CN217317211U - 一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,包括接地板,所述接地板的顶部固定连接有拆卸竖板,所述拆卸竖板的顶部固定连接有保护盖板,所述保护盖板的顶部固定连接有检测机构,所述接地板的顶部固定连接有传输机构。该半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,通过设置动力电机,经过动力电机输出轴处电机转动杆与升降环的螺纹连接,可以控制升降环底部接触检测头的升降,而且接地板的顶部固定连接有传输外壳,通过传输外壳内部内部传输块的转动,可以控制传输带的传输,保证装置可以快速的传动,而且传输带的外部设置有连接板,通过连接板相对侧弹性块控制夹持块向相对侧移动。
Description
技术领域
本实用新型涉及检测设备技术领域,具体为一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备。
背景技术
检测设备有很多种类,工厂常用的检测设备有很多,包括测量设备卡尺、天平、打点机等,另外还有质量检测分析仪器,材质检测、包装检测设备等也是常见的检测设备。
检测设备为检测需要检查物体是否满足要求的一种工具,目前使用的检测设备通常为手动控制需要检测物体的移动,虽然能满足日常的使用,但是如果需要检测的物体如果工程量过大,就不能满足检测的需求,故而提出了一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备来解决这一问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,具备设置有传送装置,可以快速的控制装置自动传送检测等优点,解决了如果需要检测的物体如果工程量过大,就不能满足检测的需求的问题。
(二)技术方案
为实现上述设置有传送装置,可以快速的控制装置自动传送检测的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,包括接地板,所述接地板的顶部固定连接有拆卸竖板,所述拆卸竖板的顶部固定连接有保护盖板,所述保护盖板的顶部固定连接有检测机构,所述接地板的顶部固定连接有传输机构;
所述检测机构包括升降壳,所述升降壳的顶部固定连接有动力电机,所述动力电机的输出轴处固定连接有电机转动杆,所述电机转动杆的底部螺纹连接有升降环,所述升降环的底部固定连接有接触检测头;
所述传输机构包括传输外壳,所述传输外壳的内部转动连接有数量为两个的内部传输块,两个所述内部传输块之间传动连接有传输带,所述传输带的外部固定连接有分布均匀的连接板,所述连接板的一侧固定连接有弹性块,所述弹性块的一侧固定连接有夹持块。
进一步,所述拆卸竖板呈方形板状,所述拆卸竖板的侧边开设有方形孔。
进一步,所述保护盖板由顶部的支撑顶板和底部的支撑底座组成,所述支撑顶板与支撑底座的连接方式为焊接。
进一步,所述支撑底座的内部固定连接有限位板,所述限位板与升降环滑动连接。
进一步,所述传输外壳呈上方缺失的方形箱状,所述传输外壳的前后两侧均开设有转动孔。
进一步,所述内部传输块呈圆杆状,一侧所述内部传输块的后侧固定连接有动力转轮。
进一步,所述连接板由固定外板和粘接头组成,所述粘接头粘接在传输带的外部且与固定外板滑动连接。
进一步,所述弹性块包括固定杆,所述固定杆的外部滑动连接有伸缩环,所述固定杆的外部活动连接有与伸缩环活动连接的弹簧。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,具备以下有益效果:
该半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,通过设置动力电机,经过动力电机输出轴处电机转动杆与升降环的螺纹连接,可以控制升降环底部接触检测头的升降,而且接地板的顶部固定连接有传输外壳,通过传输外壳内部内部传输块的转动,可以控制传输带的传输,保证装置可以快速的传动,而且传输带的外部设置有连接板,通过连接板相对侧弹性块控制夹持块向相对侧移动,可以控制夹持块的物体向相对侧运输,保证夹持物体,可以控制传输带外部的物体运输。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型传输外壳的俯视图;
图3为本实用新型图2中A部的局部放大示意图。
图中:1接地板、2拆卸竖板、3保护盖板、4升降壳、5动力电机、6电机转动杆、7限位板、8升降环、9传输外壳、10内部传输块、11动力转轮、12传输带、13连接板、14弹性块、15夹持块、16接触检测头、31支撑顶板、32支撑底座、131固定外板、132粘接头、141固定杆、142伸缩环、143弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3,一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,包括接地板1,接地板1的顶部固定连接有拆卸竖板2,拆卸竖板2的顶部固定连接有保护盖板3,保护盖板3的顶部固定连接有检测机构,接地板1的顶部固定连接有传输机构。
