CN217649687U - 一种硅片包装机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片包装机构，包括：工作台；取盒装置，设于工作台一侧，用于取用片盒并将其转送至工作台上；硅片转送装置，设于工作台另一侧，用于将硅片转送至片盒内；片盒封装装置，设于工作台周侧，包括翻转组件、压盒组件和封盒组件，翻转组件用于驱动工作台上的片盒向上90度折叠，压盒组件用于驱动向上折叠的片盒继续朝内90度折叠并使片盒在一侧形成开口，封盒组件用于实现片盒于开口处的封装。本实用新型具有自动化程度高、生产效率高的优点。

Description

一种硅片包装机构

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，特别是涉及一种硅片包装机构。

背景技术

在硅片的生产过程中，需要对硅片进行包装，包装涉及硅片、片盒的传输以及片盒的封装等工序，其中，片盒生产完时，底面板和左侧板、后侧板固定在一起，右侧板和前侧板通过折痕连接在顶面板上，其中，右侧板通过折痕连接在底面板上，包装时，需要将片盒转送至工作台上，再将硅片移送至片盒的底面板上后，然后沿折痕依次向内折叠右侧板、顶面板和前侧板，以实现片盒的封装。

现有技术中，上述操作流程大多是通过人工手动进行，生产效率低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种硅片包装机构，自动化程度高，生产效率高。

根据本实用新型实施例的一种硅片包装机构，包括：工作台；取盒装置，设于所述工作台一侧，用于取用片盒并将其转送至所述工作台上；硅片转送装置，设于所述工作台另一侧，用于将所述硅片转送至所述片盒内；片盒封装装置，设于所述工作台周侧，包括翻转组件、压盒组件和封盒组件，所述翻转组件用于驱动所述工作台上的所述片盒向上90度折叠，所述压盒组件用于驱动向上折叠的所述片盒继续朝内90度折叠并使所述片盒在一侧形成开口，所述封盒组件用于实现所述片盒于所述开口处的封装。

根据本实用新型实施例的一种硅片包装机构，至少具有如下技术效果：通过设置取盒装置用于取用片盒并将其转送至工作台上，设置硅片转送装置用于将硅片转送至片盒内，设置翻转组件、压盒组件和封盒组件，用于对工作台上的片盒进行封装操作，以将硅片包装在片盒内，自动化程度高，相对于人工手动操作来说，提高了生产效率，降低了劳动强度。

根据本实用新型的一些实施例，所述取盒装置包括夹取机构、第三升降机构、第九驱动件，所述夹取机构连接于所述第三升降机构的输出端，所述第三升降机构连接于所述第九驱动件的输出端，所述夹取机构用于夹取片盒，所述第九驱动件用于驱动所述第三升降机构水平移动以使其能活动至所述工作台上侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述夹取机构包括夹爪和夹爪气缸，所述夹爪气缸用于驱动所述夹爪合拢或张开，以夹取或松开所述片盒。

根据本实用新型的一些实施例，所述第三升降机构的输出端设有连接板，所述夹取机构可拆卸连接于所述连接板底端。

根据本实用新型的一些实施例，所述夹取机构设有两个，且分别连接于所述连接板两侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述硅片转送装置包括传动相连的取料件和第十驱动件，所述取料件用于夹取所述硅片，所述第十驱动件能驱动所述取料件移动至所述工作台上侧，并将所述硅片转送至所述片盒内。

根据本实用新型的一些实施例，所述取料件包括上夹板、下夹板、伸缩机构，所述下夹板与所述第十驱动件连接，所述上夹板能够升降地设于所述下夹板上侧，以配合所述下夹板夹紧或松开所述硅片，所述伸缩机构用于驱动所述上夹板升降。

根据本实用新型的一些实施例，所述翻转组件包括翻转片和第一驱动件，第一驱动件具有能竖向伸缩的输出轴，所述翻转片一端铰接于所述输出轴，所述翻转片中部铰接有连杆，所述连杆另一端与所述第一驱动件的固定端铰接。

根据本实用新型的一些实施例，所述压盒组件包括传动相连的压杆和第二驱动件，所述压杆沿轴向转动安装有多个滚轮，所述第二驱动件用于驱动所述压杆水平移动以使所述滚轮与所述片盒外侧相抵。

