CN216864326U - 一种高温气相沉积炉原位送料装置 - Google Patents
一种高温气相沉积炉原位送料装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216864326U CN216864326U CN202220544533.6U CN202220544533U CN216864326U CN 216864326 U CN216864326 U CN 216864326U CN 202220544533 U CN202220544533 U CN 202220544533U CN 216864326 U CN216864326 U CN 216864326U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixedly connected
- frame
- vapor deposition
- furnace body
- temperature vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种高温气相沉积炉原位送料装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有炉体，所述炉体内腔的底部通过固定杆固定连接有放置架，所述放置架的顶部放置有放料箱，所述放料箱的一侧固定连接有卡架，本实用新型涉及气相沉积炉技术领域。该高温气相沉积炉原位送料装置，通过在固定框的内部设置卡块，使得工作人员需要对放料箱进行填料送料时，可以通过螺纹筒和螺纹杆与固定框和卡架的配合，使得卡块与矩形卡槽形成配合，进而使得放料箱便于拉出补充填料和将放料箱复位至原有位置，从而避免传统人工在拉出和送回放料箱需要承受较高热辐射和人工复位放料箱复位位置与原有位置偏差过大的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，具体为一种高温气相沉积炉原位送料装置。
背景技术
气相沉积炉是一种通过化学气相沉积法提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的设备，气相沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶等部分，气相沉积炉在进行上料时，需要人工手动利用工具将炉内的空载的放料箱拉出，然后将物料添加进去再将放料箱退回至原有位置，人工手持工具将放料箱送回原处不但会承受较高的热辐射而且还不容易将放料箱平稳的送回原处，致使其会有受热不均的问题。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高温气相沉积炉原位送料装置，解决了气相沉积炉其内部放料箱送料不便和复位位置与原有位置偏差过大的问题。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种高温气相沉积炉原位送料装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有炉体，所述炉体内腔的底部通过固定杆固定连接有放置架，所述放置架的顶部放置有放料箱，所述放料箱的一侧固定连接有卡架，所述卡架的前部和后部均开设有矩形卡槽，所述炉体的一侧开设有与放料箱相适配的进料口，所述底座的顶部且位于炉体的一侧通过固定件固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹筒，所述螺纹筒的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端贯穿螺纹筒并延伸至螺纹筒的外部，所述螺纹杆延伸至螺纹筒外部的一端固定连接有固定框，所述固定框内腔前部和后部的两侧均固定连接有弹簧，两个同一横向平面所述弹簧的一端通过固定件共同固定连接有与矩形卡槽相适配的卡块，所述卡块的一面贯穿固定框并延伸至固定框的外部，所述螺纹杆的顶部且位于螺纹筒的外部固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆延伸端的底部固定连接有竖杆，所述竖杆的一端贯穿固定框并延伸至固定框的内部，所述竖杆延伸至固定框内部的一端固定连接有与卡块相适配的T型板。
优选的，所述炉体的一侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆延伸端的底部固定连接有与进料口相适配的封堵板。
优选的，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑柱，所述滑柱的顶部通过固定件与螺纹杆的底部固定连接。
优选的，所述放置架的顶部设置有若干个滚珠。
优选的，所述炉体的顶部连通有排气管。
有益效果
本实用新型提供了一种高温气相沉积炉原位送料装置。与现有的技术相比具备以下有益效果：
(1)该高温气相沉积炉原位送料装置，通过在固定框的内部设置卡块，使得工作人员需要对放料箱进行填料送料时，可以通过螺纹筒和螺纹杆与固定框和卡架的配合，使得卡块与矩形卡槽形成配合，进而使得放料箱便于拉出补充填料和将放料箱复位至原有位置，从而避免传统人工在拉出和送回放料箱需要承受较高热辐射和人工复位放料箱复位位置与原有位置偏差过大的问题。
(2)该高温气相沉积炉原位送料装置，通过在第二电动伸缩杆延伸端的底部设置电机，使得放料箱需要拉出进行补充物料时，能够通过第二电动伸缩杆的伸缩将封堵板与进料口进行脱离防护配合，进而避免传统封堵板需要人工手动拉开而导致手部容易出现烫伤的隐患。
附图说明
图1为本实用新型的外部结构示意图；
