CN217588867U - 一种真空等离子清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空等离子清洗机，包括机架，升降式料盒放置台包括N个料盒夹具，N个料盒装夹在料盒夹具中；推式出料机械手包括N个工件的推板；托料架包括N个托架；上下料移动平台包括移动台，移动台上方搭载有真空室的底板，底板上安装有N个工件托架；底部敞口的真空室布置在清洗工位的上方，在清洗工位，移动台上方搭载的底板封闭真空室底部的开口；上下料机械手沿X轴方向作往复运动，将位于上下料工位底板工件托架上的清洗好的工件移送到料盒中，将推式出料机械手从料盒中推到托料架上的待清洗工件移送到位于上下料工位底板的工件托架上。本实用新型的真空等离子清洗机采用多通道、自动化的操作，清洗的生产效率高。

Description

一种真空等离子清洗机

[技术领域]

本实用新型涉及清洗设备，尤其涉及一种真空等离子清洗机。

[背景技术]

在生产LED支架制程工艺中，很多材料表面会有油脂、油污等微观有机污物及氧化层存在，使后续工序粘合性不佳，出现脱胶、气泡、凸起等影响产品性能的因素。因此要克服相关影响产品的不良因素，须导入/开发真空等离子清洗的新技术。真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电场离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

申请号为CN201711042411.7的发明公开一种集成电路封装键合前等离子清洗方法及装置，所述装置包括等离子清洗机，所述等离子清洗机设有高频电源系统、自动控制系统，以及真空室，所述真空室分别与氩氢混合气源、氮气气源相连通，所述真空室通过泵体系统进行内部空气抽取。所述清洗方法包括抽真空，充入氩氢混合气，等离子清洗，充入氮气等步骤。该发明的等离子清洗方法及装置真空室中的工件需要人工放入和取出，人工成本高，生产效率低下。

[发明内容]

本实用新型要解决的技术问题是提供一种生产效率高的真空等离子清洗机。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种真空等离子清洗机，包括机架、推式出料机械手、升降式料盒放置台、N个料盒、托料架、上下料机械手、上下料移动平台、清洗系统和控制电路，机架包括台板，清洗系统包括真空室，N为大于等于2的整数；升降式料盒放置台包括N个沿Y轴方向分开布置的料盒夹具，N个料盒装夹在对应的料盒夹具中；所述的料盒包括矩形的框架，料盒沿X轴方向前后通透，料盒沿Y轴方向两个侧板的内壁包括复数个支承工件的滑槽；推式出料机械手布置在升降式料盒放置台沿X轴方向的后方，包括N个工件的推板；托料架布置在升降式料盒放置台沿X方向的前方，包括N个沿Y轴方向分开布置的托架；上下料移动平台包括沿X轴方向从上下料工位至清洗工位往复运动的移动台，移动台上方搭载有真空室的底板，底板上安装有N个沿Y轴方向分开布置的工件托架；底部敞口的真空室布置在清洗工位的上方，在清洗工位，移动台上方搭载的底板封闭真空室底部的开口；上下料机械手沿X轴方向作往复运动，将位于上下料工位底板工件托架上的清洗好的工件移送到料盒中，将推式出料机械手从料盒中推到托料架上的待清洗工件移送到位于上下料工位底板的工件托架上。

以上所述的真空等离子清洗机，推式出料机械手安装在台板上，布置在台板沿X轴方向的后端，包括第一直线模组、第一横梁、第一直线导轨副、第一支架和所述的N个推板；第一直线模组沿X轴方向安装在台板上，布置在台板沿Y轴方向的一侧；第一直线导轨副的导轨沿X轴方向固定在第一支架上，第一支架固定在台板上，布置在台板沿Y轴方向的另一侧；第一横梁沿Y轴方向布置，一端固定在第一直线模组的滑块上，另一端固定在第一直线导轨副的滑块上；N个推板沿Y轴方向分开固定在第一横梁上，推板的前端沿X轴方向凸出第一横梁。

