CN217324364U - 一种多工艺腔体供液装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多工艺腔体供液装置，包括供液桶、工控机、第一工艺腔体以及第二工艺腔体，所述第一工艺腔体与第二工艺腔体一侧分别连接有第一分液管以及第二分液管，所述第一分液管、所述第二分液管以及供液管通过三通连接。本实用新型涉及单片湿法处理领域，通过供液管以及工业泵将液体从供液桶内抽出，经过供液管和第一分液管、第二分液管排至各个工艺腔体内，并通过第一电动阀门、第二电动阀门、第三电动阀门以及第四电动阀门分别控制第一分液管、第二分液管、第三分液管以及第四分液管的内的流量，从可以在使用一个供液泵的情况下给两个或者更多的工艺单元供液，给人们带来了方便。

Description

一种多工艺腔体供液装置

技术领域

本实用新型涉及单片湿法处理领域，具体为一种多工艺腔体供液装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆国内，晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

在半导体芯片制造过程中，电镀是一种常用的在晶圆上成膜的方法。尤其在先进封装技术中，通常采用电镀在晶圆上形成铜柱、焊点等特征，原因在于电镀具有工艺简单、成本低等优点。

在电镀液的使用过程中，需要根据工艺时间改变电镀液的供给流量，而目前普遍采用一个泵对应一个工艺腔体的方式，这样当工艺腔体数量增多后，泵的放置空间就变得紧张，不便于安装和维护。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多工艺腔体供液装置，解决了当工艺腔体数量增多，泵的放置空间紧张不便于安装和维护的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种多工艺腔体供液装置，包括供液桶、工控机、第一工艺腔体以及第二工艺腔体，所述第一工艺腔体与第二工艺腔体一侧分别连接有第一分液管以及第二分液管，所述第一分液管上连接有第一电动阀门，所述第二分液管上连接有第二电动阀门，所述第一分液管以及所述第二分液管间设有供液管，所述第一分液管、所述第二分液管以及供液管通过三通连接。

优选的，所述第一工艺腔体一侧连接有第一回流管，所述第二工艺腔体一侧连接有第二回流管，所述第一回流管以及所述第二回流管均连通于所述供液桶内，所述第一回流管上连接有第三电动阀门，所述第二回流管上连接有第四电动阀门。

优选的，所述工控机与第一电动阀门、第二电动阀门、第三电动阀以及第四电动阀通过导线电性连接。

优选的，所述供液管上连接有工业泵以及过滤器。

有益效果

本实用新型提供了一种多工艺腔体供液装置，具备以下有益效果:本实用新型结构紧凑，通过供液管以及工业泵将液体从供液桶内抽出，经过供液管和第一分液管、第二分液管排至各个工艺腔体内，并通过第一电动阀门、第二电动阀门、第三电动阀门以及第四电动阀门分别控制第一分液管、第二分液管、第三分液管以及第四分液管的内的流量，从可以在使用一个供液泵的情况下给两个或者更多的工艺单元供液，而每个工艺单元可以根据需要自行控制自己所需要的化学液流量，给人们带来了方便。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

图中：1、供液桶；2、工控机；3、第一工艺腔体；4、第二工艺腔体；5、第一分液管；6、第二分液管；7、第一电动阀门；8、第二电动阀门；9、供液管；10、第一回流管；11、第二回流管；12、第三电动阀门；13、第四电动阀门；14、工业泵；15、过滤器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种多工艺腔体供液装置，包括供液桶1、工控机2、第一工艺腔体3以及第二工艺腔体4，所述第一工艺腔体3与第二工艺腔体4一侧分别连接有第一分液管5以及第二分液管6，所述第一分液管5上连接有第一电动阀门7，所述第二分液管6上连接有第二电动阀门8，所述第一分液管5 以及所述第二分液管6间设有供液管9，所述第一分液管5、所述第二分液管 6以及供液管9通过三通连接，所述第一工艺腔体3一侧连接有第一回流管10，所述第二工艺腔体4一侧连接有第二回流管11，所述第一回流管10以及所述第二回流管11均连通于所述供液桶1内，所述第一回流管10上连接有第三电动阀门12，所述第二回流管11上连接有第四电动阀门13，所述工控机2与第一电动阀门、第二电动阀门、第三电动阀以及第四电动阀通过导线电性连接，所述供液管9上连接有工业泵14以及过滤器15。

实施例：供液桶1中的化学液由供液泵抽出后进入过滤器15，然后从过滤器15出口分别进入第一电动阀门7和第二电动阀门8，第一电动阀门7和第二电动阀门8出口分别连接第一工艺腔体3和第二工艺腔体4。位于第一工艺腔体3和第二工艺腔体4底部的第一回流管10以及第二回流管11将腔体内液体经过电动阀后重新流回供液桶1。

一般来说，当工艺腔体开始电镀工艺时，需要更大的化学液流量。比如第一工艺腔体3开始电镀工艺时，第一电动阀门7根据工艺流量的需要增加阀片打开的角度，这样可以立即增大流入第一工艺腔体3内化学液的流量。与此同时，同步增大回路中第三电动阀门12的开度，使第一工艺腔体3内的液体回流流量也同步增加，减少腔体内液体溢出的风险。在第一工艺腔体3 工艺进行的过程中，第二工艺腔体4也可能开始工艺处理，此时也需要将第三电动阀门12和第四电动阀门13的开度增大以满足大流量的要求。同理，当第一工艺腔体3的工艺结束后，工控机2控制第一电动阀门7和第二电动阀门8的阀片开度恢复，减小第一电动阀门7和第二电动阀门8的循环流量，给人们带来了方便。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种多工艺腔体供液装置，包括供液桶(1)、工控机(2)、第一工艺腔体(3)以及第二工艺腔体(4)，其特征在于，所述第一工艺腔体(3)与第二工艺腔体(4)一侧分别连接有第一分液管(5)以及第二分液管(6)，所述第一分液管(5)上连接有第一电动阀门(7)，所述第二分液管(6)上连接有第二电动阀门(8)，所述第一分液管(5)以及所述第二分液管(6)间设有供液管(9)，所述第一分液管(5)、所述第二分液管(6)以及供液管(9)通过三通连接。

2.根据权利要求1所述的一种多工艺腔体供液装置，其特征在于，所述第一工艺腔体(3)一侧连接有第一回流管(10)，所述第二工艺腔体(4)一侧连接有第二回流管(11)，所述第一回流管(10)以及所述第二回流管(11)均连通于所述供液桶(1)内，所述第一回流管(10)上连接有第三电动阀门(12)，所述第二回流管(11)上连接有第四电动阀门(13)。

3.根据权利要求1所述的一种多工艺腔体供液装置，其特征在于，所述工控机(2)与第一电动阀门、第二电动阀门、第三电动阀以及第四电动阀通过导线电性连接。

4.根据权利要求2所述的一种多工艺腔体供液装置，其特征在于，所述供液管(9)上连接有工业泵(14)以及过滤器(15)。

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