CN216986344U - 一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，涉及氯硅烷回收技术领域，本实用新型包括氯化氢解析塔，氯化氢解析塔塔顶出气口通过管道固定连接有回收罐，氯化氢解析塔的底部出气口通过管道固定连接有冷凝器，冷凝器的出气口通过管道固定连接有氯硅烷中间罐，氯硅烷中间罐的出气口通过管道固定连接有输送泵，输送泵的输出端通过管道固定连接有精馏罐区，输送泵输出端与精馏罐区之间管道的外侧壁固定安装有减压阀。本实用新型为一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，当精馏罐区出现异常时，氯硅烷中间罐能够存储氯硅烷，从而降低了风险，而且还保证了多晶硅生产装置的连续运转，提高了产量。
Description
技术领域
本实用新型涉及氯硅烷回收技术领域，特别涉及一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统。
背景技术
在以冷氢化生产工艺制备多晶硅的行业中，特别是在多晶硅还原过程中，从SiHCl3中还原出来的Si，大部分会沉积在炽热的硅棒表面生成晶体硅棒，但仍会有少量的Si会进气相形成微硅粉，随着还原反应中的尾气进入后续尾气回收系统，实际生产中，由于硅粉下料过程非常频繁，间隔时间短，所以硅粉收集罐每次泄压时会有大量的还原尾气进入到淋洗系统。而还原尾气不仅含有粉尘、H2和HCl外，还含有大量的氯硅烷组份，如二氯、三氯和四氯硅烷等，且尾气回收装置只能将还原尾气中的氯硅烷冷凝成氯硅烷混合液体，不能将其中的二氯、三氯、四氯硅烷分离，所以要将回收硅烷送至回收精馏去进行混合硅烷液体组分进行分离。
目前市场上对氯硅烷回收的方法为：通过氯硅烷输送泵直接送至精馏罐区，再通过回收硅烷储罐送至回收精馏塔，但是当精馏罐区出现异常时，回收硅烷就没有其他输送的途径，轻则降量生产，严重时就必须全厂停车；而且精馏罐区压力低(3公斤)，现有的泵出口压力为0.76MPa，回收精馏塔工作压力为0.6MPa，无法直接送至回收精馏塔。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，可以有效解决背景技术中但是当精馏罐区出现异常时，回收硅烷就没有其他输送的途径，轻则降量生产，严重时就必须全厂停车；而且精馏罐区压力低，现有的泵出口压力为0.76MPa，回收精馏塔工作压力为0.6MPa，无法直接送至回收精馏塔的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，包括氯化氢解析塔，所述氯化氢解析塔塔顶出气口通过管道固定连接有回收罐，所述氯化氢解析塔的底部出气口通过管道固定连接有冷凝器，所述冷凝器的出气口通过管道固定连接有氯硅烷中间罐，所述氯硅烷中间罐的出气口通过管道固定连接有输送泵，所述输送泵的输出端通过管道固定连接有精馏罐区，所述输送泵输出端与精馏罐区之间管道的外侧壁固定安装有减压阀；
所述氯硅烷中间罐包括罐体、与罐体相连通的进料管、固定连接在进料管的外侧壁的输送管、与罐体内部相连通的排放管、固定连接在罐体内侧壁的滑杆、以及通过连接机构与滑杆相连接的密封块。
优选地，所述连接机构包括开设在密封块顶部的滑槽、开设在滑槽内侧壁的密封槽、以及固定安装在密封槽内部的密封圈，所述密封槽的数量有若干组，每组所述密封槽的内部对应安装有一组密封圈。
优选地，所述滑杆与滑槽的的数量有两组，且关于密封块的中心处对称设置，每组所述滑槽的内部设置有一组滑杆，且滑槽的内径尺寸与滑杆的外径尺寸相等。
优选地，所述密封块为橡胶塞，且密封块的外径尺寸与罐体的内径尺寸相等。
优选地，所述进料管的另一端与冷凝器的出气口相连通，所述进料管的外侧壁固定安装有第一电控阀，所述第一电控阀位于罐体与输送管之间。
优选地，所述输送管的另一端与输送泵的进气口通过管道连接，且外侧壁固定安装有第二电控阀。
优选地，所述排放管的内侧壁底部与罐体内侧壁相平齐，且排放管的直径小于密封块的厚度。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型中，通过将吸收了氯化氢的氯硅烷送至氯化氢解析塔，在氯化氢解析塔中将轻组分氯化氢解析出来并输送到回收罐中回收利用，此时不含氯化氢的硅烷经过冷凝器降温后送至氯硅烷中间罐，再经输送泵以及减压阀将其送至精馏罐区，当精馏罐区出现异常时，此时将第二电控阀关闭、第一电控阀打开，从而使得冷凝氯硅烷进入到氯硅烷中间罐中，此时罐体的内部通过密封块隔开，防止罐体内部的气体污染氯硅烷，并且推动密封块下移，从而将罐体内部的气体从排放管排出，当密封块到底时，密封块能够将排放管堵住，防止氯硅烷泄漏。
附图说明
图1为本实用新型一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统流程结构示意图；
图2为本实用新型一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统氯硅烷中间罐结构示意图；
图3为本实用新型一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统氯硅烷中间罐内部结构示意图；
图4为本实用新型一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统密封块与滑杆拆分结构示意图；
图5为本实用新型一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统密封块俯视结构示意图。