本实施例中,拆卸竖板2呈方形板状,拆卸竖板2的侧边开设有方形孔,保护盖板3由顶部的支撑顶板31和底部的支撑底座32组成,支撑顶板31与支撑底座32的连接方式为焊接,支撑底座32的内部固定连接有限位板7,可以稳定控制检测机构的固定。
本实施例中,检测机构包括升降壳4,升降壳4的顶部固定连接有动力电机5,动力电机5的输出轴处固定连接有电机转动杆6,电机转动杆6的底部螺纹连接有升降环8,限位板7与升降环8滑动连接,升降环8的底部固定连接有接触检测头16,通过动力电机5的转动,可以控制接触检测头16的升降,而通过接触检测头16可以检测质量。
本实施例中,传输机构包括传输外壳9,传输外壳9呈上方缺失的方形箱状,传输外壳9的前后两侧均开设有转动孔,拆卸竖板2的侧边开设有方形孔,传输外壳9可以在穿梭过拆卸竖板2,保证传输外壳9顶部物体的传输,传输外壳9的内部转动连接有数量为两个的内部传输块10,内部传输块10呈圆杆状,一侧内部传输块10的后侧固定连接有动力转轮11,通过手动转动动力转轮11,可以控制装置的移动。
其中,两个内部传输块10之间传动连接有传输带12,传输带12的外部固定连接有分布均匀的连接板13,连接板13由固定外板131和粘接头132组成,粘接头132粘接在传输带12的外部且与固定外板131滑动连接,连接板13的一侧固定连接有弹性块14,弹性块14包括固定杆141,固定杆141的外部滑动连接有伸缩环142,固定杆141的外部活动连接有与伸缩环142活动连接的弹簧143,弹性块14的一侧固定连接有夹持块15,夹持块15经过弹性块14的弹性,可以快速夹持物体。
上述实施例的有益效果为:
该半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,通过设置动力电机5,经过动力电机5输出轴处电机转动杆6与升降环8的螺纹连接,可以控制升降环8底部接触检测头16的升降,而且接地板1的顶部固定连接有传输外壳9,通过传输外壳9内部内部传输块10的转动,可以控制传输带12的传输,保证装置可以快速的传动,而且传输带12的外部设置有连接板13,通过连接板13相对侧弹性块14控制夹持块15向相对侧移动,可以控制夹持块15的物体向相对侧运输,保证夹持物体,可以控制传输带12外部的物体运输。
文中出现的电器元件均与主控器及电源电连接,主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备,且现有公开的电力连接技术,不在文中赘述。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,包括接地板(1),其特征在于:所述接地板(1)的顶部固定连接有拆卸竖板(2),所述拆卸竖板(2)的顶部固定连接有保护盖板(3),所述保护盖板(3)的顶部固定连接有检测机构,所述接地板(1)的顶部固定连接有传输机构;
所述检测机构包括升降壳(4),所述升降壳(4)的顶部固定连接有动力电机(5),所述动力电机(5)的输出轴处固定连接有电机转动杆(6),所述电机转动杆(6)的底部螺纹连接有升降环(8),所述升降环(8)的底部固定连接有接触检测头(16);
所述传输机构包括传输外壳(9),所述传输外壳(9)的内部转动连接有数量为两个的内部传输块(10),两个所述内部传输块(10)之间传动连接有传输带(12),所述传输带(12)的外部固定连接有分布均匀的连接板(13),所述连接板(13)的一侧固定连接有弹性块(14),所述弹性块(14)的一侧固定连接有夹持块(15)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述拆卸竖板(2)呈方形板状,所述拆卸竖板(2)的侧边开设有方形孔。
3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述保护盖板(3)由顶部的支撑顶板(31)和底部的支撑底座(32)组成,所述支撑顶板(31)与支撑底座(32)的连接方式为焊接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述支撑底座(32)的内部固定连接有限位板(7),所述限位板(7)与升降环(8)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述传输外壳(9)呈上方缺失的方形箱状,所述传输外壳(9)的前后两侧均开设有转动孔。
6.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述内部传输块(10)呈圆杆状,一侧所述内部传输块(10)的后侧固定连接有动力转轮(11)。
7.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述连接板(13)由固定外板(131)和粘接头(132)组成,所述粘接头(132)粘接在传输带(12)的外部且与固定外板(131)滑动连接。
8.根据权利要求1所述的一种半导体清洗装备关键零件的加工中心在线检测设备,其特征在于:所述弹性块(14)包括固定杆(141),所述固定杆(141)的外部滑动连接有伸缩环(142),所述固定杆(141)的外部活动连接有与伸缩环(142)活动连接的弹簧(143)。
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