CN217114343U - 一种晶圆出料综合控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆出料综合控制装置，包括柜体，柜体上的正面沿着Z轴方向可移动的设置有抬升箱体，抬升箱体上设置有晶圆盒组件，抬升箱体内设置有开盒机构，开盒机构通过固定架与柜体相连接，柜体上开设有出料口，柜体的背面沿着Z轴方向可移动的设置有出料夹取机构。本实用新型一种晶圆出料综合控制装置，通过开盒机构可以方便将晶圆盒组件中的晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座分离开来，方便对晶圆盒内的晶圆进行出料处理，且晶圆护罩通过抬升框架可以实现抬升操作，可以减少人力消耗，效率较高。

Description

一种晶圆出料综合控制装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆出料综合控制装置。

背景技术

晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。现有技术晶圆盒的转运一般是通过人工的方式进行的，该种方法耗费人力，且耗时较长。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆出料综合控制装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆出料综合控制装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆出料综合控制装置，包括柜体，柜体的顶部设置有顶梁，柜体的底部设置有移动底座，柜体上的正面沿着Z轴方向可移动的设置有抬升箱体，抬升箱体上设置有晶圆盒组件，晶圆盒组件包括晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座，抬升箱体内设置有开盒机构，开盒机构通过固定架与柜体相连接，柜体上开设有出料口，柜体的背面沿着Z轴方向可移动的设置有出料夹取机构，出料夹取机构位于出料口处，出料夹取机构安装在下方的电控箱上，柜体上从上往下分别设置有驱动抬升箱体升降移动的第一抬升机构和驱动出料夹取机构升降移动的第二抬升机构。

作为本实用新型的进一步改进，开盒机构包括开盒板，开盒板上的正面的中间位置开设有两个弧形的开盒槽，开盒槽内设置有开盒圆柱，开盒圆柱向上凸出于开盒槽，开盒板上的背面的中间位置设置有驱动开盒圆柱转动的开盒动力元件，晶圆盒底座的背面中间位置开设有与开盒圆柱相配合的插接槽。

作为本实用新型的进一步改进，开盒板上的正面设置有若干个定位销，晶圆盒底座上的背面设置有若干个与定位销相连接的定位孔。

作为本实用新型的进一步改进，晶圆护罩外侧的抬升箱体上设置有压盒机构，压盒机构包括压盒框架，压盒框架设置在抬升箱体上，晶圆护罩设置在压盒框架内，压盒框架上的两侧朝向晶圆护罩的一侧均设置有压盒块，压盒块外侧的压盒框架上设置有压盒护罩，压盒护罩内设置有用于驱动压盒块的压盒动力元件。

作为本实用新型的进一步改进，顶梁和移动底座之间的柜体上沿着Z轴方向设置有丝杆，第一抬升机构或第二抬升机构包括电机同步带驱动机构，电机同步带驱动机构安装在抬升横板上，抬升横板与抬升竖板相连接，电机同步带驱动机构的驱动端通过螺母固定块与丝杆螺母驱动连接设置，丝杆螺母与丝杆相连接，第一抬升机构的抬升竖板通过箱体抬升板与抬升箱体相连接，第二抬升机构的抬升竖板通过出料夹取抬升板与电控箱相连接。

作为本实用新型的进一步改进，丝杆一侧的柜体上还沿着Z轴方向设置有导轨，抬升竖板通过滑块与导轨相连接。

作为本实用新型的进一步改进，出料夹取机构包括出料夹取动力单元、机械臂和夹爪，出料夹取动力单元通过出料夹取底座安装在电控箱上，出料夹取动力单元与机械臂驱动连接设置，机械臂通过连接轴与夹爪相连接。

作为本实用新型的进一步改进，抬升箱体上开设有透明窗。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型一种晶圆出料综合控制装置，通过开盒机构可以方便将晶圆盒组件中的晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座分离开来，方便对晶圆盒内的晶圆进行出料处理，且晶圆护罩通过抬升框架可以实现抬升操作，可以减少人力消耗，效率较高；通过出料夹取机构方便对晶圆盒内的晶圆进行出料处理，操作简单，使用方便。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一种晶圆出料综合控制装置一侧的结构示意图；

