CN217434712U - 一种晶圆切割分离装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于晶圆加工生产技术领域，尤其是一种晶圆切割分离装置，针对现有的切割是通过金刚石研磨进行的，因此会产生大量的细小粉尘，容易污染到晶粒，同时晶圆在切割时，晶圆不便于进行旋转的问题，现提出如下方案，其包括机箱，所述机箱的内部固定连接有两个导向杆，两个导向杆的外壁滑动套设有移动板，所述移动板的外壁开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有工型块，所述机箱的内部固定连接有第一气缸，本实用新型通过设置第一气缸、第二气缸、固定板、U型块、金刚石切割机、水箱、水泵与雾化喷头，对切割时所产生的灰尘进行清理，污水通过进水孔进入排污管内。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工生产技术领域，尤其涉及一种晶圆切割分离装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆加工生产时需要用到切割分离装置。
在现有技术中，切割是通过金刚石研磨进行的，因此会产生大量的细小粉尘，容易污染到晶粒，同时晶圆在切割时，晶圆不便于进行旋转，因此我们提出一种晶圆切割分离装置，用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决切割是通过金刚石研磨进行的，因此会产生大量的细小粉尘，容易污染到晶粒，同时晶圆在切割时，晶圆不便于进行旋转的缺点，而提出的一种晶圆切割分离装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种晶圆切割分离装置，包括机箱，所述机箱的内部固定连接有两个导向杆，两个导向杆的外壁滑动套设有移动板，所述移动板的外壁开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有工型块，所述机箱的内部固定连接有第一气缸，所述第一气缸的输出端与移动板的外壁固定连接，所述移动板的外壁固定连接有固定板，所述固定板的外壁固定连接有第二气缸，所述第二气缸的输出端与工型块的外壁固定连接，所述工型块的外壁固定连接有金刚石切割机，所述金刚石切割机的外壁固定连接有U型块，所述U型块的外壁开设有空槽，所述U型块的外壁固定互通有多个雾化喷头，所述机箱的顶部固定连接有水箱与水泵，所述机箱的内部设有转动机构。
优选的，所述转动机构包括电机，所述机箱的内壁与电机的外壁固定连接，所述机箱的内壁固定连接有空心结构的支撑板，所述支撑板的外壁固定连接有圆板，所述电机输出轴的顶部固定连接有竖轴，所述竖轴的顶部固定互通有承托座，所述承托座的外壁开设有凹槽，凹槽的内壁滑动连接有承托环，通过设置电机使承托座进行转动。
优选的，所述机箱的外壁开设有长槽，长槽的内壁与固定板的外壁滑动连接。
优选的，所述水泵的输入端与水箱的外壁固定互通，所述水泵的输出端固定互通有软管，软管的一端与U型块固定互通。
优选的，所述支撑板的外壁均匀开设有多个进水孔，所述移动板的外壁开设有两个滑孔，两个滑孔的内壁分别与两个导向杆的外壁滑动连接，通过设置导线杆辅助移动板进行前后移动。
优选的，所述机箱外壁开设有安装孔，安装孔的内壁固定连接有排污管，排污管的一端与支撑板的外壁固定互通，通过设置排污管将污水排出。
优选的，所述支撑板与圆板的外壁均开设有圆孔，圆孔的内壁与电机输出轴的外壁转动连接，所述机箱的外壁转动连接有密封门。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
本方案在晶圆与承托环的外壁贴上双面胶，将承托环放置到承托座中，通过双面胶对承托环进行位置固定，通过设置第一气缸、第二气缸、固定板、U型块、金刚石切割机、水箱、水泵与雾化喷头，对切割时所产生的灰尘进行清理，污水通过进水孔进入排污管内，电机运转使竖轴带动承托座进行转动，方便金刚石切割机对晶圆进行来回切割分离。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆切割分离装置的立体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种晶圆切割分离装置的剖面结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种晶圆切割分离装置的图2中的A部分放大结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种晶圆切割分离装置的承托环结构示意图。
图中：1、机箱；2、导向杆；3、移动板；4、工型块；5、第一气缸；6、第二气缸；7、固定板；8、U型块；9、金刚石切割机；10、水箱；11、水泵；12、电机；13、支撑板；14、圆板；15、竖轴；16、承托座；17、承托环。
具体实施方式
由图1-3所示，涉及一种晶圆切割分离装置，包括机箱1，机箱1的内部固定连接有两个导向杆2，两个导向杆2的外壁滑动套设有移动板3，移动板3的外壁开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有工型块4，机箱1的内部固定连接有第一气缸5，第一气缸5的输出端与移动板3的外壁固定连接，第一气缸5带动移动板3通过导向杆2进行前后移动，移动板3的外壁固定连接有固定板7，机箱1的外壁开设有长槽，长槽的内壁与固定板7的外壁滑动连接，固定板7的外壁固定连接有第二气缸6，第二气缸6的输出端与工型块4的外壁固定连接，第二气缸6带动工型块4进行左右移动，工型块4的外壁固定连接有金刚石切割机9，金刚石切割机9的外壁固定连接有U型块8，U型块8的外壁开设有空槽，U型块8的外壁固定互通有多个雾化喷头，通过雾化喷头，对切割时所产生的灰尘进行清理，机箱1的顶部固定连接有水箱10与水泵11，水泵11的输入端与水箱10的外壁固定互通，水泵11的输出端固定互通有软管，软管的一端与U型块8固定互通，水泵11运转将水箱10内的清水通过软管输送到U型块8内，机箱1的内部设有转动机构。
