CN208065964U - 气相沉积炉尾气处理系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相沉积炉，特别涉及一种用于气相沉积炉的尾气处理系统。
背景技术
学气相沉积炉是利用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition）的原理， 将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。气相沉积炉主要由炉本 体（含炉底、下炉体、上炉体及隔热屏）、加热器、过滤系统、真空系统等组成。气相沉积炉排气系统随着尾气在排气系统中流动，其温度逐渐降低 ；随着尾气的温度降低，除过尾气中难以液化的 分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类尾气部分形成粘度很大的液体，附着在排气系统的管道、焦油罐、阀门、真空泵等器件内壁上，这样就会影响设备的正常使用。
中国发明专利（专利号：201210078238.7）公开了一种化学气相沉积炉用尾气处理装置，焦油过滤器的入口通过排气管道与炉体的排气口连通。焦油过滤器的出口通过管道与波纹管的入口端连通。在焦油过滤器与炉体之间有入口压力计；在焦油过滤器的出口与波纹管之间有出口压力计。所述波纹管的出口端与真空泵的进气口通过管道连通；在波纹管与真空泵之间的管道上依次安装有伺服阀和截止阀。上述这种尾气处理装置虽然能够在一定程度上解决粘度大的液体粘连的问题，但由于真空泵的吸力有限，因此并不能完全解决该技术问题。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种能够对气相沉积炉尾气进行有效过滤，同时能保证尾气处理装置长时间正常工作的尾气处理系统。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。
优选的，所述第一真空泵为罗茨真空泵，第二真空泵为螺杆真空泵。
优选的，所述炉体进气口与第一过滤罐的进气口之间的连接管道上设有手动真空插板阀。
优选的，所述第二真空泵的进气端设有单向阀。
优选的，所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口之间通过波纹管连接。
优选的，所述第一过滤罐与所述第一真空泵之间通过活套法兰连接，所述第二过滤罐与所述第二真空泵之间通过活套法兰连接。
优选的，所述炉体支撑在机架上，所述机架底部设有减震垫，所述炉体与所述机架的连接处设有减震垫。
如上所述，本气相沉积炉尾气处理系统具有以下有益效果：该气相沉积炉尾气处理系统设置三个过滤罐、两级真空泵，且过滤罐均采用空罐体，在使用时两级真空泵能有效提高尾气在管道内的流动速度，特别是在系统末端的流动速度，可防止尾气在管道及真空泵上沉积，而设计三个空的过滤罐，这样当尾气进入到过滤罐内时，由于过滤罐的体积较大，因此尾气经过过滤罐时流速会减慢，这样尾气就可在过滤罐中沉积，从而起到较好的尾气净化作用。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型实施例的主视图。
图2为图1的A向视图。
元件标号说明：1、机架；2、罐体；3、出气口；4、波纹管；5、手动真空插板阀；6、第一过滤罐；7、活套法兰；8、第一真空泵；9、第二过滤罐；10、活套法兰；11、第二真空泵；12、第三过滤罐；13、减震垫；14、减震垫。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1、2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1、2所示，本实用新型提供一种气相沉积炉尾气处理系统，其包括气相沉积炉的炉体2，炉体2固定在机架1上，为了减小振动，在机架1的底部设有减震垫13，炉体2与机架1连接处设有减震垫14。炉体2上设有炉体进气口和炉体出气口3，炉体出气口3与第一过滤罐6的进气口连接，进入第一过滤罐6的尾气会降低流速进行沉积。第一过滤罐6的出气口通过第一真空泵8与第二过滤罐9的进气口连接。第一真空泵8用于将经过第一过滤罐6的尾气送至第二过滤罐9，尾气在第二过滤罐9内可再次进行沉积。第二过滤罐9的出气口通过第二真空泵11与第三过滤罐12连接，第二真空泵11用于将经过第二过滤罐9的尾气送至第三过滤罐12，尾气在第三过滤罐12内可再次进行沉积。第一过滤罐6、第二过滤罐9、第三过滤罐12为空罐体结构，内部未添加任何化学试剂。
设置两级真空泵能有效提高尾气在管道内的流动速度，特别是在系统末端的流动速度，可防止尾气在管道及真空泵上沉积，而设计三个空的过滤罐，当尾气进入到过滤罐内时，由于过滤罐的体积较大，因此尾气经过过滤罐时流速会减慢，这样尾气就可在过滤罐中沉积，从而起到较好的尾气净化作用。
