CN217370604U - 一种气体分配盘钻孔加工模板 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括第一钻模板，所述第一钻模板内设置有第一通孔，所述第一通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；所述第一钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的第二钻模板，所述第二钻模板内设置有第二通孔，所述第二通孔内设置有第二环形台阶。本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板能够从气体分配盘的两侧对气体分配盘进行打孔，加工精度较高，结构简单且制备成本较低。

Description

一种气体分配盘钻孔加工模板

技术领域

本实用新型属于钻孔加工技术领域，尤其涉及一种气体分配盘钻孔加工模板。

背景技术

在半导体制造中常用到化学气相沉积技术，含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜。这种工艺是化学气相沉积(ChemicalVapor Deposition，CVD)中的一种，其原理是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。在使用化学气相沉积进行镀膜的过程中，晶圆在气体分配盘下方。在化学气相沉积过程中，气体分配盘需保证良好的孔径均匀性，从而保证沉积过程的稳定性。若气体分配盘是孔径不均匀，会导致镀膜不均匀，从而影响芯片使用。

CN214517689U公开了一种导轮毂钻孔工具，包括钻模板、钻模套、定位销，所述的钻模板呈圆盘状，所述的钻模板上周向分布有若干钻孔，所述的钻模套安装于钻孔内，所述的定位销插设于钻模套内，所述的导轮毂上部内壁设有一圈内齿，所述的钻模板底部设有向下延伸的凸肚，所述的凸肚的侧壁上设有与内齿相匹配的子口，所述的子口与所述的内齿相啮合。但是，该导轮毂钻孔工具结构复杂且制备成本较高。

CN211489780U公开了一种立柱支撑顶盖工件钻孔通用工装，包括钻模板、快换钻套、衬套和钻套螺钉；钻模板为圆盘状结构，钻模板上开设有嵌套孔，衬套安装于嵌套孔中，快换钻套安装于衬套中，衬套与钻模板过盈配合，快换钻套与衬套间隙配合，快换钻套采用钻套螺钉固定。但是，该立柱支撑顶盖工件钻孔通用工装无法的加工精度较低，无法适用于对精度要求较高的化学气相沉积。

CN105290462A公开了一种法兰盘偏心式钻孔夹具，主要包括圆形的夹具体，夹具体上偏心设有置放圆孔，置放圆孔上方设有模板座，模板座上开有钻模孔，置放圆孔上方的前后两侧均铰接安装有压板，压板上均在背离模板座的一端下部连接有气缸；置放圆孔右侧具有卡块，夹具体右部开有将卡块沿水平方向滑动安装的滑槽，卡块右端连接有弹簧。但是，该法兰盘偏心式钻孔夹具的结构复杂且制备成本较高，不利于大规模推广使用。同时，该法兰盘偏心式钻孔夹具无法进行双面加工。

目前公开的钻孔加工模板都有一定的缺陷，存在着无法对气体分配盘双面加工，加工精度较低、结构复杂且制备成本较高的问题。因此，开发设计一种新型的气体分配盘钻孔加工模板至关重要。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种气体分配盘钻孔加工模板，本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板能够从气体分配盘的两侧对气体分配盘进行打孔，加工精度较高，结构简单且制备成本较低。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括第一钻模板，所述第一钻模板内设置有第一通孔，所述第一通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；

所述第一钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的第二钻模板，所述第二钻模板内设置有第二通孔，所述第二通孔内设置有第二环形台阶。

本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板与能够旋转工作台的卧式数控加工中心配合，实现了从气体分配盘的两侧对气体分配盘的进行打孔，从而稳定地生产出气体分配盘。

本实用新型所述卧式数控加工中心是由机械设备与数控系统组成的适用于加工复杂零件的高效率自动化机床。卧式数控加工中心是世界上产量较高且应用较广的数控机床之一；卧式数控加工中心的综合加工能力较强，工件一次装夹后能完成较多的加工内容，加工的精度较高；卧式数控加工中心的效率是普通设备的5～10倍；卧式数控加工中心能完成许多普通设备不能完成的加工，对形状较复杂或精度要求高的工件加工更为适用。卧式数控加工中心的主轴在空间处于水平状态，可以旋转工作台。

本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板能够从气体分配盘的两侧对气体分配盘进行打孔，加工精度较高，结构简单且制备成本较低。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第一通孔的形状为圆形。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第二通孔的形状为圆形。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第二钻模板与第一钻模板连接的一侧表面被第一钻模板完全覆盖。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第二钻模板的形状为环状。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第一环形台阶的环形台阶面外环直径为360～480mm，内环直径为300～350mm。

