CN217641270U - 样品贴装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种样品贴装装置，包括支撑架和移动平台，支撑架包括底座和与至少一个立架，底座与立架垂直，底座用于支撑样品台，移动平台与至少一个立架连接，且沿竖直方向移动，其中，移动平台上沿竖直方向设有通孔，通孔位于底座上方，通孔上方连接真空管道，下方用于吸附样品。该样品贴装装置提高了样品在样品台上的平整度，提高了后续分析的精确度。

Description

样品贴装装置

技术领域

本实用新型涉及半导体分析技术领域，尤其是涉及一种样品贴装装置。

背景技术

相关技术中，样品的贴装由人工进行操作，而人工进行操作时，由于手放和挤压得不稳定性，使得样品容易发生倾斜，从而影响后续实验分析。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种样品贴装装置，所述样品贴装装置能够提高样品在样品台上的平整度，提高后续分析的精确度。

根据本实用新型实施例的料理机的样品贴装装置，包括：支撑架，所述支撑架包括底座和与至少一个立架，所述底座与所述立架垂直，所述底座用于支撑样品台；移动平台，所述移动平台与所述至少一个立架连接，且沿竖直方向移动；其中，所述移动平台上沿竖直方向设有通孔，所述通孔位于所述底座上方，所述通孔上方连接真空管道，下方用于吸附样品。

根据本实用新型的料理机的样品贴装装置，在移动平台得通孔上连接真空管道，通过抽真空的方式将样品吸附在移动平台的下方，并通过移动平台的竖直移动将样品贴装到样品台上，提高样品在样品台上的平整度，提高后续分析的精确度。

根据本实用新型的一些实施例，所述立架为一个，所述立架一体成型于所述底座的一侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述立架包括基座、平行设置的两个立杆和横杆，所述两个立杆与所述底座一体成型，所述横杆连接于所述两个立杆顶端，所述移动平台与所述两个立杆连接，且沿所述两个立杆移动。

根据本实用新型的一些实施例，所述基座上连接滚珠丝杠的一端，所述滚珠丝杠的另一端穿过所述横杆，所述移动平台套接在所述滚珠丝杠上。

根据本实用新型的一些实施例，所述滚珠丝杠的另一端连接有调节螺母。

根据本实用新型的一些实施例，所述两个立杆相互靠近的一侧均设有滑槽，所述移动平台上设有于所述滑槽相配合的凸起。

根据本实用新型的一些实施例，所述移动平台与所述真空管道通过真空管道接口连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述底座上设有安装槽，所述安装槽与所述样品台底端相配合。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是隐形激光切割超薄芯片的原理图；

图2是隐形激光切割超薄芯片后芯片的内部形态图；

图3是隐形激光切割超薄芯片后芯片内部形成损伤的结构图；

图4是平面层抛定位方法的原理图；

图5是根据现有技术将样品贴装到样品台上的示意图；

图6是根据本实用新型实施例的样品贴装装置的主视图；

图7是根据本实用新型实施例的样品贴装装置的侧视图；

图8是根据本实用新型实施例的样品贴装装置的使用状态图。

附图标记：

样品台200、导电胶膜201、

样品300、

样品贴装装置100、

支撑架1、底座11、安装槽110、立架12、基座121、立杆122、横杆123、

移动平台2、通孔20、真空管道21、真空管道接口22、

滚珠丝杠3、调节螺母31。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和 /或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的样品贴装装置100。

如图6-8所示，根据本实用新型实施例的样品贴装装置100，包括支撑架1和移动平台2，支撑架1包括底座11和与至少一个立架12，底座11与立架12垂直，底座11用于支撑样品台200，移动平台2与至少一个立架12连接，且沿竖直方向移动，其中，移动平台2上沿竖直方向设有通孔20，通孔20位于底座11上方，通孔20上方连接真空管道21，下方用于吸附样品300。

需要说明的是，样品贴装装置100用于将样品300贴装到样品台200上。使用时，先将样品300置于移动平台2上，然后移动平台2移动至样品台200上方，将样品300 贴附于样品台200上。