根据本实用新型的一些实施例，所述封盒组件包括传动相连的封盒件和第三驱动件，所述封盒件包括推块和固设于所述推块上端的下压板，所述下压板朝向所述工作台的一端凸出所述推块边缘，所述第三驱动件能驱动所述封盒件朝向或背离所述工作台水平移动，并能驱动所述封盒件升降。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的硅片包装机构的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的取盒装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的硅片转送装置的结构示意图；

图4是本实用新型实施例的工作台与片盒封装装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例的翻转组件的结构示意图；

图6是本实用新型实施例的压盒组件的结构示意图；

图7是本实用新型实施例的封盒组件的结构示意图；

图8是本实用新型实施例的插入组件的结构示意图；

图9是本实用新型实施例的输送机构以及工作台的结构示意图；

图10是不具有丸缘的片盒的示意图；

图11是具有丸缘的片盒的示意图。

附图标记：

工作台100、支撑架101、吸附孔102、限位结构110、第一挡板111、第二挡板112、输送机构120、输送电机121、输送轮122、输送带123、转轴124；

取盒装置200、夹取机构210、夹爪211、夹爪气缸212、第三升降机构220、连接板221、第九驱动件230；

硅片转送装置300、取料件310、上夹板311、下夹板312、伸缩机构313、第十驱动件320、第四升降机构321、第十一驱动件322；

片盒封装装置400、翻转组件410、翻转片411、第一驱动件412、输出轴413、连杆414、压盒组件420、压杆421、第二驱动件422、滚轮423、第一升降机构424、封盒组件430、封盒件431、第三驱动件432、推块433、下压板434、第四驱动件435、第二升降机构436、插入组件440、压折机构441、压送机构442、第五驱动件443、压折板444、第六驱动件445、压送板446、第七驱动件450、第八驱动件460；

片盒500、底面板501、左侧板502、后侧板503、右侧板504、前侧板505、顶面板506、丸缘507、卡槽508、存放架510；

硅片600。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1和图10，本实用新型实施例提供的硅片包装机构，包括：工作台100、取盒装置200、硅片转送装置300、片盒封装装置400。

工作台100用于放置待包装的硅片600和片盒500，以待后续的包装操作，具体的，工作台100底端设有支撑架101以支撑工作台100。

取盒装置200设于工作台100一侧，用于取用片盒500并将其转送至工作台100上；具体的，在工作台100一侧设有用于存放片盒500的存放架510，取盒装置200从存放架510上取用片盒500。

硅片转送装置300设于工作台100另一侧，用于将硅片600转送至片盒500内。

片盒封装装置400设于工作台100周侧，片盒封装装置400用于封装工作台100上的片盒500，片盒封装装置400包括翻转组件410、压盒组件420和封盒组件430，其中，翻转组件410用于驱动工作台100上的片盒500向上90度折叠，压盒组件420用于驱动向上折叠的片盒500继续朝内90度折叠并于一侧形成开口，封盒组件430用实现片盒500的封装。具体的，本实施例中，翻转组件410用于驱动片盒500的右侧板504向上90度折叠，右侧板504向上折叠时，顶面板506和前侧板505会随之一同向上翻转；压盒组件420用于驱动片盒500的顶面板506向内90度折叠并在前侧形成开口，此时只剩前侧板505需要折叠；封盒组件430用于驱动片盒500的前侧板505向内90度折叠以实现片盒500于前侧开口处的封装，封装时，翻转组件410、压盒组件420和封盒组件430依次工作，三次折叠片盒500。

本实用新型实施例提供的硅片包装机构，通过设置取盒装置200用于取用片盒500并将其转送至工作台100上，设置硅片转送装置300用于将硅片600转送至片盒500内，设置翻转组件410、压盒组件420和封盒组件430，用于对工作台100上的片盒500进行封装操作，以将硅片600包装在片盒500内，自动化程度高，相对于人工手动操作来说，提高了生产效率，降低了劳动强度，且在包装的过程中，人手无需接触硅片600和片盒500，避免了人手将污染物带到硅片600上，硅片600不易损坏。