图中：1、氯化氢解析塔；2、回收罐；3、冷凝器；4、氯硅烷中间罐；41、进料管；42、第一电控阀；43、输送管；44、第二电控阀；45、排放管；46、滑杆；47、密封块；48、滑槽；49、密封槽；5、输送泵；6、减压阀；7、精馏罐区。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参照图1—5所示，本实用新型为一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，包括氯化氢解析塔1，氯化氢解析塔1塔顶出气口通过管道固定连接有回收罐2，氯化氢解析塔1的底部出气口通过管道固定连接有冷凝器3，冷凝器3的出气口通过管道固定连接有氯硅烷中间罐4，氯硅烷中间罐4的出气口通过管道固定连接有输送泵5，输送泵5的输出端通过管道固定连接有精馏罐区7，输送泵5输出端与精馏罐区7之间管道的外侧壁固定安装有减压阀6；
氯硅烷中间罐4包括罐体、与罐体相连通的进料管41、固定连接在进料管41的外侧壁的输送管43、与罐体内部相连通的排放管45、固定连接在罐体内侧壁的滑杆46、以及通过连接机构与滑杆46相连接的密封块47，当精馏罐区7出现异常时，氯硅烷中间罐4能够存储氯硅烷，从而降低了风险，而且还保证了多晶硅生产装置的连续运转，提高了产量。
连接机构包括开设在密封块47顶部的滑槽48、开设在滑槽48内侧壁的密封槽49、以及固定安装在密封槽49内部的密封圈，密封槽49的数量有若干组，每组密封槽49的内部对应安装有一组密封圈，通过设置的密封圈与密封槽49的配合，防止密封块47在移动时，氯硅烷泄漏。
滑杆46与滑槽的48的数量有两组，且关于密封块47的中心处对称设置，每组滑槽48的内部设置有一组滑杆46，且滑槽48的内径尺寸与滑杆46的外径尺寸相等，通过滑杆46与滑槽48的配合，使得密封块47移动的更加平稳。
密封块47为橡胶塞，且密封块47的外径尺寸与罐体的内径尺寸相等，保证密封块47与罐体之间的密封性。
进料管41的另一端与冷凝器3的出气口相连通，进料管41的外侧壁固定安装有第一电控阀42，第一电控阀42位于罐体与输送管43之间。
输送管43的另一端与输送泵5的进气口通过管道连接，且外侧壁固定安装有第二电控阀44。
排放管45的内侧壁底部与罐体内侧壁相平齐，且排放管45的直径小于密封块47的厚度，当密封块47到底时，密封块47能够将排放管45堵住，防止氯硅烷泄漏。
本实用新型的工作原理为：通过将吸收了氯化氢的氯硅烷送至氯化氢解析塔1，在氯化氢解析塔1中将轻组分氯化氢解析出来并输送到回收罐2中回收利用，此时不含氯化氢的硅烷经过冷凝器3降温后送至氯硅烷中间罐4，再经输送泵5以及减压阀6将其送至精馏罐区7，当精馏罐区7出现异常时，此时将第二电控阀44关闭、第一电控阀42打开，从而使得冷凝氯硅烷进入到氯硅烷中间罐4中，此时罐体的内部通过密封块47隔开，防止罐体内部的气体污染氯硅烷，并且推动密封块47下移，从而将罐体内部的气体从排放管45排出，当密封块47到底时，密封块47能够将排放管45堵住，防止氯硅烷泄漏。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：包括氯化氢解析塔(1)，所述氯化氢解析塔(1)塔顶出气口通过管道固定连接有回收罐(2)，所述氯化氢解析塔(1)的底部出气口通过管道固定连接有冷凝器(3)，所述冷凝器(3)的出气口通过管道固定连接有氯硅烷中间罐(4)，所述氯硅烷中间罐(4)的出气口通过管道固定连接有输送泵(5)，所述输送泵(5)的输出端通过管道固定连接有精馏罐区(7)，所述输送泵(5)输出端与精馏罐区(7)之间管道的外侧壁固定安装有减压阀(6)；
所述氯硅烷中间罐(4)包括罐体、与罐体相连通的进料管(41)、固定连接在进料管(41)的外侧壁的输送管(43)、与罐体内部相连通的排放管(45)、固定连接在罐体内侧壁的滑杆(46)、以及通过连接机构与滑杆(46)相连接的密封块(47)。
2.根据权利要求1所述的一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：所述连接机构包括开设在密封块(47)顶部的滑槽(48)、开设在滑槽(48)内侧壁的密封槽(49)、以及固定安装在密封槽(49)内部的密封圈，所述密封槽(49)的数量有若干组，每组所述密封槽(49)的内部对应安装有一组密封圈。
3.根据权利要求2所述的一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：所述滑杆(46)与滑槽的(48)的数量有两组，且关于密封块(47)的中心处对称设置，每组所述滑槽(48)的内部设置有一组滑杆(46)，且滑槽(48)的内径尺寸与滑杆(46)的外径尺寸相等。
4.根据权利要求3所述的一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：所述密封块(47)为橡胶塞，且密封块(47)的外径尺寸与罐体的内径尺寸相等。
5.根据权利要求4所述的一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：所述进料管(41)的另一端与冷凝器(3)的出气口相连通，所述进料管(41)的外侧壁固定安装有第一电控阀(42)，所述第一电控阀(42)位于罐体与输送管(43)之间。
6.根据权利要求5所述的一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：所述输送管(43)的另一端与输送泵(5)的进气口通过管道连接，且外侧壁固定安装有第二电控阀(44)。
7.根据权利要求6所述的一种提高冷凝氯硅烷回收效率的系统，其特征在于：所述排放管(45)的内侧壁底部与罐体内侧壁相平齐，且排放管(45)的直径小于密封块(47)的厚度。
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