图2为本实用新型炉体结构的剖视图；
图3为本实用新型卡架结构的俯视图；
图4为本实用新型固定框内部结构的俯视图；
图5为本实用新型螺纹筒结构的剖视图。
图中：1、底座；2、炉体；3、放置架；4、放料箱；5、卡架；6、矩形卡槽；7、进料口；8、电机；9、螺纹筒；10、螺纹杆；11、固定框；12、弹簧；13、卡块；14、第一电动伸缩杆；15、竖杆；16、T型板；17、第二电动伸缩杆；18、封堵板；19、滑槽；20、滑柱；21、滚珠；22、排气管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供以下技术方案：一种高温气相沉积炉原位送料装置，包括底座1，底座1的顶部固定连接有炉体2，炉体2内腔的底部通过固定杆固定连接有放置架3，放置架3的顶部设置有若干个滚珠21，放置架3的顶部放置有放料箱4，放料箱4的一侧固定连接有卡架5，卡架5的前部和后部均开设有矩形卡槽6，炉体2的一侧开设有与放料箱4相适配的进料口7，底座1的顶部且位于炉体2的一侧通过固定件固定连接有电机8，电机8的输出轴固定连接有螺纹筒9，螺纹筒9的内部螺纹连接有螺纹杆10，螺纹杆10的一端贯穿螺纹筒9并延伸至螺纹筒9的外部，底座1的顶部开设有滑槽19，滑槽19的内部滑动连接有滑柱20，滑柱20的顶部通过固定件与螺纹杆10的底部固定连接，螺纹杆10延伸至螺纹筒9外部的一端固定连接有固定框11，固定框11内腔前部和后部的两侧均固定连接有弹簧12，两个同一横向平面弹簧12的一端通过固定件共同固定连接有与矩形卡槽6相适配的卡块13，卡块13的一面贯穿固定框11并延伸至固定框11的外部，固定框11的前部和后部均开设有与卡块13相适配的开口，螺纹杆10的顶部且位于螺纹筒9的外部固定连接有第一电动伸缩杆14，第一电动伸缩杆14延伸端的底部固定连接有竖杆15，竖杆15的一端贯穿固定框11并延伸至固定框11的内部，竖杆15延伸至固定框11内部的一端固定连接有与卡块13相适配的T型板16。
进一步的，为了避免人工打开封堵板18时会有意外烫伤的隐患，炉体2的一侧固定连接有第二电动伸缩杆17，第二电动伸缩杆17延伸端的底部固定连接有与进料口7相适配的封堵板18。
进一步的，为了便于炉体2内部排气，炉体2的顶部连通有排气管22。
同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
使用时，操作人员首先需要利用第二电动伸缩杆17将封堵板18向上上升，使其与进料口7脱离遮盖配合，随后启动电机8，电机8启动后会带动螺纹筒9进行转动，螺纹筒9转动后其内部的螺纹杆10会带动固定框11向左进行延伸，进而进入炉体2的内部，当固定框11进入卡架5的内部后再启动第一电动伸缩杆14，第一电动伸缩杆14的延伸端伸长时会通过竖杆15带动T型板16进行移动，T型板16移动后两个卡块13会向固定框11的前部和后部进行伸展，通过卡块13的伸展使其能够与卡架5前部和后部的矩形卡槽6相契合，最后复位螺纹杆10即可将放料箱4拉出进行填料，最后再启动电机8将填满料的放料箱4送至原位即可。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种高温气相沉积炉原位送料装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有炉体(2)，所述炉体(2)内腔的底部通过固定杆固定连接有放置架(3)，所述放置架(3)的顶部放置有放料箱(4)，所述放料箱(4)的一侧固定连接有卡架(5)，所述卡架(5)的前部和后部均开设有矩形卡槽(6)，所述炉体(2)的一侧开设有与放料箱(4)相适配的进料口(7)，所述底座(1)的顶部且位于炉体(2)的一侧通过固定件固定连接有电机(8)，所述电机(8)的输出轴固定连接有螺纹筒(9)，所述螺纹筒(9)的内部螺纹连接有螺纹杆(10)，所述螺纹杆(10)的一端贯穿螺纹筒(9)并延伸至螺纹筒(9)的外部，所述螺纹杆(10)延伸至螺纹筒(9)外部的一端固定连接有固定框(11)，所述固定框(11)内腔前部和后部的两侧均固定连接有弹簧(12)，两个同一横向平面所述弹簧(12)的一端通过固定件共同固定连接有与矩形卡槽(6)相适配的卡块(13)，所述卡块(13)的一面贯穿固定框(11)并延伸至固定框(11)的外部，所述螺纹杆(10)的顶部且位于螺纹筒(9)的外部固定连接有第一电动伸缩杆(14)，所述第一电动伸缩杆(14)延伸端的底部固定连接有竖杆(15)，所述竖杆(15)的一端贯穿固定框(11)并延伸至固定框(11)的内部，所述竖杆(15)延伸至固定框(11)内部的一端固定连接有与卡块(13)相适配的T型板(16)。
2.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉原位送料装置，其特征在于：所述炉体(2)的一侧固定连接有第二电动伸缩杆(17)，所述第二电动伸缩杆(17)延伸端的底部固定连接有与进料口(7)相适配的封堵板(18)。
3.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉原位送料装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部开设有滑槽(19)，所述滑槽(19)的内部滑动连接有滑柱(20)，所述滑柱(20)的顶部通过固定件与螺纹杆(10)的底部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉原位送料装置，其特征在于：所述放置架(3)的顶部设置有若干个滚珠(21)。