参照图1和图2，在本实用新型的一些实施例中，取盒装置200包括夹取机构210、第三升降机构220、第九驱动件230，夹取机构210连接于第三升降机构220的输出端，第三升降机构220连接于第九驱动件230的输出端，夹取机构210用于夹取片盒500，第九驱动件230用于驱动第三升降机构220水平移动以使其能活动至工作台100上侧，具体操作流程为：第三升降机构220控制夹取机构210升降，夹取机构210夹取片盒500，然后第三升降机构220和第九驱动件230联动，使片盒500先移动至工作台100上侧再放在工作台100上，最后夹取机构210松开即可。

可以想到的是，第三升降机构220可以采用气缸、油缸、伸缩电机中的一种，由于是长距离输送，第九驱动件230可采用无杆气缸结构或是电机丝杆机构。

参照图2，在本实用新型的一些实施例中，夹取机构210包括夹爪211和夹爪气缸212，夹爪气缸212用于驱动夹爪211合拢或张开，以夹取或松开片盒500，结构简单，夹取方便，具体的，本实施例中，夹爪211包括两个夹臂，夹爪气缸212用于驱动两个夹臂转动以合拢或张开。

参照图2，在本实用新型的一些实施例中，第三升降机构220的输出端设有连接板221，夹取机构210可拆卸连接于连接板221底端，通过设置连接板221，并令夹取机构210可拆卸连接在连接板221上，从而能够方便夹取机构210的拆卸维护；具体的，本实施例中，连接板221与夹取机构210的夹爪气缸212通过紧固件连接。

参照图2，在本实用新型的一些实施例中，夹取机构210设有两个，且分别连接于连接板221两侧，具体的，本实施例中，两个夹取机构210分别设于连接板221的左侧和后侧，分别用于夹取片盒500的左侧板502和后侧板503，相对于只设置一个夹取机构210用于夹取片盒500的其中一块侧板来说，本实施例的夹取更为稳固，片盒500夹取完后运输时不容易受重力影响而弯折损坏。

参照图1和图3，在本实用新型的一些实施例中，硅片转送装置300包括传动相连的取料件310和第十驱动件320，取料件310用于夹取硅片600，第十驱动件320能驱动取料件310移动至工作台100上侧，并将硅片600转送至片盒500内；具体的，第十驱动件320包括第四升降机构321和第十一驱动件322，第四升降机构321连接于第十一驱动机构的输出端，取料件310连接于第四升降机构321的输出端，第四升降机构321用于驱动取料件310升降，第十一驱动件322用于驱动取料件310朝向或背离工作台100水平移动，二者配合以使硅片600能转移至片盒500内，然后取料件310松开硅片600，第十一驱动件322再驱动取料件310背离工作台100水平移动，将硅片600留在片盒500内。

可以想到的是，第四升降机构321以及第十一驱动件322均可采用无杆气缸结构或电机丝杆结构，传输精度高。

参照图3，在本实用新型的一些实施例中，取料件310包括上夹板311、下夹板312、伸缩机构313，下夹板312与第十驱动件320连接，具体的，下夹板312连接在第四升降机构321的输出端，上夹板311能够升降地(相对于下夹板312)设于下夹板312上侧，以配合下夹板312夹紧或松开硅片600，伸缩机构313用于驱动上夹板311相对于下夹板312升降，结构简单，具体的，下夹板312上端固设有用于安装伸缩机构313的固定块；可以想到的是，伸缩机构313可采用气缸、油缸或伸缩电机。

参照图4、图5和图10，在本实用新型的一些实施例中，翻转组件410设于工作台100右侧，具体的，翻转组件410安装在支撑架101上，翻转组件410包括翻转片411和第一驱动件412，第一驱动件412具有能竖向伸缩的输出轴413，翻转片411一端铰接于输出轴413，其铰接轴线延伸方向为前后方向，翻转片411中部铰接有连杆414，连杆414另一端与第一驱动件412的固定端铰接，从而第一驱动件412的输出轴413竖向伸缩时，翻转片411能够绕其与输出轴413的铰接轴线正反转，具体的，翻转片411用于与片盒500的右侧板504外侧相抵，以推动片盒500的右侧板504向上90度折叠，需要说明的是，右侧板504向上折叠时，顶面板506和前侧板505会随之一同向上翻转。进一步的，为使片盒500的右侧板504更为平稳的折叠，翻转组件410前后间隔设有两个。可以想到的是，第一驱动件412可以是气缸、油缸或者伸缩电机。

