CN110953476B - 一种mo源四联钢瓶 - Google Patents

一种mo源四联钢瓶 Download PDF

Info

Publication number
CN110953476B
CN110953476B CN201911334301.7A CN201911334301A CN110953476B CN 110953476 B CN110953476 B CN 110953476B CN 201911334301 A CN201911334301 A CN 201911334301A CN 110953476 B CN110953476 B CN 110953476B
Authority
CN
China
Prior art keywords
source
steel cylinder
cylinder body
inlet pipe
outlet pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911334301.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110953476A (zh
Inventor
薛亮
郑江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changshu Pharmaceutical Machinery Co ltd
Original Assignee
Changshu Pharmaceutical Machinery Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changshu Pharmaceutical Machinery Co ltd filed Critical Changshu Pharmaceutical Machinery Co ltd
Priority to CN201911334301.7A priority Critical patent/CN110953476B/zh
Publication of CN110953476A publication Critical patent/CN110953476A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110953476B publication Critical patent/CN110953476B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C1/00—Pressure vessels, e.g. gas cylinder, gas tank, replaceable cartridge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/05—Size
    • F17C2201/058—Size portable (<30 l)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Vacuum Packaging (AREA)

Abstract

本发明公开了一种MO源四联钢瓶，包括依次通气连通的第一MO源钢瓶、第二MO源钢瓶、第三MO源钢瓶和第四MO源钢瓶，第一MO源钢瓶包括惰性气体进气管和MO源充装口，初级MO源出气管；第二MO源钢瓶包括初级MO源进气管和二级MO源出气管，二级MO源出气管同时作为MO源充装口；第三MO源钢瓶包括二级MO源进气管和三级MO源出气管，二级MO源进气管同时作为MO源充装口；第四MO源钢瓶包括三级MO源进气管，同时其上端分别设有终级MO源出气管和MO源充装口；本发明通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用，可以提高MO源气体的均匀性，同时中间MO源钢瓶同样具有MO源充装空间，可以确保MO源气体的饱和度。

