CN210261978U - 一种具有高流量饱和度的简易式mo源钢瓶 - Google Patents
一种具有高流量饱和度的简易式mo源钢瓶 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，与MO源封装空间底部中心对应的钢瓶本体底板内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽，且调节凹槽与进气管的出口对应配合形成鼓泡对流空间；本实用新型通过对自身结构进行简单改进，可以有效提高MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。
Description
技术领域
本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶。
背景技术
MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。
如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源流量饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。
因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。
发明内容
有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，通过对自身结构进行简单改进，可以有效提高MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，与所述MO源封装空间底部中心对应的钢瓶本体底板内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽，且所述调节凹槽与所述进气管的出口对应配合形成鼓泡对流空间。
优选地，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段呈弯折状，且与所述钢瓶本体底板之间具有进气夹角。
优选地，所述进气夹角的范围为40-70度。
优选地，所述调节凹槽的截面呈半圆型形状。
优选地，所述MO源封装空间的体积为200mL或500mL。
优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述调节凹槽的中心轴线重合。
优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈弯曲状。
本实用新型创造性提出在MO源封装空间底部设置与进气管出口对应配合的调节凹槽，通过该对应配合结构可以形成高效鼓泡对流空间，有效增加进气管输入惰性气体与MO源封装空间的接触面积，使得MO源封装空间内的MO源流量饱和度得到有效提高，尽可能避免由于MO源由于晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素导致MO源封装空间的MO源浓度和均匀度受到负面影响，确保本实用新型在后续实施应用时的使用效果。
附图说明
附图1是本实用新型实施例1中具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶100的结构示意图；
附图2是图1的俯视图；
附图3是图1中的A处结构放大图；
附图4是本实用新型实施例2中具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶200的结构示意图；
附图5是图4中的B处结构放大图。
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，位于MO源封装空间底部的钢瓶本体内设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽，且调节凹槽与进气管的端口对应配合。
本实用新型实施例创造性提出在MO源封装空间底部设置与进气管出口对应配合的调节凹槽，通过该对应配合结构可以形成高效鼓泡对流空间，有效增加进气管输入惰性气体与MO源封装空间的接触面积，使得MO源封装空间内的MO源流量饱和度得到有效提高，尽可能避免由于MO源由于晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素导致MO源封装空间的MO源浓度和均匀度受到负面影响，确保本实用新型实施例在后续实施应用时的使用效果。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
实施例1：
请参见图1和图2所示的一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶100，包括设有MO源封装空间110且呈圆柱状的钢瓶本体120，MO源封装空间110的体积为200mL；
在本实施方式中，钢瓶本体120上端部分别设有与MO源封装空间110连通的进气管130和出气管140，同时进气管130和出气管140上分别安装有进气阀150a和出气阀150b；
优选地，在本实施方式中，在本实施方式中，进气管130包括固定密封连接为一体且位于MO源封装空间110外部的外进气管段130a以及位于MO源封装空间110内部的内进气管段130b，其中，内进气管段130b呈弯折状，且与钢瓶本体底板121之间具有进气夹角；进一步优选地，在本实施方式中，进气夹角的范围为40-70度；
其中，请进一步参见图3所示，与MO源封装空间110底部中心对应的钢瓶本体底板121内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽122，且调节凹槽122与内进气管段130b的出口131对应配合形成鼓泡对流空间132；
优选地，在本实施方式中，调节凹槽122的截面呈半圆型形状；
优选地，在本实施方式中，位于进气管130和出气管140之间的钢瓶本体120上端部还设有压力传感器接头160，用于检测MO源封装空间110内的MO源流量压力；同时压力传感器接头160的中心轴线与调节凹槽122的中心轴线重合；
优选地，在本实施方式中，进气阀150a中心轴线和出气阀150b中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且外进气管段130a和出气管140均呈弯曲状。
本实施例在进行实施应用时，将简易式MO源钢瓶100放置在恒温水浴槽中，然后开启进气阀150a和出气阀150b，通过进气管130向MO源封装空间110内输入惰性气体，与MO源封装空间110内的MO源发生鼓泡效应，进而使得MO源蒸发，通过出气管140向对应工序输送MO源饱和蒸汽和惰性气体的混合体，通过压力传感器接头160可即时判断简易式MO源钢瓶100内的MO源流量压力变化；本实施例的MO源蒸汽在MO源封装空间110内可以实现良好鼓泡对流，避免MO源堆积，可以有效提高MO源的流量饱和度。
实施例2：本实施例2的其余技术方案与实施例1相同，区别仅在于：请参见图4和图5所示，本实施例2提出了一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶200，MO源封装空间210的体积为500mL，与MO源封装空间210底部中心对应的钢瓶本体底板221内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽222。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，与所述MO源封装空间底部中心对应的钢瓶本体底板内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽，且所述调节凹槽与所述进气管的出口对应配合形成鼓泡对流空间。
2.如权利要求1所述的具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段呈弯折状，且与所述钢瓶本体底板之间具有进气夹角。
3.如权利要求2所述的具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，所述进气夹角的范围为40-70度。
4.如权利要求1所述的具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，所述调节凹槽的截面呈半圆型形状。
5.如权利要求1所述的具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，所述MO源封装空间的体积为200mL或500mL。
6.如权利要求1所述的具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述调节凹槽的中心轴线重合。
7.如权利要求2所述的具有高流量饱和度的简易式MO源钢瓶，其特征在于，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈弯曲状。
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