参照图4、图6和图10，在本实用新型的一些实施例中，压盒组件420包括传动相连的压杆421和第二驱动件422，压杆421沿轴向转动安装有多个滚轮423，第二驱动件422用于驱动压杆421水平移动以使滚轮423与片盒500外侧相抵，具体的，本实施例中，第二驱动件422安装于支撑架101上，压杆421的轴向为前后方向，第二驱动件422能驱动压杆421左右移动并能使其移动至工作台上侧，滚轮423的周壁用于与片盒500的顶面板506外侧相抵，以带动顶面板506向内90度折叠，通过设置滚轮423，能减小与片盒500之间的摩擦，避免损坏片盒500；可以想到的是，第二驱动件422可以采用无杆气缸结构或是电机丝杆机构。

进一步的，参照图4、图6，第二驱动件422输出端连接有第一升降机构424，第一升降机构424的输出端连接压杆421，用于驱动压杆421升降，通过设置第一升降机构424，从而在翻转组件410翻转折叠片盒500时，可令第一升降机构424驱动压杆421下降至位于片盒500下侧，然后再令翻转组件410翻转折叠片盒500，以避免片盒500与压杆421产生干涉，相较于通过第二驱动件422驱动压杆421水平移动至避开片盒500翻转路径来说，设置第一升降机构424后，可缩短第二驱动件422驱动压杆421水平移动的行程，整体结构更为紧凑，提高了空间利用率。

参照图4、图7和图10，在本实用新型的一些实施例中，封盒组件430设于工作台100前侧，且安装在支撑架101上，封盒组件430包括传动相连的封盒件431和第三驱动件432，封盒件431包括推块433和固设于推块433上端的下压板434，下压板434朝向工作台100的一端凸出推块433边缘，第三驱动件432能驱动封盒件431朝向或背离工作台100水平移动，并能驱动封盒件431升降；具体的，本实施中，第三驱动件432包括第四驱动件435和第二升降机构436，第二升降机构436连接在第四驱动件435的输出端，推块433连接在第二升降机构436的输出端，第四驱动件435用于驱动第二升降机构436以及封盒件431朝向或背离工作台100水平移动，第二升降机构436用于驱动封盒件431升降。

封盒组件430工作过程及原理为：通过第四驱动件435以及第二升降机构436的联动配合，先令下压板434活动至片盒500的前侧板505的上侧，再令下压板434向下活动，使其与片盒500的前侧板505的外侧接触，并将前侧板505朝下向内压折一定角度，然后再令下压板434活动至高于片盒500的位置，令推块433朝向工作台100移动，使其与前侧板505的外侧接触，并推动前侧板505折叠至与顶面板506呈90度。

在一些具体的实施例中，参照图4和图9，工作台100周侧设有限位结构110，限位结构110包括第一挡板111和第二挡板112，第一挡板111固设于工作台100后侧，第二挡板112能够升降地设于工作台100左侧，用于与片盒500的后侧板503以及左侧板502相抵，以限位片盒500，防止封装时片盒500移动。为防止片盒上下窜动，工作台100上设有吸附孔102，用于吸附片盒500，吸附孔102连接有真空负压气泵。

进一步的，参照图4和图9，工作台100上设有能朝向第二挡板112水平输送片盒500的输送机构120，可以理解的是，第二挡板112能够升降至位于片盒500的下侧，以避开片盒500的水平输送路径，通过令第二挡板112可升降，又设置输送机构120，从而在封装完片盒500后，可令第二挡板112升降至位于片盒500的下侧，通过输送机构120将片盒500运输至脱离工作台100，可以想到的是，可在输送机构120输送末端设置用于将片盒500传输至下一工位的机构，以提高自动化程度。此外，可采用气缸或油缸驱动第二挡板112升降。

如图4和9所示，输送机构120包括输送电机121、输送轮122、绕设于输送轮122的输送带123，输送带123上侧部分搭设于工作台100上表面，输送电机121用于驱动输送轮122转动，以驱动输送带123输送片盒500，具体的，本实施例中，工作台100左右两侧均转动安装有转轴124，输送轮122安装于转轴124，输送电机121通过同步带与同步轮以驱动转轴124转动，从而驱动输送轮122转动，结构简单，传输平稳。

为了适用于多元化的生产，在本实施新型的一些实施例中，如图4和图8所示，片盒500封装机构还包括插入组件440，用于将片盒500的丸缘507插入片盒500的卡槽508内，需要说明的是，根据不同的生产需求，片盒500的结构也有细微的区别，如图11所示，其中一种片盒500在前面板的一侧边设有丸缘507，丸缘507为类似三角状的结构，在左侧板502上设有供丸缘507插入的卡槽508，包装时还需要将丸缘507插入卡槽508内，通过设置插入组件440，使得本实用新型能适用于具有丸缘507的片盒500的封装。

具体的，如图4和图8所示，插入组件440包括压折机构441和压送机构442，压折机构441包括第五驱动件443和压折板444，第五驱动件443用于驱动压折板444左右水平移动；压送机构442包括第六驱动件445和压送板446，第六驱动件445用于驱动压送板446转动，且转动轴线延伸方向为左右方向，其中，压折板444用于与丸缘507接触并向内压折丸缘507，以使丸缘507与左侧板502上的卡槽508对齐，压送板446用于与前侧板505接触，以推动前侧板505向内90度折叠，前侧板505向内折叠的过程中，丸缘507插入卡槽508内，此外，第五驱动件443采用气缸，第六驱动件445采用旋转电机。可以理解的是，为使压折板444能顺畅地向内压折丸缘507，片盒500加工完成时即令丸缘507轻微向内折叠。此外，需要说明的是，压折机构441在片盒500经过二次折叠后再工作，此时右侧板504和顶面板506均已折叠至对应位置，此外，在封装具有丸缘507的片盒500时，封盒组件430不工作，压折机构441工作，封盒组件430和压折机构441分别用于两种片盒500的封装。

进一步的，参照图4，为避免在封装不具有丸缘507的片盒500时，插入组件440与其他结构或者片盒500产生干涉，同时也为了调节插入组件440在工作时的位置，插入组件440连接有用于驱动其升降的第七驱动件450以及驱动其水平移动的第八驱动件460，其中，压折机构441和压送机构442均连接在第七驱动件450的输出端，第七驱动件450连接在第八驱动件460的输出端，具体的，第七驱动件450采用气缸，第八驱动件460采用无杆气缸结构，此外，第八驱动件460也可采用电机丝杆机构。

参照图4至图10，封装不具有丸缘507的片盒500时的操作过程及原理为：第一步：第一升降机构424驱动压杆421活动至位于片盒500的下侧，避开片盒500向上翻转折叠的路径；第二步：第一驱动件412驱动翻转片411转动，以推动片盒500的右侧板504朝上向内90度折叠，此过程中，顶面板506以及前侧板505随右侧板504一同向上翻转；第三步，第一升降机构424驱动压杆421上升至对应位置，然后第二驱动件422驱动压杆421水平移动，压杆421水平移动过程中，其上的滚轮423与顶面板506的外侧相抵，并将顶面板506下压，使顶面板506向内90度折叠，此过程中，前面板随顶面板506一同活动；第四步：第四驱动件435以及第二升降机构436配合，先令下压板434与前侧板505的外侧相抵并向下压折前侧板505，使前侧板505折叠一定角度，然后再令推块433与前侧板505外侧相抵并推动前侧板505折叠至与顶面板506呈90度。

参照图4至图9以及图11，封装具有丸缘507的片盒500时的操作过程及原理为：第一步到第三步与上述第一步到第三步操作相同；第四步，通过第五驱动件443驱动压折板444移动并使其与丸缘507相抵，以向内压折丸缘507，使丸缘507与左侧板502上的卡槽508对齐，然后令第六驱动件445驱动压折板444转动并使其与前侧板505外侧相抵，以推动前侧板505朝内90度折叠，前侧板505向内折叠的过程中，丸缘507会随之一同活动至插入卡槽508。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种硅片包装机构，其特征在于，包括：