Description

一种MO源四联钢瓶
技术领域
本发明属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种MO源四联钢瓶，尤其适合作为固体MO源的封装容器。
背景技术
MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD 的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。
固体MO源钢瓶由于随着MO源存量越少而导致MO源蒸汽压越来越小，而无法达到MO源供给饱和度，最终造成现有技术中固体MO源钢瓶会造成一定MO源的剩余，导致MO源的利用率较低。
与本申请技术目的最为接近的现有技术是公开号为CN108998775A的固体金属有机化合物的封装容器，封装容器包含一瓶体，用于容纳固体金属有机化合物。瓶体内具有分隔部，将瓶体内分隔为第一空间及第二空间。分隔部中具有连接第一空间与第二空间的气体通路。其中，进气管连接一载气源，且设置于瓶体上，由第一空间的顶侧连通至第一空间；出气管连接一金属有机化学气相沉积设备，且设置于瓶体上，并穿过第二空间的邻近第一空间的底侧连通第一空间。该专利通过上述结构配置，提高固体金属有机化合物的使用效率，并减少固体金属有机化合物剩余的浪费；然而，该技术需要在每个钢瓶的上端部设置多个MO充装口分别用于其内部分隔空间的MO源充装，同时需要在钢瓶的上端部分别设置进气管和出气管，这导致了钢瓶的安装难度，也无法在小体积的MO源钢瓶产品中应用。
因此，本申请希望通过对MO源钢瓶自身结构进行创造性设计来解决上述技术问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种MO源四联钢瓶，通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用，可以提高MO源气体的均匀性，同时中间MO源钢瓶同样具有MO源充装空间，可以确保MO源气体的饱和度。
本发明采用的技术方案如下：
一种MO源四联钢瓶，包括依次通气连通的第一MO源钢瓶、第二MO源钢瓶、第三MO源钢瓶和第四MO源钢瓶，其中，
所述第一MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第一钢瓶本体，所述第一钢瓶本体上端分别设有惰性气体进气管和MO源充装口，同时其底部设有初级 MO源出气管，所述惰性气体进气管、MO源充装口和初级MO源出气管分别与 MO源封装空间连通，且所述MO源充装口中心线和初级MO源出气管中心线均与所述第一钢瓶本体中心线重合；
所述第二MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第二钢瓶本体，所述第二钢瓶本体底部和上端分别设有与MO源封装空间连通的初级MO源进气管和二级MO源出气管，所述初级MO源出气管通过连接管道接入所述初级MO源进气管，所述二级MO源出气管同时作为所述第二MO源钢瓶的MO源充装口；
所述第三MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第三钢瓶本体，所述第三钢瓶本体上端和底部分别设有与MO源封装空间连通的二级MO源进气管和三级MO源出气管，所述二级MO源出气管通过连接管道接入所述二级MO源进气管，所述二级MO源进气管同时作为所述第三MO源钢瓶的MO源充装口；
所述第四MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第四钢瓶本体，所述第四钢瓶本体底部设有三级MO源进气管，同时其上端分别设有终级MO源出气管和MO源充装口，所述三级MO源出气管通过连接管道接入所述三级MO源进气管，且所述三级MO源进气管中心线和MO源充装口中心线均与所述第四钢瓶本体中心线重合；
所述惰性气体进气管和终极MO源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和终极MO源控制开关阀。
优选地，所述第一钢瓶本体、第二钢瓶本体、第三钢瓶本体和第四钢瓶本体排列形成矩型或正方型形状。
优选地，所述第一钢瓶本体的MO源封装空间大于所述第二钢瓶本体的MO 源封装空间。
优选地，所述第三钢瓶本体的MO源封装空间大于所述第四钢瓶本体的MO 源封装空间。
优选地，所述第二钢瓶本体的MO源封装空间等于所述第三钢瓶本体的MO 源封装空间。
优选地，所述第一钢瓶本体的MO源封装空间的体积为300-600mL,所述第二钢瓶本体的MO源封装空间的体积为200-500mL，所述第三钢瓶本体的MO源封装空间的体积为200-500mL，所述第四钢瓶本体的MO源封装空间的体积为 150-400mL。
本发明创造性提出采用至少包括相互气体连通的初级MO源钢瓶和终级MO 源钢瓶组成高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，同时终级MO源钢瓶的MO 源封装空间小于初级MO源钢瓶的MO源封装空间，在进行实际工作时，初级 MO源钢瓶和终级MO源钢瓶中存储封装有固体MO源，初级MO源钢瓶通过位于上端部的惰性气体进气管注入具有气体压力，同时通过位于钢瓶底部的初级 MO源出气管输出MO源气体(混合有惰性气体)，通过垂直连接的连接管道注入终级MO源钢瓶的MO源进气管，最终通过终级MO源钢瓶输出具有优异MO 源供给饱和度和均匀度效果的终极MO源气体，通过MO源封装空间更小的终级MO源钢瓶在过程中作为MO源气体的调节瓶和MO源输出端，可以有效避免初级MO源钢瓶内由于MO源蒸汽压不足而导致余量无法使用的问题，两者进行气流联动效应，整体实现了更高的MO源供给效率，而且本发明不需要设置多个MO源充装口，结构简单且安装紧凑，非常适合在小体积容量的MO 源钢瓶供给端应用。
本发明在如上的高效且安装结构紧凑的MO源供给装置基础上，具体优选地提出了MO源四联钢瓶产品，进一步在初级MO源钢瓶与终级MO源钢瓶之间进一步设置两个中间MO源钢瓶，通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用，可以提高MO源气体的均匀性，同时中间MO源钢瓶同样具有MO源充装空间，可以确保MO源气体的饱和度；本发明还进一步提出将MO源四联钢瓶设置为矩型或正方型形状，进一步利于结构紧凑和安装便利度。
附图说明
附图1是本发明实施例1中MO源供给装置的结构示意图；
附图2是图1的俯视图；
附图3是本发明实施例2中MO源四联钢瓶的俯视图；
附图4是将图2展开后的MO源四联钢瓶结构示意图。
具体实施方式
本发明实施例公开了一种MO源四联钢瓶，包括依次通气连通的第一MO 源钢瓶、第二MO源钢瓶、第三MO源钢瓶和第四MO源钢瓶，其中，第一MO 源钢瓶包括具有MO源封装空间的第一钢瓶本体，第一钢瓶本体上端分别设有惰性气体进气管和MO源充装口，同时其底部设有初级MO源出气管，惰性气体进气管、MO源充装口和初级MO源出气管分别与MO源封装空间连通，且MO 源充装口中心线和初级MO源出气管中心线均与第一钢瓶本体中心线重合；第二MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第二钢瓶本体，第二钢瓶本体底部和上端分别设有与MO源封装空间连通的初级MO源进气管和二级MO源出气管，初级MO源出气管通过连接管道接入初级MO源进气管，二级MO源出气管同时作为第二MO源钢瓶的MO源充装口；第三MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第三钢瓶本体，第三钢瓶本体上端和底部分别设有与MO源封装空间连通的二级MO源进气管和三级MO源出气管，二级MO源出气管通过连接管道接入二级MO源进气管，二级MO源进气管同时作为第三MO源钢瓶的MO源充装口；第四MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第四钢瓶本体，第四钢瓶本体底部设有三级MO源进气管，同时其上端分别设有终级MO源出气管和MO源充装口，三级MO源出气管通过连接管道接入三级MO源进气管，且三级MO源进气管中心线和MO源充装口中心线均与第四钢瓶本体中心线重合；惰性气体进气管和终极MO源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和终极MO源控制开关阀。
