CN217637199U - 一种检测用光学镜头更换装置及检测台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种检测用光学镜头更换装置及检测台。检测用光学镜头更换装置包括工作台、镜头架、镜头座、移动单元和连接单元，其中镜头架设置于工作台上，镜头架用以摆放支撑非工作的光学镜头，镜头架上并排且间隔设置有多个镜头安置槽；镜头座设置有探测器，镜头座连接有工作的光学镜头；移动单元设置于工作台上，移动单元与镜头座连接，镜头架设置于移动单元的下方，移动单元被配置为能够驱动镜头座移动；连接单元设置于镜头座上，连接单元被配置为能够抓取或松脱光学镜头。移动单元和连接单元相互配合可实现对光学镜头的自动更换，不会影响工作光学镜头检测效率。

Description

一种检测用光学镜头更换装置及检测台

技术领域

本实用新型涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种检测用光学镜头更换装置。

背景技术

测量相机适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，对工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量，广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器。

但是目前现有的测量相机，其不同倍率镜头均位于检测件的上方，通过转动的方式对镜头进行更换，对于不同长度的镜头，在检测过程中可能会出现较长的镜头碰触到检测件造成待检测件位置移动而影响检测效率测量的问题。

因此，亟需一种检测用光学镜头更换装置，以解决上述技术问题。

实用新型内容

一方面，本实用新型的目的在于提出一种检测用光学镜头更换装置，能够实现自动更换镜头的同时防止其他镜头影响检测效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种检测用光学镜头更换装置，包括：

工作台；

镜头架，设置于所述工作台上，所述镜头架用以摆放支撑非工作的光学镜头，所述镜头架上并排且间隔设置有多个镜头安置槽；

镜头座，设置有探测器，所述镜头座连接有工作的光学镜头，且工作的所述光学镜头设置于所述探测器的正下方；

移动单元，设置于所述工作台上，所述移动单元与所述镜头座连接，所述镜头架设置于所述移动单元的下方，所述移动单元被配置为能够驱动所述镜头座移动；

连接单元，设置于所述镜头座上，所述连接单元被配置为能够抓取或松脱所述光学镜头。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述镜头安置槽呈开口设置。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述移动单元包括：

X轴移动部件，设置于所述工作台的顶部；

Y轴移动部件，设置于所述X轴移动部件上并与所述X轴移动部件连接；

Z轴移动部件，设置于所述Y轴移动部件上并与所述镜头座连接。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，两个所述X轴移动部件平行且间隔设置于所述工作台的顶部，所述Y轴移动部件两端分别与位于所述Y轴移动部件两端的X轴移动部件连接。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述X轴移动部件包括：

X轴驱动件；

X轴直线移动组件，所述X轴直线移动组件分别与所述X轴驱动件的输出端及所述Y轴移动部件连接，所述X轴直线移动组件能够沿X轴方向带动所述Y轴移动部件移动。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述Y轴移动部件包括：

Y轴驱动件；

Y轴直线移动组件，所述Y轴直线移动组件分别与所述Y轴驱动件的输出端及所述Z轴移动部件连接，所述Y轴直线移动组件能够沿Y轴方向带动所述Z轴移动部件移动。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述Z轴移动部件包括：

Z轴驱动件；

Z轴直线移动组件，所述Z轴直线移动组件分别与所述Z轴驱动件的输出端及所述镜头座连接，所述Z轴直线移动组件能够沿Z轴方向带动所述镜头座移动。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述移动单元还包括位于所述X轴移动部件底部的支撑架，所述支撑架设置于所述工作台的顶部，所述支撑架两端分别与所述X轴移动部件和所述工作台顶部固定连接。

作为上述检测用光学镜头更换装置的一种优选技术方案，所述连接单元包括气动夹爪。

另一方面，本实用新型的目的在于提出一种检测台，该检测台能够实现自动更换镜头的同时防止其他镜头影响检测效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种检测台，用于检测半导体，包括上述任一方案所述的检测用光学镜头更换装置。

