CN216748135U - 一种检测foup门板状态的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种检测FOUP门板状态的装置，包括一组对射式光电传感器、第一支架、第二支架和天车控制器；对射式光电传感器包括发射端和接收端，发射端安装在第一支架上，接收端安装在第二支架上；当FOUP位于载物台的出仓位置且FOUP门板完全卡入FOUP卡槽时，发射端发射的光线线束被接收端接收；当FOUP位于载物台的出仓位置且FOUP门板未完全卡入FOUP卡槽时，发射端发射的光线线束被FOUP门板遮挡；发射端和接收端分别与天车控制器电连接。当FOUP位于载物台的出仓位置且FOUP门板未完全卡入FOUP卡槽时，天车控制器控制天车不搬运FOUP，这样可以防止FOUP在被天车搬运过程中FOUP门板掉落。

Description

一种检测FOUP门板状态的装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，特别涉及一种检测FOUP门板状态的装置。

背景技术

晶圆在倒片机等机台内作业完成后，需要将晶圆放在FOUP(Front OpeningUnified Pod，前开式晶圆传送盒)中；晶圆在FOUP中放好之后，FOUP从机台的内部向机台外部移动，当FOUP移动到机台的Load port(Load port，载物台)上的undock(undock，退出、出仓)位置时，机台的吸盘需要将FOUP门板卡入FOUP卡槽中，FOUP门板可以防止晶圆从FOUP内滑出；然后OHT(Overhead Hoist Transport，天车)将FOUP吊到下一个作业位置。

然而，FOUP门板的四周有时不能同时卡入FOUP卡槽中，这样导致OHT在移动FOUP时FOUP门板可能掉落，存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型提供了一种检测FOUP门板状态的装置，以解决FOUP门板可能掉落的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种检测FOUP门板状态的装置，包括一组对射式光电传感器、第一支架、第二支架和天车控制器；所述对射式光电传感器包括发射端和接收端，所述发射端安装在所述第一支架上，所述接收端安装在所述第二支架上；所述第一支架和所述第二支架分别安装在机台上；当FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板完全卡入FOUP卡槽时，所述发射端发射的光线线束被所述接收端接收；当所述FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板未完全卡入FOUP卡槽时，所述发射端发射的光线线束被所述FOUP门板遮挡；所述发射端和所述接收端分别与所述天车控制器电连接。

可选的，所述FOUP门板包括对角线，当所述FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板完全卡入所述FOUP卡槽时，所述光线线束与所述对角线平行，所述对角线的长度小于所述光线线束的长度，所述对角线位于所述发射端和所述接收端之间。

可选的，所述第一支架的形状为直角形。

可选的，所述第一支架包括相互垂直的第一面和第二面，所述第一面设置有用于固定和调节位置的通孔和圆弧形通孔。

可选的，所述第一支架的第二面设置有U形槽，所述发射端安装在所述U形槽中，所述U形槽的延伸方向与所述光线线束垂直。

可选的，所述U形槽的个数为两个，两个所述U形槽平行。

可选的，所述第一支架和所述第二支架的形状和结构均相同。

可选的，所述装置还包括报警模块，所述报警模块与所述天车控制器电连接；当所述发射端发射的光线线束未被所述接收端接收时，所述天车控制器启动所述报警模块。

可选的，所述报警模块为报警灯或蜂鸣器。

本实用新型提供的一种检测FOUP门板状态的装置，当所述FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板完全卡入所述FOUP卡槽时，所述发射端发射的光线线束被所述接收端接收，此时所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的HO(Handoff-available，设备端状态反馈是否可以进行搬送)信号为可搬运信号(可搬运信号可以是高电平)，所述天车控制器控制天车将所述FOUP搬离所述载物台；当所述FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板未完全卡入所述FOUP卡槽时，所述发射端发射的光线线束被所述FOUP门板遮挡，此时所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的HO信号为不可搬运信号(不可搬运信号可以是低电平)，所述天车控制器控制天车不搬运所述FOUP，这样可以防止所述FOUP门板在未完全卡入所述FOUP卡槽时，所述FOUP在被天车搬运过程中所述FOUP门板掉落。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的FOUP位于Load port的undock位置且FOUP门板完全卡入FOUP卡槽时的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例提供的发射端和接收端安装在机台的窗口位置的机构示意图。

图3是本实用新型一实施例提供的一种第一支架的结构示意图。

[附图标记说明如下]：

天车-1、发射端-2、接收端-3、第一支架-4、载物台-5、FOUP-6、机台的窗口-7；

第一面-41、第二面-42；

通孔-411、圆弧形通孔-412；U形槽-421；

FOUP门板-61、FOUP卡槽-62。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种检测FOUP门板状态的装置作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

如图1和图2所示，本实施例提供了一种检测FOUP门板状态的装置，包括一组对射式光电传感器、第一支架4、第二支架和天车控制器；所述对射式光电传感器包括发射端2和接收端3，所述发射端2安装在所述第一支架4上，所述接收端3安装在所述第二支架上；所述第一支架4和所述第二支架分别安装在机台上；当FOUP6位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61完全卡入FOUP卡槽62时，所述发射端2发射的光线线束被所述接收端3接收；当所述FOUP6位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61未完全卡入FOUP卡槽62时，所述发射端2发射的光线线束被所述FOUP门板61遮挡；所述发射端2和所述接收端3分别与所述天车控制器电连接。

其中，所述机台可以是倒片机；所述天车控制器可以是PLC(Programmable LogicController，可编程逻辑控制器)；所述载物台5是指所述机台的Load port(Load port，载物台5)；所述出仓位置是指undock(undock，退出、出仓)位置；FOUP6包括FOUP门板61和FOUP卡槽62，FOUP卡槽62通常设置在FOUP6的端口的四周；当所述FOUP6位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61未完全卡入FOUP卡槽62时，所述FOUP门板61与所述FOUP卡槽62未完全贴合，所述FOUP门板61未卡入FOUP卡槽62的位置会向FOUP6的外侧翘起，从而导致所述发射端2发射的光线线束被所述FOUP门板61遮挡；FOUP门板61包括完全卡入FOUP卡槽62和未完全卡入FOUP卡槽62这两种状态；所述对射式光电传感器的型号可以是EX-19；一个所述FOUP6中可以设置多个隔层，每个隔层中存放一片晶圆；机台的窗口7位置设置有门，门被开门部件打开时，所述FOUP6可以从载物台5移动进入机台的内部，或者从机台的内部移动到载物台5上；所述发射端2和所述接收端3的安装位置可以对调。

本实施例提供的一种检测FOUP门板状态的装置，当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述发射端2发射的光线线束被所述接收端3接收，此时所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的HO(Handoff-available，设备端状态反馈是否可以进行搬送)信号为可搬运信号(可搬运信号可以是高电平)，所述天车控制器控制天车1将所述FOUP搬离所述载物台5；当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61未完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述发射端2发射的光线线束被所述FOUP门板61遮挡，此时所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的HO信号为不可搬运信号(不可搬运信号可以是低电平)，所述天车控制器控制天车1不搬运所述FOUP，这样可以防止所述FOUP门板61在未完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述FOUP在被天车1搬运过程中所述FOUP门板61掉落。

可选的，如图1和图2所示，所述FOUP门板61包括对角线，当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述光线线束与所述对角线平行，所述对角线的长度小于所述光线线束的长度，所述对角线位于所述发射端2和所述接收端3之间。这样不仅可以防止所述发射端2和所述接收端3妨碍所述天车1搬运所述FOUP，还可以对FOUP门板61的整个面的倾斜状态进行检测，当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述FOUP门板61处于竖直状态，所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的信号为可搬运信号；当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61未完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述FOUP门板61处于倾斜状态并且遮挡所述光线线束，所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的信号为不可搬运信号。

