CN216687426U - 自动化电子级化学品灌装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种自动化电子级化学品灌装装置，包括机柜，所述机柜包括进口和出口，所述机柜内设置有传输机构、灌装机构以及夹持机构。本方案利用自动化电子级化学品灌装装置实现灌装过程的全自动化，灌装全过程无需人工操作，确保了电子级半导体化学品灌装的精确性和灌装效率，同时避免灌装过程中化学品溢出造成污染，保证了灌装环境的洁净程度和灌装的安全性。

Description

自动化电子级化学品灌装装置

技术领域

本实用新型涉及自动化电子技术领域，尤其是一种自动化电子级化学品灌装装置。

背景技术

在大规模集成电路(IC)制造中需要使用大量高纯度的电子级半导体化学品，如RCA清洗、湿式蚀刻等。半导体化学品普遍具有一定毒性，溶剂类还具有易燃、易爆等危险性，随着半导体制程精度的提升，对化学品纯度的要求也越来越高。

传统的灌装方式主要通过人工灌装或者半自动化设备进行灌装操作，电子级化学品质量要求高，对环境洁净度要求苛刻，传统的灌装方式难以满足较高精度、高洁净度的灌装要求，易产生以下问题：

1、灌装位置不准确，灌装操作不正确，导致化学品溢出，污染包装桶和灌装工位，同时，部分化学品具有腐蚀性和毒性，人工操作下，化学品的溢出容易造成人体伤害，不能保证灌装操作的安全性；

2、灌装重量难以精准控制，难以保证产品灌装质量的稳定性；

3、难以保证洁净的灌装环境，无法达到电子级化学品的洁净度需求；

4、部分化学品在灌装过程中容易气泡，传统的灌装方式也易将灰尘、空气输入化学品内，影响化学品质量。

实用新型内容

新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种自动化电子级化学品灌装装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

自动化电子级化学品灌装装置，包括机柜，所述机柜包括进口和出口，所述机柜内设置有传输机构、灌装机构以及夹持机构，

传输机构：包括输送线，所述输送线自所述机柜的进口延伸至出口；

灌装机构：所述灌装机构设置在所述传输机构的中段，包括可升降、可旋转地设置在所述机柜内的灌装头，用于对装有化学品的桶体以及对所述桶体进行定位和称重的电子秤气缸升降机构，所述电子称气缸升降机构包括升降平台，驱动所述升降平台做升降运动的升降气缸，以及用于对灌装过程中的桶体称重的电子称，所述升降平台可选择地在所述传输机构的垂直方向上做升降运动；

夹持机构：所述夹持机构包括设置在所述输送线两侧用于夹持所述桶体的夹持臂，所述夹持臂通过夹持气缸驱动向所述升降平台的轴线方向做伸缩运动，所述灌装头设置在其中一个夹持臂的顶部。

优选的，所述输送线为辊轮输送线，所述辊轮输送线上等距离地间隔设置有辊轮，所述升降平台在相邻两个辊轮的间隔处可选择地做升降运动，所述夹持臂设置在所述升降平台的两侧。

优选的，所述输送线为输送带，所述输送带的中段设置有间隙，所述升降平台在间隙间可选择地做升降运动 ，所述夹持臂可伸缩、可平移地设置在所述间隙的两侧，所述夹持臂的平移方向与所述输送带平行。

优选的，所述桶体的底部设置有凹部，所述升降平台与所述凹部形状相配合。

优选的，所述夹持机构上设置有用于检测桶体距离的位置感应器。

优选的，所述夹持臂与所述桶体的接触面上设置有真空吸嘴。

优选的，所述夹持臂上设置有用于抓取所述桶体的夹爪。

优选的，所述灌装头的底部设置有升降模组和旋转气缸。

优选的，所述灌装头一侧设置有灌装头清洗工位，所述灌装头清洗工位包括清洗槽，所述清洗槽内接通进水管道和出水管道。

优选的，所述柜体外部设置有操作柜台和显示屏，所述操作台和显示屏与所述传输机构、灌装机构以及夹持机构电连接。

本实用新型技术方案的有益效果主要体现在：

1、本方案利用自动化电子级化学品灌装装置实现灌装过程的全自动化，灌装全过程无需人工操作，确保了电子级半导体化学品灌装的精确性和灌装效率，同时避免灌装过程中化学品溢出造成污染，保证了灌装环境的洁净程度和灌装的安全性；

2、本方案利用电子秤气缸升降机构中的电子秤对灌装过程中的桶体进行精准称重，所述电子称及时传输称重信息，当桶体灌装化学品达到预设重量时，灌装头停止灌装，升降平台下降，完成灌装后的桶体随传输机构运输出柜体，确保灌装的精确性；

3、本方案利用电子秤气缸升降机构中的升降平台，在灌装过程中将桶体抬升，离开传输机构的表面，确保称重结果的精确性；

4、本方案利用夹持机构在灌装过程中夹持桶体，确保灌装位置的精确性和灌装过程中桶体定位的稳定性，所述夹持机构上设置有位置感应器，能够精确感应桶体位置，确保夹持位置准确；

5、本方案中的灌装头可升降运动，且在灌装过程中，灌装头伸进桶体内部，在液面下完成灌装，并在灌装过程中随液面升高逐步上升，直至离开桶体，可以避免灌装过程中化学品气泡的现象发生；

6、本方案中的灌装头可旋转，且灌装头的一侧设置有灌装头清洗工位，能够在灌装完成后随时清洗灌装头，确保灌装头的洁净程度，避免污染化学品。

附图说明

图1：为本实用新型中自动化电子级化学品灌装装置的主视图；

图2：为本实用新型图1中A-A方向的截面视图；

图3：为本实用新型中电子称气缸升降机构的结构示意图；

图4：为本实用新型中灌装头以及控制灌装头升降旋转的升降模组和旋转气缸示意图。

具体实施方式

本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。

在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。

下面结合附图对本实用新型揭示的一种自动化电子级化学品灌装装置进行阐述：

如图1-图4所示，所述自动化电子级化学品灌装装置包括机柜1，所述机柜1包括进口和出口，所述机柜1内设置有传输机构2、灌装机构3以及夹持机构4，所述柜体外部设置有操作台8和显示屏9，所述操作台8和显示屏9与所述传输机构2、灌装机构3以及夹持机构4电连接。

具体地，所述传输机构2包括输送线，所述输送线穿过所述机柜1，具体地，所述输送线自所述机柜1的进口延伸至出口。

具体地，所述灌装机构3设置在所述传输机构2的中段，其包括可升降、可旋转地设置在所述机柜1内的灌装头31，所述灌装头31的底部设置有升降模组32和旋转气缸33，所述灌装头31通过旋转气缸33驱动旋转并通过升降模组32驱动升降运动。

具体地，所述灌装机构3还包括用于对装有化学品的桶体5以及对所述桶体5进行定位和称重的电子秤气缸升降机构6，所述桶体5通过所述传输机构2自所述机柜1的进口运输至出口，所述电子秤气缸升降机构6升降平台61、驱动所述升降平台61做升降运动的升降气缸62以及用于对灌装过程中的桶体5称重的电子称63，所述升降气缸62和电子称63设置在升降平台61底部的密封壳内，所述升降平台61可选择地在所述传输机构2的垂直方向上做升降运动，所述桶体5的底部设置有凹部，所述升降平台61与所述凹部形状相配合，进一步地，所述电子称63能够及时精准地在灌装过程中测量桶体5以及灌装的化学品的整体重量，并将称重信息通过信号传递至系统，并通过显示屏9显示，当装有化学品的桶体5达到预设重量时，系统控制灌装头31停止灌装，并驱动所述升降平台61下降至所述传输线底部，使所述桶体5底部接触传输线表面，并输出至出口。

具体地，所述夹持机构4包括设置在所述输送线两侧用于夹持所述桶体5的夹持臂，所述夹持臂通过夹持气缸驱动向所述升降平台61的轴线方向做伸缩运动，所述灌装头31设置在其中一个夹持臂的顶部，所述夹持机构4上设置有用于检测桶体5距离的位置感应器，所述位置感应器的感应位置范围至少包括所述柜体的进口处到所述夹持机构4的位置，当所述位置感应器感应到所述桶体5达到所述夹持臂附近的指定位置后，将所述桶体5的位置信息传输至系统，并通过显示屏9显示，同时，系统控制夹持臂伸出夹持桶体5，确保桶体5在正确的灌装位置，此时，所述桶体5底部的凹部正好对应在所述升降平台61的正上方，进一步地，在本方案中，所述夹持臂与所述桶体5的接触面上设置有真空吸嘴，利用真空吸附桶体5表面，在其他方案中，所述夹持臂上还可以设置夹装抓取桶体5。

具体地，根据输送机构的类别和夹持机构4的夹持方式，可以进一步划分为以下实施例：

实施例1：

所述输送线为辊轮输送线，所述辊轮输送线上等距离地间隔设置有辊轮，所述升降平台61在相邻两个辊轮的间隔处可选择地做升降运动，在本方案中，所述升降平台61包括平行设置的两块升降平板，所述升降平板与所述辊轮输送线的运动方向垂直，且所述升降平板分别在辊轮的间隔处可选择地做升降运动，具体地，两个升降平板之间的距离略宽于一个辊轮的宽度，所述桶体5底部设置的凹部与的形状所述升降平台61相匹配，使两块升降平板正好能够伸入所述凹部内部并将所述桶体5抬升，所述夹持臂设置在所述升降平台61的两侧，当所述夹持臂接受到夹取信息并夹取到桶体5后，所述升降平台61上升，当所述升降平板伸入所述凹部内部并与所述桶体5底部固定后，所述夹持臂收缩，所述升降平台61进一步上升，使所述桶体5底部离开辊轮输送线表面，所述灌装头31旋转对准桶体5上设置的桶口处后伸入桶体5内部，并在液面下进行灌装，所述电子称63实时获取灌装过程中桶体5的重量，当重量达到预设值灌装完成后，所述灌装头31离开桶体5，所述升降平台61下降至辊轮输送线底部，此时所述桶体5的底部继续与辊轮输送线表面接触，并通过所述辊轮输送线输送至 柜体出口。

实施例2：

所述输送线为输送带，所述输送带可以保证输送过程中桶体5的稳定性，所述输送带的中段设置有间隙，所述升降平台61在间隙间可选择地做升降运动 ，所述夹持臂可伸缩、可平移地设置在所述间隙的两侧，所述夹持臂的平移方向与所述输送带平行，具体地，当所述夹持臂接受到夹取信息后，所述夹持臂移动至所述桶体5所在位置并夹取到桶体5，然后继续移动所述夹持臂使所述桶体5移动至所述升降平台61的正上方，所述升降平台61穿过所述输送带上设置的间隙处并上升至所述输送带上方，此时所述夹持臂收缩并放开所述桶体5，所述灌装头31旋转至所述桶体5上设置的桶口处后伸入桶体5内部，并在液面下进行灌装，所述电子称63实时获取灌装过程中桶体5的重量，当重量达到预设值灌装完成后，所述灌装头31离开桶体5，所述升降平台61下降至与所述输送带表面高度后，所述夹持臂继续夹取所述桶体5后向出口方向移动，当所述桶体5接触到所述输送带表面后，夹持臂放开桶体5，所述桶体5随输送带输出至出口。

具体地，如图1所示，所述灌装头31一侧还设置有灌装头31清洗工位7，所述灌装头31清洗工位7包括清洗槽，所述清洗槽内接通进水管道和出水管道，当所述灌装头31完成灌装后，可选择地旋转至所述清洗槽顶部的清洗工位7，所述升降模组32驱动所述灌装头31下降并伸入所述清洗槽内部，开启所述进水管道冲洗灌装头31，冲洗完成后的废水至出水管道流出，清洗完成后，灌装头31上升并旋转回到灌装工位。

本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.自动化电子级化学品灌装装置，包括机柜，所述机柜包括进口和出口，其特征在于：所述机柜内设置有传输机构、灌装机构以及夹持机构，

传输机构：包括输送线，所述输送线自所述机柜的进口延伸至出口；

灌装机构：所述灌装机构设置在所述传输机构的中段，包括可升降、可旋转地设置在所述机柜内的灌装头，用于对装有化学品的桶体以及对所述桶体进行定位和称重的电子秤气缸升降机构，所述电子秤气缸升降机构包括升降平台，驱动所述升降平台做升降运动的升降气缸，以及用于对灌装过程中的桶体称重的电子称，所述升降平台可选择地在所述传输机构的垂直方向上做升降运动；

夹持机构，所述夹持机构包括设置在所述输送线两侧用于夹持所述桶体的夹持臂，所述夹持臂通过夹持气缸驱动向所述升降平台的轴线方向运动，所述灌装头设置在其中一个夹持臂的顶部。

2.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述输送线为辊轮输送线，所述辊轮输送线上等距离地间隔设置有辊轮，所述升降平台在相邻两个辊轮的间隔处可选择地做升降运动，所述夹持臂设置在所述升降平台的两侧。

3.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述输送线为输送带，所述输送带的中段设置有间隙，所述升降平台在间隙间可选择地做升降运动，所述夹持臂可伸缩、可平移地设置在所述间隙的两侧，所述夹持臂的平移方向与所述输送带平行。

4.根据权利要求2或3所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述桶体的底部设置有凹部，所述升降平台与所述凹部形状相配合。

5.根据权利要求4所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述夹持机构上设置有用于检测桶体距离的位置感应器。

6.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述夹持臂与所述桶体的接触面上设置有真空吸嘴。

7.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述夹持臂上设置有用于抓取所述桶体的夹爪。

8.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述灌装头的底部设置有升降模组和旋转气缸。

9.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：所述灌装头一侧设置有灌装头清洗工位，所述灌装头清洗工位包括清洗槽，所述清洗槽内接通进水管道和出水管道。

10.根据权利要求1所述的自动化电子级化学品灌装装置，其特征在于：柜体外部设置有操作台和显示屏，所述操作台和显示屏与所述传输机构、灌装机构以及夹持机构电连接。

Images