本实用新型有益效果：

检测用光学镜头更换装置包括工作台、镜头架、镜头座、移动单元和连接单元，其中镜头架设置于工作台上，镜头架用以摆放支撑非工作光学镜头，镜头架上并排且间隔设置有多个镜头安置槽；镜头座设置有探测器，镜头座连接有工作光学镜头，且工作光学镜头设置于探测器的正下方以实现探测器与光学镜头的对焦连接；移动单元设置于工作台上，移动单元与镜头座连接，镜头架设置于移动单元的下方，移动单元被配置为能够驱动镜头座移动，从而实现对光学镜头的非人工移动；连接单元设置于镜头座上，连接单元被配置为能够抓取或松脱光学镜头，移动单元将需要更换的光学镜头移动至镜头架处，通过连接单元将需要更换的光学镜头放置在镜头安置槽处，然后移动单元再次移动连接单元至待夹取的光学镜头，连接单元夹取新的光学镜头后移动单元再次移动连接单元，进而带动新的光学镜头至待检测件处，移动单元和连接单元相互配合可实现对光学镜头的自动更换。同时多个光学镜头不会在镜头座处同时存在，故非工作光学镜头不会影响工作光学镜头检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的检测用光学镜头更换装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的检测用光学镜头更换装置的轴侧结构示意图；

图3是图2中A处的局部放大图；

图4是本实用新型实施例提供的镜头架的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的移动单元的结构示意图。

图中：

1、工作台；2、镜头架；21、镜头安置槽；3、镜头座；4、X轴移动部件；41、X轴滑轨；42、X轴滑块；5、Y轴移动部件；51、Y轴滑轨；52、Y轴滑块；53、Y轴连接座；6、Z轴移动部件；61、Z轴驱动件；62、Z轴丝杠；63、Z轴螺母；64、Z轴滑块；65、Z轴滑轨；66、Z轴连接座；7、连接单元；8、支撑架；9、光学镜头；10、齐焦显微镜。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

现有技术中镜头更换后依旧停留在待检测件上，长度较长的镜头可能会对待检测件碰触而影响检测效率，另外当镜头通过人工手动进行更换时，很容易导致手部触碰到待检测件，造成待检测件的污染或磨损，且手动旋转镜头还容易造成镜头对准精度不准，扫描测量误差较大等问题。为此，本实施例提供了一种检测用光学镜头更换装置以解决上述问题。

具体地，如图1至图3所示，该检测用光学镜头更换装置包括工作台1、镜头架2、镜头座3、移动单元和连接单元7，其中镜头架2设置于工作台1上，镜头架2用以摆放支撑非工作的光学镜头9，镜头架2上并排且间隔设置有多个镜头安置槽21；镜头座3设置有探测器和齐焦显微镜10，探测器和齐焦显微镜10二者独立工作，不相互影响，镜头座3连接有工作的光学镜头9，且工作的光学镜头9设置于探测器的正下方以实现探测器与光学镜头9的对焦连接；移动单元设置于工作台1上，移动单元与镜头座3连接，镜头架2设置于移动单元的下方，移动单元被配置为能够驱动镜头座3移动，从而实现对光学镜头9的非人工移动；连接单元7设置于镜头座3上，连接单元7被配置为能够抓取或松脱光学镜头9，移动单元将需要更换的光学镜头9移动至镜头架2处，通过连接单元7将需要更换的光学镜头9放置在镜头安置槽21处，然后移动单元再次移动连接单元7至待夹取的光学镜头9，连接单元7夹取新的光学镜头9后移动单元再次移动连接单元7，进而带动新的光学镜头9至待检测件处，移动单元和连接单元7相互配合可实现对光学镜头9的自动更换。同时多个光学镜头9不会在镜头座3处同时存在，故非工作的光学镜头9不会影响工作的光学镜头9检测效率。

由于部分光学镜头9呈上窄下宽，而部分光学镜头9呈下窄上宽，为了适应不同形状的光学镜头9，如图4所示，在本实施例中，镜头安置槽21呈开口设置。当移动单元将需要更换的光学镜头9移动至镜头架2处后，可直接将光学镜头9进入到镜头安置槽21的开口处将光学镜头9松脱，此时镜头架2支撑该光学镜头9，镜头安置槽21的开口设计能够适应不同形状的光学镜头9的放置需要。