图2是本实用新型一种晶圆出料综合控制装置另一侧的结构示意图；

图3是图1中抬升箱体内部的结构示意图；

图4是图1中第一抬升机构的结构示意图；

图5是图1中第二抬升机构的结构示意图；

图6是图1中压盒机构的结构示意图；

图7是本实用新型晶圆盒组件的结构示意图；

图8是图3中开盒机构的结构示意图；

图9是图7中晶圆盒底座的结构示意图；

图10是图2中出料夹取机构的结构示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。

1 柜体 2 顶梁

3 晶圆护罩 4 压盒机构

5 抬升箱体 6 透明窗

7 第一抬升机构 8 导轨

9 第二抬升机构 10 丝杆

11 移动底座 12 出料口

13 出料夹取机构 14 电控箱

15 开盒机构 16 固定架

17 电机同步带驱动机构 18 箱体抬升板

19 抬升竖板 20 抬升横板

21 螺母固定块 22 丝杆螺母

23 滑块 24 出料夹取抬升板

25 压盒框架 26 压盒块

27 压盒护罩 28 开盒板

29 开盒圆柱 30 开盒槽

31 定位销 32 晶圆盒底座

33 定位孔 34 插接槽

35 晶圆盒 36 出料夹取底座

37 出料夹取动力单元 38 机械臂

39 连接轴 40 夹爪

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1～图10所示，

一种晶圆出料综合控制装置，包括柜体1，柜体1的顶部设置有顶梁2，柜体1的底部设置有移动底座11，柜体1上的正面沿着Z轴方向可移动的设置有抬升箱体5，抬升箱体5上设置有晶圆盒组件，晶圆盒组件包括晶圆护罩3、晶圆盒35和晶圆盒底座32，抬升箱体5内设置有开盒机构15，开盒机构15通过固定架16与柜体1相连接，柜体1上开设有出料口12，柜体1的背面沿着Z轴方向可移动的设置有出料夹取机构13，出料夹取机构13位于出料口12处，出料夹取机构13安装在下方的电控箱14上，柜体1上从上往下分别设置有驱动抬升箱体5升降移动的第一抬升机构7和驱动出料夹取机构13升降移动的第二抬升机构9。

优选的，开盒机构15包括开盒板28，开盒板28上的正面的中间位置开设有两个弧形的开盒槽30，开盒槽30内设置有开盒圆柱29，开盒圆柱29向上凸出于开盒槽30，开盒板28上的背面的中间位置设置有驱动开盒圆柱29转动的开盒动力元件，晶圆盒底座32的背面中间位置开设有与开盒圆柱29相配合的插接槽34。其中，开盒动力元件可以是驱动两个开盒圆柱29进行一定角度旋转的电机动力元件等。

优选的，开盒板28上的正面设置有若干个定位销31，晶圆盒底座32上的背面设置有若干个与定位销31相连接的定位孔33。

其中，开盒和闭盒的操作在实际操作过程中，是通过两根开盒圆柱29带动上方的晶圆盒底座32的转动，当晶圆盒35的开口朝向进料口或者出料口时则为开盒，相反则为闭盒。

优选的，晶圆护罩3外侧的抬升箱体5上设置有压盒机构4，压盒机构4包括压盒框架25，压盒框架25设置在抬升箱体5上，晶圆护罩3设置在压盒框架25内，压盒框架25上的两侧朝向晶圆护罩3的一侧均设置有压盒块26，压盒块26外侧的压盒框架25上设置有压盒护罩27，压盒护罩27内设置有用于驱动压盒块26的压盒动力元件。其中，压盒动力元件可以是旋转电机等动力元件，通过旋转电机可以驱动驱动压盒块26进行旋转，当压盒块26旋转到位后可以对晶圆护罩3进行压盒处理。

优选的，顶梁2和移动底座11之间的柜体1上沿着Z轴方向设置有丝杆10，第一抬升机构7或第二抬升机构9包括电机同步带驱动机构17，电机同步带驱动机构17安装在抬升横板20上，抬升横板20与抬升竖板19相连接，电机同步带驱动机构17的驱动端通过螺母固定块21与丝杆螺母22驱动连接设置，丝杆螺母22与丝杆10相连接，第一抬升机构7的抬升竖板19通过箱体抬升板18与抬升箱体5相连接，第二抬升机构9的抬升竖板19通过出料夹取抬升板24与电控箱14相连接。

优选的，丝杆10一侧的柜体1上还沿着Z轴方向设置有导轨8，抬升竖板19通过滑块23与导轨8相连接。

优选的，出料夹取机构13包括出料夹取动力单元37、机械臂38和夹爪40，出料夹取动力单元37通过出料夹取底座36安装在电控箱14上，出料夹取动力单元37与机械臂38驱动连接设置，机械臂38通过连接轴39与夹爪40相连接。

其中，出料夹取动力单元37包括机械臂旋转机构和夹爪旋转机构，通过机械臂旋转机构可以驱动机械臂38进行旋转操作，通过夹爪旋转机构并经由机械臂38内的同步带轮传动结构可以对夹爪40进行旋转操作，通过夹爪40可以实现对晶圆的夹取操作。其中，上述机械臂旋转机构可以是伺服电机和减速器等常用机械动力元件，夹爪旋转机构可以是伺服电机和同步带轮传动结构的结构组合，夹爪40可以是常用的夹爪气缸等。

