CN210979315U - 一种大型mo源曲面钢瓶 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了大型MO源曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，且进气管的出口与弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域；本实用新型通过采用弧形曲面钢瓶底部的结构设计，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果；而且本实用新型结构简单，便于加工成型，非常适合应用于MO源封装空间体积大于10000mL的MO源钢瓶中。

Description

一种大型MO源曲面钢瓶

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种大型MO源曲面钢瓶，非常适合应用于具有MO源封装空间体积大于10000mL的MO源钢瓶中。

背景技术

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。

如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源供给饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。

因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种大型MO源曲面钢瓶，通过采用弧形曲面钢瓶底部的结构设计，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果；而且本实用新型结构简单，便于加工成型，非常适合应用于具有MO源封装空间体积大于10000mL的MO源钢瓶中。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种大型MO源曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，所述钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，所述弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，且所述进气管的出口与所述弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在所述弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域；所述MO源封装空间的体积大于10000mL。

优选地，所述MO源封装空间的体积为17000mL或20000mL。

优选地，所述钢瓶底座外径与所述钢瓶本体外径之间的差值不大于10mm，使得所述MO源曲面钢瓶整体呈圆柱状。

优选地，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段包括位于上方的第一竖直部和位于下方的第二竖直部，所述第一竖直部与所述第二竖直部之间通过弯折部一体连接，且所述第二竖直部的出口位于所述弧形曲面钢瓶底部的中心轴线上且与所述弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在所述弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域。

优选地，所述第二竖直部长度是第一竖直部长度的1.5-3.5倍。

优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述弧形曲面钢瓶底部的中心轴线重合。

优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。

优选地，所述钢瓶本体上端部固定设有位于所述进气阀和出气阀外周的圆弧把手。

本实用新型首先提出采用弧形曲面钢瓶底部的结构设计，使得进气管的出口与弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域，该高效鼓泡对流区域可以有效避免MO源在钢瓶本体的MO源封装空间内发生晶型尺寸、堆积度和物料高度等问题，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果；同时本实用新型还提出了与弧形曲面钢瓶底部形状对应配合的钢瓶底座结构设计，其与弧形曲面钢瓶底部固定焊接后作为钢瓶本体的整体支撑结构，满足定位存放需求，因而本实用新型非常适合应用于MO源封装空间体积大于10000mL的MO源钢瓶中。

附图说明

附图1是本实用新型具体实施方式下大型MO源曲面钢瓶100的结构示意图；

附图2是图1的俯视图；

附图3是本实用新型具体实施方式下大型MO源曲面钢瓶100’的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种大型MO源曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，且进气管的出口与弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域；MO源封装空间的体积大于10000mL。

本实用新型实施例首先提出采用弧形曲面钢瓶底部的结构设计，使得进气管的出口与弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域，该高效鼓泡对流区域可以有效避免MO源在钢瓶本体的MO源封装空间内发生晶型尺寸、堆积度和物料高度等问题，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果；同时本实用新型实施例还提出了与弧形曲面钢瓶底部形状对应配合的钢瓶底座结构设计，其与弧形曲面钢瓶底部固定焊接后作为钢瓶本体的整体支撑结构，满足定位存放需求，因而本实用新型实施例非常适合应用于MO源封装空间体积大于10000mL的MO源钢瓶中。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

实施例1：请参见图1和图2所示的一种大型MO源曲面钢瓶100，包括设有MO源封装空间110的钢瓶本体120，MO源封装空间110的体积大于10000mL；具体优选地，在本实施方式中，MO源封装空间110的体积为20000mL；

在本实施方式中，钢瓶本体120上端部分别设有与MO源封装空间110连通的进气管130和出气管140，同时进气管130和出气管140上分别安装有进气阀150a和出气阀150b，其中，钢瓶本体120底部采用弧形曲面钢瓶底部200，弧形曲面钢瓶底部200固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座160上；

优选地，在本实施方式中，钢瓶底座外径D10与钢瓶本体外径D20之间的差值不大于10mm，使得MO源曲面钢瓶100整体呈圆柱状；具体优选地，在本实施方式中，钢瓶底座外径D10为234.8mm，钢瓶本体外径D20为236.5mm，使得MO源曲面钢瓶整体100呈圆柱状；

优选地，在本实施方式中，进气管130包括固定密封连接为一体且位于MO源封装空间110外部的外进气管段131以及位于MO源封装空间110内部的内进气管段132，其中，内进气管段132包括位于上方的第一竖直部132a和位于下方的第二竖直部132c，第一竖直部132a与第二竖直部132c之间通过弯折部132b一体连接，且第二竖直部132c的出口133位于弧形曲面钢瓶底部200的中心轴线上且与弧形曲面钢瓶底部200中心对应配合，用于在弧形曲面钢瓶底部200形成高效鼓泡对流区域300；优选地，在本实施方式中，第二竖直部长度L20是第一竖直部长度L10的1.5-3.5倍，使得弯折部132b整体位于MO源封装空间110高度中心线的上方；

优选地，在本实施方式中，位于外进气管段131和出气管140之间的钢瓶本体120上端部还设有压力传感器接头170，用于检测MO源封装空间110内的MO源流量压力；同时压力传感器接头170的中心轴线与弧形曲面钢瓶底部200的中心轴线重合，尽可能确保对于MO源流量压力的检测灵敏度；

优选地，在本实施方式中，进气阀150a中心轴线和出气阀150b中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且外进气管段131和出气管140均呈竖直状；钢瓶本体120上端部固定设有位于进气阀150a和出气阀150b外周的圆弧把手180，便于快速搬动位移。

本实施例在进行实施应用时，将大型MO源曲面钢瓶100放置在恒温水浴槽中，然后开启进气阀150a和出气阀150b，通过进气管130向MO源封装空间110内输入惰性气体，与MO源封装空间110内的MO源发生鼓泡效应，进而使得MO源蒸发，通过出气管140向对应工序输送MO源饱和蒸汽和惰性气体的混合体，通过压力传感器接头170可即时判断大型MO源曲面钢瓶100内的MO源流量压力变化；本实施例的MO源蒸汽在MO源封装空间110内可以实现良好鼓泡对流，避免MO源堆积，可以有效提高MO源的流量饱和度。

实施例2：本实施例2的其余技术方案与实施例1相同，区别仅在于，本实施例2提出了一种大型MO源曲面钢瓶100’,MO源封装空间110’的体积为17000mL,同时MO源曲面钢瓶100’的高度根据MO源封装空间110’体积变化而进行了适应性调整。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种大型MO源曲面钢瓶，其特征在于，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，所述钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，所述弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，且所述进气管的出口与所述弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在所述弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域；所述MO源封装空间的体积大于10000mL；所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段包括位于上方的第一竖直部和位于下方的第二竖直部，所述第一竖直部与所述第二竖直部之间通过弯折部一体连接，且所述第二竖直部的出口位于所述弧形曲面钢瓶底部的中心轴线上且与所述弧形曲面钢瓶底部中心对应配合，用于在所述弧形曲面钢瓶底部形成高效鼓泡对流区域；所述第二竖直部长度是第一竖直部长度的1.5-3.5倍；所述MO源封装空间的体积为17000mL或20000mL。

2.如权利要求1所述的大型MO源曲面钢瓶，其特征在于，所述钢瓶底座外径与所述钢瓶本体外径之间的差值不大于10mm，使得所述MO源曲面钢瓶整体呈圆柱状。

3.如权利要求1所述的大型MO源曲面钢瓶，其特征在于，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述弧形曲面钢瓶底部的中心轴线重合。

4.如权利要求1所述的大型MO源曲面钢瓶，其特征在于，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。

5.如权利要求1所述的大型MO源曲面钢瓶，其特征在于，所述钢瓶本体上端部固定设有位于所述进气阀和出气阀外周的圆弧把手。

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