CN217485419U - 保持转运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种保持转运装置，用于同时保持转运多个片状结构，保持转运装置包括主体、多个活动承载结构和活动件，其中活动承载结构可活动地设置于主体上，多个活动承载结构平行设置，片状结构放置于活动承载结构上。活动件的转动端与主体可转动连接，活动件的自由端沿预设路径运动，多个活动承载结构间隔连接于活动件上，活动件配置成能够受驱以带动活动承载结构运动，以改变多个活动承载结构之间的距离。本实用新型的实施例利用其中的活动件带动活动承载结构运动，进而改变活动承载结构的间距，以适应不同尺寸的片状结构，扩大保持转运装置的使用范围，结构简单稳定，降低片状结构例如半导体芯片等的加工和运输成本。

Description

保持转运装置

技术领域

本实用新型大致涉及工业生产和运输储存设备技术领域，尤其是一种保持转运装置。

背景技术

对于片状结构的产品或生产加工过程中的半成品，例如半导体芯片、光学透镜、硅晶片、电路板等，在加工和转运的过程中通常需要保持在特定的装置上。为提高生产效率或转运效率，目前存在一种能够同时保持多个片状结构的机械手，具有多个夹片，片状结构能够放置在夹片上，同时进行加工或一次性转运多个片状结构。但这种设备的夹片之间的间距固定，通常需要根据具体的片状结构尺寸进行设计，并且不能通用，例如用于保持8寸cassette(晶圆载具)的机械手夹片之间的间距为6.35mm，而用于保持12寸FOUP(前开式晶圆盒)的机械手夹片之间的间距为10mm。这种结构导致需要设置多个不同规格的机械手以应对不同尺寸的片状结构，造成了资源浪费和成本上升。

背景技术部分的内容仅仅是发明人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。

实用新型内容

针对现有技术中的一个或多个缺陷，本实用新型提供一种保持转运装置，用于同时保持转运多个片状结构，所述保持转运装置包括：

主体；

多个活动承载结构，所述活动承载结构可活动地设置于所述主体上，多个活动承载结构平行设置，所述片状结构放置于所述活动承载结构上；和

活动件，所述活动件的转动端与所述主体可转动连接，活动件的自由端沿预设路径运动，多个所述活动承载结构间隔连接于所述活动件上，所述活动件配置成能够受驱以带动所述活动承载结构运动，以改变多个活动承载结构之间的距离。

根据本实用新型的一个方面，其中所述主体上固定设置有第一运动轨道，所述第一运动轨道垂直于所述活动承载结构承载面的方向。

根据本实用新型的一个方面，其中所述活动件包括：

连杆，所述连杆的一端与所述主体铰接；

扣合件，所述扣合件设置于所述连杆的外侧，且随所述连杆转动；和

多个轴承，所述轴承设置于所述连杆上或所述扣合件与所述连杆之间，并与所述活动承载结构可转动连接，带动所述活动承载结构运动，且使活动承载结构的承载面方向保持不变。

根据本实用新型的一个方面，其中所述扣合件具有折边，并扣合与所述连杆的两侧，所述折边与所述连杆的侧面限定一容置空间；所述轴承设置于所述连杆的两侧，并由所述折边保持于所述容置空间内，轴承配置成沿所述第一运动轨道运动。

根据本实用新型的一个方面，所述保持转运装置还包括固定承载结构，所述固定承载结构固定设置于所述主体上，且位于所述活动承载结构下方，并与所述活动承载结构平行对齐。

根据本实用新型的一个方面，所述保持转运装置还包括：

驱动装置，所述驱动装置设置于所述主体上；

传动结构，所述传动结构与所述活动件连接，传动结构受所述驱动装置驱动，以带动所述活动件的自由端运动。

根据本实用新型的一个方面，其中所述传动结构包括固定连接的驱动板和传动连杆，所述驱动装置为螺旋式电机，所述驱动板与所述螺旋式电机的输出轴连接，所述传动连杆与所述活动件铰接。

根据本实用新型的一个方面，其中所述主体上还设置有第二运动轨道，所述第二运动轨道与所述活动承载结构的承载面垂直；所述驱动板沿所述第二运动轨道运动。

根据本实用新型的一个方面，其中多个所述活动承载结构设置于所述主体的两侧；所述活动件共有两组，分别设置于所述主体的两侧，并分别带动对应侧的活动承载结构运动。

根据本实用新型的一个方面，其中多个所述活动承载结构交叉设置，多个活动承载结构间距相等。

与现有技术相比，本实用新型的实施例提供了一种保持转运装置，利用其中的活动件带动活动承载结构运动，进而改变活动承载结构的间距，以适应不同尺寸的片状结构，扩大保持转运装置的使用范围，结构简单稳定，降低片状结构例如半导体芯片等的加工和运输成本。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的一个实施例中保持转运装置的结构示意图；

图2是本实用新型的一个实施例中活动承载结构与主体配合的爆炸示意图；

图3是本实用新型的一个实施例中活动件与主体配合的爆炸示意图；

图4A和图4B是本实用新型的一个实施例中保持转运装置的细节示意图；

图5是本实用新型的一个实施例中保持转运装置的侧面示意图。

附体标记：1、保持转运装置，10、主体，11、第一运动轨道，12、第二运动轨道，20、活动承载结构，30、活动件，31、连杆，32、扣合件，321、折边，33、轴承，40、驱动装置，50、传动结构，51、驱动板，52、传动连杆。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接:可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之"上"或之"下"可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征"之上"、"上方"和"上面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征"之下"、"下方"和"下面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

图1示出了根据本实用新型的优选实施例中保持转运装置1的具体结构，下面结合图1详细描述。

如图1所示，保持转运装置1包括主体10、多个活动承载结构20和活动件30，保持转运装置1用于同时保持转运多个片状结构，例如半导体芯片、光学镜片等，其中多个活动承载结构20用于保持片状结构，活动承载结构20可活动地设置在主体10上，并且多个活动承载结构20平行设置，具体的，活动承载结构20可以设置成平板形状、托盘形状或货叉形状等，根据片状结构的结构特征和加工转运需求设置。活动承载结构20平行布置，片状结构放置在多个活动承载结构20的中间，调整活动承载结构20的间距即可用于承载不同尺寸的片状结构，具有更大的适用范围。

活动件30具有转动端和自由端，其中转动端与主体10可转动连接，自由端沿预设的运动路径运动，多个活动承载结构20间隔连接在活动件30上，随转动端的转动，由活动件30带动活动承载结构20运动，进而改变活动承载结构20的间距。在本实用新型的不同实施例中，活动件30可以设置成连杆式结构，或其他具体的形式，带动多个活动承载结构20运动，调整活动承载结构20的间距，优选的，不改变活动承载结构20与主体10之间的角度，以防止片状结构由活动承载机构20上脱落。进一步的，由于加工或转运存放的过程中，片状结构通常具有同一尺寸规格，可以通过设置活动件30的具体结构和活动件30与活动承载结构20的连接方式，以使多个活动承载结构20的间距保持相同变化，能够避免活动承载结构20之间间距过大或过小的问题，同时也有利于保持转运装置1的结构稳定性。活动件30的具体形式在后续实施例中详细描述。

如图3所示，根据本实用新型的优选实施例，主体10上设置有第一运动轨道11，并且第一运动轨道11垂直于活动承载结构20的承载面的方向，例如活动承载结构20水平设置，片状结构放置在活动承载结构20的上方，由活动承载结构20支撑，第一运动轨道11在主体10上竖直设置，用于限制活动承载结构20的运动方向，使活动承载结构20由活动件30带动，在第一运动轨道11的方向上竖直运动，进而改变活动承载结构20的间距。

同样的，结合图3，在本实用新型的优选实施例中，活动件30包括连杆31、扣合件32和多个轴承33，其中连杆31的一端与主体10铰接，能够绕主体10转动。扣合件32设置在连杆31的外侧，并随连杆31转动而转动。轴承33设置在连杆31上，或设置在扣合件32和连杆31之间，并且轴承33还与活动承载结构20可转动连接，带动活动承载结构20运动，并保持活动承载结构20的承载面的方向不变。

在本实用新型的一些实施例中，多个轴承33设置在连杆31上，当连杆31绕主体10转动时，由于轴承33与连杆31的铰接位置的距离不同，轴承33的运动距离也不同。例如活动承载结构20水平设置，与活动承载结构20相连接的轴承33在竖直方向上的增量即为活动承载结构20在竖直方向上的运动距离，不同活动承载结构20的运动距离不同，进而实现改变活动承载结构20之间的距离。通过驱动连杆31相对于主体10转动，即可带动活动承载结构20运动，并改变活动承载结构20的间距，以适应不同尺寸规格的片状结构。

如图3所示，根据本实用新型的优选实施例，扣合件32具有折边321，并且扣合在连杆31的两侧，折边321与连杆31的侧面限定一容置空间。轴承33设置在连杆31的两侧，并由折边321保持在容置空间内，并且轴承33被第一运动轨道11限定，沿第一运动轨道11运动。具体的，轴承33与连杆31的相对位置关系在本实施例中不固定，轴承33能够在折边321和连杆31组成的容置空间中移动，同时轴承33的运动方向被第一运动轨道11限定，并且第一运动轨道11的方向与活动承载结构20的承载面相垂直，保证与轴承33连接的活动承载结构20以单一方向运动，结合图4A和图4B，当连杆31相对于主体10转动时，轴承33沿第一运动轨道11运动，带动活动承载结构20运动，进而改变活动承载结构20的间距，进一步的，每个活动承载结构20对应一个第一运动轨道11，根据相似三角形的原理，不同第一运动轨道11和连杆31铰接位置的距离的比例与不同活动承载结构20在第一运动轨道11方向上的运动距离相同，优选的，活动承载结构20和第一运动轨道11均具有两个，其中一个第一运动轨道11穿过另一个第一运动轨道11与连杆31的铰接位置的连线的中点，当连杆31转动时，两个活动承载结构20沿第一运动轨道11的方向运动相同的距离，保持多个活动承载结构20的间距变化始终相同，能够应对同一尺寸规格的片状结构。根据本实用新型的不同实施例，当具有多个活动承载结构20和第一运动轨道11时，例如分别具有三个，三个第一运动轨道11间距相等排列，例如是10mm，并且靠近连杆31铰接位置的第一运动轨道11与连杆31铰接位置的距离也为10mm，当连杆31转动时，不同第一运动轨道11上的轴承33在第一运动轨道11上的运动距离按照相同的比例上升，例如最下层的活动承载结构20上升5mm，第二层的活动承载结构20则上升10mm，保持相邻的活动承载结构20之间的距离变化相同。

根据本实用新型的优选实施例，保持转运装置1中还包括固定承载结构，其中固定承载结构与主体10固定连接，并且位于活动承载结构20的下方，与活动承载结构20平行对齐。固定承载结构的位置固定，当活动承载结构20运动，以改变活动承载机构20的间距时，固定承载结构与最下层的活动承载结构20的间距也随之发生变化，在本实施例中，固定承载结构同样能够用于放置片状结构。

如图2所示，在本实用新型的一个优选实施例中，保持转运装置1还包括驱动装置40和传动结构50，其中驱动装置40设置在主体10上，传动结构50与活动件30连接，传动结构50受驱动装置40驱动，以带动活动件30的自由端运动。具体的，根据本实用新型的优选实施例，驱动装置40为螺旋式电机，传动结构50包括固定连接的驱动板51和传动连杆52，驱动板51和螺旋式电机的输出轴连接，传动连杆52与活动件30铰接，用过传动连杆52带动活动件30转动。优选的，主体10上设置有第二运动轨道12，第二运动轨道12与活动承载结构20的承载面相垂直，驱动板51沿第二运动轨道运动，例如活动承载结构20水平设置，第二运动轨道12竖直设置，驱动板51沿第二运动轨道12在竖直方向上运动，与之固定连接的传动连杆52同样在竖直方向上运动，进而带动活动件30的自由端在竖直方向上运动。

如图5所示，根据本实用新型的优选实施例，多个活动承载结构20设置在主体10的两侧，活动件30同样具有两组，分别设置在主体10的两侧，并分别带动对应侧的活动承载结构运动。

进一步的，多个活动承载结构20交叉设置，并且多个活动承载结构20的间距相等。例如保持转运装置1具有四个活动承载结构20，分别设置在主体10的两侧，其中活动承载结构20交叉设置，即由上之下的第一层活动承载结构20和第三层活动承载结构20设置在主体10的同一侧，另外两层活动承载结构20设置在主体10的另一侧，为保证相邻活动承载结构20的间距变化相同，可以通过调整第一运动轨道11的间距和第一运动轨道11与连杆31与主体10的铰接位置，使活动承载结构20的间距变化相同，例如由上至下第一层活动承载结构20对应的第一运动轨道11与连杆31的铰接位置的距离为30mm，第三层活动承载结构20对应的第一运动轨道11与连杆31的铰接位置的距离为10mm，当连杆31转动时，第一层活动承载结构20在竖直方向上的运动距离为第三层活动承载结构20在竖直方向上的运动距离的三倍，在活动承载结构20交叉设置，且活动承载结构20的间距相等的情况下，可以保证每层活动承载结构20的间距变化相等，以使保持转运装置1能够应对同一尺寸规格的片状结构。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种保持转运装置，用于同时保持转运多个片状结构，其特征在于，所述保持转运装置包括：

主体；

多个活动承载结构，所述活动承载结构可活动地设置于所述主体上，多个活动承载结构平行设置，所述片状结构放置于所述活动承载结构上；和

活动件，所述活动件的转动端与所述主体可转动连接，活动件的自由端沿预设路径运动，多个所述活动承载结构间隔连接于所述活动件上，所述活动件配置成能够受驱以带动所述活动承载结构运动，以改变多个活动承载结构之间的距离。

2.根据权利要求1所述的保持转运装置，其特征在于，其中所述主体上固定设置有第一运动轨道，所述第一运动轨道垂直于所述活动承载结构承载面的方向。

3.根据权利要求2所述的保持转运装置，其特征在于，其中所述活动件包括：

连杆，所述连杆的一端与所述主体铰接；

扣合件，所述扣合件设置于所述连杆的外侧，且随所述连杆转动；和

多个轴承，所述轴承设置于所述连杆上或所述扣合件与所述连杆之间，并与所述活动承载结构可转动连接，带动所述活动承载结构运动，且使活动承载结构的承载面方向保持不变。

4.根据权利要求3所述的保持转运装置，其特征在于，其中所述扣合件具有折边，并扣合于所述连杆的两侧，所述折边与所述连杆的侧面限定一容置空间；所述轴承设置于所述连杆的两侧，并由所述折边保持于所述容置空间内，轴承配置成沿所述第一运动轨道运动。

5.根据权利要求1所述的保持转运装置，其特征在于，还包括固定承载结构，所述固定承载结构固定设置于所述主体上，且位于所述活动承载结构下方，并与所述活动承载结构平行对齐。

6.根据权利要求1所述的保持转运装置，其特征在于，还包括：

驱动装置，所述驱动装置设置于所述主体上；

传动结构，所述传动结构与所述活动件连接，传动结构受所述驱动装置驱动，以带动所述活动件的自由端运动。

7.根据权利要求6所述的保持转运装置，其特征在于，其中所述传动结构包括固定连接的驱动板和传动连杆，所述驱动装置为螺旋式电机，所述驱动板与所述螺旋式电机的输出轴连接，所述传动连杆与所述活动件铰接。

8.根据权利要求7所述的保持转运装置，其特征在于，其中所述主体上还设置有第二运动轨道，所述第二运动轨道与所述活动承载结构的承载面垂直；所述驱动板沿所述第二运动轨道运动。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的保持转运装置，其特征在于，其中多个所述活动承载结构设置于所述主体的两侧；所述活动件共有两组，分别设置于所述主体的两侧，并分别带动对应侧的活动承载结构运动。

10.根据权利要求9所述的保持转运装置，其特征在于，其中多个所述活动承载结构交叉设置，多个活动承载结构间距相等。

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