以上所述的真空等离子清洗机，升降式料盒放置台包括升降机构、料盒夹紧机构、支座和升降台，升降台包括顶板和立板，立板的顶部与顶板的底部连接；台板的后部包括安装孔，升降式料盒放置台布置在台板的安装孔中；升降机构包括第一伺服电机、第一丝杆螺母副和两套第二直线导轨副；支座固定在机架上，两套第二直线导轨副的导轨竖直地固定在支座上，第一丝杆螺母副的丝杆竖直地安装在支座上，位于两套第二直线导轨副的中间；升降台的立板固定在两套第二直线导轨副的滑块上，并与第一丝杆螺母副的螺母连接，第一丝杆螺母副的丝杆由安装在支座上的第一伺服电机驱动；料盒夹紧机构包括第二伺服电机、第二丝杆螺母副、两套第三直线导轨副和所述的N个料盒夹具，第三直线导轨副包括N个滑块，第二丝杆螺母副包括N个螺母；两套第三直线导轨副的导轨沿Y轴方向固定在顶板的底部，第二丝杆螺母副的丝杆沿Y轴方向安装在顶板的下方，由第二伺服电机驱动，两套第三直线导轨副的N个滑块分别第二丝杆螺母副对应的螺母连接；料盒夹具包括固定夹条和移动夹条，固定夹条沿X轴方向固定在顶板上方，移动夹条与固定夹条平行布置；移动夹条两端下方的顶板上包括两个条形孔，N个料盒夹具移动夹条的两端穿过对应的两个条形孔与两套第三直线导轨副对应的滑块连接。

以上所述的真空等离子清洗机，托料架包括底座、第三伺服电机、两套第四直线导轨副、第三丝杆螺母副和所述的N个托架，底座固定在台板上；两套第四直线导轨副的导轨沿Y轴方向固定在底座上，第三丝杆螺母副的丝杆沿Y轴方向安装在底座的上方，由第三伺服电机驱动；第四直线导轨副包括N个滑块，第三丝杆螺母副包括N个螺母；托架包括固定托板和移动托板，固定托板固定在底座上，N个移动托板的下端分别固定在两套第四直线导轨副对应的滑块上，N个移动托板分别与第三丝杆螺母副对应的螺母连接；固定托板顶部的内侧和移动托板顶部的内侧分别包括导槽。

以上所述的真空等离子清洗机，托料架包括齿形带机构、N个光电传感器和行程传感器，第三丝杆螺母副的丝杆由第三伺服电机通过齿形带机构驱动；N个光电传感器安装在托架中，位于固定托板和移动托板之间，位于所述导槽的下方；行程传感器包括两个U型对射式光电传感器，两个U型对射式光电传感器沿Y轴方向分开安装在底座上，U型对射式光电传感器的挡片安装在一个移动托板的外侧。

以上所述的真空等离子清洗机，上下料移动平台包括移动台、两个底板举升机构和由第四伺服电机驱动的同步带机构；移动台包括所述的真空室的底板、两套第五直线导轨副、支承板、复数个第一导杆导套副和N个可调宽的、所述的工件托架；两套第五直线导轨副的导轨沿X轴方向固定在台板上，布置在台板沿Y轴方向的两侧；支承板沿Y轴方向的两端固定在两套第五直线导轨副的滑块上，同步带机构安装在台板上，沿X轴方向布置，靠近支承板沿Y轴方向的一侧，支承板沿Y轴方向的一端与同步带机构的同步带连接；底板布置在支承板的上方，复数个第一导杆导套副的导套固定在支承板的周边，复数个第一导杆导套副的导杆的上端固定在底板的周边；移动台沿第五直线导轨副移动包括上下料工位和清洗工位；上下料工位位于第五直线导轨副沿X轴方向的后部，清洗工位位于第五直线导轨副沿X轴方向的前部；第一底板举升机构安装在上下料工位底板的下方，第二底板举升机构安装在清洗工位底板的下方。

以上所述的真空等离子清洗机，上下料移动平台包括两个所述的移动台，分别是低位的移动台和高位的移动台，低位的移动台靠近同步带机构的第五直线导轨副布置在同步带机构的内侧，高位的移动台靠近同步带机构的第五直线导轨副布置在同步带机构的外侧，高位的移动台远离同步带机构的第五直线导轨副布置在第一移动台远离同步带机构的第五直线导轨副的外侧；高位的移动台包括两个支承板支架，高位移动台的支承板沿Y轴方向的两端通过支承板支架固定在高位移动台两套第五直线导轨副的滑块上；高位移动台支承板的底面高于第一移动台工件托架的顶面；低位移动台的支承板与同步带机构同步带的内弦连接，高位移动台的支承板与同步带机构同步带的外弦连接；底板举升机构包括举升气缸、两个第二导杆导套副、顶升板和气缸安装板，在上下料工位和清洗工位台板各包括安装孔，底板举升机构的气缸安装板固定在安装孔部位的台板上，举升气缸竖直地固定在气缸安装板的下方，顶升板固定在举升气缸活塞杆的顶端；两个第二导杆导套副的导套固定在气缸安装板上，布置在举升气缸的两侧；两个第二导杆导套副导杆的顶端固定在顶升板；移动台支承板的中部包括顶升板的避让孔。

以上所述的真空等离子清洗机，清洗系统包括安装架、电极组、射频电源和真空泵，真空室和射频电源通过安装架固定在台板的上方，真空室位于清洗工位移动台底板的正上方，底板顶面的周边包括环形凹槽，环形凹槽中嵌有密封圈；真空室的底部敞口，第二底板举升机构工作时，将位于清洗工位的底板举起，盖住真空室的底部的开口；电极组安装在真空室内，电极组与射频电源电连接；真空室的真空入口通过真空管路与真空泵连接。

以上所述的真空等离子清洗机，上下料机械手包括第二直线模组、第二横梁、第六直线导轨副、升降板、升降气缸、两套第三导杆导套副和N组机械手；第二直线模组通过模组支架沿X轴方向固定在台板上，位于台板沿Y轴方向的一侧；第六直线导轨副的导轨通过导轨支架沿X轴方向固定在台板上，位于台板沿Y轴方向另的一侧；第二横梁沿Y轴方向布置，一端固定在第二直线模组的滑块上，另一端固定在第六直线导轨副的滑块上；升降气缸竖直地固定在第二横梁的中部，升降板布置在第二横梁的下方，升降板中部与升降气缸活塞杆的下端连接；两套第三导杆导套副的导套固定在第二横梁上，布置在升降气缸沿Y轴方向的两侧；两套第三导杆导套副的导杆的下端分别固定在升降板沿Y轴方向的两端；N组机械手沿Y轴方向分开安装在升降板的下方，机械手包括由手指气缸驱动的夹钳和由滑台气缸驱动的推块，手指气缸沿X轴方向固定在升降板上，夹钳朝向X轴方向的后方，夹钳沿竖直方向开合；滑台气缸竖直地固定在升降板的下方，推块固定在滑台气缸的滑台上，推块朝向X轴方向的后方。

本实用新型的真空等离子清洗机采用多通道、自动化的操作，清洗的生产效率高。

[附图说明]

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型实施例真空等离子清洗机的俯视图。

图2是本实用新型实施例真空等离子清洗机的立体图。

图3是本实用新型实施例真空等离子清洗机的局部的立体图。

图4是本实用新型实施例推式出料机械手的立体图。

图5是本实用新型实施例料盒的立体图。

图6是本实用新型实施例升降式料盒放置台的立体图。

图7是本实用新型实施例托料架的立体图。

图8是本实用新型实施例上下料机械手的立体图。

图9是本实用新型实施例上下料移动平台的立体图。

图10是本实用新型实施例底板举升机构的立体图。

图11是本实用新型实施例清洗系统的立体图。

[具体实施方式]

本实用新型实施例真空等离子清洗机的结构和原理如图1至图11所示，包括机架90、推式出料机械手10、升降式料盒放置台20、4个料盒80、托料架30、上下料机械手40、上下料移动平台50、清洗系统60和控制电路。机架90的顶部固定有台板91，控制电路包括PLC控制器。

如图5所示，料盒80包括矩形的框架，料盒80沿X轴方向前后通透，料盒80沿Y轴方向两个侧板81的内壁包括25个支承片料工件01的滑槽82，料盒80顶板83的两端各有避让槽84。

如图4所示，推式出料机械手10安装在台板91上，布置在台板91沿X轴方向的后端，推式出料机械手10包括第一直线模组11、第一横梁12、第一直线导轨副13、第一支架16和4个推板14。如图3所示，第一直线模组11通过支架15沿X轴方向安装在台板91上，布置在台板91沿Y轴方向的右侧。第一直线导轨副13的导轨沿X轴方向固定在第一支架16上，第一支架16固定在台板91上，布置在台板91沿Y轴方向的左侧。第一横梁12沿Y轴方向布置，右端固定在第一直线模组11的滑块上，左端固定在第一直线导轨副13的滑块上。4个推板14沿Y轴方向分开固定在第一横梁12上，推板14的前端沿X轴的正方向凸出第一横梁12。

