CN217341812U - 一种mocvd气体过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种MOCVD气体过滤装置，涉及气体过滤技术领域。该MOCVD气体过滤装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有回收壳和液体过滤装置，所述回收壳的内部设置有筛选装置，所述回收壳的左右两壁分别固定连接有气体回收管和气体粉尘进入管。本实用新型中，电机通过主动直齿轮和从动直齿轮驱动磁性球体转动，磁性球体对气体中的金属颗粒进行吸附，转动的过程中通过限位件实现剔除，增加了对金属颗粒的回收效率，通过气体吹扫装置将氮气通过两个进气管对电机和磁性球体吹动，实现对电机降温，同时实现对磁性球体表面的灰尘吹扫，增加了过滤的效果，同时减少气体通过进料口，限位件的容纳腔内的隔板阻挡气体外流，减少对空气的污染。

Description

一种MOCVD气体过滤装置

技术领域

本实用新型涉及气体过滤技术领域，尤其涉及一种MOCVD气体过滤装置。

背景技术

MOCVD设备作为一种常用的外延生产设备，因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，在高温、密闭、低压的环境中会形成大量反应残留粉尘，且粉尘中含有较高浓度的氨气，

对比申请号：CN CN201520081766.7提供的“一种用于MOCVD机台的除尘装置”，通过离心过滤装置将粉尘在收集部件内呈漩涡状旋转，较大的粉尘颗粒沉降至收集部件底部，气体吹扫装置有效保证了吸尘器电机部件的正常工作时的散热问题及电机的清洁，减少短路现象，延长吸尘器的使用寿命，液体过滤装置有效吸收并过滤废气中的氨气及残留的固体颗粒，减小了最终排放的废气的再次污染的可能性，但是，采用离心过滤装置对粉尘颗粒的沉降时，由于金属颗粒的质量大，容易对金属颗粒进行沉降，导致对金属颗粒的回收效率不高，使用效果不好。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MOCVD气体过滤装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种MOCVD气体过滤装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有回收壳和液体过滤装置，所述回收壳的内部设置有筛选装置，所述回收壳的左右两壁分别固定连接有气体回收管和气体粉尘进入管；

所述筛选装置包括防尘壳体、电机、主动直齿轮、从动直齿轮、转轴、磁性球体、遮挡壳体、金属盛放壳体和限位件，所述防尘壳体的上端与回收壳的上壁固定连接，所述防尘壳体的另一端与金属盛放壳体固定连接，所述防尘壳体的内侧壁与电机固定连接，所述电机的输出端与主动直齿轮固定连接，所述转轴与防尘壳体转动连接，所述转轴位于防尘壳体内的一端与从动直齿轮固定连接，所述主动直齿轮与从动直齿轮相互啮合；

所述转轴的另一端贯穿防尘壳体，延伸至回收壳的右壁，且转轴与回收壳的右壁转动连接，所述转轴的外侧面与磁性球体固定连接，所述金属盛放壳体的上端与遮挡壳体固定连接，所述遮挡壳体的下表面与限位件固定连接，所述限位件的前端与磁性球体的外侧面贴合，且设置有盛放磁性球体外侧面的金属颗粒的容纳腔，所述限位件的容纳腔内转动连接有阻挡气体通过的隔板，所述限位件的容纳腔的前壁剔除磁性球体外侧面的金属颗粒，所述金属盛放壳体的内部设置有盛放金属颗粒的放置腔，且上端设置有进料口，所述金属盛放壳体的进料口与限位件的容纳腔相互连通。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述气体粉尘进入管呈L形，所述气体粉尘进入管位于回收壳内的一端朝向磁性球体，且位于磁性球体的正前方。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述回收壳的上表面固定连接有氮气供应装置和气体吹扫装置，所述氮气供应装置的输出端与气体吹扫装置固定连接，所述气体吹扫装置的输出端固定连接有两个进气管，两个所述进气管的另一端均贯穿回收壳的上壁，且分别与防尘壳体的上端、遮挡壳体的后壁固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述防尘壳体的后壁均匀开设有若干通气孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述回收壳内底壁放置有灰尘盛放壳，且朝向回收壳的前侧移出。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述金属盛放壳体呈直角梯形，且下壁的右端高度高于左端，所述金属盛放壳体的下端设置有出料口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述气体回收管位于回收壳外部的一端插入至液体过滤装置的内部的吸收溶液中，所述液体过滤装置的左端设置有排液阀。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述液体过滤装置的上端固定连接有排气管，所述排气管的另一端固定连接有MOCVD排风管道。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，电机通过主动直齿轮和从动直齿轮驱动磁性球体转动，磁性球体对气体中的金属颗粒进行吸附，转动的过程中通过限位件实现剔除，增加了对金属颗粒的回收效率。

2、本实用新型中，通过气体吹扫装置将氮气通过两个进气管对电机和磁性球体吹动，实现对电机降温，同时实现对磁性球体表面的灰尘吹扫，增加了过滤的效果，同时减少气体通过进料口，限位件的容纳腔内的隔板阻挡气体外流，减少对空气的污染。