由图2-4所示，转动机构包括电机12，机箱1的内壁与电机12的外壁固定连接，机箱1的内壁固定连接有空心结构的支撑板13，支撑板13的外壁均匀开设有多个进水孔，移动板3的外壁开设有两个滑孔，两个滑孔的内壁分别与两个导向杆2的外壁滑动连接，支撑板13的外壁固定连接有圆板14，机箱1外壁开设有安装孔，安装孔的内壁固定连接有排污管，排污管的一端与支撑板13的外壁固定互通，电机12输出轴的顶部固定连接有竖轴15，竖轴15的顶部固定互通有承托座16，电机12运转使竖轴15带动承托座16进行转动，支撑板13与圆板14的外壁均开设有圆孔，圆孔的内壁与电机12输出轴的外壁转动连接，机箱1的外壁转动连接有密封门，承托座16的外壁开设有凹槽，凹槽的内壁滑动连接有承托环17。
工作原理：用承托环17来承托晶圆，并且在晶圆与承托环17的外壁贴上双面胶，将承托环17放置到承托座16中，通过双面胶对承托环17进行位置固定，同时针对不同大小的晶圆，第一气缸5带动移动板3通过导向杆2进行前后移动，第二气缸6带动工型块4进行左右移动，从而使金刚石切割机9进行移动，对晶圆进行切割分离，在切割时水泵11运转将水箱10内的清水通过软管输送到U型块8内，通过雾化喷头排出，对切割时所产生的灰尘进行清理，污水通过进水孔进入排污管内，金刚石切割机9停止转动时，电机12运转使竖轴15带动承托座16进行转动，方便金刚石切割机9对晶圆进行来回切割分离。
以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆切割分离装置，包括机箱(1)，其特征在于，所述机箱(1)的内部固定连接有两个导向杆(2)，两个导向杆(2)的外壁滑动套设有移动板(3)，所述移动板(3)的外壁开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有工型块(4)，所述机箱(1)的内部固定连接有第一气缸(5)，所述第一气缸(5)的输出端与移动板(3)的外壁固定连接，所述移动板(3)的外壁固定连接有固定板(7)，所述固定板(7)的外壁固定连接有第二气缸(6)，所述第二气缸(6)的输出端与工型块(4)的外壁固定连接，所述工型块(4)的外壁固定连接有金刚石切割机(9)，所述金刚石切割机(9)的外壁固定连接有U型块(8)，所述U型块(8)的外壁开设有空槽，所述U型块(8)的外壁固定互通有多个雾化喷头，所述机箱(1)的顶部固定连接有水箱(10)与水泵(11)，所述机箱(1)的内部设有转动机构。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于，所述转动机构包括电机(12)，所述机箱(1)的内壁与电机(12)的外壁固定连接，所述机箱(1)的内壁固定连接有空心结构的支撑板(13)，所述支撑板(13)的外壁固定连接有圆板(14)，所述电机(12)输出轴的顶部固定连接有竖轴(15)，所述竖轴(15)的顶部固定互通有承托座(16)，所述承托座(16)的外壁开设有凹槽，凹槽的内壁滑动连接有承托环(17)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于，所述机箱(1)的外壁开设有长槽，长槽的内壁与固定板(7)的外壁滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于，所述水泵(11)的输入端与水箱(10)的外壁固定互通，所述水泵(11)的输出端固定互通有软管，软管的一端与U型块(8)固定互通。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于，所述支撑板(13)的外壁均匀开设有多个进水孔，所述移动板(3)的外壁开设有两个滑孔，两个滑孔的内壁分别与两个导向杆(2)的外壁滑动连接。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于，所述机箱(1)外壁开设有安装孔，安装孔的内壁固定连接有排污管，排污管的一端与支撑板(13)的外壁固定互通。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于，所述支撑板(13)与圆板(14)的外壁均开设有圆孔，圆孔的内壁与电机(12)输出轴的外壁转动连接，所述机箱(1)的外壁转动连接有密封门。
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|---|---|---|---|
| CN202221142264.7U CN217434712U (zh) | 2022-05-13 | 2022-05-13 | 一种晶圆切割分离装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN217434712U true CN217434712U (zh) | 2022-09-16 |
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Family Applications (1)
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| CN202221142264.7U Active CN217434712U (zh) | 2022-05-13 | 2022-05-13 | 一种晶圆切割分离装置 |
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2022
- 2022-05-13 CN CN202221142264.7U patent/CN217434712U/zh active Active
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