坩埚内表面的作业模式是人工手持角磨机进行打磨，这样的操作模式存在以下问题：第一，工人劳动强度大，打磨效率低下，提高了生产成本；第二，人工打磨的过程磨掉的厚度不一致，导致打磨品质无法保证；第三，手持角磨机操作，操作人员存在被角磨机划伤的风险，影响操作过程的安全性。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种坩埚内表面打磨装置，以解决当前坩埚打磨作业中工人劳动强度大，打磨效率低下，生产成本高的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种坩埚内表面打磨装置，包括安装板、水平移动板、打磨组件、气缸，所述打磨组件与水平移动板配合安装，所述安装板上设有驱动水平移动板直线移动的移动组件，所述安装板对应设有驱动安装板升降的升降组件；所述气缸的壳体与水平移动板铰接，所述气缸的输出轴与打磨组件的一端铰接，所述打磨组件的另一端与水平移动板铰接。

进一步的，所述升降组件为垂直伺服直线模组，所述垂直伺服直线模组的壳体与设备支架固定连接，所述垂直伺服直线模组的滑台与安装板固定连接，所述设备支架上固设有垂直导轨，所述安装板上固设有与垂直导轨相匹配的垂直滑块，所述垂直滑块与垂直导轨配合安装。

进一步的，所述移动组件为水平伺服直线模组，所述水平伺服直线模组的壳体与安装板固定连接，所述水平伺服直线模组的滑台与水平移动板固定连接，所述水平移动板上固设有水平导轨，所述安装板上固设有与水平导轨相匹配的水平滑块，所述水平滑块与水平导轨配合安装。

进一步的，所述打磨组件通过缓冲组件与水平移动板配合安装，所述缓冲组件包括缓冲板、导向柱、压缩弹簧，所述平移动板上固设有与缓冲板对用的竖板，所述竖板上固设有导向安装块，所述导向柱的底端通过连接板与缓冲板的的底端固定连接，所述导向柱的顶端通过连接块与缓冲板的的顶端固定连接，所述导向安装块上固设有与导向柱相匹配的直线轴承一，所述导向柱安装于直线轴承一的内侧，所述压缩弹簧的直径小于导向安装块的边长，所述压缩弹簧安装于导向柱外侧，且位于导向安装块和连接板之间。

进一步的，所述打磨组件包括角磨机、与角磨机壳体固定安装的夹持件，所述夹持件沿角磨机壳体长度方向的一端与缓冲板铰接，另一端与气缸的输出轴铰接，所述气缸的壳体与缓冲板铰接。

进一步的，所述连接板上端面上固设有压力传感器，所述压力传感器的上端对应设有压力板，所述压力板上固设有与导向柱相匹配的直线轴承二，所述导向柱安装于直线轴承二的内侧，所述压缩弹簧安装于压力板与导向安装块之间，所述压力传感器安装于连接板和压力板之间。

相对于现有技术，本实用新型的一种坩埚内表面打磨装置具有以下有益效果：

(1)本实用新型的一种坩埚内表面打磨装置，使用过程中不需要人工手持角磨机进行打磨，降低了劳动强度，提高了工作效率，降低了生产成本。

(2)本实用新型的一种坩埚内表面打磨装置，通过压力传感器的读数，并配合垂直直线模组的启停，可以调节磨片对待打磨坩埚内壁压力，使每次打磨的厚度一致，进而保证了打磨质量。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例的装置立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的装置另外一角度的立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例的缓冲组件安装侧视结构示意图；

图4为本实用新型实施例的缓冲组件剖面结构示意图。

附图标记说明：

1-设备支架；2-垂直伺服直线模组；3-垂直导轨；4-垂直滑块；5-安装板；6-水平滑块；7-水平导轨；8-水平移动板；9-水平伺服直线模组；10-打磨组件；11-缓冲组件；12-竖板；13-导向安装块；14-直线轴承一；15-压力传感器；16-气缸；1001-角磨机；1002-夹持件；1101-缓冲板；1102-连接板；1103-连接块；1104-压力板；1105-直线轴承二；1106-压缩弹簧；1107-导向柱。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1至图4所示，一种坩埚内表面打磨装置，包括安装板5、水平移动板8、打磨组件10、气缸16，安装板5上设有驱动水平移动板8直线移动的移动组件，安装板5对应设有驱动安装板5升降的升降组件。打磨组件10通过缓冲组件11与水平移动板8配合安装，缓冲组件11包括缓冲板1101、导向柱1107、压缩弹簧1106，水平移动板8上固设有与缓冲板1101对用的竖板12，竖板12上固设有导向安装块13，导向柱1107的数量为两个，导向安装块13的数量为四个，每两个导向安装块13对应一个导向柱1107，导向柱1107的底端通过连接板1102与缓冲板1101的的底端固定连接，导向柱1107的顶端通过连接块1103与缓冲板1101的的顶端固定连接，导向安装块13上固设有与导向柱1107相匹配的直线轴承一14，导向柱1107安装于直线轴承一14的内侧，压缩弹簧1106的直径小于导向安装块13的边长，压缩弹簧1106安装于导向柱1107外侧，连接板1102上端面上固设有压力传感器15，压力传感器15的上端对应设有压力板1104，压力板1104上固设有与导向柱1107相匹配的直线轴承二1105，导向柱1107安装于直线轴承二1105的内侧，压缩弹簧1106安装于压力板1104与下方的导向安装块13之间，压力传感器15安装于连接板1102和压力板1104之间。打磨组件10包括角磨机1001、与角磨机1001壳体固定安装的夹持件1002，夹持件1002沿角磨机1001壳体长度方向的一端与缓冲板1101铰接，另一端与气缸16的输出轴铰接，气缸16的壳体与缓冲板1101铰接。