3、本实用新型中，通过液体过滤装置实现对气体中的氨气等气体被水吸收，细小粉尘进一步被水沉降、过滤，吸收后的液体供回收再利用，节约资源的使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种MOCVD气体过滤装置的结构图；

图2为本实用新型提出的一种MOCVD气体过滤装置的正视图；

图3为本实用新型提出的一种MOCVD气体过滤装置的正向剖视图；

图4为本实用新型提出的一种MOCVD气体过滤装置的俯向剖视图；

图5为本实用新型提出的一种MOCVD气体过滤装置的遮挡壳体和限位件的结构图；

图6为本实用新型提出的一种MOCVD气体过滤装置的金属盛放壳的局部剖视图。

图例说明：

1、底座；2、回收壳；3、气体粉尘进入管；4、进气管；5、气体吹扫装置；6、氮气供应装置；7、气体回收管；8、MOCVD排风管道；9、排气管；10、液体过滤装置；11、灰尘盛放壳；12、转轴；13、磁性球体；14、从动直齿轮；15、主动直齿轮；16、电机；17、防尘壳体；18、遮挡壳体；19、限位件；20、金属盛放壳体；21、出料口；22、进料口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-6，本实用新型提供的一种实施例：一种MOCVD气体过滤装置，包括底座1，底座1的上表面固定连接有回收壳2和液体过滤装置10，回收壳2的内部设置有筛选装置，回收壳2的左右两壁分别固定连接有气体回收管7和气体粉尘进入管3，气体粉尘进入管3呈L形，气体粉尘进入管3位于回收壳2内的一端朝向磁性球体13，且位于磁性球体13的正前方，使得气体和分成与磁性球体13充分接触。

筛选装置包括防尘壳体17、电机16、主动直齿轮15、从动直齿轮14、转轴12、磁性球体13、遮挡壳体18、金属盛放壳体20和限位件19，防尘壳体17的后壁均匀开设有若干通气孔，便于通气，防尘壳体17的上端与回收壳2的上壁固定连接，防尘壳体17的另一端与金属盛放壳体20固定连接，防尘壳体17的内侧壁与电机16固定连接，电机16的电源端与外界电源端口连接，电机16启动，带动主动直齿轮15转动，电机16的输出端与主动直齿轮15固定连接，转轴12与防尘壳体17转动连接，转轴12位于防尘壳体17内的一端与从动直齿轮14固定连接，主动直齿轮15与从动直齿轮14相互啮合，主动直齿轮15转动，带动从动直齿轮14转动，从动直齿轮14转动带动转轴12转动，转轴12带动磁性球体13转动，且从右侧面观察，转动的方向为顺时针方向，磁性球体13用于吸附气体粉尘进入管3吹入的气体中含有的金属颗粒。

转轴12的另一端贯穿防尘壳体17，延伸至回收壳2的右壁，且转轴12与回收壳2的右壁转动连接，增加磁性球体13转动过程中的稳定性，转轴12的外侧面与磁性球体13固定连接，金属盛放壳体20的上端与遮挡壳体18固定连接，遮挡壳体18的下表面与限位件19固定连接，限位件19的前端与磁性球体13的外侧面贴合，且设置有盛放磁性球体13外侧面的金属颗粒的容纳腔，限位件19的容纳腔的前壁剔除磁性球体13外侧面的金属颗粒，使得金属颗粒落入限位件19的容纳腔，金属盛放壳体20的内部设置有盛放金属颗粒的放置腔，且上端设置有进料口22，金属盛放壳体20的进料口22与限位件19的容纳腔相互连通，金属盛放壳体20呈直角梯形，且下壁的右端高度高于左端，金属盛放壳体20的下端设置有出料口21，容纳腔内设置有阻挡金属颗粒的隔板，用于遮挡气体通过金属盛放壳体20流出，随着金属颗粒的聚集，使得隔板转动，限位件19的容纳腔内的金属颗粒通过进料口22落入至金属盛放壳体20内，金属颗粒顺着金属盛放壳体20内的斜面下滑，便于从出料口22取出。

回收壳2内底壁放置有灰尘盛放壳11，且朝向回收壳2的前侧移出，灰尘盛放壳11用于盛放灰尘，便于倾倒，回收壳2的上表面固定连接有氮气供应装置6和气体吹扫装置5，氮气供应装置6的输出端与气体吹扫装置5固定连接，气体吹扫装置5的输出端固定连接有两个进气管4，两个进气管4的另一端均贯穿回收壳2的上壁，且分别与防尘壳体17的上端、遮挡壳体18的后壁固定连接，气体吹扫装置5的电源端与外界电源端口接通，气体吹扫装置5吹出的氮气起到对防尘壳体17内的电机16降温，同时对磁性球体13外侧面的灰尘吹扫，减少灰尘落入至金属盛放壳体20内。