工作台(100)；

取盒装置(200)，设于所述工作台(100)一侧，用于取用片盒(500)并将其转送至所述工作台(100)上；

硅片转送装置(300)，设于所述工作台(100)另一侧，用于将所述硅片(600)转送至所述片盒(500)内；

片盒封装装置(400)，设于所述工作台(100)周侧，包括翻转组件(410)、压盒组件(420)和封盒组件(430)，所述翻转组件(410)用于驱动所述工作台(100)上的所述片盒(500)向上90度折叠，所述压盒组件(420)用于驱动向上折叠的所述片盒(500)继续朝内90度折叠并使所述片盒(500)在一侧形成开口，所述封盒组件(430)用于实现所述片盒(500)于所述开口处的封装。

2.根据权利要求1所述的硅片包装机构，其特征在于，所述取盒装置(200)包括夹取机构(210)、第三升降机构(220)、第九驱动件(230)，所述夹取机构(210)连接于所述第三升降机构(220)的输出端，所述第三升降机构(220)连接于所述第九驱动件(230)的输出端，所述夹取机构(210)用于夹取片盒(500)，所述第九驱动件(230)用于驱动所述第三升降机构(220)水平移动以使其能活动至所述工作台(100)上侧。

3.根据权利要求2所述的硅片包装机构，其特征在于，所述夹取机构(210)包括夹爪(211)和夹爪气缸(212)，所述夹爪气缸(212)用于驱动所述夹爪(211)合拢或张开，以夹取或松开所述片盒(500)。

4.根据权利要求2所述的硅片包装机构，其特征在于，所述第三升降机构(220)的输出端设有连接板(221)，所述夹取机构(210)可拆卸连接于所述连接板(221)底端。

5.根据权利要求4所述的硅片包装机构，其特征在于，所述夹取机构(210)设有两个，且分别连接于所述连接板(221)两侧。

6.根据权利要求1所述的硅片包装机构，其特征在于，所述硅片转送装置(300)包括传动相连的取料件(310)和第十驱动件(320)，所述取料件(310)用于夹取所述硅片(600)，所述第十驱动件(320)能驱动所述取料件(310)移动至所述工作台(100)上侧，并将所述硅片(600)转送至所述片盒(500)内。

7.根据权利要求6所述的硅片包装机构，其特征在于，所述取料件(310)包括上夹板(311)、下夹板(312)、伸缩机构(313)，所述下夹板(312)与所述第十驱动件(320)连接，所述上夹板(311)能够升降地设于所述下夹板(312)上侧，以配合所述下夹板(312)夹紧或松开所述硅片(600)，所述伸缩机构(313)用于驱动所述上夹板(311)升降。

8.根据权利要求1所述的硅片包装机构，其特征在于，所述翻转组件(410)包括翻转片(411)和第一驱动件(412)，第一驱动件(412)具有能竖向伸缩的输出轴(413)，所述翻转片(411)一端铰接于所述输出轴(413)，所述翻转片(411)中部铰接有连杆(414)，所述连杆(414)另一端与所述第一驱动件(412)的固定端铰接。

9.根据权利要求1所述的硅片包装机构，其特征在于，所述压盒组件(420)包括传动相连的压杆(421)和第二驱动件(422)，所述压杆(421)沿轴向转动安装有多个滚轮(423)，所述第二驱动件(422)用于驱动所述压杆(421)水平移动以使所述滚轮(423)与所述片盒(500)外侧相抵。

10.根据权利要求1所述的硅片包装机构，其特征在于，所述封盒组件(430)包括传动相连的封盒件(431)和第三驱动件(432)，所述封盒件(431)包括推块(433)和固设于所述推块(433)上端的下压板(434)，所述下压板(434)朝向所述工作台(100)的一端凸出所述推块(433)边缘，所述第三驱动件(432)能驱动所述封盒件(431)朝向或背离所述工作台(100)水平移动，并能驱动所述封盒件(431)升降。

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