CN217521961U - 一种全自动晶圆分选机高效固定机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全自动晶圆分选机高效固定机构，涉及芯片生产技术领域，包括环架，环架的内侧安装有运输盘，运输盘的外侧转动安装有卡固盘，运输盘中开设有多个晶圆铁片卡槽，晶圆铁片卡槽用于卡合放置附有晶圆的支撑铁片，卡固盘中对应晶圆铁片卡槽开设有多个投放槽，投放槽一端的内侧固定连接有卡固凸起，卡固盘相对运输盘周转运动。本实用新型通过将附有晶圆的支撑铁片放置在晶圆铁片卡槽中，随后控制卡固盘转动，带动卡固凸起运动至晶圆铁片卡槽上方时对晶圆铁片卡槽中的支撑铁片紧固卡合，从而可以同步的对多组晶圆进行固定支撑，提高机构的固定效率，且控制卡固盘反转进行放松，即可将晶圆取出。

Description

一种全自动晶圆分选机高效固定机构

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体涉及一种全自动晶圆分选机高效固定机构。

背景技术

芯片，又称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、集成电路(英语：integrated circuit，IC)。是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分。

在芯片的生产过程中，需要使用到分选机对生产芯片所需的晶圆的质量进行检测把控，并将不合格的晶圆取出，其中，会使用到铁片对晶圆进行吸附支撑，且需要使用固定机构对铁片进行固定支撑，但现有的固定结构较为简单，需要反复的操作，使用起来较为麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种全自动晶圆分选机高效固定机构，以解决现有技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如包括环架，环架的内侧安装有运输盘，运输盘的外侧转动安装有卡固盘，运输盘中开设有多个晶圆铁片卡槽，晶圆铁片卡槽用于卡合放置附有晶圆的支撑铁片，卡固盘中对应晶圆铁片卡槽开设有多个投放槽，投放槽一端的内侧固定连接有卡固凸起，卡固盘相对运输盘周转运动，并带动卡固凸起运动至晶圆铁片卡槽上方时对晶圆铁片卡槽中的支撑铁片紧固卡合，从而可以同步的对多组晶圆进行固定支撑，提高机构的固定效率下技术方案：一种全自动晶圆分选机高效固定机构，。

优选的，环架的外侧固定连接有限位盘，限位盘位于卡固盘的外侧，并对卡固盘进行转动限制和转动支撑，避免其掉落，。

优选的，运输盘的外部固定安装有伺服电机，伺服电机的输出轴端安装有锥齿轮，卡固盘的外壁固定连接有锥齿环，锥齿轮与锥齿环相互啮合，可以通过伺服电机对卡固盘进行翻转控制，进而控制投放槽与晶圆铁片卡槽之间的相对移动，从而在晶圆支撑铁片放置到晶圆铁片卡槽中后，可以控制运输盘的转动，使卡固凸起移动到支撑铁片的外侧边缘对铁片进行卡合固定，或者使锥齿环离开晶圆铁片卡槽，即可处于放松状态，解除对支撑铁片的卡紧，进一步的提高机构的自动化性能。

优选的，运输盘的外侧固定连接有翻转轴，翻转轴与环架自动连接，运输盘以翻转轴为轴心在环架内翻转运动，其中一个翻转轴的一端延伸至环架的外侧，并连接驱动电机，从而可以对运输盘进展整体翻转控制，进而使机构可以根据需要，调整晶圆的朝向，从而更好的面对分选设备。

优选的，环架的下方设置有底架，底架通过伸缩驱动器与环架连接，环架通过伸缩驱动器的驱动竖直升降运动，伸缩驱动器可以选用气缸、电动推杆或液压缸等组件，进而可以对金钩进行升降控制，提高机构的适应性。

