CN216871917U - 一种碳化硅衬底片取放装置 - Google Patents
一种碳化硅衬底片取放装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216871917U CN216871917U CN202123031702.0U CN202123031702U CN216871917U CN 216871917 U CN216871917 U CN 216871917U CN 202123031702 U CN202123031702 U CN 202123031702U CN 216871917 U CN216871917 U CN 216871917U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- column
- clamping
- unit
- lifting plate
- translation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 50
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 27
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000006004 Quartz sand Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002006 petroleum coke Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片取放装置。本实用新型通过提升板单元，设置在提升板单元上并用于夹持衬底片的夹持柱单元，以及设置在提升板单元上并用于调整夹持柱单元位置的平移柱单元起到了辅助碳化硅衬底片转移的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，仅需一步平移的动作即可实现对衬底片夹持作用，并且具有旋转调整衬底片下方支撑块高度从而进一步固定衬底片，同时设置限位块减少旋转零件的晃动，以及在支撑块上设置挡板防止灰尘进入装置空腔内部的优点。
Description
技术领域
本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片取放装置。
背景技术
碳化硅是一种无机物，是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅是现今最受关注的第三代半导体材料之一，其在高温、高压、高频等条件下性能优异，在半导体照明光电器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器件、太阳能电池和生物传感器等其他器件等方面展现出了巨大的潜力，碳化硅衬底片通常采用电镀金刚线切割碳化硅晶棒的方法来制备，并且在制备后需要相应的装置进行转移封装，然而传统的人工取放方式易导致晶片划伤磕碰等风险，所以市场上急需一种可以辅助碳化硅衬底片转移的取放装置。
公告号为CN214542174U，公告日为2021-10-29的中国实用新型专利公开了一种晶片取放装置。该晶片取放装置用于吸附晶片的真空吸笔；安装板，安装板能够滑动连接于晶片放置盒，并且安装板上设有至少一个能够使晶片和真空吸笔通过的导向孔。
虽然该实用新型具有拿取时减少了碳化硅晶片的划痕和蹭伤的优点；但是该实用新型还存在需要手动操作，仍存在取放过程发生磕碰的缺点。
实用新型内容
本实用新型目的是提供一种碳化硅衬底片取放装置，本实用新型通过提升板单元，设置在提升板单元上并用于夹持衬底片的夹持柱单元，以及设置在提升板单元上并用于调整夹持柱单元位置的平移柱单元起到了辅助碳化硅衬底片转移的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，仅需一步平移的动作即可实现对衬底片夹持作用，并且具有旋转调整衬底片下方支撑块高度从而进一步固定衬底片，同时设置限位块减少旋转零件的晃动，以及在支撑块上设置挡板防止灰尘进入装置空腔内部的优点。
本实用新型解决上述问题采用的技术方案是：一种碳化硅衬底片取放装置，包括提升板单元，设置在所述提升板单元上并用于夹持衬底片的夹持柱单元，以及设置在所述提升板单元上并用于调整所述夹持柱单元位置的平移柱单元。
进一步优选的技术方案在于：所述提升板单元包括提升板，所述夹持柱单元包括设置在所述提升板上并用于夹持衬底片的夹持柱。
进一步优选的技术方案在于：所述提升板单元还包括提升板空腔，设置在所述提升板上并与所述提升板空腔连通并用于固定所述平移柱单元的平移孔，设置在所述提升板上并与所述提升板空腔连通并用于固定所述夹持柱的夹持柱孔；所述平移柱单元包括设置在所述平移孔上的平移柱。
进一步优选的技术方案在于：所述夹持柱单元还包括设置在所述夹持柱上并用于向上托起衬底片的支撑块。
进一步优选的技术方案在于：所述夹持柱单元还包括设置在所述夹持柱上的夹持柱空腔，设置在所述夹持柱空腔上且与所述夹持柱空腔连通的提升孔和滑动口，设置在所述支撑块上且穿过所述滑动口的滑动柱，以及设置在所述滑动柱上并与所述平移柱单元连接的内螺纹孔体；所述平移柱单元还包括设置在所述平移柱上且穿过所述提升孔并与所述内螺纹孔体螺接的螺纹柱。
进一步优选的技术方案在于：所述夹持柱单元还包括设置在所述夹持柱空腔内侧底面上并用于固定所述螺纹柱的限位块。
进一步优选的技术方案在于：所述夹持柱单元还包括设置在所述支撑块上的遮挡板。
进一步优选的技术方案在于：所述提升板单元还包括设置在所述提升板空腔上并用于固定所述夹持柱的支撑杆。
进一步优选的技术方案在于：所述夹持柱单元还包括设置在所述夹持柱上并用于顶起所述支撑杆的悬挂块。
进一步优选的技术方案在于：所述平移柱单元还包括设置在所述平移柱上的旋转块。
本实用新型通过提升板单元，设置在提升板单元上并用于夹持衬底片的夹持柱单元，以及设置在提升板单元上并用于调整夹持柱单元位置的平移柱单元起到了辅助碳化硅衬底片转移的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，仅需一步平移的动作即可实现对衬底片夹持作用，并且具有旋转调整衬底片下方支撑块高度从而进一步固定衬底片，同时设置限位块减少旋转零件的晃动，以及在支撑块上设置挡板防止灰尘进入装置空腔内部的优点。
附图说明
图1为本实用新型中取放装置夹持碳化硅衬底片方式的结构示意图。
图2为本实用新型中提升板空腔及其内部零部件的结构示意图。
图3为本实用新型中夹持柱空腔及其内部零部件的结构示意图。
具体实施方式
以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定。
实施例：如附图1、2、以及附图3所示，一种碳化硅衬底片取放装置，包括提升板单元（1），设置在所述提升板单元（1）上并用于夹持衬底片（A）的夹持柱单元（2），以及设置在所述提升板单元（1）上并用于调整所述夹持柱单元（2）位置的平移柱单元（3）。
在本实施例中，所述提升板单元（1）设置在具有提升功能的装置吊杆上，设置在所述提升板单元（1）上左右两侧的所述夹持柱单元（2）夹持衬底片（A）后，通过所述提升板单元（1）将衬底片（A）抬升至指定高度完成取放过程，所述平移柱单元（3）设置在所述提升板单元（1）上顶面并与所述夹持柱单元（2）连接，用于调整两个所述夹持柱单元（2）之间的距离以及单个所述夹持柱单元（2）的高度，以便于适配不同衬底片（A）的宽度以及厚度。
所述提升板单元（1）包括提升板（101），所述夹持柱单元（2）包括设置在所述提升板（101）上并用于夹持衬底片（A）的夹持柱（201）。
在本实施例中，所述夹持柱（201）设置在所述提升板（101）的左右两侧，目的是用于夹持衬底片（A）。
所述提升板单元（1）还包括提升板空腔（102），设置在所述提升板（101）上并与所述提升板空腔（102）连通并用于固定所述平移柱单元（3）的平移孔（103），设置在所述提升板（101）上并与所述提升板空腔（102）连通并用于固定所述夹持柱（201）的夹持柱孔（104）；所述平移柱单元（3）包括设置在所述平移孔（103）上的平移柱（301）。
在本实施例中，所述滑动口（205）与所述夹持柱（201）固定，使其可以左右移动但是不能够上下移动，若想要调整两个所述夹持柱（201）之间的距离，只需要平移所述平移柱（301）即可带动所述夹持柱（201）左右移动。
所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱（201）上并用于向上托起衬底片（A）的支撑块（202）。
在本实施例中，仅靠所述夹持柱（201）固定衬底片（A）会有掉落的风险，所以在所述夹持柱（201）上位于所述衬底片（A）下底面的位置设置支撑块（202）用于向上支撑衬底片（A）。
所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱（201）上的夹持柱空腔（203），设置在所述夹持柱空腔（203）上且与所述夹持柱空腔（203）连通的提升孔（204）和滑动口（205），设置在所述支撑块（202）上且穿过所述滑动口（205）的滑动柱（206），以及设置在所述滑动柱（206）上并与所述平移柱单元（3）连接的内螺纹孔体（207）；所述平移柱单元（3）还包括设置在所述平移柱（301）上且穿过所述提升孔（204）并与所述内螺纹孔体（207）螺接的螺纹柱（302）。
在本实施例中，若调整所述支撑块（202）的高度位置，只需旋转所述平移柱（301）即可带动所述螺纹柱（302）旋转，这样所述内螺纹孔体（207）便会在所述螺纹柱（302）的带动下上下移动，最终通过所述滑动柱（206）带动所述支撑块（202）上下移动，实现了所述支撑块（202）的高度位置调整。
所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱空腔（203）内侧底面上并用于固定所述螺纹柱（302）的限位块（208）。
在本实施例中，所述限位块（208）在左右两侧固定所述螺纹柱（302），减少所述螺纹柱（302）旋转时产生的晃动现象。
所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述支撑块（202）上的遮挡板（209）。
在本实施例中，所述遮挡板（209）对所述滑动口（205）产生遮挡作用，防止灰尘或生产废料进入所述夹持柱空腔（203）
所述提升板单元（1）还包括设置在所述提升板空腔（102）上并用于固定所述夹持柱（201）的支撑杆（105）。
在本实施例中，所述支撑杆（105）在所述夹持柱（201）左右各设置一个，用于辅助所述夹持柱孔（104）支撑所述夹持柱（201）。
所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱（201）上并用于顶起所述支撑杆（105）的悬挂块（210）。
在本实施例中，所述悬挂块（210）设置在所述夹持柱（201）上并位于所述支撑杆（105）上方，用于将所述夹持柱（201）悬挂在两个所述支撑杆（105）之间。
所述平移柱单元（3）还包括设置在所述平移柱（301）上的旋转块（303）。
在本实施例中，所述旋转块（303）设置在所述平移柱（301）上顶面上，使得旋转所述平移柱（301）的过程更加方便。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施方式，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种修改。这些都是不具有创造性的修改，只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (10)
1.一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，包括提升板单元（1），设置在所述提升板单元（1）上并用于夹持衬底片（A）的夹持柱单元（2），以及设置在所述提升板单元（1）上并用于调整所述夹持柱单元（2）位置的平移柱单元（3）。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述提升板单元（1）包括提升板（101），所述夹持柱单元（2）包括设置在所述提升板（101）上并用于夹持衬底片（A）的夹持柱（201）。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述提升板单元（1）还包括提升板空腔（102），设置在所述提升板（101）上并与所述提升板空腔（102）连通并用于固定所述平移柱单元（3）的平移孔（103），设置在所述提升板（101）上并与所述提升板空腔（102）连通并用于固定所述夹持柱（201）的夹持柱孔（104）；所述平移柱单元（3）包括设置在所述平移孔（103）上的平移柱（301）。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱（201）上并用于向上托起衬底片（A）的支撑块（202）。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱（201）上的夹持柱空腔（203），设置在所述夹持柱空腔（203）上且与所述夹持柱空腔（203）连通的提升孔（204）和滑动口（205），设置在所述支撑块（202）上且穿过所述滑动口（205）的滑动柱（206），以及设置在所述滑动柱（206）上并与所述平移柱单元（3）连接的内螺纹孔体（207）；所述平移柱单元（3）还包括设置在所述平移柱（301）上且穿过所述提升孔（204）并与所述内螺纹孔体（207）螺接的螺纹柱（302）。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱空腔（203）内侧底面上并用于固定所述螺纹柱（302）的限位块（208）。
7.根据权利要求5所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述支撑块（202）上的遮挡板（209）。
8.根据权利要求3所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述提升板单元（1）还包括设置在所述提升板空腔（102）上并用于固定所述夹持柱（201）的支撑杆（105）。
9.根据权利要求8所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述夹持柱单元（2）还包括设置在所述夹持柱（201）上并用于顶起所述支撑杆（105）的悬挂块（210）。
10.根据权利要求3所述的一种碳化硅衬底片取放装置，其特征在于，所述平移柱单元（3）还包括设置在所述平移柱（301）上的旋转块（303）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123031702.0U CN216871917U (zh) | 2021-12-06 | 2021-12-06 | 一种碳化硅衬底片取放装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123031702.0U CN216871917U (zh) | 2021-12-06 | 2021-12-06 | 一种碳化硅衬底片取放装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216871917U true CN216871917U (zh) | 2022-07-01 |
Family
ID=82127458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202123031702.0U Active CN216871917U (zh) | 2021-12-06 | 2021-12-06 | 一种碳化硅衬底片取放装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216871917U (zh) |
-
2021
- 2021-12-06 CN CN202123031702.0U patent/CN216871917U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN216871917U (zh) | 一种碳化硅衬底片取放装置 | |
| CN113580044A (zh) | 一种机电设备维修用夹持装置 | |
| CN112117218A (zh) | 一种晶圆清洗设备及使用方法 | |
| CN211331188U (zh) | 冷镦机用全自动送料装置 | |
| CN213739777U (zh) | 一种单晶硅坩埚脱模装置 | |
| CN211162264U (zh) | 自锁调谐螺杆承接盒自动投放机构 | |
| CN214399518U (zh) | 一种新型单晶硅棒举升机 | |
| CN221161814U (zh) | 一种光伏硅片印刷装置 | |
| CN110711910A (zh) | 自锁调谐螺杆承接盒自动投放机构 | |
| CN212795369U (zh) | 一种陶瓷器生产用烧结放置架 | |
| CN205892124U (zh) | 一种玻璃板吊装机构 | |
| CN213771062U (zh) | 一种航空器维修用吊装设备 | |
| CN217072419U (zh) | 一种SiC板用负压吸盘取坯器 | |
| CN213164868U (zh) | 一种玻璃制品生产用固定装置 | |
| CN217077387U (zh) | 一种低硼硅玻璃管制注射剂瓶用瓶底烧结装置 | |
| CN219260159U (zh) | 陶瓷覆铜基板用铜片单面氧化工装 | |
| CN220519381U (zh) | 一种切割后的加气砖分离设备 | |
| CN217201953U (zh) | 用于光伏电站的施工装置 | |
| CN217801035U (zh) | 一种用于大型玻璃加工的平台 | |
| CN220412101U (zh) | 一种光伏玻璃面板搬运装置 | |
| CN217096230U (zh) | 一种用于脆性材料的激光切割装置 | |
| CN217914115U (zh) | 一种双齿辊筛分式破碎机的齿帽组件的加工设备 | |
| CN221089460U (zh) | 一种锆刚玉格子砖加工用固定架 | |
| CN220903285U (zh) | 一种碳化硅加工支架 | |
| CN221031526U (zh) | 一种玻璃幕墙安装用夹持装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240123 Address after: No. 588, Liji East Road, Zhili Town, Wuxing District, Huzhou, Zhejiang Province 313000 Patentee after: Huzhou Dongni Semiconductor Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 313000 No. 555 Liji East Road, Zhili Town, Wuxing District, Huzhou City, Zhejiang Province Patentee before: ZHEJIANG TONY ELECTRONIC Co.,Ltd. Country or region before: China Patentee before: Huzhou Dongni Semiconductor Technology Co.,Ltd. |