CN217097210U - 一种便于控制精度的硅片表面研磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，包括研磨机构，所述研磨机构的内部固定连接有装夹机构，所述研磨机构的顶部固定连接有除尘机构；所述除尘机构包括除尘箱，所述除尘箱的右侧固定连接有排废管，所述除尘箱的内部固定连接有斜板，所述除尘箱的内部固定连接有第一斜网板，所述第一斜网板的内部固定连接有固定管，所述除尘箱的右侧固定连接有进水管，所述除尘箱的顶部固定连接有呼吸阀，所述除尘箱的顶部固定连接有泵体，所述泵体的进管口固定连接有连接管，所述连接管的顶部固定连接有伸缩套筒，所述伸缩套筒的左侧固定连接有伸缩套管。该便于控制精度的硅片表面研磨装置，具备方便进行除尘等优点。

Description

一种便于控制精度的硅片表面研磨装置

技术领域

本实用新型涉及研磨技术领域，具体为一种便于控制精度的硅片表面研磨装置。

背景技术

研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工，研磨可用于加工各种金属和非金属材料，加工的表面形状有平面，内、外圆柱面和圆锥面，凸、凹球面，螺纹，齿面及其他型面。

目前硅片表面研磨装置应用广泛，一些硅片表面研磨装置多为手工进行研磨，灰尘较大，影响工作人员的健康，不方便进行除尘，故而提出来一种便于控制精度的硅片表面研磨装置来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，具备方便进行除尘等优点，解决了一些硅片表面研磨装置多为手工进行研磨，灰尘较大，影响工作人员的健康，不方便进行除尘的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，包括研磨机构，所述研磨机构的内部固定连接有装夹机构，所述研磨机构的顶部固定连接有除尘机构；

所述除尘机构包括除尘箱，所述除尘箱的右侧固定连接有排废管，所述除尘箱的内部固定连接有斜板，所述除尘箱的内部固定连接有第一斜网板，所述第一斜网板的内部固定连接有固定管，所述除尘箱的右侧固定连接有进水管，所述除尘箱的顶部固定连接有呼吸阀，所述除尘箱的顶部固定连接有泵体，所述泵体的进管口固定连接有连接管，所述连接管的顶部固定连接有伸缩套筒，所述伸缩套筒的左侧固定连接有伸缩套管，所述伸缩套管的伸缩端固定连接有连接杆。

进一步，所述研磨机构包括基座，所述基座的顶部固定连接有箱体，所述箱体的内部活动连接有收集皿。

进一步，所述箱体的右侧固定连接有电动机，所述电动机的输出轴固定连接有丝杆，所述丝杆外壁活动连接有丝块。

进一步，所述箱体的内壁固定连接有固定箱，所述固定箱位于丝块的外壁活动连接，所述丝块的底部固定连接有液压推杆。

进一步，所述液压推杆的伸缩端固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有研磨头，所述电机的外壁和连接杆固定连接，所述液压推杆的外壁和伸缩套管的外壁固定连接。

进一步，所述装夹机构包括第二网板，所述第二网板的顶部固定连接有固定块，所述固定块的内部固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的伸缩端固定连接有第二电动推杆。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该便于控制精度的硅片表面研磨装置，通过除尘机构上的泵体抽取伸缩套管底部的灰尘经过伸缩套筒进入连接管，由连接管内部的灰尘气体经过泵体和固定管进入第一斜网板的底部，由第一斜网板进行过滤，然后通过进水管进入水，对第一斜网板进行清理，方便了进行除尘，避免灰尘对员工造成危害。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1所示A部的局部放大示意图。

图中：1研磨机构、101基座、102箱体、103收集皿、104电动机、105丝杆、106丝块、107固定箱、108液压推杆、109电机、110研磨头、2装夹机构、201第二网板、202固定块、203第一电动推杆、204第二电动推杆、3除尘机构、301除尘箱、302排废管、303斜板、304第一斜网板、305固定管、306进水管、307呼吸阀、308泵体、309连接管、310伸缩套筒、311伸缩套管、312连接杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实施例中的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，包括研磨机构1，研磨机构1的内部固定连接有装夹机构2，研磨机构1的顶部固定连接有除尘机构3；

除尘机构3包括除尘箱301，除尘箱301的右侧固定连接有排废管302，除尘箱301的内部固定连接有斜板303，除尘箱301的内部固定连接有第一斜网板304，第一斜网板304的内部固定连接有固定管305，除尘箱301的右侧固定连接有进水管306，除尘箱301的顶部固定连接有呼吸阀307，除尘箱301的顶部固定连接有泵体308，泵体308的进管口固定连接有连接管309，连接管309的顶部固定连接有伸缩套筒310，伸缩套筒310的左侧固定连接有伸缩套管311，伸缩套筒311延伸至箱体102的内部，伸缩套管311的伸缩端固定连接有连接杆312。

本实施例中，研磨机构1包括基座101，基座101的顶部固定连接有箱体102，箱体102的内部活动连接有收集皿103，研磨机构1方便了对除尘机构3进行支撑，研磨机构1方便了对装夹机构2进行支撑。

本实施例中，箱体102的右侧固定连接有电动机104，电动机104的输出轴固定连接有丝杆105，丝杆105外壁活动连接有丝块106。

本实施例中，箱体102的内壁固定连接有固定箱107，固定箱107位于丝块106的外壁活动连接，丝块106的底部固定连接有液压推杆108，丝块106方便了带动液压推杆108进行左右移动。

本实施例中，液压推杆108的伸缩端固定连接有电机109，电机109的输出轴固定连接有研磨头110，电机109的外壁和连接杆312固定连接，液压推杆108的外壁和伸缩套管311的外壁固定连接，液压推杆108方便了带动电机109进行上下移动。

本实施例中，装夹机构2包括第二网板201，第二网板201的顶部固定连接有固定块202，固定块202的内部固定连接有第一电动推杆203，第一电动推杆203的伸缩端固定连接有第二电动推杆204，第二网板201的外壁和箱体102的内壁固定连接有，带动第二电动推杆204方便了进行装夹硅片。

上述实施例的工作原理为：

通过装夹机构2上的第二电动推杆204对硅片进行装夹，有研磨机构1上的电动机104带动丝杆105上的丝块106在固定箱107的内壁带动液压推杆108进行左右移动，由液压推杆108带动电机109进行上下移动，然后通过电机109带动研磨头110对硅片进行研磨，然后通过液压推杆108带动伸缩套管311和连接管312进行上下移动，由泵体308抽取灰尘经过伸缩套管311和伸缩套筒310进入连接管309，由连接管309内部的灰尘经过泵体308和固定管305进入第一斜网板304的底部，然后通过进水管306进入除尘箱301内部水，对第一斜网板304进行清理，然后气体通过第一斜网板304进行过滤，经过呼吸阀307进行排出，废水和灰尘经过排废管302进行排出，方便了进行清理灰尘，保障了使用者的健康。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，包括研磨机构(1)，其特征在于：所述研磨机构(1)的内部固定连接有装夹机构(2)，所述研磨机构(1)的顶部固定连接有除尘机构(3)；

所述除尘机构(3)包括除尘箱(301)，所述除尘箱(301)的右侧固定连接有排废管(302)，所述除尘箱(301)的内部固定连接有斜板(303)，所述除尘箱(301)的内部固定连接有第一斜网板(304)，所述第一斜网板(304)的内部固定连接有固定管(305)，所述除尘箱(301)的右侧固定连接有进水管(306)，所述除尘箱(301)的顶部固定连接有呼吸阀(307)，所述除尘箱(301)的顶部固定连接有泵体(308)，所述泵体(308)的进管口固定连接有连接管(309)，所述连接管(309)的顶部固定连接有伸缩套筒(310)，所述伸缩套筒(310)的左侧固定连接有伸缩套管(311)，所述伸缩套管(311)的伸缩端固定连接有连接杆(312)。

2.根据权利要求1所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述研磨机构(1)包括基座(101)，所述基座(101)的顶部固定连接有箱体(102)，所述箱体(102)的内部活动连接有收集皿(103)。

3.根据权利要求2所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述箱体(102)的右侧固定连接有电动机(104)，所述电动机(104)的输出轴固定连接有丝杆(105)，所述丝杆(105)外壁活动连接有丝块(106)。

4.根据权利要求3所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述箱体(102)的内壁固定连接有固定箱(107)，所述固定箱(107)位于丝块(106)的外壁活动连接，所述丝块(106)的底部固定连接有液压推杆(108)。

5.根据权利要求4所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述液压推杆(108)的伸缩端固定连接有电机(109)，所述电机(109)的输出轴固定连接有研磨头(110)，所述电机(109)的外壁和连接杆(312)固定连接，所述液压推杆(108)的外壁和伸缩套管(311)的外壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种便于控制精度的硅片表面研磨装置，其特征在于：所述装夹机构(2)包括第二网板(201)，所述第二网板(201)的顶部固定连接有固定块(202)，所述固定块(202)的内部固定连接有第一电动推杆(203)，所述第一电动推杆(203)的伸缩端固定连接有第二电动推杆(204)。

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