具体地，如图6-8所示，本实用新型实施例中底座11用于支撑样品台200，立架12用于支撑移动平台2，移动平台2与立架12连接，且沿竖直方向移动，以带动样品300 往样品台200方向移动。移动平台2上沿竖直方向设有通孔20，通孔20位于底座11 上方，通孔20上方连接真空管道21，下方用于吸附样品300，真空管道21通过与真空泵或压缩机等连接，使得真空管道21处于真空状态，以将样品300吸附于通孔20下端，这样，能够提高样品300贴附的平整度，提高后续分析的精确度。

由此，根据本实用新型实施例的样品贴装装置100，通过在移动平台2上沿竖直方向设置通孔20，通孔20上方连接真空管道21，提高了样品300贴附的平整度，且贴附效率较高。

相对于一些技术中，通过人工贴装样品300，例如，为了减少超薄芯片切割时的损伤，目前常用隐形激光切割技术对超薄芯片进行切割，其切割技术原理如图1所示，激光透过硅片，聚焦到硅片内部，硅在高温下熔化，再结晶时形成多晶结构，内部应力导致形成内部断裂纹，实际形态如图2所示。在这个过程中，由于激光移动路径上硅的组织结构变化，对激光形成散射，使得激光泄漏到芯片功能区，如图3所示，最终形成损伤。为了分析在硅体内的损伤机理，引入平面层抛定位方法，如图4所示，通过逐层进行缺陷坐标定位，最终确定激光发出原点。由于需要采用平面层抛，且需要明确坐标，因此对于垂直精度需要严格控制，而目前传统电子显微镜的样品台200一般为一个T型圆台，样品300通过导电胶膜201贴在样品台200上，由于手放和挤压的不稳定性，容易产生样品300倾斜，如图5所示。这种倾斜，对于坐标定位会产生影响。本申请通过真空吸附的方式将样品300吸附于移动平台2下方，然后通过移动平台2的移动将样品 300贴装在样品台200上，贴装稳定性更高，样品300不易发生倾斜，提高样品300贴附的平整度，进而为隐形激光切割分析时提高坐标定位准确度提供保证。

可以理解的是，通孔20可以位于底座11的边缘上方，也可也位于底座11的靠近中心的上方。本申请方案中，通孔20位于底座11的靠近中心的上方。

在本申请的一些实施例中，如图6和图8所示，立架12为一个，立架12一体成型于底座11的一侧。立架12于底座11一体成型提高了支撑架1的整体稳定性，立架12 设置为一个，在支撑移动平台2的基础上，减小样品300贴装后对样品300进行观察时的阻挡，方便观察样品300，且结构较简单。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，立架12还可以为两个或两个以上。当立架12为两个时，两个立架12可以设在底座11的同侧，也可以对称设在底座11两侧，也可以设在底座11的相邻两侧；当立架12为两个以上时，可以设在底座11的同侧，也可以设在底座11的任意两侧或两侧以上。

在本申请的一些实施例中，如图7所示，立架12包括基座121、平行设置的两个立杆122和横杆123，两个立杆122与底座11一体成型，横杆123连接于两个立杆122 顶端，移动平台2与两个立杆122连接，且沿两个立杆122移动。移动平台2与两个立杆122连接，且沿两个立杆122移动，提高了移动平台2移动的稳定性。横杆123连接于两个立杆122顶端，以对移动平台2上方进行阻挡，避免移动平台2由上方脱离立架 12。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，立架12也可以包括一个立杆122或两个以上立杆122。立杆122上方也可以通过其他限位结构进行限位，以防止移动平台2由上方脱离立架12。

在本申请的一些实施例中，如图6和图8所示，基座121连接滚珠丝杠3的一端，滚珠丝杠3的另一端穿过横杆123，移动平台2套接在滚珠丝杠3上。基座121连接滚珠丝杠3的一端，滚珠丝杠3的另一端穿过横杆123，通过基座121和横杆123对滚珠丝杠3进行轴向限位，避免发生倾斜，通过滚珠丝杠3的转动带动移动平台2沿竖直方向移动，移动平台2移动的稳定性较高。

具体的，滚珠丝杠3中部设有滚珠螺母，移动平台2通过滚珠螺母与滚珠丝杠3连接。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，移动还可以通过直线电机等的驱动沿竖直方向移动。