作为一种优选方式，由于尾气在经过第一过滤罐后，可能还含有分子量较大的气体，因此第一真空泵8应采用罗茨真空泵，这样即使在真空泵上形成较大的沉积块也不会影响设备的正常使用，而经过两次沉积以后，尾气内的分子量较大的气体应该会变少，不会再形成较大的沉积块，因此第二真空泵11可采用螺杆真空泵，这样能有效提高整个系统末端气体的流动性，防止尾气在管道内沉积。
为了方便控制，炉体2 的进气口3与第一过滤罐6的进气口之间的连接管道上可设置手动真空插板阀5，设置为手动真空插板阀是因此该级管道尾气沉积量较大，甚至电动控制阀容易损坏。在第二真空泵11的进气端设有单向阀15，这样可防止尾气回流。
为了防止真空泵振动带动炉体2振动，炉体2得出气口3与第一过滤罐6的进气口之间通过波纹管4连接。第一过滤罐6与第一真空泵8之间通过活套法兰7连接，第二过滤罐9与第二真空泵11之间通过活套法兰10连接。设置活套法兰，能防止法兰盘与管道接触，这样可避免法兰盘上有沉积物沉积，方便管道的拆卸。
该气相沉积炉尾气处理系统设置三个过滤罐、两级真空泵，且过滤罐均采用空罐体，在使用时两级真空泵能有效提高尾气在管道内的流动速度，特别是在系统末端的流动速度，可防止尾气在管道及真空泵上沉积，而设计三个空的过滤罐，这样当尾气进入到过滤罐内时，由于过滤罐的体积较大，因此尾气经过过滤罐时流速会减慢，这样尾气就可在过滤罐中沉积，从而起到较好的尾气净化作用。该气相沉积炉尾气处理系统中能够有效防止尾气在管道内及真空泵上沉积，可有效延长设备的使用寿命，同时过滤罐采用空的罐体结构，无需添加任何化学试剂，罐体可重复使用，尾气沉积物也能够循环利用，可有效降低生产成本。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (7)
1.一种气相沉积炉尾气处理系统，包括炉体，所述炉体上设有炉体进气口和炉体出气口，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口连接，所述第一过滤罐的出气口通过第一真空泵与第二过滤罐的进气口连接，所述第二过滤罐的出气口通过第二真空泵与第三过滤罐连接，所述第一过滤罐、第二过滤罐、第三过滤罐为空罐体结构。
2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第一真空泵为罗茨真空泵，第二真空泵为螺杆真空泵。
3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体进气口与第一过滤罐的进气口之间的连接管道上设有手动真空插板阀。
4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第二真空泵的进气端设有单向阀。
5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体出气口与第一过滤罐的进气口之间通过波纹管连接。
6.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述第一过滤罐与所述第一真空泵之间通过活套法兰连接，所述第二过滤罐与所述第二真空泵之间通过活套法兰连接。
7.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉尾气处理系统，其特征在于：所述炉体支撑在机架上，所述机架底部设有减震垫，所述炉体与所述机架的连接处设有减震垫。
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| CN113058342A (zh) * | 2021-04-13 | 2021-07-02 | 西安航空制动科技有限公司 | 一种便于在线实时清理的cvd炉过滤装置 |
| CN114086149A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-25 | 贵州省紫安新材料科技有限公司 | 一种分体式结构的化学气相沉积炉 |
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| CN113058342B (zh) * | 2021-04-13 | 2022-10-28 | 西安航空制动科技有限公司 | 一种便于在线实时清理的cvd炉过滤装置 |
| CN114086149A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-25 | 贵州省紫安新材料科技有限公司 | 一种分体式结构的化学气相沉积炉 |
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