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
实施例1：请参见图1和图2所示，一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，包括气体连通且呈并行排列的初级MO源钢瓶10和终级MO源钢瓶20；
在本实施方式中，初级MO源钢瓶10包括具有MO源封装空间11的初级钢瓶本体12，初级钢瓶本体12上端分别设有惰性气体进气管13和MO源充装口14，同时其底部设有初级MO源出气管15，惰性气体进气管13、MO源充装口14和初级MO源出气管15分别与MO源封装空间11连通，且MO源充装口 14中心线和初级MO源出气管15中心线均与初级钢瓶本体12中心线重合；终级MO源钢瓶20包括具有MO源封装空间21的终级钢瓶本体22，终级钢瓶本体22底部设有MO源进气管23，同时其上端分别设有终极MO源出气管24和 MO源充装口25，MO源进气管23中心线和MO源充装口25中心线均与终级钢瓶本体22中心线重合；
其中，在本实施方式中，终级钢瓶本体22的MO源封装空间21小于初级钢瓶本体12的MO源封装空间11，且初级MO源出气管15通过与其垂直的连接管道30与MO源进气管23连接；
优选地，在本实施方式中，惰性气体进气管13和终极MO源出气管24上分别安装有惰性气体控制开关阀41和MO源控制开关阀42，在本申请的其他实施方式中，连接管道30上安装有用于控制供给压力的管道开关控制阀，通过惰性气体控制开关阀41、管道开关控制阀42和MO源控制开关阀的联动作用，可以更好地灵活调节MO气体的供给流量；
优选地，在本实施方式中，初级钢瓶本体12的MO源封装空间11的体积为200-500mL，终级钢瓶本体22的MO源封装空间21的体积为150-400mL；初级钢瓶本体12的MO源封装空间11的体积与终级钢瓶本体22的MO源封装空间21的体积之前的差值不小于50mL；具体地，在本实施方式中，初级钢瓶本体12的MO源封装空间11的体积为400mL，终级钢瓶本体22的MO源封装空间21的体积为200mL。
本实施例1创造性提出采用至少包括相互气体连通的初级MO源钢瓶10 和终级MO源钢瓶20组成高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，同时终级MO 源钢瓶20的MO源封装空间21小于初级MO源钢瓶10的MO源封装空间11，在进行实际工作时，初级MO源钢瓶10和终级MO源钢瓶20中存储封装有固体MO源，初级MO源钢瓶10通过位于上端部的惰性气体进气管13注入具有气体压力，同时通过位于钢瓶底部的初级MO源出气管15输出MO源气体(混合有惰性气体)，通过垂直连接的连接管道30注入终级MO源钢瓶20的MO源进气管23，最终通过终级MO源钢瓶20输出具有优异MO源供给饱和度和均匀度效果的终极MO源气体，通过MO源封装空间21更小的终级MO源钢瓶20在过程中作为MO源气体的调节瓶和MO源输出端，可以有效避免初级MO源钢瓶 10内由于MO源蒸汽压不足而导致余量无法使用的问题，两者进行气流联动效应，整体实现了更高的MO源供给效率，而且本实施例1不需要设置多个MO 源充装口，结构简单且安装紧凑，非常适合在小体积容量的MO源钢瓶供给端应用。
实施例2：请参见图3和图4所示的一种MO源四联钢瓶，包括依次通气连通的第一MO源钢瓶100、第二MO源钢瓶200、第三MO源钢瓶300和第四 MO源钢瓶400，第一MO源钢瓶100作为初级MO源钢瓶，第四MO源钢瓶400 作为终级MO源钢瓶；第二MO源钢瓶200和第三MO源钢瓶300分别作为位于初级MO源钢瓶与第四MO源钢瓶400之间的第一中间MO源钢瓶和第二中间MO 源钢瓶；
其中，在本实施方式中，第一MO源钢瓶100包括具有MO源封装空间110 的第一钢瓶本体120，第一钢瓶本体120上端分别设有惰性气体进气管121和 MO源充装口122，同时其底部设有初级MO源出气管123，惰性气体进气管121、 MO源充装口122和初级MO源出气管123分别与MO源封装空间110连通，且 MO源充装口122中心线和初级MO源出气管123中心线均与第一钢瓶本体120 中心线重合；第二MO源钢瓶200包括具有MO源封装空间210的第二钢瓶本体220，第二钢瓶本体220底部和上端分别设有与MO源封装空间210连通的初级MO源进气管221和二级MO源出气管222，初级MO源出气管123通过连接管道500接入初级MO源进气管221，二级MO源出气管222同时作为第二 MO源钢瓶200的MO源充装口；第三MO源钢瓶300包括具有MO源封装空间 310的第三钢瓶本体320，第三钢瓶本体320上端和底部分别设有与MO源封装空间310连通的二级MO源进气管321和三级MO源出气管322，二级MO源出气管222通过连接管道500接入二级MO源进气管321，二级MO源进气管 321同时作为第三MO源钢瓶300的MO源充装口；第四MO源钢瓶400包括具有MO源封装空间410的第四钢瓶本体420，第四钢瓶本体420底部设有三级 MO源进气管421，同时其上端分别设有终级MO源出气管422和MO源充装口 423，三级MO源出气管322通过连接管道500接入三级MO源进气管421，且三级MO源进气管322中心线和MO源充装口中心线均与第四钢瓶本体400中心线重合；惰性气体进气管121和终极MO源出气管422上分别安装有惰性气体控制开关阀121a和终极MO源控制开关阀422a；
优选地，为了便于MO源四联钢瓶的安装结构紧凑性，减少安装空间，在本实施方式中，第一钢瓶本体120、第二钢瓶本体220、第三钢瓶本体320和第四钢瓶本体420通过连接管道500的连接排列形成矩型或正方型形状；
优选地，在本实施方式中，第一钢瓶本体120的MO源封装空间110大于第二钢瓶本体220的MO源封装空间210；第三钢瓶本体320的MO源封装空间 310大于第四钢瓶本体400的MO源封装空间410；第二钢瓶本体200的MO源封装空间210等于第三钢瓶本体300的MO源封装空间310；进一步优选地，第一钢瓶本体120的MO源封装空间110的体积为300-600mL,第二钢瓶本体 220的MO源封装空间210的体积为200-500mL，第三钢瓶本体320的MO源封装空间310的体积为200-500mL，第四钢瓶本体420的MO源封装空间410的体积为150-400mL；具体优选地，在本实施方式中，第一钢瓶本体120的MO 源封装空间110的体积为400mL,第二钢瓶本体220的MO源封装空间210的体积为350mL，第三钢瓶本体320的MO源封装空间310的体积为350mL，第四钢瓶本体420的MO源封装空间410的体积为200mL。
本实施例2进一步在实施例1提出的初级MO源钢瓶与终级MO源钢瓶之间进一步设置两个中间MO源钢瓶，通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用，可以提高MO源气体的均匀性，同时中间MO 源钢瓶同样具有MO源充装空间，可以确保MO源气体的饱和度；本实施例2 还进一步提出将MO源四联钢瓶设置为矩型或正方型形状，进一步利于结构紧凑和安装便利度。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (1)