5.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉原位送料装置，其特征在于：所述炉体(2)的顶部连通有排气管(22)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220544533.6U CN216864326U (zh) | 2022-03-14 | 2022-03-14 | 一种高温气相沉积炉原位送料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220544533.6U CN216864326U (zh) | 2022-03-14 | 2022-03-14 | 一种高温气相沉积炉原位送料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216864326U true CN216864326U (zh) | 2022-07-01 |
Family
ID=82122823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220544533.6U Active CN216864326U (zh) | 2022-03-14 | 2022-03-14 | 一种高温气相沉积炉原位送料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216864326U (zh) |
-
2022
- 2022-03-14 CN CN202220544533.6U patent/CN216864326U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN216864326U (zh) | 一种高温气相沉积炉原位送料装置 | |
| CN208125301U (zh) | 建材不燃性测试炉炉内温度校准装置升降机构 | |
| CN216073935U (zh) | 一种用于砂型铸造的淬火炉旋转式工件台 | |
| CN211316956U (zh) | 一种具有隔绝功能的陶瓷烧结装置 | |
| CN208671667U (zh) | 一种便于排灰和提高升温速度的箱式电窑炉 | |
| CN215447450U (zh) | 一种新型窑炉温控装置 | |
| CN214950590U (zh) | 一种高温氧化铝煅烧设备 | |
| CN215113707U (zh) | 一种内循环高效节能烘箱装置 | |
| CN220541747U (zh) | 一种受热均匀的二氧化锆烧结炉 | |
| CN212025173U (zh) | 一种智能热循环节能炉 | |
| CN220287991U (zh) | 一种便于取放料的鼓风干燥箱 | |
| CN219776343U (zh) | 一种陶瓷烧制窑炉 | |
| CN219264912U (zh) | 一种高温真空烧结炉 | |
| CN215766428U (zh) | 一种生产铝合金型材的铝合金熔炼炉 | |
| CN214507634U (zh) | 一种新型机柜 | |
| CN113785961B (zh) | 一种具有去皮功能的泡椒花生腌制装置 | |
| CN220039058U (zh) | 一种真空烧结炉炉体 | |
| CN215039145U (zh) | 一种用于耐火砖加工的固定装置 | |
| CN212778623U (zh) | 一种高稳定性的高温烧结装置 | |
| CN220624869U (zh) | 一种可控温度的玻璃陶瓷餐具烧制设备 | |
| CN213515006U (zh) | 一种太阳能坩埚生产加工用熔炼装置 | |
| CN220531532U (zh) | 一种电加热化糖罐 | |
| CN218342370U (zh) | 一种具有保温功能的模压托盘热压设备 | |
| CN212283640U (zh) | 一种桐油生产用熬制装置 | |
| CN212227715U (zh) | 一种玻璃烧制旋转装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Room 213, building 3, Yangchenghu international science and technology entrepreneurship Park, No. 116, Chengyang Road, Chengyang street, Xiangcheng economic and Technological Development Zone, Suzhou, Jiangsu 215131 Patentee after: Suzhou Jiyuan Technology Co.,Ltd. Address before: Room 213, building 3, Yangchenghu international science and technology entrepreneurship Park, No. 116, Chengyang Road, Chengyang street, Xiangcheng economic and Technological Development Zone, Suzhou, Jiangsu 215131 Patentee before: Suzhou double grain information technology Co.,Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |