CN217072331U - 一种半导体扩散炉花篮存储支架 - Google Patents
一种半导体扩散炉花篮存储支架 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮存储支架，解决原厂组件只能对寸晶圆进行存储，而无法对寸晶圆进行存储的问题；包括支架本体，固定槽部和花篮支架；支架本体上设置有固定槽部用于固定第一花篮和第二花篮；第一花篮为6寸花篮；第二花篮为8寸花篮；花篮支架包括前花篮支架，第一后花篮支架和第二后花篮支架5；前花篮支架3第一后花篮支架和第二后花篮支架5均对称设置有两个，分别设置在固定槽部的两侧边缘，用于固定花篮；本实用新型的有益效果：存储架本体采用TFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，前后支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE材质,以防止花篮与金属支架直接接触，损伤组件。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及半导体扩散炉技术领域，尤其涉及一种半导体扩散炉花篮存储支架。
背景技术
随着科学技术的飞速发展，客户要求对产品的多元化，在扩散炉中客户也需要一台机器可以生产多种晶圆(wafer)，花篮(cassette) 存储，在自动化生产中起到平衡的作用，必不可少，但是原厂组件存在无法满足同时可以对6寸晶圆与8寸晶圆进行存储的功能的缺陷，所以必须重新设计。
实用新型内容
针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮存储支架，解决原厂组件只能对8寸晶圆进行存储，而无法对6寸晶圆进行存储的问题。
本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮存储支架，包括支架本体 1，固定槽部2和花篮支架；
所述支架本体1上设置有固定槽部2用于固定第一花篮6和第二花篮7；所述第一花篮6为6寸花篮；所述第二花篮7为8寸花篮；
花篮支架包括前花篮支架3，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5；所述前花篮支架3，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5均对称设置有两个，分别设置在固定槽部2的两侧边缘，用于固定花篮；第一后花篮支架4与前花篮支架3配合固定第一花篮6；第二后花篮支架5与前花篮支架3配合固定第二花篮7；
所述前花篮支架3与支架本体1之间还设置有传感器支架，用于固定传感器，传感器用于检测固定槽部2上是否有花篮。
优选的，所述固定槽部2为U型。
优选的，所述花篮支架3包括左前支架31和右前支架32；所述左前支架31与右前支架32分别固定在固定槽部2开口端部的两端。
优选的，所述传感器支架固定在所述右前支架32与支架本体1 之间。
优选的，所述支架本体1外表面喷涂设置有PTFE材质。
优选的，所述花篮支架3为铝材质。
优选的，所述固定槽部2与设置在固定槽部2两侧边缘的前花篮支架3，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5均设置有三组。
本实用新型的有益效果：存储架本体采用PTFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，前后支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE材质,以防止花篮与金属支架直接接触，损伤组件。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为支架本体结构示意图；
图中，
1、支架本体；2、固定槽部；3、前花篮支架，31、左前支架，32、右前支架；4、第一后花篮支架；5、第二后花篮支架；6、第一花篮； 7、第二花篮。
具体实施方式
下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。
本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮存储支架，包括支架本体 1，固定槽部2和花篮支架；
所述支架本体1上设置有固定槽部2用于固定第一花篮6和第二花篮7；所述第一花篮6为6寸花篮；所述第二花篮7为8寸花篮；
花篮支架包括前花篮支架3，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5；所述前花篮支架3，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5均对称设置有两个，分别设置在固定槽部2的两侧边缘，用于固定花篮；第一后花篮支架4与前花篮支架3配合固定第一花篮6；第二后花篮支架5与前花篮支架3配合固定第二花篮7；
所述前花篮支架3与支架本体1之间还设置有传感器支架，用于固定传感器，传感器用于检测固定槽部2上是否有花篮。
本花篮存储支架是在设备自动运行中起到存储花篮的作用，弥补由于生产中的花篮补充不及时的情况。
花篮被机械手臂抓起后，放在支架本体1上，需要准确的定位。原8寸花篮是利用外形218mm*126mm定位，通过第二后花篮支架5与前花篮支架3配合定位；6寸花篮也是通过第一后花篮支架4与前花篮支架3配合定位。
本实施例中优选的，所述固定槽部2为U型。
设置上述结构，与花篮外部形状配合。
本实施例中优选的，所述花篮支架3包括左前支架31和右前支架32；所述左前支架31与右前支架32分别固定在固定槽部2开口端部的两端。
本实施例中优选的，所述传感器支架固定在所述右前支架32与支架本体1之间。
设置上述结构，右前支架32与支架本体1之间有一垂直设置的传动杆，当固定槽部2上设有花篮时，花篮压动传动杆，传动杆触发感应器感应到花篮。
本实施例中优选的，所述支架本体1外表面喷涂设置有PTFE材质。
设置上述结构，以防花篮与金属支架直接接触。
本实施例中优选的，所述花篮支架3为铝材质。
设置上述结构，铝为高强度材质，高温不易变形，硬度高，清洁度高。
本实施例中优选的，所述固定槽部2与设置在固定槽部2两侧边缘的前花篮支架3，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5均设置有三组。
如图2所示，为图1中的支架本体1结构示意图。由图1可知，支架本体1最右侧的固定槽部2设置的为8寸花篮，故而图中并未画出固定6寸花篮需要用到的第一后花篮支架4。实际工作中，第一后花篮支架4和第二后花篮支架5可以根据实际情况进行相应安装或拆卸。
需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
以上所述的本实用新型实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。
Claims (7)
1.一种半导体扩散炉花篮存储支架，包括支架本体(1)，固定槽部(2)和花篮支架；
其特征在于，
所述支架本体(1)上设置有固定槽部(2)用于固定第一花篮(6)和第二花篮(7)；所述第一花篮(6)为6寸花篮；所述第二花篮(7)为8寸花篮；
花篮支架包括前花篮支架(3)，第一后花篮支架(4)和第二后花篮支架(5)；所述前花篮支架(3)，第一后花篮支架(4)和第二后花篮支架(5)均对称设置有两个，分别设置在固定槽部(2)的两侧边缘，用于固定花篮；第一后花篮支架(4)与前花篮支架(3)配合固定第一花篮(6)；第二后花篮支架(5)与前花篮支架(3)配合固定第二花篮(7)；
所述前花篮支架(3)与支架本体(1)之间还设置有传感器支架，用于固定传感器，传感器用于检测固定槽部(2)上是否有花篮。
2.根据权利要求1所述的半导体扩散炉花篮存储支架，其特征在于：所述固定槽部(2)为U型。
3.根据权利要求2所述的半导体扩散炉花篮存储支架，其特征在于：所述花篮支架(3)包括左前支架(31)和右前支架(32)；所述左前支架(31)与右前支架(32)分别固定在固定槽部(2)开口端部的两端。
4.根据权利要求3所述的半导体扩散炉花篮存储支架，其特征在于：所述传感器支架固定在所述右前支架(32)与支架本体(1)之间。
5.根据权利要求4所述的半导体扩散炉花篮存储支架，其特征在于：所述支架本体(1)外表面喷涂设置有PTFE材质。
6.根据权利要求5所述的半导体扩散炉花篮存储支架，其特征在于：所述花篮支架(3)为铝材质。
7.根据权利要求6所述的半导体扩散炉花篮存储支架，其特征在于：所述固定槽部(2)与设置在固定槽部(2)两侧边缘的前花篮支架(3)，第一后花篮支架(4)和第二后花篮支架(5)均设置有三组。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202123012423.XU CN217072331U (zh) | 2021-12-02 | 2021-12-02 | 一种半导体扩散炉花篮存储支架 |
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|---|---|
| CN217072331U true CN217072331U (zh) | 2022-07-29 |
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ID=82537901
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
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2021
- 2021-12-02 CN CN202123012423.XU patent/CN217072331U/zh active Active
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