CN216919398U - 一种梯度沉积炉的辅助进气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种梯度沉积炉的辅助进气装置，涉及梯度沉积炉的辅助进气装置的技术领域，本实用新型旨在解决辅助进气的问题，本实用新型包括沉积炉，所述挡板的外壁开有第一通孔，所述沉积炉的底端装配有辅助进气装置，所述辅助进气装置包括装配于沉积炉外壁的颈筒、挡盖、压缩弹簧和锥形杆。该梯度沉积炉的辅助进气装置，通过在沉积炉的底端进行安装辅助进气装置，有效的起到对输送到沉积炉内的气体进行辅助进气，而且其内部设置的挡盖配合密封垫，和锥形杆一端直径大于颈筒的直径，可以起到在不使用辅助进气装置时，保证辅助进气装置的严密与密封性，通过在沉积炉的内侧壁进行安装挡板，可以起到对辅助进气装置进行保护。

Description

一种梯度沉积炉的辅助进气装置

技术领域

本实用新型涉及梯度沉积炉的辅助进气装置的技术领域，具体是一种梯度沉积炉的辅助进气装置。

背景技术

沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分，为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体，现有沉积炉在使用的时候，无法满足对进气进行辅助，导致进气输入量不方便进行控制，而且其上安装的辅助进气装置密封性不佳，进而降低辅助进气装置的使用效率，也影响沉积炉的使用效果。

发明内容

为解决上述问题，即解决上述背景技术提出的问题，本实用新型提出了一种梯度沉积炉的辅助进气装置，包括沉积炉，所述沉积炉的内侧壁装配有挡板，所述挡板的外壁开有第一通孔，所述沉积炉的底端装配有辅助进气装置，所述辅助进气装置包括装配于沉积炉外壁的颈筒、挡盖、压缩弹簧和锥形杆，所述锥形杆位于颈筒的内腔上下移动，且锥形杆通过压缩弹簧与颈筒相连，所述锥形杆的上方固接于挡盖，所述挡盖通过橡胶垫与颈筒紧密贴合。

优选的，所述锥形杆的上方直径大于颈筒的内直径。

优选的，所述颈筒的下方螺纹连接有冒盖，所述冒盖的底端固接于连管，且冒盖的内侧壁底端开有第二通孔。

优选的，所述冒盖的外侧壁开有卡槽，所述卡槽的内部卡接有搬杆。

本实用新型的有益技术效果为：该梯度沉积炉的辅助进气装置，通过在沉积炉的底端进行安装辅助进气装置，有效的起到对输送到沉积炉内的气体进行辅助进气，而且其内部设置的挡盖配合密封垫，和锥形杆一端直径大于颈筒的直径，可以起到在不使用辅助进气装置时，保证辅助进气装置的严密与密封性，通过在沉积炉的内侧壁进行安装挡板，可以起到对辅助进气装置进行保护，且辅助进气装置下方设置的冒盖，可以起到方便使连管与辅助进气装置进行连接，加大辅助进气装置的使用效率与沉积炉的使用效果。

附图说明

图1示出了梯度沉积炉的辅助进气装置的结构示意图。

图2示出了图1中辅助进气装置结构示意图。

附图标记1、沉积炉，2、辅助进气装置，21、颈筒，22、挡盖，23、橡胶垫，24、压缩弹簧，25、锥形杆，3、挡板，4、第一通孔，5、冒盖，6、第二通孔，7、连管，8、卡槽，9、搬杆。

具体实施方式

下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理，并非旨在限制本实用新型的保护范围。

请参阅图1和图2所示，本实用新型提出了一种梯度沉积炉的辅助进气装置，包括沉积炉1，沉积炉1的内侧壁装配有挡板3，挡板3的外壁开有第一通孔4，沉积炉1的底端装配有辅助进气装置2，辅助进气装置2包括装配于沉积炉1外壁的颈筒21、挡盖22、压缩弹簧24和锥形杆25，锥形杆25位于颈筒 21的内腔上下移动，且锥形杆25通过压缩弹簧24与颈筒21相连，锥形杆25 的上方固接于挡盖22，挡盖22通过橡胶垫23与颈筒21紧密贴合，锥形杆25的上方直径大于颈筒21的内直径；

颈筒21的下方螺纹连接有冒盖5，冒盖5的底端固接于连管7，且冒盖5 的内侧壁底端开有第二通孔6，冒盖5的外侧壁开有卡槽8，卡槽8的内部卡接有搬杆9。

工作原理：在使用沉积炉1上辅助进气装置时，且沉积炉1的内部底端装配有挡板3，可以对辅助进气装置2进行移动的保护，在对沉积炉1进行进气辅助时，首先将冒盖5螺纹连接在颈筒21上，并且向上顶动锥形杆25，颈筒21 内部的锥形杆25向上移动，使其上连接的压缩弹簧24进行拉伸，方便进行进气辅助；在不使用辅助进气装置时，将搬杆9插入冒盖5的卡槽8内部，将冒盖5从颈筒21上拆卸下来，然后通过压缩弹簧24的弹力，将锥形杆25拉回颈筒21的内部，配合挡盖22和其上安装的橡胶垫23，有效的增加辅助进气装置的密封效果。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

在本实用新型的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

术语“包括”或者任何其它类似用语旨在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者设备/装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者还包括这些过程、物品或者设备/装置所固有的要素。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种梯度沉积炉的辅助进气装置，包括沉积炉(1)，其特征在于：所述沉积炉(1)的内侧壁装配有挡板(3)，所述挡板(3)的外壁开有第一通孔(4)，所述沉积炉(1)的底端装配有辅助进气装置(2)；

所述辅助进气装置(2)包括装配于沉积炉(1)外壁的颈筒(21)、挡盖(22)、压缩弹簧(24)和锥形杆(25)，所述锥形杆(25)位于颈筒(21)的内腔上下移动，且锥形杆(25)通过压缩弹簧(24)与颈筒(21)相连，所述锥形杆(25)的上方固接于挡盖(22)，所述挡盖(22)通过橡胶垫(23)与颈筒(21)紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种梯度沉积炉的辅助进气装置，其特征在于：所述锥形杆(25)的上方直径大于颈筒(21)的内直径。

3.根据权利要求1所述的一种梯度沉积炉的辅助进气装置，其特征在于：所述颈筒(21)的下方螺纹连接有冒盖(5)，所述冒盖(5)的底端固接于连管(7)，且冒盖(5)的内侧壁底端开有第二通孔(6)。

4.根据权利要求3所述的一种梯度沉积炉的辅助进气装置，其特征在于：所述冒盖(5)的外侧壁开有卡槽(8)，所述卡槽(8)的内部卡接有搬杆(9)。

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