CN217596168U - 一种吸附激光加工旋转台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种吸附激光加工旋转台，从下往上依次包括固定底座、电机、吸附台底座和吸附台，电机安装在下方的固定底座上，电机顶部的驱动端与上方的吸附台底座驱动连接设置，吸附台底座上安装有吸附台，吸附台底座的底部安装有气电滑环，气电滑环与顶部的第一滑环固定板相连接，第一滑环固定板安装在吸附台底座的底部，第一滑环固定板上的槽内设置有第二密封圈，气电滑环的底部通过第二滑环固定板与下方的第一密封板相连接，第一密封板的一侧设置有第二密封板，第一密封板和第二密封板均位于电机底部的槽内，吸附台通过第一密封圈和定位销定位放置在吸附台底座上，第一密封圈置于吸附台底座的中心槽内，定位销和导电柱分别拧入吸附台底座的孔内。本实用新型用激光切割时对产品进行吸附固定及定位，解决产品平整、加工效率防静电及大角度旋转等问题。

Description

一种吸附激光加工旋转台

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片相关技术领域，尤其涉及一种吸附激光加工旋转台，具体涉及一种12寸吸附激光加工旋转台。

背景技术

半导体芯片行业是现在最热门，国家也在大力扶持相关企业科研机构研发，早日实现芯片独立生产，防止被国外“卡脖子”，半导体加工的相关设备也在逐步国产化；芯片制造的过程复杂，工序多，其中硅片切割是其中一个环节，现在多以八寸片为主，以后会做大到十二寸，来提高效率。

目前硅片加工方式有两种：一种是刀轮切割；另一种是用激光加工；

刀轮切割效率低，外观差，耗材贵，还产生很多废水，污染；

用激光加工效率高，外观一致且美观；激光是要用焦点能量来加工产品的，这对被加工的产品平面度要求高，常规都是八寸片加工，现在要十二寸加工，对台面平面度要求更高，还要实现旋转多角度来加工，还要防静电处理。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种吸附激光加工旋转台，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种吸附激光加工旋转台。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种吸附激光加工旋转台，从下往上依次包括固定底座、电机、吸附台底座和吸附台，电机安装在下方的固定底座上，电机顶部的驱动端与上方的吸附台底座驱动连接设置，吸附台底座上安装有吸附台，吸附台底座的底部安装有气电滑环，气电滑环与顶部的第一滑环固定板相连接，第一滑环固定板安装在吸附台底座的底部，第一滑环固定板上的槽内设置有第二密封圈，气电滑环的底部通过第二滑环固定板与下方的第一密封板相连接，第一密封板的一侧设置有第二密封板，第一密封板和第二密封板均位于电机底部的槽内，吸附台通过第一密封圈和定位销定位放置在吸附台底座上，第一密封圈置于吸附台底座的中心槽内，定位销和导电柱分别拧入吸附台底座的孔内。

作为本实用新型的进一步改进，电机通过调节机构安装在固定底座上，调节机构包括底部平垫、螺纹套、锁紧螺母、调节螺母、隔套、上厚平垫、蝶形弹垫、上薄平垫和锁紧螺钉，底部平垫固定在固定底座上，调节螺母拧入螺纹套的内螺纹里，再以整体拧入电机底板的螺纹孔内，电机底板的底部再用锁紧螺母锁紧固定，隔套放入调节螺母内孔，上薄平垫、四个蝶形弹垫和上厚平垫从上往下依次套入锁紧螺钉，再以整体并通过锁紧螺钉穿过隔套与固定底座的螺纹孔锁紧。

作为本实用新型的进一步改进，吸附台底座的侧面上设置有水平的第一限位块，第一限位块的底部连接有竖直的第二限位块，限位销拧入第二限位块的螺纹孔内，吸附台底座一侧的电机上设置有限位机构，限位销与下方的限位机构配合设置。

作为本实用新型的进一步改进，限位机构包括底板、推块、感应片、导轨、滑块和感应器，两个感应器固定在底板上沿着Y轴方向的两侧，导轨沿着Y轴方向安装在底板上，推块通过底部的滑块与下方的导轨相连接，感应片安装在推块沿着Y轴方向上的两侧，限位销与下方的推块配合设置。