气体回收管7位于回收壳2外部的一端插入至液体过滤装置10的内部的吸收溶液中，吸收溶液吸收气体中的氨气等气体，同时也吸收一些粉尘，液体过滤装置10的左端设置有排液阀，排液阀便于对吸收溶液排出，供回收再利用，液体过滤装置10的上端固定连接有排气管9，排气管9的另一端固定连接有MOCVD排风管道8，从而进行进一步处理。

工作原理：在MOCVD机台中，机台运行后在其腔体内产生含有大量的金属等导电性粉尘以及氨气等气体，使用时，将产生的气体通过气体粉尘进入管3通入回收壳2内，电机16间接带动磁性球体13转动，磁性球体13对通入的气体中金属颗粒进行吸附，同时气体吹扫装置5吹动的氮气吹扫电机16和磁性球体13，氮气对电机16起到降温效果，氮气吹扫磁性球体13外侧面吸附的金属颗粒表面的灰尘，使得灰尘落入灰尘盛放壳11内，同时减少气体向进料口21流动，灰尘落入至灰尘盛放壳11内，便于对灰尘清理，金属颗粒通过限位件19剔除至限位件19的容纳腔内，随着金属颗粒的聚集，使得隔板转动，金属颗粒落入至金属盛放壳体20内。

完成预过滤后的气体在通过气体回收管7通入液体过滤装置10内的吸收溶液内，氨气等气体被水吸收，细小粉尘进一步被水沉降、过滤，吸收后的剩余气体通过排气管9进入MOCVD排风管道8进一步处理，从而完成对气体的过滤。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种MOCVD气体过滤装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有回收壳(2)和液体过滤装置(10)，所述回收壳(2)的内部设置有筛选装置，所述回收壳(2)的左右两壁分别固定连接有气体回收管(7)和气体粉尘进入管(3)；

所述筛选装置包括防尘壳体(17)、电机(16)、主动直齿轮(15)、从动直齿轮(14)、转轴(12)、磁性球体(13)、遮挡壳体(18)、金属盛放壳体(20)和限位件(19)，所述防尘壳体(17)的上端与回收壳(2)的上壁固定连接，所述防尘壳体(17)的另一端与金属盛放壳体(20)固定连接，所述防尘壳体(17)的内侧壁与电机(16)固定连接，所述电机(16)的输出端与主动直齿轮(15)固定连接，所述转轴(12)与防尘壳体(17)转动连接，所述转轴(12)位于防尘壳体(17)内的一端与从动直齿轮(14)固定连接，所述主动直齿轮(15)与从动直齿轮(14)相互啮合；

所述转轴(12)的另一端贯穿防尘壳体(17)，延伸至回收壳(2)的右壁，且转轴(12)与回收壳(2)的右壁转动连接，所述转轴(12)的外侧面与磁性球体(13)固定连接，所述金属盛放壳体(20)的上端与遮挡壳体(18)固定连接，所述遮挡壳体(18)的下表面与限位件(19)固定连接，所述限位件(19)的前端与磁性球体(13)的外侧面贴合，且设置有盛放磁性球体(13)外侧面的金属颗粒的容纳腔，所述限位件(19)的容纳腔内转动连接有阻挡气体通过的隔板，所述限位件(19)的容纳腔的前壁剔除磁性球体(13)外侧面的金属颗粒，所述金属盛放壳体(20)的内部设置有盛放金属颗粒的放置腔，且上端设置有进料口(22)，所述金属盛放壳体(20)的进料口(22)与限位件(19)的容纳腔相互连通。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述气体粉尘进入管(3)呈L形，所述气体粉尘进入管(3)位于回收壳(2)内的一端朝向磁性球体(13)，且位于磁性球体(13)的正前方。

3.根据权利要求1所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述回收壳(2)的上表面固定连接有氮气供应装置(6)和气体吹扫装置(5)，所述氮气供应装置(6)的输出端与气体吹扫装置(5)固定连接，所述气体吹扫装置(5)的输出端固定连接有两个进气管(4)，两个所述进气管(4)的另一端均贯穿回收壳(2)的上壁，且分别与防尘壳体(17)的上端、遮挡壳体(18)的后壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述防尘壳体(17)的后壁均匀开设有若干通气孔。

5.根据权利要求1所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述回收壳(2)内底壁放置有灰尘盛放壳(11)，且朝向回收壳(2)的前侧移出。

6.根据权利要求1所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述金属盛放壳体(20)呈直角梯形，且下壁的右端高度高于左端，所述金属盛放壳体(20)的下端设置有出料口(21)。

7.根据权利要求1所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述气体回收管(7)位于回收壳(2)外部的一端插入至液体过滤装置(10)的内部的吸收溶液中，所述液体过滤装置(10)的左端设置有排液阀。

8.根据权利要求7所述的一种MOCVD气体过滤装置，其特征在于：所述液体过滤装置(10)的上端固定连接有排气管(9)，所述排气管(9)的另一端固定连接有MOCVD排风管道(8)。

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