CN217084636U - 一种芯片引脚缺陷多角度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种芯片引脚缺陷多角度检测装置，包括：底座、载片台、相机角度调整组件、相机固定座、摄像头、镜头、控制器和计算机，所述载片台和所述相机角度调整组件均设置于所述底座上，所述相机角度调整组件连接所述相机固定座，所述摄像头设置于所述相机固定座上且位于所述载片台上方，所述镜头设置于所述摄像头上，所述计算机、所述控制器、所述相机角度调整组件依次连接，且所述计算机连接所述摄像头。本实用新型提供的芯片引脚缺陷多角度检测装置，通过调整镜头的拍摄角度，实现了对载台上芯片引脚的多角度拍照，进而大大提高了芯片引脚缺陷检测的成功率与准确率，同时，本装置还可对不同种类的芯片引脚进行检测。

Description

一种芯片引脚缺陷多角度检测装置

技术领域

本实用新型涉及芯片缺陷检测设备领域，尤其涉及一种芯片引脚缺陷多角度检测装置。

背景技术

存储芯片作为半导体元器件中不可或缺的组成部分，存储芯片的国产化是未来国家战略的一部分。但在其制造或者应用过程中经常会产生各种各样的缺陷，从而导致设备出现问题。

半导体芯片引脚的缺陷直接影响芯片的性能和寿命。在引脚缺陷检测上，采用机器视觉的方式代替人工肉眼识别，这提高了工业生产线上的生产能力，对于芯片质量的提高和芯片产业的发展有着十分重要的意义。工业生产线上复杂的光照环境以及芯片在载物盘上姿态的不确定性，芯片图像的获取和引脚的定位、检测面临着巨大挑战。

实用新型内容

本实用新型为解决现有的芯片引脚缺陷检测设备在光照环境复杂、芯片在载物盘上姿态的不确定性的情况下，引脚缺陷检测不准确的问题，所采用的技术方案是：一种芯片引脚缺陷多角度检测装置，包括：底座、载片台、相机角度调整组件、相机固定座、摄像头、镜头、控制器和计算机，所述载片台和所述相机角度调整组件均设置于所述底座上，所述相机角度调整组件连接所述相机固定座，所述摄像头设置于所述相机固定座上且位于所述载片台上方，所述镜头设置于所述摄像头上，所述计算机、所述控制器、所述相机角度调整组件依次连接，且所述计算机连接所述摄像头，其中，所述相机角度调整组件用于调整镜头朝向。

进一步改进为，所述相机固定座上设有一调焦组件，所述调焦组件连接所述镜头，且所述控制器连接所述调焦组件。

进一步改进为，所述相机角度调整组件包括：丝杆、螺母电机、固定座和两个升降单元，所述丝杆底端设置于所述底座上，所述固定座通过一可转动螺母套设于所述丝杆上，所述螺母电机用于驱动所述螺母转动，所述升降单元设置于所述固定座上，且所述升降单元下端通过一转轴连接所述相机固定座，其中，两个所述升降单元连接所述控制器。

进一步改进为，所述底座上设有载片台电机，所述载片台可转动地设置于所述底座上，所述载片台电机用于驱动所述载片台转动，且所述载片台电机连接所述控制器。

进一步改进为，所述固定座上设有一转盘，且所述固定座上设有用于驱动所述转盘转动的转盘电机，两个所述升降单元设置于所述转盘上。

进一步改进为，所述相机角度调整组件包括：丝杆、丝杆电机、固定座和四个升降单元，所述丝杆底端可转动地设置于所述底座上，所述丝杆电机用于驱动所述丝杆转动，所述固定座套设于所述丝杆上，且与所述丝杆螺纹配合，四个所述升降单元相互对称设置于所述固定座上，且所述升降单元下端通过球头轴或万向轴连接所述相机固定座，其中，所述升降单元连接所述控制器。

进一步改进为，所述升降单元包括：升降电机、传动杆、齿轮、齿条和齿条座，所述升降电机设置于所述固定座上，所述升降电机、传动杆、齿轮依次连接，所述齿条座设置于所述固定座上，且位于所述固定座下方，所述齿条滑动设置于所述齿条座内，且所述齿条底端连接所述相机固定座，所述齿轮与所述齿条相啮合。

进一步改进为，所述升降单元包括：升降电机、传动杆和升降管，所述升降电机设置于所述固定座上，所述升降电机连接所述传动杆，所述升降管底端连接所述相机固定座，且所述升降管内壁设有螺纹，所述传动杆下端设于所述升降管内且与所述升降管螺纹配合。

进一步改进为，所述镜头与所述载片台之间设有一环形灯，所述环形灯通过支架设置于所述底座上，且所述环形灯与所述控制器相连接。

进一步改进为，所述载片台外周套设有一环形聚光罩，且所述聚光罩顶端高度高于所述载片台高度。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的芯片引脚缺陷多角度检测装置，通过调整镜头的拍摄角度，实现了对载台上芯片引脚的多角度拍照，进而大大提高了芯片引脚缺陷检测的成功率与准确率，同时，本装置还可对不同种类的芯片引脚进行检测。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的芯片引脚缺陷多角度检测装置结构示意图。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

在实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在实用新型中的具体含义。

实施例一

如图1所示，本实用新型提供了一种芯片引脚缺陷多角度检测装置，包括：底座1、载片台2、相机角度调整组件3、相机固定座4、摄像头5、镜头6、控制器7和计算机8，所述载片台2和所述相机角度调整组件3均安装于所述底座1上，所述相机角度调整组件3上安装有所述相机固定座4，所述摄像头5通过螺丝或卡口固定安装于所述相机固定座4上且位于所述载片台2上方，所述镜头6可拆卸式地安装于所述摄像头5上，用于拍摄载片台2上的芯片，所述计算机 8、所述控制器7、所述相机角度调整组件3依次连接，且所述计算机8连接所述摄像头5，用于获取摄像头拍摄的图片，其中，所述相机角度调整组件3用于调整镜头6朝向，进而实现多角度拍摄载片台上的芯片。本实施例中的载片台2可采用黑色背景的圆台。

本实用新型提供的芯片引脚缺陷多角度检测装置，通过调整镜头的拍摄角度，实现了对载台上芯片引脚的多角度拍照，进而大大提高了芯片引脚缺陷检测的成功率与准确率，同时，本装置还可对不同种类的芯片引脚进行检测。

进一步改进为，为了适应不同位置、不同大小等等的芯片拍摄，所述相机固定座4上设有一调焦组件9，所述调焦组件9连接所述镜头6，用以是摄像头获得更加清洗的图片，且所述控制器7连接所述调焦组件9。

进一步改进为，所述调节组件9包括调焦电机91和调焦齿轮组 92。所述调焦电机91通过调焦齿轮组92连接镜头，进而实现调焦。

进一步改进为，所述相机角度调整组件3包括：丝杆31、螺母电机32、固定座33和两个升降单元34，所述丝杆31底端固定安装于所述底座1上，所述固定座33通过一可转动螺母35套设于所述丝杆31上，所述螺母电机32安装于固定座上，且螺母电机32通过齿轮与螺母35连接，用于驱动所述螺母35转动，所述升降单元4设置于所述固定座33上，且所述升降单元34下端通过一转轴连接所述相机固定座4，其中，两个所述升降单元34连接所述控制器7。控制器 7通过控制两个升降单元34升降高度的不同，使得相机固定座4发生偏转，进而实现了镜头拍摄角度的调整。

进一步改进为，所述底座1上设有载片台电机10，所述载片台2 可转动地设置于所述底座1上，所述载片台电机10用于驱动所述载片台2转动，且所述载片台电机10连接所述控制器7。通过这些设备的配合，实现了：调整好镜头拍摄角度后，镜头无需转动，只需要载片台移动；或者镜头拍摄角度与载片台同时转动，实现了拍摄角度的极速调整。

进一步改进为，所述镜头6与所述载片台2之间设有一环形灯 11，所述环形灯11通过支架111设置于所述底座1上，且所述环形灯11与所述控制器7相连接。本实施例中的所述环形灯11采用LED 灯。

进一步改进为，所述载片台2外周套设有一环形聚光罩12，且所述聚光罩12顶端高度高于所述载片台2高度。本实施例中的聚光罩采用毛玻璃，且为了便于反射聚光罩内表面为白色。

进一步改进为，所述底座1下安装有四个支腿13，支腿13可采用螺杆形式，可通过旋转调整高度。

实施例二

为了探索更多的相机拍摄角度调整组件本实施例与实施一的区别在于，所述固定座33上设有一转盘，且所述固定座33上设有用于驱动所述转盘转动的转盘电机，转盘电机可通过齿轮驱动转盘转动，进而带动升降单元转动，两个所述升降单元34设置于所述转盘上，进而实现了摄像头的转动，通过升降单元调整摄像头的角度，而后转盘转动，摄像头转动，实现了多角度拍摄。

实施例三

本实用新型提供了一种芯片引脚缺陷多角度检测装置，包括：底座1、载片台2、相机角度调整组件3、相机固定座4、摄像头5、镜头6、控制器7和计算机8，所述载片台2和所述相机角度调整组件 3均安装于所述底座1上，所述相机角度调整组件3上安装有所述相机固定座4，所述摄像头5通过螺丝或卡口固定安装于所述相机固定座4上且位于所述载片台2上方，所述镜头6可拆卸式地安装于所述摄像头5上，用于拍摄载片台2上的芯片，所述计算机8、所述控制器7、所述相机角度调整组件3依次连接，且所述计算机8连接所述摄像头5，用于获取摄像头拍摄的图片，其中，所述相机角度调整组件3用于调整镜头6朝向，进而实现多角度拍摄载片台上的芯片。本实施例中的载片台2可采用黑色背景的圆台。

本实用新型提供的芯片引脚缺陷多角度检测装置，通过调整镜头的拍摄角度，实现了对载台上芯片引脚的多角度拍照，进而大大提高了芯片引脚缺陷检测的成功率与准确率，同时，本装置还可对不同种类的芯片引脚进行检测。

进一步改进为，为了适应不同位置、不同大小等等的芯片拍摄，所述相机固定座4上设有一调焦组件9，所述调焦组件9连接所述镜头6，用以是摄像头获得更加清洗的图片，且所述控制器7连接所述调焦组件9。

进一步改进为，所述调节组件9包括调焦电机91和调焦齿轮组 92。所述调焦电机91通过调焦齿轮组92连接镜头，进而实现调焦。

进一步改进为，所述相机角度调整组件3包括：丝杆31、螺母电机32、固定座33和两个升降单元34，所述丝杆31底端设置于所述底座1上，所述固定座33通过一可转动螺母35套设于所述丝杆 31上，所述螺母电机32用于驱动所述螺母35转动，所述升降单元4 设置于所述固定座33上，且所述升降单元34下端通过一转轴连接所述相机固定座4，其中，两个所述升降单元34连接所述控制器7。控制器7通过控制两个升降单元34升降高度的不同，使得相机固定座 4发生偏转，进而实现了镜头拍摄角度的调整。

进一步改进为，所述相机角度调整组件3包括：丝杆31、丝杆电机、固定座33和四个升降单元34，所述丝杆31底端可转动地设置于所述底座上，所述丝杆电机用于驱动所述丝杆转动，所述丝杆电机可以固定在固定座上，也可以另外通过其它连接杆固定在底座或其它部位使其不发生转动，所述固定座一端套设于所述丝杆上，且与所述丝杆螺纹配合，另一端可通过连杆固定，使其稳定，不发生转动，固定座为圆形或方形等规则或不规则形状，四个所述升降单元相互对称设置于所述固定座上，四个升降单元的安装位置连线呈正方形，且所述升降单元下端通过球头轴或万向轴连接所述相机固定座，其中，所述升降单元连接所述控制器。通过四个升降单元能够控制摄像头的拍摄角度，实现了摄像头的万向调整。

进一步改进为，所述底座1上设有载片台电机10，所述载片台2 可转动地设置于所述底座1上，所述载片台电机10用于驱动所述载片台2转动，且所述载片台电机10连接所述控制器7。通过这些设备的配合，实现了：调整好镜头拍摄角度后，镜头无需转动，只需要载片台移动；或者镜头拍摄角度与载片台同时转动，实现了拍摄角度的极速调整。

进一步改进为，所述镜头6与所述载片台2之间设有一环形灯 11，所述环形灯11通过支架111设置于所述底座1上，且所述环形灯11与所述控制器7相连接。本实施例中的所述环形灯11采用LED 灯。

进一步改进为，所述载片台2外周套设有一环形聚光罩12，且所述聚光罩12顶端高度高于所述载片台2高度。本实施例中的聚光罩采用毛玻璃，且为了便于反射聚光罩内表面为白色。

进一步改进为，所述底座1下安装有四个支腿13，支腿13可采用螺杆形式，可通过旋转调整高度。

进一步改进为，所述升降单元34包括：升降电机341、传动杆 342、齿轮343、齿条344和齿条座345，所述升降电机341固定安装于所述固定座33上，所述升降电机341、传动杆342、齿轮343依次连接，所述齿条座345设置于所述固定座33上，且位于所述固定座 33下方，所述齿条344滑动设置于所述齿条座345内，且所述齿条 344底端连接所述相机固定座4，所述齿轮343与所述齿条344相啮合。

实施例四

本实施例与实施例三的区别在于，所述升降单元包括：升降电机、传动杆和升降管，所述升降电机设置于所述固定座上，所述升降电机连接所述传动杆，所述升降管底端连接所述相机固定座，且所述升降管内壁设有螺纹，所述传动杆下端设于所述升降管内且与所述升降管螺纹配合。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，包括：底座、载片台、相机角度调整组件、相机固定座、摄像头、镜头、控制器和计算机，所述载片台和所述相机角度调整组件均设置于所述底座上，所述相机角度调整组件连接所述相机固定座，所述摄像头设置于所述相机固定座上且位于所述载片台上方，所述镜头设置于所述摄像头上，所述计算机、所述控制器、所述相机角度调整组件依次连接，且所述计算机连接所述摄像头，其中，所述相机角度调整组件用于调整镜头朝向。

2.根据权利要求1所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述相机固定座上设有一调焦组件，所述调焦组件连接所述镜头，且所述控制器连接所述调焦组件。

3.根据权利要求1所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述相机角度调整组件包括：丝杆、螺母电机、固定座和两个升降单元，所述丝杆底端设置于所述底座上，所述固定座通过一可转动螺母套设于所述丝杆上，所述螺母电机用于驱动所述螺母转动，所述升降单元设置于所述固定座上，且所述升降单元下端通过一转轴连接所述相机固定座，其中，两个所述升降单元连接所述控制器。

4.根据权利要求3所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述底座上设有载片台电机，所述载片台可转动地设置于所述底座上，所述载片台电机用于驱动所述载片台转动，且所述载片台电机连接所述控制器。

5.根据权利要求3所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述固定座上设有一转盘，且所述固定座上设有用于驱动所述转盘转动的转盘电机，两个所述升降单元设置于所述转盘上。

6.根据权利要求1所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述相机角度调整组件包括：丝杆、丝杆电机、固定座和四个升降单元，所述丝杆底端可转动地设置于所述底座上，所述丝杆电机用于驱动所述丝杆转动，所述固定座套设于所述丝杆上，且与所述丝杆螺纹配合，四个所述升降单元相互对称设置于所述固定座上，且所述升降单元下端通过球头轴或万向轴连接所述相机固定座，其中，所述升降单元连接所述控制器。

7.根据权利要求3或6所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述升降单元包括：升降电机、传动杆、齿轮、齿条和齿条座，所述升降电机设置于所述固定座上，所述升降电机、传动杆、齿轮依次连接，所述齿条座设置于所述固定座上，且位于所述固定座下方，所述齿条滑动设置于所述齿条座内，且所述齿条底端连接所述相机固定座，所述齿轮与所述齿条相啮合。

8.根据权利要求3或6所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述升降单元包括：升降电机、传动杆和升降管，所述升降电机设置于所述固定座上，所述升降电机连接所述传动杆，所述升降管底端连接所述相机固定座，且所述升降管内壁设有螺纹，所述传动杆下端设于所述升降管内且与所述升降管螺纹配合。

9.根据权利要求1所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述镜头与所述载片台之间设有一环形灯，所述环形灯通过支架设置于所述底座上，且所述环形灯与所述控制器相连接。

10.根据权利要求9所述的芯片引脚缺陷多角度检测装置，其特征在于，所述载片台外周套设有一环形聚光罩，且所述聚光罩顶端高度高于所述载片台高度。

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