作为本实用新型的进一步改进，导轨沿着Y轴方向的两侧分别通过挡板安装在底板上，挡板之间的底板上沿着Y轴方向设置有两根拉伸弹簧，两根拉伸弹簧沿着Y轴方向的一端固定在底板上，两根拉伸弹簧沿着Y轴方向的另一端与推块相连接。

作为本实用新型的进一步改进，气电滑环上的两侧分别连接有接头，两个接头分别接两路真空，其中一路真空通过气电滑环进入吸附台底座内部流道，在吸附台底座与吸附台之间形成真空，可以把吸附台固定住，真空关闭就可以取走吸附台；另一路真空直接进入吸附台上表面的多孔材料内部，用来吸附加工品，当电机旋转时气电滑环来实现两路真空不断开。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型用激光切割时对产品进行吸附固定及定位，解决产品平整、加工效率防静电及大角度旋转等问题；本实用新型通过调节机构可以调整台面平面度。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一种吸附激光加工旋转台的结构示意图；

图2是图1中去除后的结构示意图；

图3是图1或图2中调节机构的内部结构示意图；

图4是图1的内部结构示意图；

图5是图1或图2中限位机构的结构示意图；

图6是图4中气电滑环部分的结构示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。

1 固定底座 2 电机

3 吸附台 4 调节机构

5 限位机构 6 吸附台底座

7 第一密封圈 8 定位销

9 第一限位块 10 第二限位块

11 限位销 12 导电柱

13 气电滑环 14 第一滑环固定板

15 第二密封圈 16 第二滑环固定板

17 接头 18 第一密封板

19 第二密封板 4-1 底部平垫

4-2 螺纹套 4-3 锁紧螺母

4-4 调节螺母 4-5 隔套

4-6 上厚平垫 4-7 蝶形弹垫

4-8 上薄平垫 4-9 锁紧螺钉

5-1 底板 5-2 挡板

5-3 推块 5-4 感应片

5-5 导轨 5-6 滑块

5-7 感应器 5-8 拉伸弹簧

A 第一调节点 B 第二调节点

C 第三调节点 D 第四调节点

E 第五调节点

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1～图6所示，

一种吸附激光加工旋转台，从下往上依次包括固定底座1、电机2、吸附台底座6和吸附台3，电机2安装在下方的固定底座1上，电机2顶部的驱动端与上方的吸附台底座6驱动连接设置，吸附台底座6上安装有吸附台3，吸附台底座6的底部安装有气电滑环13，气电滑环13与顶部的第一滑环固定板14相连接，第一滑环固定板14安装在吸附台底座6的底部，第一滑环固定板14上的槽内设置有第二密封圈15，气电滑环13的底部通过第二滑环固定板16与下方的第一密封板18相连接，第一密封板18的一侧设置有第二密封板19，第一密封板18和第二密封板19均位于电机2底部的槽内，吸附台3通过第一密封圈7和定位销8定位放置在吸附台底座6上，通过真空实现固定在吸附底座6上，第一密封圈7置于吸附台底座6的中心槽内，定位销8和导电柱12分别拧入吸附台底座6的孔内。

优选的，电机2通过调节机构4安装在固定底座1上，调节机构4包括底部平垫4-1、螺纹套4-2、锁紧螺母4-3、调节螺母4-4、隔套4-5、上厚平垫4-6、蝶形弹垫4-7、上薄平垫4-8和锁紧螺钉4-9，底部平垫4-1固定在固定底座1上，调节螺母4-4拧入螺纹套4-2的内螺纹里，再以整体拧入电机2底板的螺纹孔内，电机2底板的底部再用锁紧螺母4-3锁紧固定，隔套4-5放入调节螺母4-4内孔，上薄平垫4-8、四个蝶形弹垫4-7和上厚平垫4-6从上往下依次套入锁紧螺钉4-9，再以整体并通过锁紧螺钉4-9穿过隔套4-5与固定底座1的螺纹孔锁紧。

优选的，吸附台底座6的侧面上设置有水平的第一限位块9，第一限位块9的底部连接有竖直的第二限位块10，限位销11拧入第二限位块10的螺纹孔内，吸附台底座6一侧的电机2上设置有限位机构5，限位销11与下方的限位机构5配合设置。

优选的，限位机构5包括底板5-1、推块5-3、感应片5-4、导轨5-5、滑块5-6和感应器5-7，两个感应器5-7固定在底板5-1上沿着Y轴方向的两侧，导轨5-5沿着Y轴方向安装在底板5-1上，推块5-3通过底部的滑块5-6与下方的导轨5-5相连接，感应片5-4安装在推块5-3沿着Y轴方向上的两侧，限位销11与下方的推块5-3配合设置。

优选的，导轨5-5沿着Y轴方向的两侧分别通过挡板5-2安装在底板5-1上，挡板5-2之间的底板5-1上沿着Y轴方向设置有两根拉伸弹簧5-8，两根拉伸弹簧5-8沿着Y轴方向的一端固定在底板5-1上，两根拉伸弹簧5-8沿着Y轴方向的另一端与推块5-3相连接。

优选的，气电滑环13上的两侧分别连接有接头17，两个接头17分别接两路真空，其中一路真空通过气电滑环13进入吸附台底座6内部流道，在吸附台底座6与吸附台3之间形成真空，可以把吸附台3固定住，真空关闭就可以取走吸附台3；另一路真空直接进入吸附台3上表面的多孔材料内部，用来吸附加工品，当电机2旋转时气电滑环13来实现两路真空不断开。

本实用新型工作原理及工作过程：

整个机构装好后，先要调整吸附台3的平面度，通过调节机构4来实现。调节螺母4-4与螺纹套4-2用螺距0.25mm细牙螺纹配合，通过转动调节螺母4-4下端外六角实现电机2以上整体的上下高度调节，使电机2与固定底座1之间留约2mm距离作为调水平的空间。转动锁紧螺钉4-9来把蝶形弹垫4-7下压，蝶形弹垫4-7被压缩约2毫米后停下，剩下的可压缩空间用于调水平用，与电机2通过蝶形弹垫4-7被压缩的反向力固定在固定底座1上。

两个接头17分别接两路真空，其中一路真空通过气电滑环13进入吸附台底座6内部流道，在吸附台底座6与吸附台3之间形成真空，可以把吸附台3固定住，真空关闭就可以取走吸附台3更换不同尺寸吸附台；另一路真空直接进入吸附台3上表面的多孔材料内部，用来吸附加工品，当电机2旋转时气电滑环13来实现两路真空不断开。

电机2旋转时限位销11撞到推块5-3，推块5-3连着的滑块5-6沿着导轨5-5滑动，一侧拉伸弹簧5-8被拉伸另一侧拉伸弹簧5-8被压缩，推块5-3上的感应片5-4移动到感应器5-7时有到位感应信号输出，电机2停止转动，电机2反方向转动时，拉伸弹簧5-8还原使推块5-3移动到中间位置，限位销11从另一个方向转过来也是相同动作过程，这样可以使电机2旋转380度，可以实现任意角度切割。

静电处理：吸附台3放置于吸附台底座6上时，导电柱12被压缩，吸附台3上表面镶嵌多孔碳化硅材料用于吸附，吸附台3内部镶嵌金属件，金属件上表面与碳化硅导通，金属件下表面与导电柱12接触，导电柱12装在镶嵌在吸附台底座6上的金属件上，此金属件背面跟气电滑环13的电线相连，气电滑环13出来的电线接地，最终实现吸附台3表面的静电可以成功导出，达到消除静电的目的。

调水平步骤：调节第四调节点D、第五调节点E点的调节螺母4-4与底部平垫4-1之间预留2mm空间，而且这两点的锁紧螺钉4-9不拧进固定底座1的螺纹孔内；通过影像机构测出吸附台3表面平面度，调节第一调节点A、第二调节点B、第三调节点C三点，三点决定一个平面，水平调好后，旋转第四调节点D、第五调节点E点的调节螺母4-4向下移动，与底部平垫4-1贴合，再把这两点的锁紧螺钉4-9拧进固定底座1的螺纹孔内锁紧，实现整体加强把电机3与固定底座1相连。