可选的，如图3所示，所述第一支架4的形状为直角形。这样方便将所述第一之间固定在所述机台上，并且方便将所述放射端固定在所述第一支架4上。

可选的，如图2和图3所示，所述第一支架4包括相互垂直的第一面41和第二面42，所述第一面41设置有用于固定和调节位置的通孔411和圆弧形通孔412。所述通孔411和所述圆弧形通孔412可以分别安装一个螺丝，以便将所述第一支架4固定在所述机台上，所述第一支架4可以以所述通孔411为圆心旋转，从而方便调节所述发射端2的位置。

可选的，如图2和图3所示，所述第一支架4的第二面42设置有U形槽421，所述发射端2安装在所述U形槽421中，所述U形槽421的延伸方向与所述光线线束垂直。设置所述U形槽421，可以方便调节所述发射端2的位置。

可选的，如图2和图3所示，所述U形槽421的个数为两个，两个所述U形槽421平行。设置两个所述U形槽421，可以将所述发射端2牢固的固定在所述第一支架4上。

可选的，如图2和图3所示，所述第一支架4和所述第二支架的形状和结构均相同。这样方便调节所述接收端3的位置，并且方便制作所述第一支架4和所述第二支架。

可选的，如图1所示，所述装置还包括报警模块，所述报警模块与所述天车控制器电连接；当所述发射端2发射的光线线束未被所述接收端3接收时，所述天车控制器启动所述报警模块。增加所述报警模块，当所述FOUP门板61为完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述报警模块可以及时提醒作业人员查看和纠正所述FOUP门板61的位置。

可选的，如图1所示，所述报警模块为报警灯或蜂鸣器。这样可以及时提醒作业人员查看和纠正所述FOUP门板61的位置。

综上所述，本实用新型提供的一种检测FOUP门板状态的装置，当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述发射端2发射的光线线束被所述接收端3接收，此时所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的HO(Handoff-available，设备端状态反馈是否可以进行搬送)信号为可搬运信号(可搬运信号可以是高电平)，所述天车控制器控制天车1将所述FOUP搬离所述载物台5；当所述FOUP位于载物台5的出仓位置且所述FOUP门板61未完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述发射端2发射的光线线束被所述FOUP门板61遮挡，此时所述对射式光电传感器反馈给所述天车控制器的HO信号为不可搬运信号(不可搬运信号可以是低电平)，所述天车控制器控制天车1不搬运所述FOUP，这样可以防止所述FOUP门板61在未完全卡入所述FOUP卡槽62时，所述FOUP在被天车1搬运过程中所述FOUP门板61掉落。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，包括一组对射式光电传感器、第一支架、第二支架和天车控制器；所述对射式光电传感器包括发射端和接收端，所述发射端安装在所述第一支架上，所述接收端安装在所述第二支架上；所述第一支架和所述第二支架分别安装在机台上；当FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板完全卡入FOUP卡槽时，所述发射端发射的光线线束被所述接收端接收；当所述FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板未完全卡入FOUP卡槽时，所述发射端发射的光线线束被所述FOUP门板遮挡；所述发射端和所述接收端分别与所述天车控制器电连接。

2.如权利要求1所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述FOUP门板包括对角线，当所述FOUP位于载物台的出仓位置且所述FOUP门板完全卡入所述FOUP卡槽时，所述光线线束与所述对角线平行，所述对角线的长度小于所述光线线束的长度，所述对角线位于所述发射端和所述接收端之间。

3.如权利要求1所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述第一支架的形状为直角形。

4.如权利要求3所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述第一支架包括相互垂直的第一面和第二面，所述第一面设置有用于固定和调节位置的通孔和圆弧形通孔。

5.如权利要求4所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述第一支架的第二面设置有U形槽，所述发射端安装在所述U形槽中，所述U形槽的延伸方向与所述光线线束垂直。

6.如权利要求5所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述U形槽的个数为两个，两个所述U形槽平行。

7.如权利要求6所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架的形状和结构均相同。

8.如权利要求1所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述装置还包括报警模块，所述报警模块与所述天车控制器电连接；当所述发射端发射的光线线束未被所述接收端接收时，所述天车控制器启动所述报警模块。

9.如权利要求8所述的一种检测FOUP门板状态的装置，其特征在于，所述报警模块为报警灯或蜂鸣器。

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