如图6所示，升降式料盒放置台20包括升降机构20A、料盒夹紧机构20B、支座21和升降台22，升降台22包括顶板221和立板222，立板222的顶部与顶板221的底部连接。台板91沿X轴方向的后部有一个安装孔911，升降式料盒放置台20布置在台板91的安装孔911中。升降机构20A包括第一伺服电机23、第一丝杆螺母副24和两套第二直线导轨副25。支座21固定在机架90上，两套第二直线导轨副25的导轨竖直地固定在支座21上，第一丝杆螺母副24的丝杆竖直地安装在支座21上，位于两套第二直线导轨副25的中间。升降台22的立板222固定在两套第二直线导轨副25的滑块上，并与第一丝杆螺母副24的螺母连接，第一丝杆螺母副24的丝杆由安装在支座21上的第一伺服电机23驱动。升降机构20A的第一伺服电机23由PLC控制器控制，实时调节料盒80的高度，以选择上料时推出的工件和下料时料盒滑槽的位置。

如图6所示。料盒夹紧机构20B包括第二伺服电机261、第二丝杆螺母副26、两套第三直线导轨副27和4个料盒夹具28，第三直线导轨副27有4个滑块，第二丝杆螺母副26有4个螺母。两套第三直线导轨副27的导轨沿Y轴方向固定在顶板221的底部，第二丝杆螺母副26的丝杆沿Y轴方向安装在顶板221的下方，由第二伺服电机261驱动，两套第三直线导轨副27的4个滑块分别第二丝杆螺母副26对应的螺母连接。料盒夹具28包括固定夹条281和移动夹条282，固定夹条281沿X轴方向固定在顶板221上方，移动夹条282与固定夹条281平行布置。移动夹条282两端下方的顶板221上有两个条形孔，4个料盒夹具28移动夹条282的两端穿过顶板221对应的两个条形孔与两套第三直线导轨副对应的滑块连接。第二伺服电机261由PLC控制器控制，通过PLC控制器的设定，调整料盒夹具28的宽度，可以装夹不同宽度的料盒。

如图7所示，托料架30包括底座31、第三伺服电机321、两套第四直线导轨副33、第三丝杆螺母副34、齿形带机构32、4个光电传感器35、行程传感器和4个托架36，底座31固定在台板91上。两套第四直线导轨副33的导轨沿Y轴方向固定在底座31上，第三丝杆螺母副34的丝杆沿Y轴方向安装在底座31的上方，第三丝杆螺母副34的丝杆由第三伺服电机321通过齿形带机构32驱动。。第四直线导轨副33有4个滑块，第三丝杆螺母副34有4个螺母。托架36包括固定托板361和移动托板362，固定托板361直接固定在底座31上，4个移动托板362的下端分别固定在两套第四直线导轨副33对应的滑块上，4个移动托板362的下部分别与第三丝杆螺母副34对应的螺母连接。固定托板361顶部的内侧和移动托板362顶部的内侧都有引导工件01滑动导槽363。4个光电传感器35安装在托架36内，位于固定托板361和移动托板362之间，位于导槽363的下方。行程传感器包括两个U型对射式光电传感器37，两个U型对射式光电传感器37沿Y轴方向分开安装在底座31上，U型对射式光电传感器37的挡片371安装在一个移动托板362的外侧。4个光电传感器35的信号输出端、U型对射式光电传感器37的信号输出端和第三伺服电机321的控制端和分别与控制电路的PLC控制器连接。第三伺服电机321由PLC控制器控制，通过PLC控制器的设定，调整托架36的宽度，可以适应不同宽度的工件。4个光电传感器35用以感应进入4个托架36上的工件，通知PLC控制器进行下一步操作；如4个托架36上都检测到有工件，则由上下料机械手40对上下料移动平台50上料；如4个托架36上不能同时检测到有工件，则通过PLC控制器报错。

如图9和图11所示，上下料移动平台50包括两个移动台、两个底板举升机构51和由第四伺服电机521驱动的同步带机构52。移动台包括真空室61的底板53、两套第五直线导轨副54、支承板55、4个第一导杆导套副56和4个可调宽的工件托架57。两套第五直线导轨副54的导轨沿X轴方向固定在台板91上，布置在台板91沿Y轴方向的两侧。支承板55沿Y轴方向的两端固定在两套第五直线导轨副54的滑块上，同步带机构52安装在台板91上，沿X轴方向布置，靠近支承板55沿Y轴方向的一侧，支承板55沿Y轴方向的一端与同步带机构52的同步带连接。底板53布置在支承板55的上方，4个第一导杆导套副56的导套固定在支承板55的四角部位，4个第一导杆导套副56的导杆的上端固定在底板53的四角部位。

移动台沿第五直线导轨副移动包括上下料工位和清洗工位。上下料工位位于第五直线导轨副54沿X轴方向的后部，清洗工位位于第五直线导轨副54沿X轴方向的前部。一个底板举升机构51安装在上下料工位底板53的下方，另一底板举升机构51安装在清洗工位底板53的下方。底板53顶面的周边包括环形凹槽531，环形凹槽531中嵌有密封圈(图中未示出)。

上下料移动平台50包括两个移动台，两个移动台上下错位，交替地移动于上下料工件和清洗工位。两个移动台分别是低位的移动台50A和高位的移动台50B，低位移动台50A靠近同步带机构52的第五直线导轨副54布置在同步带机构52的内侧，高位移动台50B靠近同步带机构52的第五直线导轨副54布置在同步带机构52的外侧，高位移动台50B远离同步带机构52的第五直线导轨副54布置在低位移动台50A远离同步带机构52的第五直线导轨副54的外侧。高位移动台50B比低位移动台50A多两个支承板支架58，高位移动台50B支承板55沿Y轴方向的两端通过支承板支架58固定在高位移动台50B的两套第五直线导轨副54的滑块上。高位移动台50B支承板55的底面高于低位移动台50A工件托架57的顶面。低位移动台50A支承板55与同步带机构52同步带的内弦522连接，高位移动台50B支承板55(支承板支架58)与同步带机构52同步带的外弦523连接。

如图10和图11所示，底板举升机构51包括举升气缸511、两个第二导杆导套副512、顶升板513和气缸安装板514，在上下料工位和清洗工位，台板91各包括一个安装孔912，底板举升机构51的气缸安装板514固定在安装孔912部位的台板91上，举升气缸511竖直地固定在气缸安装板514的下方，顶升板513固定在举升气缸511活塞杆的顶端。两个第二导杆导套副512的导套固定在气缸安装板514上，布置在举升气缸511的两侧。两个第二导杆导套副512导杆的顶端固定在顶升板513。移动台支承板55的中部有一个顶升板513的避让孔551，便于顶升板513向上穿过避让孔551，作用到底板53的底面上。

如图11所示，清洗系统60包括真空室61、安装架62、电极组63、射频电源64和真空泵65，真空室61和射频电源及匹配器64通过安装架62固定在台板91的上方，真空室61位于清洗工位移动台底板53的正上方，底板53顶面的环形凹槽中嵌有密封圈。真空室61的底部敞口，第二底板举升机构51工作时，将位于清洗工位的底板53举起，盖住真空室61的底部的开口，将真空室61密封。电极组63安装在真空室61内，电极组63与射频电源及匹配器64电连接。真空室61的真空入口通过真空管路和真空挡板阀66与真空泵65连接。清洗系统60工作时，真空挡板阀66开启，真空泵65启动抽真空，抽真空约20秒后，真空压力达到30Pa,真空挡板阀66关闭，真空室61上的进气口通入氩氢混合气体约10ml后，射频电源及匹配器64启动，对真空室61中的工件进行真空等离子清洗。

如图8所示，上下料机械手40包括由伺服电机411驱动的第二直线模组41、第二横梁42、第六直线导轨副43、升降板44、升降气缸45、两套第三导杆导套副46和4组机械手40A。第二直线模组41通过模组支架412沿X轴方向固定在台板91上，位于台板91沿Y轴方向的左侧。第六直线导轨副43的导轨通过支架15沿X轴方向固定在台板91上，位于台板91沿Y轴方向的右侧。第二横梁42沿Y轴方向布置，一端固定在第二直线模组41的滑块上，另一端固定在第六直线导轨副43的滑块上。升降气缸45竖直地固定在第二横梁42的中部，升降板44布置在第二横梁42的下方，升降板44中部与升降气缸45活塞杆的下端连接。两套第三导杆导套副46的导套固定在第二横梁42上，布置在升降气缸45沿Y轴方向的两侧。两套第三导杆导套副46的导杆的下端分别固定在升降板44沿Y轴方向的两端。4组机械手40A沿Y轴方向分开安装在升降板44的下方，机械手40A包括由手指气缸471驱动的夹钳47和由滑台气缸481驱动的推块，手指气缸471沿X轴方向固定在升降板44上，夹钳47朝向X轴方向的后方，夹钳47沿竖直方向开合。滑台气缸481竖直地固定在升降板44的下方，推块48固定在滑台气缸481的滑台上，推块48朝向X轴方向的后方。

真空等离子清洗机运行时，一个工作循环包括以下步骤：

1)第一移动台搭载着4个待清洗工件从上下料工位移动到清洗工位，与此同时，第二移动台搭载着4个清洗过的工件从清洗工位移动到上下料工位。

2)清洗工位的底板举升机构51将第一移动台搭载的底板53举升，封闭真空室61底部的开口，4个待清洗工件密闭在真空室61中。清洗系统60开始工作，对真空室61中的4个待清洗工件进行清洗。清洗完毕后，清洗工位的底板举升机构51下降，将第一移动台搭载底板53放到第一移动台的支承板上。

3)上下料工位的底板举升机构51将第二移动台搭载的底板53举升，使第二移动台底板53上的4个工件托架57升高与托料架30的托架36平齐。

4)上下料机械手40的4个推块48下降，升降式料盒放置台20调整料盒的高度，便于清洗过的工件插入料盒正确的滑槽82中。上下料机械手40沿X轴方向向后方运动，上下料机械手40的4个推块48将4个清洗过的工件从第二移动台底板53上的工件托架57向后方推出，经托料架30的托架36推入到料盒的滑槽82中后退回。

5)升降式料盒放置台20调整料盒的高度，推式出料机械手10沿X轴的正方向移动，推式出料机械手10的4个工件推板14将4个料盒中各一片待清洗的工件推送到托料架30对应的托架36上。上下料机械手40的4个气动夹钳47下降，上下料机械手40沿X轴方向向后方运动，上下料机械手40的4个气动夹钳47夹住托架36上的待清洗的工件，上下料机械手40沿X轴的正方向运动，上下料机械手40的4个气动夹钳47将待清洗的工件移送到位于上下料工位的第二移动台底板53上的工件托架57上。

6)第一移动台与第二移动台角色互换，开始新的工作循环。

本实用新型以上实施例的真空等离子清洗机具有以下技术效果：

1，除上下料盒由人工操作外，其它操作可以实现自动控制，四通道可以同时清洗4个工件，生产效率高；

2，单边上下料结构，上下料无需更换料盒，清洗后的工件返回到原来的料盒，可以杜绝工件混批；

3，双工位、双清洗平台，在一个清洗平台进行清洗的同时另一个清洗平台进行上下料，进一步地提高了生产效率；

4，根据工件的宽度、长度以及厚度不同，设置好PLC程序参数，清洗不同工件时只须调出相应工件的PLC程序快速转换；通过PLC控制，可以实现一键更换不同规格的工件，设备所有参数及设置可以自动加载，无需人工设定。

Claims (9)