1.一种MO源四联钢瓶，其特征在于，包括依次通气连通的第一MO源钢瓶、第二MO源钢瓶、第三MO源钢瓶和第四MO源钢瓶，其中，
所述第一MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第一钢瓶本体，所述第一钢瓶本体上端分别设有惰性气体进气管和MO源充装口，同时其底部设有初级MO源出气管，所述惰性气体进气管、MO源充装口和初级MO源出气管分别与MO源封装空间连通，且所述MO源充装口中心线和初级MO源出气管中心线均与所述第一钢瓶本体中心线重合；
所述第二MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第二钢瓶本体，所述第二钢瓶本体底部和上端分别设有与MO源封装空间连通的初级MO源进气管和二级MO源出气管，所述初级MO源出气管通过连接管道接入所述初级MO源进气管，所述二级MO源出气管同时作为所述第二MO源钢瓶的MO源充装口；
所述第三MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第三钢瓶本体，所述第三钢瓶本体上端和底部分别设有与MO源封装空间连通的二级MO源进气管和三级MO源出气管，所述二级MO源出气管通过连接管道接入所述二级MO源进气管，所述二级MO源进气管同时作为所述第三MO源钢瓶的MO源充装口；
所述第四MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的第四钢瓶本体，所述第四钢瓶本体底部设有三级MO源进气管，同时其上端分别设有终级MO源出气管和MO源充装口，所述三级MO源出气管通过连接管道接入所述三级MO源进气管，且所述三级MO源进气管中心线和MO源充装口中心线均与所述第四钢瓶本体中心线重合；
所述惰性气体进气管和终极MO源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和终极MO源控制开关阀；
所述第一钢瓶本体、第二钢瓶本体、第三钢瓶本体和第四钢瓶本体排列形成矩形 或正方形 形状；所述第一钢瓶本体的MO源封装空间大于所述第二钢瓶本体的MO源封装空间；所述第三钢瓶本体的MO源封装空间大于所述第四钢瓶本体的MO源封装空间；所述第二钢瓶本体的MO源封装空间等于所述第三钢瓶本体的MO源封装空间；所述第一钢瓶本体的MO源封装空间的体积为300-600mL,所述第二钢瓶本体的MO源封装空间的体积为200-500mL，所述第三钢瓶本体的MO源封装空间的体积为200-500mL，所述第四钢瓶本体的MO源封装空间的体积为150-400mL。
CN201911334301.7A 2019-12-23 2019-12-23 一种mo源四联钢瓶 Active CN110953476B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911334301.7A CN110953476B (zh) 2019-12-23 2019-12-23 一种mo源四联钢瓶

