CN216849855U - 一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，包括机架和吸嘴，还包括：伺服电机、Z轴驱动机构、X轴驱动机构和Y轴驱动机构，所述伺服电机的输出轴与所述吸嘴连接，所述Z轴驱动机构可驱动所述吸嘴沿Z轴方向移动，所述X轴驱动机构可驱动所述Z轴驱动机构沿X轴方向移动，所述Y轴驱动机构可驱动所述X轴驱动机构沿Y轴方向移动，通过Z轴驱动机构、X轴驱动机构和Y轴驱动机构将吸嘴移动到料片所在位置，然后通过伺服电机控制吸嘴进行转动，调整晶元与料片的角度偏差，使晶元精准的贴合在料片上，避免晶元贴合度不达标造成脱落，需要重新进行取晶和固晶的过程，降低了生产成本，同时也提高了生产效率。

Description

一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构

技术领域

本实用新型涉及电子元件制造领域，尤其涉及一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构。

背景技术

在蓝膜晶元的封装固晶过程中，通过吸嘴将晶元从蓝膜上取出安装到石墨盘的料片上，但是，现有技术在将晶元安装在料片上时，产生角度位置的偏差，使得晶元与料片的贴合度不达标，容易使晶元脱落，需要重新进行取晶和固晶，不仅增加生产成本，而且工作效率比较低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：现有技术在将晶元安装在料片上时，产生角度位置的偏差，使得晶元与料片的贴合度不达标，容易使晶元脱落的问题，本实用新型提供了一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构来解决上述问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，包括机架，还包括：伺服电机，所述伺服电机固定在安装板上，所述伺服电机的输出轴上固定连接有吸嘴，所述伺服电机可控制所述吸嘴进行转动；Z轴驱动机构，所述Z轴驱动机构可驱动所述安装板沿Z轴方向移动；X轴驱动机构，所述X轴驱动机构可驱动所述Z轴驱动机构沿X轴方向移动；Y轴驱动机构，所述Y轴驱动机构可驱动所述X轴驱动机构沿Y轴方向移动。

进一步地：所述Z轴驱动机构、X轴驱动机构和Y轴驱动机构均为直线电机。

进一步地：还包括滑轨、滑块和连接板，所述连接板的下端与所述安装板固定连接，所述连接板的上端与所述滑块固定连接，所述滑块滑动设置在所述滑轨上，所述滑轨沿Z轴方向固定在所述X轴驱动机构上，所述Z轴驱动机构固定在所述X轴驱动机构上，可驱动所述滑块沿所述滑轨移动。

进一步地：所述X轴驱动机构上设有固定块，所述固定块上设有气管接头和出气口，所述伺服电机的输出轴为空心轴，所述出气口与所述伺服电机的输出轴通过弹簧气管连接。

进一步地：所述连接板上设有弹簧，所述弹簧的一端与所述固定块固定连接，所述弹簧的另一端与所述连接板的下端固定连接。

本实用新型的有益效果是，本实用新型一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构通过Z轴驱动机构、X轴驱动机构和Y轴驱动机构将吸嘴移动到料片所在位置，然后通过伺服电机控制吸嘴进行转动，调整晶元与料片的角度偏差，使晶元精准的贴合在料片上，避免晶元因贴合度不达标造成脱落，需要重新进行取晶和固晶的过程，降低了生产成本，同时也提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型正视的结构示意图；

图2是本实用新型后视的结构示意图；

图3是本实用新型沿Z轴方向移动的结构示意图。

图中1、机架，2、伺服电机，3、安装板，4、吸嘴，5、Z轴驱动机构，6、X轴驱动机构，7、Y轴驱动机构，8、滑轨，9、滑块，10、连接板，11、固定块，12、弹簧气管，13、弹簧。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。相反，本实用新型的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本实用新型的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本实用新型的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

如图1和图2所示，本实用新型提供了一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，包括机架1，还包括：伺服电机2，所述伺服电机2固定在安装板3上，所述伺服电机2的输出轴上固定连接有吸嘴4，所述伺服电机2可控制所述吸嘴4进行转动；Z轴驱动机构5，所述Z轴驱动机构5可驱动所述安装板3沿Z轴方向移动；X轴驱动机构6，所述X轴驱动机构6可驱动所述Z轴驱动机构5沿X轴方向移动；Y轴驱动机构7，所述Y轴驱动机构7可驱动所述X轴驱动机构6沿Y轴方向移动。

在工作时，吸嘴4吸取料片上晶元，通过Z轴驱动机构5、X轴驱动机构6和Y轴驱动机构7，控制吸嘴4的空间移动，将晶元固定在工件上，当晶元与工件上的位置存在角度偏差时，通过本装置上的检测机构计算出偏差的角度，将信息传递给伺服电机2，伺服电机2的输出轴驱动吸嘴4转动修正晶元偏移的角度，避免了现有设备的吸嘴4在吸取晶元后，晶元位置与工件位置角度发生偏差，使晶元与工件的贴合度不高，生产的电子封装件的质量不符合客户的要求。

所述Z轴驱动机构5、X轴驱动机构6和Y轴驱动机构7均为直线电机，直线电机不需要经过中间转换机构而直接产生直线运动，使结构大大简化，运动惯量减少，动态响应性能和定位精度大大提高；同时也提高了可靠性，节约了成本，使制造和维护更加简便。

如图3所示，还包括滑轨8、滑块9和连接板10，所述连接板10的下端与所述安装板3固定连接，所述连接板10的上端与所述滑块9固定连接，所述滑块9滑动设置在所述滑轨8上，所述滑轨8沿Z轴方向固定在所述X轴驱动机构6上，所述Z轴驱动机构5固定在所述X轴驱动机构6上，可驱动所述滑块9沿所述滑轨8移动，进而控制吸嘴4上下移动。

所述X轴驱动机构6上设有固定块11，所述固定块11上设有气管接头和出气口，所述伺服电机2的输出轴为空心轴，所述出气口与所述伺服电机2的输出轴通过弹簧气管12连接，将气管接头与装置上的真空罐连接，开启出气口的阀门，通过弹簧气管12将吸嘴4中的空气抽走，使吸嘴4产生吸附力，吸取料片上的晶元。

所述连接板10上设有弹簧13，所述弹簧13的一端与所述固定块11固定连接，所述弹簧13的另一端与所述连接板10的下端固定连接，当Z轴驱动机构5停止对连接板10的驱动，由于受重力的影响滑块9将沿滑轨8向下移动，通过弹簧13可减缓移动的速度或阻止连接板10下落，避免滑块9产生碰撞，降低滑块9的使用寿命。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (5)

1.一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，包括机架（1），其特征在于，还包括：

伺服电机（2），所述伺服电机（2）固定在安装板（3）上，所述伺服电机（2）的输出轴上固定连接有吸嘴（4），所述伺服电机（2）可控制所述吸嘴（4）进行转动；

Z轴驱动机构（5），所述Z轴驱动机构（5）可驱动所述安装板（3）沿Z轴方向移动；

X轴驱动机构（6），所述X轴驱动机构（6）可驱动所述Z轴驱动机构（5）沿X轴方向移动；

Y轴驱动机构（7），所述Y轴驱动机构（7）可驱动所述X轴驱动机构（6）沿Y轴方向移动。

2.如权利要求1所述的一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，其特征在于，所述Z轴驱动机构（5）、X轴驱动机构（6）和Y轴驱动机构（7）均为直线电机。

3.如权利要求2所述的一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，其特征在于，还包括滑轨（8）、滑块（9）和连接板（10），所述连接板（10）的下端与所述安装板（3）固定连接，所述连接板（10）的上端与所述滑块（9）固定连接，所述滑块（9）滑动设置在所述滑轨（8）上，所述滑轨（8）沿Z轴方向固定在所述X轴驱动机构（6）上，所述Z轴驱动机构（5）固定在所述X轴驱动机构（6）上，可驱动所述滑块（9）沿所述滑轨（8）移动。

4.如权利要求3所述的一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，其特征在于，所述X轴驱动机构（6）上设有固定块（11），所述固定块（11）上设有气管接头和出气口，所述伺服电机（2）的输出轴为空心轴，所述出气口与所述伺服电机（2）的输出轴通过弹簧气管（12）连接。

5.如权利要求4所述的一种具有晶圆位置修正功能的取晶固晶机构，其特征在于，所述连接板（10）上设有弹簧（13），所述弹簧（13）的一端与所述固定块（11）固定连接，所述弹簧（13）的另一端与所述连接板（10）的下端固定连接。

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