本实用新型限定了第一环形台阶的环形台阶面外环直径为360～480mm，例如可以是360mm、362mm、365mm、367mm、370mm、372mm、375mm、377mm、380mm、385mm、390mm、395mm、400mm、405mm、410mm、415mm、420mm、425mm、430mm、435mm、440mm、445mm、450mm、455mm、460mm、465mm、470mm、475mm或480mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本实用新型限定了第一环形台阶的环形台阶面内环直径为300～350mm，例如可以是300mm、302mm、305mm、307mm、310mm、312mm、315mm、317mm、320mm、322mm、325mm、327mm、330mm、332mm、335mm、337mm、340mm、342mm、345mm、347mm或350mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第二环形台阶的环形台阶面外环直径为360～480mm，内环直径为300～350mm。

本实用新型限定了第二环形台阶的环形台阶面外环直径为360～480mm，例如可以是360mm、362mm、365mm、367mm、370mm、372mm、375mm、377mm、380mm、385mm、390mm、395mm、400mm、405mm、410mm、415mm、420mm、425mm、430mm、435mm、440mm、445mm、450mm、455mm、460mm、465mm、470mm、475mm或480mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本实用新型限定了第二环形台阶的环形台阶面内环直径为300～350mm，例如可以是300mm、302mm、305mm、307mm、310mm、312mm、315mm、317mm、320mm、322mm、325mm、327mm、330mm、332mm、335mm、337mm、340mm、342mm、345mm、347mm或350mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第一环形台阶的环形台阶面内环直径与第二环形台阶的环形台阶面内环直径相等。

本实用新型所述第一环形台阶的环形台阶面内环直径与第二环形台阶的环形台阶面内环直径根据气体分配盘的尺寸进行设定，确保气体分配盘能够被气体分配盘钻孔加工模板固定。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第一钻模板上设置有至少一个螺纹孔，所述螺纹孔内设置有定位销；所述气体分配盘钻孔加工模板通过穿过螺纹孔的定位销固定在夹具上。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第一钻模板的形状为内部设置有圆形通孔的圆柱、椭圆柱、三棱柱或四棱柱中的任意一种。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板能够从气体分配盘的两侧对气体分配盘进行打孔，加工精度较高，结构简单且制备成本较低。

附图说明

图1为本实用新型一个具体实施方式提供的气体分配盘钻孔加工模板的第一钻模板侧的结构示意图。

图2为本实用新型一个具体实施方式提供的气体分配盘钻孔加工模板的第二钻模板侧的结构示意图。

图3为本实用新型一个具体实施方式提供的内部设置有第一环形台阶的第一通孔的俯视图。

其中，1-第一钻模板；2-第一通孔；3-第一环形台阶；4-第二钻模板；5-第二通孔；6-第二环形台阶；7-螺纹孔。

具体实施方式

需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在一个具体实施方式中，如图1所示，本实用新型提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括第一钻模板1，所述第一钻模板1内设置有第一通孔2，所述第一通孔2内设置有第一环形台阶3，气体分配盘固定于所述第一环形台阶3的环形台阶面上；

如图2所示，所述第一钻模板1的一侧表面设置有与第一环形台阶3连接的第二钻模板4，所述第二钻模板4内设置有第二通孔5，所述第二通孔5内设置有第二环形台阶6。

本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板与能够旋转工作台的卧式数控加工中心配合，实现了从气体分配盘的两侧对气体分配盘的进行打孔，从而稳定地生产出气体分配盘。

本实用新型所述卧式数控加工中心是由机械设备与数控系统组成的适用于加工复杂零件的高效率自动化机床。卧式数控加工中心是世界上产量较高且应用较广的数控机床之一；卧式数控加工中心的综合加工能力较强，工件一次装夹后能完成较多的加工内容，加工的精度较高；卧式数控加工中心的效率是普通设备的5～10倍；卧式数控加工中心能完成许多普通设备不能完成的加工，对形状较复杂或精度要求高的工件加工更为适用。卧式数控加工中心的主轴在空间处于水平状态，可以旋转工作台。

本实用新型所述气体分配盘钻孔加工模板能够从气体分配盘的两侧对气体分配盘进行打孔，加工精度较高，结构简单且制备成本较低。

进一步地，如图3所示，所述第一通孔2的形状为圆形。

进一步地，所述第二通孔5的形状为圆形。

进一步地，所述第二钻模板4与第一钻模板1连接的一侧表面被第一钻模板1完全覆盖。

进一步地，所述第二钻模板4的形状为环状。

进一步地，所述第一环形台阶3的环形台阶面外环直径为360～480mm，内环直径为300～350mm。

进一步地，所述第二环形台阶6的环形台阶面外环直径为360～480mm，内环直径为300～350mm。

进一步地，所述第一环形台阶3的环形台阶面内环直径与第二环形台阶6的环形台阶面内环直径相等。

本实用新型所述第一环形台阶3的环形台阶面内环直径与第二环形台阶6的环形台阶面内环直径根据气体分配盘的尺寸进行设定，确保气体分配盘能够被气体分配盘钻孔加工模板固定。

进一步地，所述第一钻模板1上设置有至少一个螺纹孔7，所述螺纹孔7内设置有定位销；所述气体分配盘钻孔加工模板通过穿过螺纹孔7的定位销固定在夹具上。

进一步地，所述第一钻模板1的形状为内部设置有圆形通孔的圆柱、椭圆柱、三棱柱或四棱柱中的任意一种。

实施例1

本实施例提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括圆柱钻模板，所述圆柱钻模板内设置有第一圆形通孔，所述第一圆形通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；

所述圆柱钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的环状钻模板，所述环状钻模板与圆柱钻模板连接的一侧表面被圆柱钻模板完全覆盖；所述环状钻模板内设置有第二圆形通孔，所述第二圆形通孔内设置有第二环形台阶；

所述第一环形台阶的环形台阶面外环直径为400mm，内环直径为340mm；所述第二环形台阶的环形台阶面外环直径为390mm，内环直径为340mm。

所述圆柱钻模板上设置有四个螺纹孔，所述螺纹孔内设置有定位销；所述气体分配盘钻孔加工模板通过穿过螺纹孔的定位销固定在夹具上。

实施例2

本实施例提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括椭圆柱钻模板，所述椭圆柱钻模板内设置有第一圆形通孔，所述第一圆形通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；

所述椭圆柱钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的环状钻模板，所述环状钻模板与椭圆柱钻模板连接的一侧表面被椭圆柱钻模板完全覆盖；所述环状钻模板内设置有第二圆形通孔，所述第二圆形通孔内设置有第二环形台阶；

所述第一环形台阶的环形台阶面外环直径为480mm，内环直径为300mm；所述第二环形台阶的环形台阶面外环直径为360mm，内环直径为300mm。

所述椭圆柱钻模板上设置有八个螺纹孔，所述螺纹孔内设置有定位销；所述气体分配盘钻孔加工模板通过穿过螺纹孔的定位销固定在夹具上。

实施例3

本实施例提供了一种气体分配盘钻孔加工模板，所述气体分配盘钻孔加工模板包括四棱柱钻模板，所述四棱柱钻模板内设置有第一圆形通孔，所述第一圆形通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；

所述四棱柱钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的环状钻模板，所述环状钻模板与四棱柱钻模板连接的一侧表面被四棱柱钻模板完全覆盖；所述环状钻模板内设置有第二圆形通孔，所述第二圆形通孔内设置有第二环形台阶；

所述第一环形台阶的环形台阶面外环直径为360mm，内环直径为350mm；所述第二环形台阶的环形台阶面外环直径为480mm，内环直径为350mm。

所述四棱柱钻模板上设置有十二个螺纹孔，所述螺纹孔内设置有定位销；所述气体分配盘钻孔加工模板通过穿过螺纹孔的定位销固定在夹具上。

申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述气体分配盘钻孔加工模板包括第一钻模板，所述第一钻模板内设置有第一通孔，所述第一通孔内设置有第一环形台阶，气体分配盘固定于所述第一环形台阶的环形台阶面上；

所述第一钻模板的一侧表面设置有与第一环形台阶连接的第二钻模板，所述第二钻模板内设置有第二通孔，所述第二通孔内设置有第二环形台阶。

2.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第一通孔的形状为圆形。

3.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第二通孔的形状为圆形。

4.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第二钻模板与第一钻模板连接的一侧表面被第一钻模板完全覆盖。

5.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第二钻模板的形状为环状。

6.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第一环形台阶的环形台阶面外环直径为360～480mm，内环直径为300～350mm。

7.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第二环形台阶的环形台阶面外环直径为360～480mm，内环直径为300～350mm。

8.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第一环形台阶的环形台阶面内环直径与第二环形台阶的环形台阶面内环直径相等。

9.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第一钻模板上设置有至少一个螺纹孔，所述螺纹孔内设置有定位销；所述气体分配盘钻孔加工模板通过穿过螺纹孔的定位销固定在夹具上。

10.根据权利要求1所述的气体分配盘钻孔加工模板，其特征在于，所述第一钻模板的形状为内部设置有圆形通孔的圆柱、椭圆柱、三棱柱或四棱柱中的任意一种。

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