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911334301.7A CN110953476B (zh) 2019-12-23 2019-12-23 一种mo源四联钢瓶

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110953476A CN110953476A (zh) 2020-04-03
CN110953476B true CN110953476B (zh) 2022-10-11

Family

ID=69983530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911334301.7A Active CN110953476B (zh) 2019-12-23 2019-12-23 一种mo源四联钢瓶

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110953476B (zh)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG11201600808WA (en) * 2013-08-05 2016-03-30 Numat Technologies Inc Metal organic frameworks for electronic gas storage
CN203782229U (zh) * 2014-03-17 2014-08-20 江苏南大光电材料股份有限公司 固体金属有机化合物封装容器串联系统
CN108998775A (zh) * 2017-06-06 2018-12-14 江苏南大光电材料股份有限公司 固体金属有机化合物的封装容器
CN208201118U (zh) * 2018-05-31 2018-12-07 江苏南大光电材料股份有限公司 固体金属有机化合物串联式温差使用系统
CN109852948B (zh) * 2019-01-31 2024-04-12 苏州普耀光电材料有限公司 一种mo源供应装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110953476A (zh) 2020-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206754801U (zh) 一种mo源钢瓶专用的残留物处理装置
CN110953476B (zh) 一种mo源四联钢瓶
CN101660136B (zh) 封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用
CN109609931A (zh) 原子层沉积装置及方法
CN108998775A (zh) 固体金属有机化合物的封装容器
CN102213362A (zh) 超纯氨免污染充装方法
CN203694928U (zh) 一种气体自动比例混合装置
CN111188028A (zh) 一种腐蚀性、危险性气态前驱体的原子层沉积过程控制方法
CN211118728U (zh) 一种高效且安装结构紧凑的mo源供给装置
CN212392214U (zh) 一种多工艺腔体共用真空泵组
CN112126976B (zh) 氢化物气相外延的镓舟结构
CN213680876U (zh) Mocvd固态掺杂金属有机化合物的封装容器
CN104617192A (zh) 一种发光二极管外延片的制造方法
TWI545226B (zh) Liquid metal organic compound supply system
CN215251159U (zh) 一种固态前驱体封装容器
CN101368265B (zh) 一种制备氮化镓薄膜装置中的气路系统
TWI617764B (zh) 固體金屬有機化合物的封裝容器
CN217324289U (zh) 多导流空间的前驱体封装装置
CN211118730U (zh) 一种固体mo源钢瓶
CN211118724U (zh) 一种mo源双联钢瓶
JP2022045337A (ja) 固体金属有機源の集中供給システム
CN212667712U (zh) 用于灌装固体mo源的钢瓶
CN1804117A (zh) 固体金属有机化合物封装容器及其应用
CN210048880U (zh) 反应容器组件及氮化镓晶体生产系统
CN217026070U (zh) 气体扩散组件、前驱体供料装置及气相沉积系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant