CN216688291U - 一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，包括镀膜箱、固定连接镀膜箱的材料预热箱和材料预热箱下方的真空泵，所述镀膜箱上安装有：转台，所述转台与镀膜箱内腔顶壁轴转连接；转台底部开设有数个凹槽；固定机构，所述固定机构固定安装在凹槽内；承料皿，所述承料皿位于转台的正下方，承料皿外侧固定套有固定圆缸；若干个封闭门，若干个所述封闭门均滑动连接镀膜箱内腔靠近开口处，封闭门底部固定连接有驱动开合装置；所述镀膜箱顶部还固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴伸入镀膜箱内腔固定连接转台。本实用新型操作简便，节约人力，镀料加热均匀，大幅提高了镀料的蒸发效率，保证了镀膜的质量，实现镀膜物品的广泛性。

Description

一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置

技术领域

本实用新型属于真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置技术领域，尤其涉及一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置。

背景技术

真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中发展最早，应用最广泛的一种。在有机太阳能电池、金属电极、食品包装等行业被广泛应用，以及相应薄膜器件的产业化中应用也非常广泛,其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发,由固相/液相变成气相,然后气体分子或原子在蒸发源与基板之间输运,最后蒸发的分子或原子在基板上沉积,形成所需要的薄膜。

但目前的真空镀膜用镀膜材料蒸发装置，镀料一次性倾倒过多，在蒸发时镀料堆积，容易出现加热不均匀的现象，导致镀膜材料飞溅或沉积,蒸发效果差，不容易获得结晶结构的薄膜，所形成的薄膜在基板上的附着力较小，容易对产品质量产生很大的负面影响；物品受镀面单一，需要打开整个镀膜腔室对物品进行固定悬挂，旋转角度受限，导致镀膜不均匀，效果不佳，工艺重复性不够好。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其通过设置材料预加热箱对镀料进行预加热，间断运输镀料进入镀膜箱，配合承料皿将镀料均匀铺设，提高镀膜效率和质量，使用行星系统，夹具在转台带动下绕公共轴旋转,同时绕其自身轴旋转，保证镀料在夹具区域内均匀分布。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，包括镀膜箱、固定连接镀膜箱的材料预热箱和材料预热箱下方的真空泵，所述镀膜箱上安装有：

转台，所述转台与镀膜箱内腔顶壁轴转连接；转台底部开设有数个凹槽；

固定机构，所述固定机构固定安装在凹槽内；

承料皿，所述承料皿位于转台的正下方，承料皿外侧固定套有固定圆缸；

若干个封闭门，若干个所述封闭门均滑动连接镀膜箱内腔靠近开口处，封闭门底部固定连接有驱动开合装置；

所述镀膜箱顶部还固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴伸入镀膜箱内腔固定连接转台；

通料管道，所述通料管道固定安装在材料预热箱靠近镀膜箱一端，通料管道呈漏斗型状倾斜放置；

密封门，所述安装在材料预热箱远离镀膜箱一端上，且密封门通向材料预热箱内腔；

所述真空泵一侧固定连接有伸入镀膜箱内腔的通气管，且所述通气管外侧固定安装有真空阀门。

优选地，所述固定圆缸的内壁上固定安装有若干震动泵，承料皿底部和外侧固定安装有限位弹簧，所述封闭门与开口吻合适配，所述承料皿分为内外双层，内外层之间固定盘绕有加热管。

优选地，所述固定机构包括一端转动连接凹槽内壁的第一丝杆、固定连接凹槽内壁的第二电机、套在第一丝杆外侧与其螺纹连接的滑块、固定连接在滑块底侧面的固定杆和固定连接固定杆底部的轴柱。

优选地，所述第二电机固定连接第一丝杆的一端，所述固定杆两侧均开设有滑槽，所述转台底部靠近开口一端的凹槽下方均固定安装有固定板，所述固定板与滑槽相适配，所述轴柱侧面均固定连接若干夹具。

优选地，所述夹具包括内嵌在轴柱上的第三电机、固定连接第三电机输出端的固定夹板、固定连接在固定夹板两端的固定柱、滑动连接在固定柱上的拉动夹板、固定连接在固定柱远离固定夹板一端的阻挡块和套在固定柱伸出拉动夹板连接固定柱部分外侧的推力弹簧。

优选地，所述驱动开合装置包括一端转动连接镀膜箱内壁的第二丝杆、套在第二丝杆外侧与其螺纹连接的滑台、固定连接在滑台顶部的电推杆和固定连接镀膜箱内壁的第四电机，所述电推杆的伸缩端与封闭门固定连接，所述第四电机的输出轴与第二丝杆一端固定连接。

优选地，所述加热箱下方安装有两个轴转连接材料预热箱内壁的传动辊，两个所述传动辊的外侧安装有传输带，所述传动辊两端分别固定连接伸出材料预热箱外的第一轴转柱和第二轴转柱。

优选地，所述材料预热箱内腔顶壁固定连接有加热箱，所述通料管道上方滑动连接设有封闭板，所述封闭板顶部固定连接U型支架，U型支架远离封闭板一端固定间断传动机构。

优选地，所述间断传动机构包括固定连接U型支架的横板、套在U型支架外侧的压力弹簧、套在U型支架外侧与其滑动连接的限位块和边缘固定连接第一轴转柱的转盘，所述限位块一侧固定在材料预热箱的外壁上。

优选地，所述第二轴转柱伸出材料预热箱一端固定连接主动机构，所述主动机构包括固定套在第二轴转柱外侧的密齿轮、轴转连接材料预热箱外壁且与密齿轮相啮合的疏齿轮和驱动疏齿轮旋转并固定安装在材料加热箱侧面上的第五电机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过设置材料预加热箱，材料预加热箱顶壁固定设有加热箱对镀料进行预加热，第五电机带动疏齿轮转动，疏齿轮传动密齿轮控制传动辊，从而带动传输带间断运动，同时在通料管道处设有封闭板，通过间断传动机构驱动保持与传动辊同时运动，将镀料间断运输进入承料皿，承料皿配合固定圆缸内的限位弹簧和震动泵将镀料均匀铺设，实现镀料少量进入受热均匀，提高镀膜附着力和质量；此外，在镀膜箱内腔顶壁设有转台和固定机构，通过固定板和第一丝杆对固定杆进行限位，使其可以由第二电机控制伸出或收回镀膜箱内腔，固定设有夹具利用推力弹簧配合夹板，使用行星系统原理，夹具在转台带动下绕公共轴旋转,同时绕其自身轴旋转，保证镀料在夹具区域内均匀分布设置，提高工艺重复性，保证镀膜的质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的剖面结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的局部A结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的整体结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的局部B结构示意图。

图5为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的后视结构示意图。

图6为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的内部结构示意图。

图7为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的镀膜箱剖面结构示意图。

图8为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的镀膜箱内腔顶壁结构示意图。

图9为本实用新型提出的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置的材料预热箱剖面结构示意图。

图中：1、镀膜箱；2、材料预热箱；3、真空泵；4、第一电机；5、转台；6、凹槽；7、承料皿；8、固定圆缸；9、封闭门；10、震动泵；11、限位弹簧；12、加热管；13、第一丝杆；14、第二电机；15、固定杆；16、轴柱；17、滑槽；18、固定板；19、第三电机；20、推力弹簧；21、第二丝杆；22、滑台；23、电推杆；24、第四电机；25、传动辊；26、传输带；27、第一轴转柱；28、第二轴转柱；29、加热箱；30、封闭板；31、U型支架；32、压力弹簧；33、密齿轮；34、疏齿轮；35、第五电机；36、通料管道；37、密封门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-9，一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，包括镀膜箱1、固定连接镀膜箱1的材料预热箱2和材料预热箱2下方的真空泵3，其特征在于，所述镀膜箱1上安装有：

转台5，所述转台5与镀膜箱1内腔顶壁轴转连接；转台5底部开设有数个凹槽6；

固定机构，所述固定机构固定安装在凹槽6内，对基体进行固定；

承料皿7，所述承料皿7位于转台5的正下方，承料皿7外侧固定套有固定圆缸8；

若干个封闭门9，若干个所述封闭门9均滑动连接镀膜箱1内腔靠近开口处，封闭门9底部固定连接有驱动开合装置，控制镀膜箱1的打开和关闭；

所述镀膜箱1顶部还固定连接有第一电机4，所述第一电机4的输出轴伸入镀膜箱1内腔固定连接转台5，第一电机4带动转台5的转动；

通料管道36，所述通料管道36固定安装在材料预热箱2靠近镀膜箱1一端，通料管道36呈漏斗型状倾斜放置，方便对镀料的运输；

密封门37，所述安装在材料预热箱2远离镀膜箱1一端上，且密封门37通向材料预热箱2内腔，确保内部的真空状态，提高镀料蒸发效率；

所述真空泵3一侧固定连接有伸入镀膜箱1内腔的通气管，且所述通气管外侧固定安装有真空阀门，控制装置内部的真空状态。

参照图1，为了均匀铺设镀料，固定圆缸8的内壁上固定安装有若干震动泵10，承料皿7底部和外侧固定安装有数个限位弹簧11，使镀料受热均匀，提高镀膜附着力和质量，封闭门9与开口吻合适配，承料皿7分为内外双层，内外层之间固定盘绕有加热管12，使镀料与加热器无接触,增加装置使用寿命。

参照图2，为了方便对多种物品的固定悬挂，夹具包括内嵌在轴柱16上的第三电机19、固定连接第三电机19输出端的固定夹板、固定连接在固定夹板两端的固定柱、滑动连接在固定柱上的拉动夹板、固定连接在固定柱远离固定夹板一端的阻挡块和套在固定柱伸出拉动夹板连接固定柱部分外侧的推力弹簧20，实现小宗物品的夹取固定和大宗物品悬挂式固定。

参照图4，为了配合传动辊25和运输带的间断运动，间断传动机构包括固定连接U型支架31的横板、套在U型支架31外侧的压力弹簧32、套在U型支架31外侧与其滑动连接的限位块和边缘固定连接第一轴转柱27的转盘，限位块一侧固定在材料预热箱2的外壁上，控制封闭板30的间断开合，放入镀料。

为了实现镀料的间断运输，加热箱29下方安装有两个轴转连接材料预热箱2内壁的传动辊25，两个所述传动辊25的外侧安装有传输带26，传动辊25两端分别固定连接伸出材料预热箱2外的第一轴转柱27和第二轴转柱28，第二轴转柱28伸出材料预热箱2一端固定连接主动机构，主动机构包括固定套在第二轴转柱28外侧的密齿轮33、轴转连接材料预热箱2外壁且与密齿轮33相啮合的疏齿轮34和驱动疏齿轮34旋转并固定安装在材料加热箱29侧面上的第五电机35，第五电机35带动疏齿轮34转动，疏齿轮34传动密齿轮33控制传动辊25，从而带动传输带26间断运动，将镀料间断运输进入承料皿7。

参照图6，为了实现镀膜箱1的打开和闭合的状态可控，驱动开合装置包括一端转动连接镀膜箱1内壁的第二丝杆21、套在第二丝杆21外侧与其螺纹连接的滑台22、固定连接在滑台22顶部的电推杆23和固定连接镀膜箱1内壁的第四电机24，电推杆23的伸缩端与封闭门9固定连接，第四电机24的输出轴与第二丝杆21一端固定连接，可以驱动第二丝杆21运转，改变滑台22位置，在适当位置启动电推杆23将封闭门9推入开口，实现镀膜想内腔密封。

参照图7和8，为了实现对物品的固定，固定机构包括一端转动连接凹槽6内壁的第一丝杆13、固定连接凹槽6内壁的第二电机14、套在第一丝杆13外侧与其螺纹连接的滑块、固定连接滑块底侧面的固定杆15和固定连接固定杆15底部的轴柱16，第二电机14固定连接第一丝杆13的一端，固定杆15两侧均开设有滑槽17，转台5底部靠近开口一端的凹槽6下方均固定安装有固定板18，固定板18与滑槽17相适配，轴柱16侧面均固定连接若干夹具，启动第二电机14，固定杆15在第一丝杆13和滑块的驱动下伸出镀膜箱1内腔，固定杆15在滑槽17内滑动，对固定杆15进行限位。

参照图9，为了提高镀料的加热效率，材料预热箱2内腔顶壁固定连接有加热箱29，通料管道36上方滑动连接设有封闭板30，封闭板30顶部固定连接U型支架31，U型支架31远离封闭板30一端固定间断传动机构，对镀料进行预热，配合传动辊25和运输带的间断运动，将镀料少量间断放入承料皿7。

现对本实用新型的操作原理做如下描述：

本实用新型中，先启动电推杆23将封闭们收缩至合适位置，再启动第四电机24传动第二丝杆21，从而带动封闭门9移动，镀膜箱1开口打开，又启动第二电机14传动第一丝杆13，带动滑块上的固定杆15运行，固定板18在固定杆15的滑槽17中滑动，对固定杆15进行限位，固定杆15伸出镀膜箱1，移动拉动夹板，将物品通过推力弹簧20的力进行夹击固定，再启动第二电机14将固定杆15和轴柱16收缩入镀膜箱1内，启动第四电机24和电推杆23移动封闭门9将开口密封，将镀料通过密封门37倒入材料预加热箱29内腔，关闭密封门37，打开加热箱29对镀料进行预加热，启动真空泵3对装置内腔进行真空处理，启动第五电机35，配合疏齿轮34和密齿轮33的啮合带动传动辊25，从而带动传输带26间断运动，同时传动另一传动辊25通过第一轴转柱27带动圆盘旋转，配合压力弹簧32和U型支架31实现密封门37的间断运动，将镀料少量均匀通过通料管道36运输进入镀膜箱1，落入承料皿7，承料皿7配合固定圆缸8内的限位弹簧11和震动泵将镀料均匀铺设，承料皿7内部的加热管12对镀料进行加热使其蒸发，启动第一电机4和第三电机19，物品呈行星系统运转，均匀镀膜实现后，再启动第四电机24打开封闭门9，启动第二电机14和将物品推出镀膜箱1。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，包括镀膜箱(1)、固定连接镀膜箱(1)的材料预热箱(2)和材料预热箱(2)下方的真空泵(3)，其特征在于，所述镀膜箱(1)上安装有：

转台(5)，所述转台(5)与镀膜箱(1)内腔顶壁轴转连接；转台(5)底部开设有数个凹槽(6)；

固定机构，所述固定机构固定安装在凹槽(6)内；

承料皿(7)，所述承料皿(7)位于转台(5)的正下方，承料皿(7)外侧固定套有固定圆缸(8)；

若干个封闭门(9)，若干个所述封闭门(9)均滑动连接镀膜箱(1)内腔靠近开口处，封闭门(9)底部固定连接有驱动开合装置；

所述镀膜箱(1)顶部还固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出轴伸入镀膜箱(1)内腔固定连接转台(5)；

通料管道(36)，所述通料管道(36)固定安装在材料预热箱(2)靠近镀膜箱(1)一端，通料管道(36)呈漏斗型状倾斜放置；

密封门(37)，所述安装在材料预热箱(2)远离镀膜箱(1)一端上，且密封门(37)通向材料预热箱(2)内腔；

所述真空泵(3)一侧固定连接有伸入镀膜箱(1)内腔的通气管，且所述通气管外侧固定安装有真空阀门。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述固定圆缸(8)的内壁上固定安装有若干震动泵(10)，承料皿(7)底部和外侧均固定安装有限位弹簧(11)，所述封闭门(9)与开口吻合适配，所述承料皿(7)分为内外双层，内外层之间固定盘绕有加热管(12)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述固定机构包括一端转动连接凹槽(6)内壁的第一丝杆(13)、固定连接在凹槽(6)内壁的第二电机(14)、套在第一丝杆(13)外侧与其螺纹连接的滑块、固定连接在滑块底侧面的固定杆(15)和固定连接在固定杆(15)底部的轴柱(16)。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述第二电机(14)固定连接第一丝杆(13)的一端，所述固定杆(15)两侧均开设有滑槽(17)，所述转台(5)底部靠近开口一端的凹槽(6)下方均固定安装有固定板(18)，所述固定板(18)与滑槽(17)相适配，所述轴柱(16)侧面均固定连接若干夹具。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述夹具包括内嵌在轴柱(16)上的第三电机(19)、固定连接第三电机(19)输出端的固定夹板、固定连接在固定夹板两端的固定柱、滑动连接在固定柱上的拉动夹板、固定连接在固定柱远离固定夹板一端的阻挡块和套在固定柱伸出拉动夹板连接固定柱部分外侧的推力弹簧(20)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述驱动开合装置包括一端转动连接镀膜箱(1)内壁的第二丝杆(21)、套在第二丝杆(21)外侧与其螺纹连接的滑台(22)、固定连接在滑台(22)顶部的电推杆(23)和固定连接在镀膜箱(1)内壁的第四电机(24)，所述电推杆(23)的伸缩端与封闭门(9)固定连接，所述第四电机(24)的输出轴与第二丝杆(21)一端固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，加热箱(29)下方安装有两个轴转连接材料预热箱(2)内壁的传动辊(25)，两个所述传动辊(25)的外侧安装有传输带(26)，所述传动辊(25)的两端分别固定连接有伸出材料预热箱(2)外的第一轴转柱(27)和第二轴转柱(28)。

8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述材料预热箱(2)内腔顶壁固定连接有加热箱(29)，所述通料管道(36)上方滑动连接设有封闭板(30)，所述封闭板(30)顶部固定连接U型支架(31)，U型支架(31)远离封闭板(30)一端固定间断传动机构。

9.根据权利要求8所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述间断传动机构包括固定连接U型支架(31)的横板、套在U型支架(31)外侧的压力弹簧(32)、套在U型支架(31)外侧与其滑动连接的限位块和边缘固定连接第一轴转柱(27)的转盘，所述限位块一侧固定在材料预热箱(2)的外壁上。

10.根据权利要求7所述的一种真空镀膜用的镀膜材料蒸发装置，其特征在于，所述第二轴转柱(28)伸出材料预热箱(2)一端固定连接主动机构，所述主动机构包括固定套在第二轴转柱(28)外侧的密齿轮(33)、轴转连接材料预热箱(2)外壁且与密齿轮(33)相啮合的疏齿轮(34)和驱动疏齿轮(34)旋转并固定安装在材料加热箱(29)侧面上的第五电机(35)。

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