在本申请的一些实施例中，如图6-图8所示，滚珠丝杠3的另一端连接有调节螺母31。通过转动调节螺母31使得滚珠丝杠3旋转，进而带动移动平台2进行移动。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，滚珠丝杠3的转动还可以通过其他机构来驱动，例如，电机等。

在本申请的一些实施例中，两个立杆122相互靠近的一侧均设有滑槽，移动平台2上设有与滑槽相配合的凸起。通过滑槽与凸起的配合，使得移动平台2沿两个立杆122 滑动，提高了移动平台2移动的稳定性。

可以理解的是，也可以通过在两个立杆122相互靠近的一侧设置凸起，在移动平台2上设置与凸起相配合的滑槽来实现移动平台2沿两个立杆122滑动。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，移动平台2还可以沿两个立杆122滚动。

在本申请的一些实施例中，如图6和图8所示，移动平台2与真空管道21通过真空管道接口22连接。通过真空管道接口22将真空管道21连接在移动平台2的通孔20处，使得真空管道21与通孔20连接的密封性较好，提高了移动平台2吸附样品300的稳定性。

在本申请的一些实施例中，如图6和图8所示，底座11上设有安装槽110，安装槽110与样品台200底端相配合。通过设置与样品台200底端相配合的安装槽110，使得样品台200底端可以插入到底座11中，提高了样品台200的稳定性，进而提高样品300 贴装的平整度，且结构简单。

当然，本申请不限于此；在其他实施例中，底座11上也可以设置固定结构，通过固定结构对样品台200进行固定。

下面参考图6-图8描述一个具体示例中，样品贴装装置100的工作方式。

工作时，将样品台200的底端插入底座11的安装槽110中，在样品台200上贴附导电胶膜201，将样品300贴附在移动平台2的下表面，对真空管道21进行抽真空，使得移动平台2将样品300吸附住，通过转动调节螺母31，使得移动平台2下移，并最终将样品300 贴在导电胶膜201上，贴牢后，关闭真空，然后转动调节螺母31，将移动平台2上移。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种样品贴装装置，其特征在于，包括：

支撑架(1)，所述支撑架(1)包括底座(11)和与至少一个立架(12)，所述底座(11)与所述立架(12)垂直，所述底座(11)用于支撑样品台(200)；

移动平台(2)，所述移动平台(2)与所述至少一个立架(12)连接，且沿竖直方向移动；

其中，所述移动平台(2)上沿竖直方向设有通孔(20)，所述通孔(20)位于所述底座(11)上方，所述通孔(20)上方连接真空管道(21)，下方用于吸附样品(300)。

2.根据权利要求1所述的样品贴装装置，其特征在于，所述立架(12)为一个，所述立架(12)一体成型于所述底座(11)的一侧。

3.根据权利要求2所述的样品贴装装置，其特征在于，所述立架(12)包括基座(121)、平行设置的两个立杆(122)和横杆(123)，所述两个立杆(122)与所述底座(11)一体成型，所述横杆(123)连接于所述两个立杆(122)顶端，所述移动平台(2)与所述两个立杆(122)连接，且沿所述两个立杆(122)移动。

4.根据权利要求3所述的样品贴装装置，其特征在于，所述基座(121)连接滚珠丝杠(3)的一端，所述滚珠丝杠(3)的另一端穿过所述横杆(123)，所述移动平台(2)套接在所述滚珠丝杠(3)上。

5.根据权利要求4所述的样品贴装装置，其特征在于，所述滚珠丝杠(3)的另一端连接有调节螺母(31)。

6.根据权利要求3所述的样品贴装装置，其特征在于，所述两个立杆(122)相互靠近的一侧均设有滑槽，所述移动平台(2)上设有与所述滑槽相配合的凸起。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的样品贴装装置，其特征在于，所述移动平台(2)与所述真空管道(21)通过真空管道接口(22)连接。

8.根据权利要求3所述的样品贴装装置，其特征在于，所述底座(11)上设有安装槽(110)，所述安装槽(110)与所述样品台(200)底端相配合。

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