优选的，伸缩驱动器的顶部固定安装有承托架，环架转动安装在伸缩驱动器的顶部，进而可以对环架以及运输盘进行整体的转动控制，以实现对晶圆的位置转换控制。

优选的，环架的顶部和底部均设置有卡固盘，环架的顶部和底部均连接有限位盘，两个限位盘的外端均固定连接有对接轴，底架的顶部转动安装有卡接轴，且卡接轴通过驱动电机转动驱动，对接轴设置为扁平状，卡接轴设置为U形，从而可以对运输盘进行升降控制以及翻转控制，并通过控制两个卡固盘的转动，分别利用上下两组卡固凸起进行支撑和卡合，而利用伸缩驱动器对运输盘的升降控制，在对环架提起后可以控制运输盘翻转，并在环架下移时，使下方的对接轴插入卡接轴中进行对接。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

1、本实用新型通过在运输盘的外侧转动安装有卡固盘，并在运输盘中开设有多个晶圆铁片卡槽，将附有晶圆的支撑铁片放置在晶圆铁片卡槽中，随后控制卡固盘转动，带动卡固凸起运动至晶圆铁片卡槽上方时对晶圆铁片卡槽中的支撑铁片紧固卡合，从而可以同步的对多组晶圆进行固定支撑，提高机构的固定效率，且控制卡固盘反转进行放松，即可将晶圆取出，从而提高机构使用的便捷性。

2、本实用新型通过在环架的顶部和底部均设置卡固盘，对运输盘进行升降控制以及翻转控制，并通过控制两个卡固盘的转动，分别利用上下两组锥齿环进行支撑和卡合，从而丰富机构的固定方式，而利用运输盘的升降，以及对接轴与卡接轴的对接，可以对运输盘进行转动控制，进而极大的提高了机构使用的便捷性和功能性，大大的增强了机构的实用性和适应性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构俯视图。

图2为本实用新型放松状态示意图。

图3为本实用新型的纵向剖视图。

附图标记说明：

1、环架；2、运输盘；21、晶圆铁片卡槽；22、限位盘；23、对接轴；3、卡固盘；31、投放槽；32、卡固凸起；33、锥齿环；4、伺服电机；41、锥齿轮；5、翻转轴；6、底架；7、伸缩驱动器；71、承托架；8、卡接轴。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

实施例1

本实用新型提供了图1至图2所示的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，包括环架1，环架1的内侧安装有运输盘2，运输盘2的外侧转动安装有卡固盘3，运输盘2中开设有多个晶圆铁片卡槽21，晶圆铁片卡槽21用于卡合放置附有晶圆的支撑铁片，卡固盘3中对应晶圆铁片卡槽21开设有多个投放槽31，投放槽31一端的内侧固定连接有卡固凸起32，卡固盘3相对运输盘2周转运动，并带动卡固凸起32运动至晶圆铁片卡槽21上方时对晶圆铁片卡槽21中的支撑铁片紧固卡合，从而可以同步的对多组晶圆进行固定支撑，提高机构的固定效率；

进一步的，在上述技术方案中，环架1的外侧固定连接有限位盘22，限位盘22位于卡固盘3的外侧，并对卡固盘3进行转动限制和转动支撑，避免其掉落；

进一步的，在上述技术方案中，运输盘2的外部固定安装有伺服电机4，伺服电机4的输出轴端安装有锥齿轮41，卡固盘3的外壁固定连接有锥齿环33，锥齿轮41与锥齿环33相互啮合，可以通过伺服电机4对卡固盘3进行翻转控制，进而控制投放槽31与晶圆铁片卡槽21之间的相对移动，从而在晶圆支撑铁片放置到晶圆铁片卡槽21中后，可以控制运输盘2的转动，使卡固凸起32移动到支撑铁片的外侧边缘对铁片进行卡合固定，或者使锥齿环33离开晶圆铁片卡槽21，即可处于放松状态，解除对支撑铁片的卡紧，进一步的提高机构的自动化性能；

进一步的，在上述技术方案中，运输盘2的外侧固定连接有翻转轴5，翻转轴5与环架1自动连接，运输盘2以翻转轴5为轴心在环架1内翻转运动，其中一个翻转轴5的一端延伸至环架1的外侧，并连接驱动电机，从而可以对运输盘2进展整体翻转控制，进而使机构可以根据需要，调整晶圆的朝向，从而更好的面对分选设备；

进一步的，在上述技术方案中，环架1的下方设置有底架6，底架6通过伸缩驱动器7与环架1连接，环架1通过伸缩驱动器7的驱动竖直升降运动，伸缩驱动器7可以选用气缸、电动推杆或液压缸等组件，进而可以对金钩进行升降控制，提高机构的适应性；

进一步的，在上述技术方案中，伸缩驱动器7的顶部固定安装有承托架71，环架1转动安装在伸缩驱动器7的顶部，进而可以对环架1以及运输盘2进行整体的转动控制，以实现对晶圆的位置转换控制；

实施例2

基于实施例1，如图3所示的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，包括环架1，环架1的内侧安装有运输盘2，运输盘2的外侧转动安装有卡固盘3，运输盘2中开设有多个晶圆铁片卡槽21，晶圆铁片卡槽21用于卡合放置附有晶圆的支撑铁片，卡固盘3中对应晶圆铁片卡槽21开设有多个投放槽31，投放槽31一端的内侧固定连接有卡固凸起32，卡固盘3相对运输盘2周转运动，并带动卡固凸起32运动至晶圆铁片卡槽21上方时对晶圆铁片卡槽21中的支撑铁片紧固卡合，与实施例1不同的是，环架1的顶部和底部均设置有卡固盘3，环架1的顶部和底部均连接有限位盘22，两个限位盘22的外端均固定连接有对接轴23，底架6的顶部转动安装有卡接轴8，且卡接轴8通过驱动电机转动驱动，对接轴23设置为扁平状，卡接轴8设置为U形，从而可以对运输盘2进行升降控制以及翻转控制，并通过控制两个卡固盘3的转动，分别利用上下两组卡固凸起32进行支撑和卡合；

进一步的，在上述技术方案中，运输盘2的外部固定安装有伺服电机4，伺服电机4的输出轴端安装有锥齿轮41，卡固盘3的外壁固定连接有锥齿环33，锥齿轮41与锥齿环33相互啮合，可以通过伺服电机4对卡固盘3进行翻转控制，进而控制投放槽31与晶圆铁片卡槽21之间的相对移动，从而在晶圆支撑铁片放置到晶圆铁片卡槽21中后，可以控制运输盘2的转动，使卡固凸起32移动到支撑铁片的外侧边缘对铁片进行卡合固定，或者使锥齿环33离开晶圆铁片卡槽21，即可处于放松状态，解除对支撑铁片的卡紧，进一步的提高机构的自动化性能；

进一步的，在上述技术方案中，运输盘2的外侧固定连接有翻转轴5，翻转轴5与环架1自动连接，运输盘2以翻转轴5为轴心在环架1内翻转运动，其中一个翻转轴5的一端延伸至环架1的外侧，并连接驱动电机，从而可以对运输盘2进展整体翻转控制，进而使机构可以根据需要，调整晶圆的朝向，从而更好的面对分选设备；

进一步的，在上述技术方案中，环架1的下方设置有底架6，底架6通过伸缩驱动器7与环架1连接，环架1通过伸缩驱动器7的驱动竖直升降运动，伸缩驱动器7可以选用气缸、电动推杆或液压缸等组件，进而可以对金钩进行升降控制，提高机构的适应性；

进一步的，在上述技术方案中，伸缩驱动器7的顶部固定安装有承托架71，环架1转动安装在伸缩驱动器7的顶部，进而可以对环架1以及运输盘2进行整体的转动控制，以实现对晶圆的位置转换控制；

工作原理：通过在运输盘2的外侧转动安装有卡固盘3，并在运输盘2中开设有多个晶圆铁片卡槽21，以及在卡固盘3开设有多个投放槽31，从而在实际使用时，可以利用伺服电机4的驱动，控制卡固盘3进行转动，进而在投放槽31中的卡固凸起32远离晶圆铁片卡槽21时，可以将附有晶圆的支撑铁片放置在晶圆铁片卡槽21中，随后控制卡固盘3转动，带动卡固凸起32运动至晶圆铁片卡槽21上方时对晶圆铁片卡槽21中的支撑铁片紧固卡合，从而可以同步的对多组晶圆进行固定支撑，提高机构的固定效率，且控制卡固盘3反转进行放松，即可将晶圆取出，而控制运输盘2反转，和控制运输盘2升降，可以调整更多的支撑姿态，从而提高机构使用的实用性，而在环架1的顶部和底部均设置卡固盘3，可以对运输盘2进行升降控制以及翻转控制，并通过控制两个卡固盘3的转动，分别利用上下两组卡固凸起32进行支撑和卡合，从而丰富机构的固定方式，而利用伸缩驱动器7对运输盘2的升降控制，在对环架1提起后可以控制运输盘2翻转，并在环架1下移时，使下方的对接轴23插入卡接轴8中进行对接，即可对运输盘2进行转动控制，进而极大的提高了机构使用的便捷性和功能性，大大的增强了机构的实用性和适应性。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (7)

1.一种全自动晶圆分选机高效固定机构，包括环架(1)，所述环架(1)的内侧安装有运输盘(2)，其特征在于：所述运输盘(2)的外侧转动安装有卡固盘(3)，所述运输盘(2)中开设有多个晶圆铁片卡槽(21)，所述晶圆铁片卡槽(21)用于卡合放置附有晶圆的支撑铁片，所述卡固盘(3)中对应晶圆铁片卡槽(21)开设有多个投放槽(31)，所述投放槽(31)一端的内侧固定连接有卡固凸起(32)，所述卡固盘(3)相对运输盘(2)周转运动，并带动卡固凸起(32)运动至晶圆铁片卡槽(21)上方时对晶圆铁片卡槽(21)中的支撑铁片紧固卡合。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，其特征在于：所述环架(1)的外侧固定连接有限位盘(22)，所述限位盘(22)位于卡固盘(3)的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，其特征在于：所述运输盘(2)的外部固定安装有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出轴端安装有锥齿轮(41)，所述卡固盘(3)的外壁固定连接有锥齿环(33)，所述锥齿轮(41)与锥齿环(33)相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，其特征在于：所述运输盘(2)的外侧固定连接有翻转轴(5)，所述翻转轴(5)与环架(1)自动连接，所述运输盘(2)以翻转轴(5)为轴心在环架(1)内翻转运动，其中一个所述翻转轴(5)的一端延伸至环架(1)的外侧，并连接驱动电机。

5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，其特征在于：所述环架(1)的下方设置有底架(6)，所述底架(6)通过伸缩驱动器(7)与环架(1)连接，所述环架(1)通过伸缩驱动器(7)的驱动竖直升降运动。

6.根据权利要求5所述的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，其特征在于：所述伸缩驱动器(7)的顶部固定安装有承托架(71)，所述环架(1)转动安装在伸缩驱动器(7)的顶部。

7.根据权利要求6所述的一种全自动晶圆分选机高效固定机构，其特征在于：所述环架(1)的顶部和底部均设置有卡固盘(3)，所述环架(1)的顶部和底部均连接有限位盘(22)，两个所述限位盘(22)的外端均固定连接有对接轴(23)，所述底架(6)的顶部转动安装有卡接轴(8)，且所述卡接轴(8)通过驱动电机转动驱动，所述对接轴(23)设置为扁平状，所述卡接轴(8)设置为U形。

Images