CN210398365U - 一种具有稳定流量饱和度的mo源双曲面钢瓶 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体包括呈对称分布的弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底，弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底通过中部圆筒钢瓶一体成型连接；弧型钢瓶盖上分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀；弧型钢瓶底固定焊接在钢瓶支撑架上，且进气管的出口与弧型钢瓶底中心部对应配合，用于在MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域；本实用新型通过改变MO源封装空间形状，有效提高了MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果，尤其适合应用在具有较大体积MO源封装空间的MO源钢瓶中。

Description

一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶。

背景技术

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。

如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源流量饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。

因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，通过改变MO源封装空间形状，有效提高了MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果，尤其适合应用在具有较大体积MO源封装空间的MO源钢瓶中。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体包括呈对称分布的弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底，所述弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底通过中部圆筒钢瓶一体成型连接；所述弧型钢瓶盖上分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀；所述弧型钢瓶底固定焊接在钢瓶支撑架上，且所述进气管的出口与所述弧型钢瓶底中心部对应配合，用于在所述MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域。

优选地，所述MO源封装空间的体积为4000mL。

优选地，所述MO源封装空间的高度小于其宽度。

优选地，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段呈弯折状，且所述内进气管段的出口与所述弧型钢瓶底中心部对应配合在所述MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域。

优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述弧型钢瓶盖上还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述弧型钢瓶底的中心轴线重合。

优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。

优选地，所述弧型钢瓶盖两侧分别固定设有呈对称分布的左把手和右把手。

本实用新型提出由一体成型连接的弧型钢瓶盖、中部圆筒钢瓶以及弧型钢瓶底形成具有高效鼓泡对流区域的MO源封装空间，该高效鼓泡对流区域可以有效避免MO源在钢瓶本体的MO源封装空间内发生晶型尺寸、堆积度和物料高度等问题，经试验试验，本实用新型提出的MO源封装空间形状可以有效提高MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果，本实用新型尤其适合应用在具有较大体积MO源封装空间的MO源钢瓶中。

附图说明

附图1是本实用新型具体实施方式下具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶10的结构示意图；

附图2是图1的俯视图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体包括呈对称分布的弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底，弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底通过中部圆筒钢瓶一体成型连接；弧型钢瓶盖上分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀；弧型钢瓶底固定焊接在钢瓶支撑架上，且进气管的出口与弧型钢瓶底中心部对应配合，用于在MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域。

本实用新型实施例提出由一体成型连接的弧型钢瓶盖、中部圆筒钢瓶以及弧型钢瓶底形成具有高效鼓泡对流区域的MO源封装空间，该高效鼓泡对流区域可以有效避免MO源在钢瓶本体的MO源封装空间内发生晶型尺寸、堆积度和物料高度等问题，经试验试验，本实用新型实施例提出的MO源封装空间形状可以有效提高MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果，本实用新型实施例尤其适合应用在具有较大体积MO源封装空间的MO源钢瓶中。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

请参见图1和图2所示，一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶10，包括设有MO源封装空间11的钢瓶本体12，优选地，在本实施方式中，MO源封装空间11的体积为4000mL；

在本实施方式中，钢瓶本体12包括呈对称分布的弧型钢瓶盖121和弧型钢瓶底123，弧型钢瓶盖121和弧型钢瓶底123通过中部圆筒钢瓶122一体成型连接；弧型钢瓶盖121上分别设有与MO源封装空间11连通的进气管13和出气管14，同时进气管13和出气管14上分别安装有进气阀15a和出气阀15b；弧型钢瓶底123固定焊接在钢瓶支撑架16上，优选地，在本实施方式中，进气管13包括固定密封连接为一体且位于MO源封装空间11外部的外进气管段131以及位于MO源封装空间11内部的内进气管段132，其中，内进气管段132呈弯折状，且内进气管段132的出口133与弧型钢瓶底123中心部对应配合，用于在MO源封装空间11内形成高效鼓泡对流区域200；

优选地，在本实施方式中，MO源封装空间11的高度小于其宽度；

优选地，在本实施方式中，位于进气管13和出气管14之间的弧型钢瓶盖121上还设有压力传感器接头17，用于检测MO源封装空间11内的MO源流量压力；同时压力传感器接头17的中心轴线与弧型钢瓶底123的中心轴线重合；

优选地，在本实施方式中，进气阀15a中心轴线和出气阀15b中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且外进气管段131和出气管14均呈竖直状；

优选地，在本实施方式中，弧型钢瓶盖121两侧分别固定设有呈对称分布的左把手18a和右把手18b。

本实施例在后续进行实施应用时，将MO源双曲面钢瓶10放置在恒温水浴槽中，然后开启进气阀15a和出气阀15b，通过进气管道13向MO源封装空间11内输入惰性气体，与MO源封装空间11内的MO源发生鼓泡效应，进而使得MO源蒸发，通过出气管14向对应工序输送MO源饱和蒸汽和惰性气体的混合体，通过压力传感器接头17可即时判断MO源双曲面钢瓶10内的MO源流量压力变化；本实施例的MO源蒸汽在MO源封装空间11内可以实现良好鼓泡对流，避免MO源堆积，可以有效提高MO源的流量饱和度，尤其适合应用在具有较大体积MO源封装空间的MO源钢瓶中。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，其特征在于，所述钢瓶本体包括呈对称分布的弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底，所述弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底通过中部圆筒钢瓶一体成型连接；所述弧型钢瓶盖上分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀；所述弧型钢瓶底固定焊接在钢瓶支撑架上，且所述进气管的出口与所述弧型钢瓶底中心部对应配合，用于在所述MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域。

2.如权利要求1所述的具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，其特征在于，所述MO源封装空间的体积为4000mL。

3.如权利要求1或2所述的具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，其特征在于，所述MO源封装空间的高度小于其宽度。

4.如权利要求1所述的具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，其特征在于，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段呈弯折状，且所述内进气管段的出口与所述弧型钢瓶底中心部对应配合在所述MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域。

5.如权利要求1所述的具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，其特征在于，位于所述进气管和出气管之间的所述弧型钢瓶盖上还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述弧型钢瓶底的中心轴线重合。

6.如权利要求4所述的具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，其特征在于，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。

7.如权利要求1所述的具有稳定流量饱和度的MO源双曲面钢瓶，其特征在于，所述弧型钢瓶盖两侧分别固定设有呈对称分布的左把手和右把手。

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