优选的，抬升箱体5上开设有透明窗6。

本实用新型一种晶圆出料综合控制装置，起初，晶圆盒组件放置在抬升箱体5上，通过第一抬升机构7驱动抬升箱体5下降到开盒工位，通过固定在柜体1上的开盒机构5对晶圆盒组件进行开盒处理，将晶圆护罩2、晶圆盒20和晶圆盒底座21分离开来，之后可再通过第一抬升机构7驱动抬升箱体5上升进而依次对晶圆盒35中的晶圆从出料口12进行出料处理，通过第二抬升机构9可以驱动出料夹取机构13进行升降移动，并通过出料夹取机构13实现晶圆的处理操作。

本实用新型一种晶圆出料综合控制装置，通过开盒机构可以方便将晶圆盒组件中的晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座分离开来，方便对晶圆盒内的晶圆进行出料处理，且晶圆护罩通过抬升框架可以实现抬升操作，可以减少人力消耗，效率较高；通过出料夹取机构方便对晶圆盒内的晶圆进行出料处理，操作简单，使用方便。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，包括柜体(1)，所述柜体(1)的顶部设置有顶梁(2)，所述柜体(1)的底部设置有移动底座(11)，所述柜体(1)上的正面沿着Z轴方向可移动的设置有抬升箱体(5)，所述抬升箱体(5)上设置有晶圆盒组件，所述晶圆盒组件包括晶圆护罩(3)、晶圆盒(35)和晶圆盒底座(32)，所述抬升箱体(5)内设置有开盒机构(15)，所述开盒机构(15)通过固定架(16)与柜体(1)相连接，柜体(1)上开设有出料口(12)，所述柜体(1)的背面沿着Z轴方向可移动的设置有出料夹取机构(13)，所述出料夹取机构(13)位于出料口(12)处，所述出料夹取机构(13)安装在下方的电控箱(14)上，所述柜体(1)上从上往下分别设置有驱动抬升箱体(5)升降移动的第一抬升机构(7)和驱动出料夹取机构(13)升降移动的第二抬升机构(9)。

2.如权利要求1所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述开盒机构(15)包括开盒板(28)，所述开盒板(28)上的正面的中间位置开设有两个弧形的开盒槽(30)，所述开盒槽(30)内设置有开盒圆柱(29)，所述开盒圆柱(29)向上凸出于开盒槽(30)，所述开盒板(28)上的背面的中间位置设置有驱动开盒圆柱(29)转动的开盒动力元件，所述晶圆盒底座(32)的背面中间位置开设有与开盒圆柱(29)相配合的插接槽(34)。

3.如权利要求2所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述开盒板(28)上的正面设置有若干个定位销(31)，所述晶圆盒底座(32)上的背面设置有若干个与定位销(31)相连接的定位孔(33)。

4.如权利要求1所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述晶圆护罩(3)外侧的抬升箱体(5)上设置有压盒机构(4)，所述压盒机构(4)包括压盒框架(25)，所述压盒框架(25)设置在抬升箱体(5)上，所述晶圆护罩(3)设置在压盒框架(25)内，所述压盒框架(25)上的两侧朝向晶圆护罩(3)的一侧均设置有压盒块(26)，所述压盒块(26)外侧的压盒框架(25)上设置有压盒护罩(27)，所述压盒护罩(27)内设置有用于驱动压盒块(26)的压盒动力元件。

5.如权利要求1所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述顶梁(2)和移动底座(11)之间的柜体(1)上沿着Z轴方向设置有丝杆(10)，所述第一抬升机构(7)或第二抬升机构(9)包括电机同步带驱动机构(17)，所述电机同步带驱动机构(17)安装在抬升横板(20)上，所述抬升横板(20)与抬升竖板(19)相连接，所述电机同步带驱动机构(17)的驱动端通过螺母固定块(21)与丝杆螺母(22)驱动连接设置，所述丝杆螺母(22)与丝杆(10)相连接，所述第一抬升机构(7)的抬升竖板(19)通过箱体抬升板(18)与抬升箱体(5)相连接，所述第二抬升机构(9)的抬升竖板(19)通过出料夹取抬升板(24)与电控箱(14)相连接。

6.如权利要求5所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述丝杆(10)一侧的柜体(1)上还沿着Z轴方向设置有导轨(8)，所述抬升竖板(19)通过滑块(23)与导轨(8)相连接。

7.如权利要求1所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述出料夹取机构(13)包括出料夹取动力单元(37)、机械臂(38)和夹爪(40)，所述出料夹取动力单元(37)通过出料夹取底座(36)安装在电控箱(14)上，所述出料夹取动力单元(37)与机械臂(38)驱动连接设置，所述机械臂(38)通过连接轴(39)与夹爪(40)相连接。

8.如权利要求1所述的一种晶圆出料综合控制装置，其特征在于，所述抬升箱体(5)上开设有透明窗(6)。

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