可选地，在本实施例中，如图1、图2和图5所示，移动单元包括用于带动光学镜头9沿着X轴方向移动的X轴移动部件4、用于带动光学镜头9沿着Y轴方向移动的Y轴移动部件5和用于带动光学镜头9沿着Z轴方向移动的Z轴移动部件6，其中X轴移动部件4设置于工作台1的顶部；Y轴移动部件5设置于X轴移动部件4上并与X轴移动部件4连接；Z轴移动部件6设置于Y轴移动部件5上并与镜头座3连接。如此可满足光学镜头9对于移动到不同位置的需要。

为了能够将Y轴移动部件5稳定的支撑，且不对Z轴移动部件6移动过程中产生干涉，在本实施例中，两个X轴移动部件4平行且间隔设置于工作台1的顶部，Y轴移动部件5两端分别与位于Y轴移动部件5两端的X轴移动部件4连接。同时两个X轴移动部件4还能够稳定的支撑Y轴移动部件5。

详细地，X轴移动部件4包括X轴驱动件和X轴直线移动组件，X轴直线移动组件分别与X轴驱动件的输出端和Y轴移动部件5连接，X轴直线移动组件能够沿X轴方向带动Y轴移动部件5移动。举例地，X轴驱动件为X轴电机，X轴直线移动组件为X轴滚珠丝杠，X轴滚珠丝杠包括X轴丝杠和X轴螺母，X轴丝杠与X轴电机的输出端传动连接，X轴螺母与Y轴移动部件5固定连接。如此可实现对镜头座3的X轴方向的移动。

为了使X轴螺母平稳地在X轴丝杠上移动，X轴移动部件4还包括设置于X轴丝杠两侧的X轴滑轨41和与X轴螺母固定连接的X轴滑块42。

当然，在一些实施例中，X轴驱动件可为X轴推杆，举例地，X轴推杆可为电推杆或气缸，X轴直线移动组件包括X轴滑轨41和X轴滑块42，X轴滑块42能够在X轴滑轨41上滑动，X轴滑块42与Y轴移动部件5固定连接。如此可实现对镜头座3的X轴方向的移动。

详细地，Y轴移动部件5包括Y轴驱动件和Y轴直线移动组件，Y轴直线移动组件分别与Y轴驱动件的输出端及Z轴移动部件6连接，Y轴直线移动组件能够沿Y轴方向带动Z轴移动部件6移动。举例地，Y轴驱动件为Y轴电机，Y轴直线移动组件为Y轴滚珠丝杠，Y轴滚珠丝杠包括Y轴丝杠和Y轴螺母，Y轴丝杠与Y轴电机的输出端传动连接，Y轴螺母与Z轴移动部件6固定连接。如此可实现对镜头座3的Y轴方向的移动。

为了使Y轴螺母平稳地在Y轴丝杠上移动，Y轴移动部件5还包括设置于Y轴丝杠两侧的Y轴滑轨51和与Y轴螺母固定连接的Y轴滑块52。

当然，在一些实施例中，Y轴驱动件为Y轴推杆，Y轴推杆可为电推杆或气缸，Y轴直线移动组件包括Y轴滑轨51和Y轴滑块52，Y轴滑块52能够在Y轴滑轨51上滑动，Y轴滑块52与Z轴移动部件6固定连接。如此可实现对镜头座3的Y轴方向的移动。

详细地，Z轴移动部件6包括Z轴驱动件61和Z轴直线移动组件，Z轴直线移动组件分别与Z轴驱动件61的输出端及镜头座3连接，Z轴直线移动组件能够沿Z轴方向带动镜头座3移动。举例地，Z轴驱动件61为Z轴电机，Z轴直线移动组件为Z轴滚珠丝杠，Z轴滚珠丝杠包括Z轴丝杠62和Z轴螺母63，Z轴丝杠62与Z轴电机的输出端传动连接，Z轴螺母63与镜头座3固定连接。如此可实现对镜头座3的Z轴方向的移动。进一步地，为了使Z轴螺母63平稳地在Z轴丝杠62上移动，Z轴移动部件6还包括设置于Z轴丝杠62一侧的Z轴滑轨65和与Z轴螺母63固定连接的Z轴滑块64。

为了实现Y轴滑块52与Z轴移动部件6的连接，Z轴移动部件6还包括Z轴连接座66，Z轴连接座66与Y轴滑块52固定连接，Z轴驱动件61和Z轴直线移动组件均设置在Z轴连接座66上，Z轴连接座66为Z轴驱动件61和Z轴直线移动组件提供支撑。Z轴滑轨65和Y轴滑块52分别位于Z轴连接座66的两侧。

当然，在一些实施例中，Z轴驱动件61为Z轴推杆，Z轴推杆可为电推杆或气缸，Z轴直线移动组件包括Z轴滑轨65和Z轴滑块64，Z轴滑块64能够在Z轴滑轨65上滑动，Z轴滑块64与镜头座3固定连接。如此可实现对镜头座3的Z轴方向的移动。

当X轴移动部件4直接设置在工作台1上时，在更换待检测件时可能会与镜头之间发生干涉，为此，在本实施中，移动单元还包括位于X轴移动部件4底部的支撑架8，支撑架8设置于工作台1的顶部，支撑架8两端分别与X轴移动部件4和工作台1顶部固定连接。这样提高了光学镜头9的整体高度，能够防止光学镜头9被触碰。

详细地，在本实施例中，如图3所示，连接单元7包括气动夹爪。气动夹爪属于现有技术，具体可通过外购获得，此处不再赘述。

本实用新型还提供了一种检测台，用于检测半导体，该检测台包括如本实用新型的实施例中提供的检测用光学镜头更换装置。该检测台能够实现自动更换光学镜头9，并将非工作的光学镜头9放置在镜头架2防止该非工作的光学镜头9影响工作的光学镜头9的工作效率，另外自动更换光学镜头9。

此外，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种检测用光学镜头更换装置，其特征在于，包括：

工作台(1)；

镜头架(2)，设置于所述工作台(1)上，所述镜头架(2)用以摆放支撑非工作的光学镜头(9)，所述镜头架(2)上并排且间隔设置有多个镜头安置槽(21)；

镜头座(3)，设置有探测器，所述镜头座(3)连接有工作的光学镜头(9)，且工作的所述光学镜头(9)设置于所述探测器的正下方；

移动单元，设置于所述工作台(1)上，所述移动单元与所述镜头座(3)连接，所述镜头架(2)设置于所述移动单元的下方，所述移动单元被配置为能够驱动所述镜头座(3)移动；

连接单元(7)，设置于所述镜头座(3)上，所述连接单元(7)被配置为能够抓取或松脱所述光学镜头(9)。

2.根据权利要求1所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述镜头安置槽(21)呈开口设置。

3.根据权利要求1所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述移动单元包括：

X轴移动部件(4)，设置于所述工作台(1)的顶部；

Y轴移动部件(5)，设置于所述X轴移动部件(4)上并与所述X轴移动部件(4)连接；

Z轴移动部件(6)，设置于所述Y轴移动部件(5)上并与所述镜头座(3)连接。

4.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，两个所述X轴移动部件(4)平行且间隔设置于所述工作台(1)的顶部，所述Y轴移动部件(5)两端分别与位于所述Y轴移动部件(5)两端的X轴移动部件(4)连接。

5.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述X轴移动部件(4)包括：

X轴驱动件；

X轴直线移动组件，所述X轴直线移动组件分别与所述X轴驱动件的输出端及所述Y轴移动部件(5)连接，所述X轴直线移动组件能够沿X轴方向带动所述Y轴移动部件(5)移动。

6.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述Y轴移动部件(5)包括：

Y轴驱动件；

Y轴直线移动组件，所述Y轴直线移动组件分别与所述Y轴驱动件的输出端及所述Z轴移动部件(6)连接，所述Y轴直线移动组件能够沿Y轴方向带动所述Z轴移动部件(6)移动。

7.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述Z轴移动部件(6)包括：

Z轴驱动件(61)；

Z轴直线移动组件，所述Z轴直线移动组件分别与所述Z轴驱动件(61)的输出端及所述镜头座(3)连接，所述Z轴直线移动组件能够沿Z轴方向带动所述镜头座(3)移动。

8.根据权利要求3所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述移动单元还包括位于所述X轴移动部件(4)底部的支撑架(8)，所述支撑架(8)设置于所述工作台(1)的顶部，所述支撑架(8)两端分别与所述X轴移动部件(4)和所述工作台(1)顶部固定连接。

9.根据权利要求1所述的检测用光学镜头更换装置，其特征在于，所述连接单元(7)包括气动夹爪。

10.一种检测台，用于检测半导体，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的检测用光学镜头更换装置。

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