本实用新型是十二寸硅片用激光切割时对产品进行吸附固定及定位，解决产品平整、加工效率防静电及大角度旋转等问题。本实用新型采用螺纹配合弹垫的结构来调整台面平面度；滑块移动的限位实现电机大角度旋转，多孔碳化硅与导电柱及滑环配合使用，实现静电导出的功能，符合半导体行业要求；用激光加工提高效率，改善产品外观。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种吸附激光加工旋转台，其特征在于，从下往上依次包括固定底座(1)、电机(2)、吸附台底座(6)和吸附台(3)，所述电机(2)安装在下方的固定底座(1)上，所述电机(2)顶部的驱动端与上方的吸附台底座(6)驱动连接设置，所述吸附台底座(6)上安装有吸附台(3)，所述吸附台底座(6)的底部安装有气电滑环(13)，所述气电滑环(13)与顶部的第一滑环固定板(14)相连接，所述第一滑环固定板(14)安装在吸附台底座(6)的底部，所述第一滑环固定板(14)上的槽内设置有第二密封圈(15)，所述气电滑环(13)的底部通过第二滑环固定板(16)与下方的第一密封板(18)相连接，所述第一密封板(18)的一侧设置有第二密封板(19)，所述第一密封板(18)和第二密封板(19)均位于电机(2)底部的槽内，所述吸附台(3)通过第一密封圈(7)和定位销(8)定位放置在吸附台底座(6)上，所述第一密封圈(7)置于吸附台底座(6)的中心槽内，所述定位销(8)和导电柱(12)分别拧入吸附台底座(6)的孔内。

2.如权利要求1所述的一种吸附激光加工旋转台，其特征在于，所述电机(2)通过调节机构(4)安装在固定底座(1)上，所述调节机构(4)包括底部平垫(4-1)、螺纹套(4-2)、锁紧螺母(4-3)、调节螺母(4-4)、隔套(4-5)、上厚平垫(4-6)、蝶形弹垫(4-7)、上薄平垫(4-8)和锁紧螺钉(4-9)，所述底部平垫(4-1)固定在固定底座(1)上，所述调节螺母(4-4)拧入螺纹套(4-2)的内螺纹里，再以整体拧入电机(2)底板的螺纹孔内，所述电机(2)底板的底部再用锁紧螺母(4-3)锁紧固定，所述隔套(4-5)放入调节螺母(4-4)内孔，所述上薄平垫(4-8)、四个蝶形弹垫(4-7)和上厚平垫(4-6)从上往下依次套入锁紧螺钉(4-9)，再以整体并通过锁紧螺钉(4-9)穿过隔套(4-5)与固定底座(1)的螺纹孔锁紧。

3.如权利要求1所述的一种吸附激光加工旋转台，其特征在于，所述吸附台底座(6)的侧面上设置有水平的第一限位块(9)，所述第一限位块(9)的底部连接有竖直的第二限位块(10)，限位销(11)拧入所述第二限位块(10)的螺纹孔内，所述吸附台底座(6)一侧的电机(2)上设置有限位机构(5)，所述限位销(11)与下方的限位机构(5)配合设置。

4.如权利要求3所述的一种吸附激光加工旋转台，其特征在于，所述限位机构(5)包括底板(5-1)、推块(5-3)、感应片(5-4)、导轨(5-5)、滑块(5-6)和感应器(5-7)，两个所述感应器(5-7)固定在底板(5-1)上沿着Y轴方向的两侧，所述导轨(5-5)沿着Y轴方向安装在底板(5-1)上，所述推块(5-3)通过底部的滑块(5-6)与下方的导轨(5-5)相连接，所述感应片(5-4)安装在推块(5-3)沿着Y轴方向上的两侧，所述限位销(11)与下方的推块(5-3)配合设置。

5.如权利要求4所述的一种吸附激光加工旋转台，其特征在于，所述导轨(5-5)沿着Y轴方向的两侧分别通过挡板(5-2)安装在底板(5-1)上，所述挡板(5-2)之间的底板(5-1)上沿着Y轴方向设置有两根拉伸弹簧(5-8)，两根所述拉伸弹簧(5-8)沿着Y轴方向的一端固定在底板(5-1)上，两根所述拉伸弹簧(5-8)沿着Y轴方向的另一端与推块(5-3)相连接。

6.如权利要求1所述的一种吸附激光加工旋转台，其特征在于，所述气电滑环(13)上的两侧分别连接有接头(17)，两个所述接头(17)分别接两路真空，其中一路真空通过气电滑环(13)进入吸附台底座(6)内部流道，在吸附台底座(6)与吸附台(3)之间形成真空，可以把吸附台(3)固定住，真空关闭就可以取走吸附台(3)；另一路真空直接进入吸附台(3)上表面的多孔材料内部，用来吸附加工品，当电机(2)旋转时气电滑环(13)来实现两路真空不断开。

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