升降组件为垂直伺服直线模组2，垂直伺服直线模组2的壳体与设备支架1固定连接，垂直伺服直线模组2的滑台与安装板5固定连接，设备支架1上固设有垂直导轨3，安装板5上固设有与垂直导轨3相匹配的垂直滑块4，垂直滑块4与垂直导轨3配合安装。

移动组件为水平伺服直线模组9，水平伺服直线模组9的壳体与安装板5固定连接，水平伺服直线模组9的滑台与水平移动板8固定连接，水平移动板8上固设有水平导轨7，安装板5上固设有与水平导轨7相匹配的水平滑块6，水平滑块6与水平导轨7配合安装。

工作过程：

本方案实施时，使用电机带动两个平行设置的支撑辊转动，将待打磨坩埚放置在两个支撑棍上，支撑辊带动待打磨坩埚转动，然后控制水平伺服直线模组9动作，带动角磨机1001的磨片伸入待打磨坩埚内侧，启动角磨机1001带动膜片转动，然后控制垂直伺服直线模组2动作，带动角磨机1001相下移动，当磨片接触到待打磨坩埚的内表面后，压缩弹簧1106发生压缩，压力板1104给压力传感器15一个压力，当压力达到规定值后，垂直伺服直线模组2停止动作，然后控制水平伺服直线模组9动作，调整磨片的水平位置，配合待打磨坩埚的转动，对待打磨坩埚的内表面进行打磨，当打磨至待打磨坩埚的底部时，驱动气缸16输出轴伸长，带动角磨机1001沿角磨机1001与缓冲板1101铰接位置转动，使磨片能够与待打磨坩埚的底部充分接触，然后控制垂直伺服直线模组2，调节磨片的垂直位置，配合待打磨坩埚的转动，对待打磨坩埚的底部内表面进行打磨。使用过程中不需要人工手持角磨机1001进行打磨，降低了劳动强度，提高了工作效率，降低了生产成本，保证了生产过程的安全性；通过压力传感器15的读数，并配合垂直直线模组的启停，可以调节磨片对待打磨坩埚内壁压力，使每次打磨的厚度一致，进而保证了打磨质量。

上述垂直伺服直线模组2、水平伺服直线模组9均采用但不限于现有的伺服直线模组，上述气缸16采用但不限于现有双作用气缸16，上述压力传感器15采用但不限于现有压缩称重传感器，压缩称重传感器与PLC控制器电连接，伺服直线模组、PLC控制器、压缩称重传感器为现有技术，具体结构及其连接形式这里不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：包括安装板(5)、水平移动板(8)、打磨组件(10)、气缸(16)，所述打磨组件(10)与水平移动板(8)配合安装，所述安装板(5)上设有驱动水平移动板(8)直线移动的移动组件，所述安装板(5)对应设有驱动安装板(5)升降的升降组件；

所述气缸(16)的壳体与水平移动板(8)铰接，所述气缸(16)的输出轴与打磨组件(10)的一端铰接，所述打磨组件(10)的另一端与水平移动板(8)铰接。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述升降组件为垂直伺服直线模组(2)，所述垂直伺服直线模组(2)的壳体与设备支架(1)固定连接，所述垂直伺服直线模组(2)的滑台与安装板(5)固定连接，所述设备支架(1)上固设有垂直导轨(3)，所述安装板(5)上固设有与垂直导轨(3)相匹配的垂直滑块(4)，所述垂直滑块(4)与垂直导轨(3)配合安装。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述移动组件为水平伺服直线模组(9)，所述水平伺服直线模组(9)的壳体与安装板(5)固定连接，所述水平伺服直线模组(9)的滑台与水平移动板(8)固定连接，所述水平移动板(8)上固设有水平导轨(7)，所述安装板(5)上固设有与水平导轨(7)相匹配的水平滑块(6)，所述水平滑块(6)与水平导轨(7)配合安装。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述打磨组件(10)通过缓冲组件(11)与水平移动板(8)配合安装，所述缓冲组件(11)包括缓冲板(1101)、导向柱(1107)、压缩弹簧(1106)，所述平移动板上固设有与缓冲板(1101)对用的竖板(12)，所述竖板(12)上固设有导向安装块(13)，所述导向柱(1107)的底端通过连接板(1102)与缓冲板(1101)的底端固定连接，所述导向柱(1107)的顶端通过连接块(1103)与缓冲板(1101)的顶端固定连接，所述导向安装块(13)上固设有与导向柱(1107)相匹配的直线轴承一(14)，所述导向柱(1107)安装于直线轴承一(14)的内侧，所述压缩弹簧(1106)的直径小于导向安装块(13)的边长，所述压缩弹簧(1106)安装于导向柱(1107)外侧，且位于导向安装块(13)和连接板(1102)之间。

5.根据权利要求4所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述打磨组件(10)包括角磨机(1001)、与角磨机(1001)壳体固定安装的夹持件(1002)，所述夹持件(1002)沿角磨机(1001)壳体长度方向的一端与缓冲板(1101)铰接，另一端与气缸(16)的输出轴铰接，所述气缸(16)的壳体与缓冲板(1101)铰接。

6.根据权利要求4所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述连接板(1102)上端面上固设有压力传感器(15)，所述压力传感器(15)的上端对应设有压力板(1104)，所述压力板(1104)上固设有与导向柱(1107)相匹配的直线轴承二(1105)，所述导向柱(1107)安装于直线轴承二(1105)的内侧，所述压缩弹簧(1106)安装于压力板(1104)与导向安装块(13)之间，所述压力传感器(15)安装于连接板(1102)和压力板(1104)之间。

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