1.一种真空等离子清洗机，包括机架、清洗系统和控制电路，机架包括台板，清洗系统包括真空室，其特征在于，包括推式出料机械手、升降式料盒放置台、N个料盒、托料架、上下料机械手和上下料移动平台，N为大于等于2的整数；升降式料盒放置台包括N个沿Y轴方向分开布置的料盒夹具，N个料盒装夹在对应的料盒夹具中；所述的料盒包括矩形的框架，料盒沿X轴方向前后通透，料盒沿Y轴方向两个侧板的内壁包括复数个支承工件的滑槽；推式出料机械手布置在升降式料盒放置台沿X轴方向的后方，包括N个工件的推板；托料架布置在升降式料盒放置台沿X方向的前方，包括N个沿Y轴方向分开布置的托架；上下料移动平台包括沿X轴方向从上下料工位至清洗工位往复运动的移动台，移动台上方搭载有真空室的底板，底板上安装有N个沿Y轴方向分开布置的工件托架；底部敞口的真空室布置在清洗工位的上方，在清洗工位，移动台上方搭载的底板封闭真空室底部的开口；上下料机械手沿X轴方向作往复运动，将位于上下料工位底板工件托架上的清洗好的工件移送到料盒中，将推式出料机械手从料盒中推到托料架上的待清洗工件移送到位于上下料工位底板的工件托架上。

2.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于，推式出料机械手安装在台板上，布置在台板沿X轴方向的后端，包括第一直线模组、第一横梁、第一直线导轨副、第一支架和所述的N个推板；第一直线模组沿X轴方向安装在台板上，布置在台板沿Y轴方向的一侧；第一直线导轨副的导轨沿X轴方向固定在第一支架上，第一支架固定在台板上，布置在台板沿Y轴方向的另一侧；第一横梁沿Y轴方向布置，一端固定在第一直线模组的滑块上，另一端固定在第一直线导轨副的滑块上；N个推板沿Y轴方向分开固定在第一横梁上，推板的前端沿X轴方向凸出第一横梁。

3.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于，升降式料盒放置台包括升降机构、料盒夹紧机构、支座和升降台，升降台包括顶板和立板，立板的顶部与顶板的底部连接；台板的后部包括安装孔，升降式料盒放置台布置在台板的安装孔中；升降机构包括第一伺服电机、第一丝杆螺母副和两套第二直线导轨副；支座固定在机架上，两套第二直线导轨副的导轨竖直地固定在支座上，第一丝杆螺母副的丝杆竖直地安装在支座上，位于两套第二直线导轨副的中间；升降台的立板固定在两套第二直线导轨副的滑块上，并与第一丝杆螺母副的螺母连接，第一丝杆螺母副的丝杆由安装在支座上的第一伺服电机驱动；料盒夹紧机构包括第二伺服电机、第二丝杆螺母副、两套第三直线导轨副和所述的N个料盒夹具，第三直线导轨副包括N个滑块，第二丝杆螺母副包括N个螺母；两套第三直线导轨副的导轨沿Y轴方向固定在顶板的底部，第二丝杆螺母副的丝杆沿Y轴方向安装在顶板的下方，由第二伺服电机驱动，两套第三直线导轨副的N个滑块分别第二丝杆螺母副对应的螺母连接；料盒夹具包括固定夹条和移动夹条，固定夹条沿X轴方向固定在顶板上方，移动夹条与固定夹条平行布置；移动夹条两端下方的顶板上包括两个条形孔，N个料盒夹具移动夹条的两端穿过对应的两个条形孔与两套第三直线导轨副对应的滑块连接。

4.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于，托料架包括底座、第三伺服电机、两套第四直线导轨副、第三丝杆螺母副和所述的N个托架，底座固定在台板上；两套第四直线导轨副的导轨沿Y轴方向固定在底座上，第三丝杆螺母副的丝杆沿Y轴方向安装在底座的上方，由第三伺服电机驱动；第四直线导轨副包括N个滑块，第三丝杆螺母副包括N个螺母；托架包括固定托板和移动托板，固定托板固定在底座上，N个移动托板的下端分别固定在两套第四直线导轨副对应的滑块上，N个移动托板分别与第三丝杆螺母副对应的螺母连接；固定托板顶部的内侧和移动托板顶部的内侧分别包括导槽。

5.根据权利要求4所述的真空等离子清洗机，其特征在于，托料架包括齿形带机构、N个光电传感器和行程传感器，第三丝杆螺母副的丝杆由第三伺服电机通过齿形带机构驱动；N个光电传感器安装在托架中，位于固定托板和移动托板之间，位于所述导槽的下方；行程传感器包括两个U型对射式光电传感器，两个U型对射式光电传感器沿Y轴方向分开安装在底座上，U型对射式光电传感器的挡片安装在一个移动托板的外侧。

6.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于，上下料移动平台包括移动台、两个底板举升机构和由第四伺服电机驱动的同步带机构；移动台包括所述的真空室的底板、两套第五直线导轨副、支承板、复数个第一导杆导套副和N个可调宽的、所述的工件托架；两套第五直线导轨副的导轨沿X轴方向固定在台板上，布置在台板沿Y轴方向的两侧；支承板沿Y轴方向的两端固定在两套第五直线导轨副的滑块上，同步带机构安装在台板上，沿X轴方向布置，靠近支承板沿Y轴方向的一侧，支承板沿Y轴方向的一端与同步带机构的同步带连接；底板布置在支承板的上方，复数个第一导杆导套副的导套固定在支承板的周边，复数个第一导杆导套副的导杆的上端固定在底板的周边；移动台沿第五直线导轨副移动包括上下料工位和清洗工位；上下料工位位于第五直线导轨副沿X轴方向的后部，清洗工位位于第五直线导轨副沿X轴方向的前部；第一底板举升机构安装在上下料工位底板的下方，第二底板举升机构安装在清洗工位底板的下方。

7.根据权利要求6所述的真空等离子清洗机，其特征在于，上下料移动平台包括两个所述的移动台，分别是低位的移动台和高位的移动台，低位的移动台靠近同步带机构的第五直线导轨副布置在同步带机构的内侧，高位的移动台靠近同步带机构的第五直线导轨副布置在同步带机构的外侧，高位的移动台远离同步带机构的第五直线导轨副布置在第一移动台远离同步带机构的第五直线导轨副的外侧；高位的移动台包括两个支承板支架，高位移动台的支承板沿Y轴方向的两端通过支承板支架固定在高位移动台两套第五直线导轨副的滑块上；高位移动台支承板的底面高于第一移动台工件托架的顶面；低位移动台的支承板与同步带机构同步带的内弦连接，高位移动台的支承板与同步带机构同步带的外弦连接；底板举升机构包括举升气缸、两个第二导杆导套副、顶升板和气缸安装板，在上下料工位和清洗工位台板各包括安装孔，底板举升机构的气缸安装板固定在安装孔部位的台板上，举升气缸竖直地固定在气缸安装板的下方，顶升板固定在举升气缸活塞杆的顶端；两个第二导杆导套副的导套固定在气缸安装板上，布置在举升气缸的两侧；两个第二导杆导套副导杆的顶端固定在顶升板；移动台支承板的中部包括顶升板的避让孔。

8.根据权利要求6所述的真空等离子清洗机，其特征在于，清洗系统包括安装架、电极组、射频电源和真空泵，真空室和射频电源通过安装架固定在台板的上方，真空室位于清洗工位移动台底板的正上方，底板顶面的周边包括环形凹槽，环形凹槽中嵌有密封圈；真空室的底部敞口，第二底板举升机构工作时，将位于清洗工位的底板举起，盖住真空室的底部的开口；电极组安装在真空室内，电极组与射频电源电连接；真空室的真空入口通过真空管路与真空泵连接。

9.根据权利要求6所述的真空等离子清洗机，其特征在于，上下料机械手包括第二直线模组、第二横梁、第六直线导轨副、升降板、升降气缸、两套第三导杆导套副和N组机械手；第二直线模组通过模组支架沿X轴方向固定在台板上，位于台板沿Y轴方向的一侧；第六直线导轨副的导轨通过导轨支架沿X轴方向固定在台板上，位于台板沿Y轴方向另的一侧；第二横梁沿Y轴方向布置，一端固定在第二直线模组的滑块上，另一端固定在第六直线导轨副的滑块上；升降气缸竖直地固定在第二横梁的中部，升降板布置在第二横梁的下方，升降板中部与升降气缸活塞杆的下端连接；两套第三导杆导套副的导套固定在第二横梁上，布置在升降气缸沿Y轴方向的两侧；两套第三导杆导套副的导杆的下端分别固定在升降板沿Y轴方向的两端；N组机械手沿Y轴方向分开安装在升降板的下方，机械手包括由手指气缸驱动的夹钳和由滑台气缸驱动的推块，手指气缸沿X轴方向固定在升降板上，夹钳朝向X轴方向的后方，夹钳沿竖直方向开合；滑台气缸竖直地固定在升降板的下方，推块固定在滑台气缸的滑台上，推块朝向X轴方向的后方。

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