CN216463731U - 一种无收尾直拉单晶硅生产装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种无收尾直拉单晶硅生产装置，涉及单晶硅生产技术领域，该无收尾直拉单晶硅生产装置包括所述无收尾直拉单晶硅生产装置，包括用于放置单晶硅棒的支撑台，所述支撑台上沿着其长度方向上均布有落料槽，所述支撑台的一侧设置有用于带动单晶硅棒转动的第一电机，所述单晶硅棒与第一电机之间转动且滑动连接，所述支撑台的另一侧设置有第一固定套，所述第一固定套的内壁设置有闭环波浪形的滑槽，所述单晶硅棒上设置有夹持套杆，所述夹持套杆上设置有滑动在滑槽内的滑块；通过滚磨装置上的废料一旦沾附在单晶硅棒上之后，通过单晶硅棒在支撑台上滑动进而将沾附在单晶硅棒上的滚磨废料推入落料槽中，进而使得滚磨效果更好。

Description

一种无收尾直拉单晶硅生产装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具体是一种无收尾直拉单晶硅生产装置。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角滚磨和平面滚磨等机械加工，中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、滚磨和再清洗等工，后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序。

现有技术中将单晶硅棒进行切割的时候将单晶硅的一端进行固定，然后通过电机带动滚磨柱对单晶硅进行滚磨，但是在对单晶硅进行滚磨的时候，由于单晶硅的转动，单晶硅上滚磨掉的废料很容易附着在单晶硅或者支撑台上，继续转动单晶硅棒的时候，容易造成单晶硅滚磨效果不好。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种无收尾直拉单晶硅生产装置，旨在解决现有技术中的无收尾直拉单晶硅生产装置对单晶硅棒的滚磨效果不好的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：所述无收尾直拉单晶硅生产装置，包括用于放置单晶硅棒的支撑台，所述支撑台上沿着其长度方向上均布有落料槽，所述支撑台的一侧设置有用于带动单晶硅棒转动的第一电机，所述单晶硅棒与第一电机之间转动且滑动连接，所述支撑台的另一侧设置有第一固定套，所述第一固定套的内壁设置有闭环波浪形的滑槽，所述单晶硅棒上设置有夹持套杆，所述夹持套杆上设置有滑动在滑槽内的滑块，所述支撑台的上方设置有用于滚磨单晶硅棒的滚磨装置。

为了使得本实用新型具有使得单晶硅棒能够滑动的功能，本实用新型的进一步的技术方案为，所述单晶硅棒靠近第一电机的一端设置有第二固定套，所述第二固定套通过花键与第一电机连接，所述花键的花键套与花键轴之间滑动连接。

为了使得本实用新型具有放置单晶硅棒破损的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述第一固定套和第二固定套的内壁上均设置有弹性垫。

为了使得本实用新型具有对单晶硅棒进行滚磨的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述滚磨装置包括升降机构和滚磨机构。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述滚磨机构包括第二电机，所述第二电机的输出端设置有滚磨筒。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述升降机构为电动升降杆，所述电动升降杆的活动端与滚磨机构固定连接。

为了使得本实用新型具有对单晶硅棒进行切割的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述支撑台的一侧设置有用于沿着支撑台的长度方向设置的直线电机，所述直线电机的活动端设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活动端设置有用于切割单晶硅棒的切割装置和用于收集切割废料的收集装置。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述切割装置包括第三电机，所述第三电机的活动端设置有切割刀，所述切割刀的外部设置有防护罩。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述收集装置包括负压风机，所述负压风机的出风口连通有收集箱。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型使用时，将单晶硅放置在支撑台上之后，通过第一电机带动单晶硅棒进行转动，同时通过滚磨装置对单晶硅棒进行滚磨，当第一电机带动单晶硅棒进行转动的时候，单晶硅棒的一侧设置的夹持套杆上的滑块在波浪形状的闭环滑槽内进行滑动，当滑块进行滑动的时候带动单晶硅棒进行滑动，通过滚磨装置上的废料一旦沾附在单晶硅棒上之后，通过单晶硅棒在支撑台上滑动进而将沾附在单晶硅棒上的滚磨废料推入落料槽中，进而使得滚磨效果更好。

附图说明

图1是本实用新型的具体实施例的结构示意图。

图2是本实用新型的具体实施例的另一视角的结构示意图。

图3是本实用新型的具体实施例的支撑台的结构示意图。

图4是本实用新型的具体实施例的滑槽的结构示意图。

图中：1、支撑台；2、落料槽；3、第一电机；4、第一固定套；5、滑槽；6、滑块；7、滚磨装置；71、滚磨机构；711、第二电机；712、滚磨筒；72、升降机构；8、第二固定套；9、花键；10、弹性垫；11、直线电机；12、电动伸缩杆；13、切割装置；131、第三电机；132、切割刀；133、防护罩；14、收集装置；141、负压风机；142、收集箱。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

如图1-4所示，一种无收尾直拉单晶硅生产装置，包括用于放置单晶硅棒的支撑台1，所述支撑台1上沿着其长度方向上均布有落料槽2，所述支撑台1的一侧设置有用于带动单晶硅棒转动的第一电机3，所述单晶硅棒与第一电机3之间转动且滑动连接，所述支撑台1的另一侧设置有第一固定套4，所述第一固定套4的内壁设置有闭环波浪形的滑槽5，所述单晶硅棒上设置有夹持套杆，所述夹持套杆上设置有滑动在滑槽5内的滑块6，所述支撑台1的上方设置有用于滚磨单晶硅棒的滚磨装置7。

在本具体实施例中，当需要对单晶硅进行滚磨的时候，将单晶硅放置在支撑台1上之后，通过第一电机3带动单晶硅棒进行转动，同时通过滚磨装置7对单晶硅棒进行滚磨，当第一电机3带动单晶硅棒进行转动的时候，单晶硅棒的一侧设置的夹持套杆上的滑块6在波浪形状的闭环滑槽5内进行滑动，当滑块5进行滑动的时候带动单晶硅棒进行滑动，通过滚磨装置7上的废料一旦沾附在单晶硅棒上之后，通过单晶硅棒在支撑台1上滑动进而将沾附在单晶硅棒上的滚磨废料推入落料槽2中，进而使得滚磨效果更好。

具体的，所述单晶硅棒靠近第一电机3的一端设置有第二固定套8，所述第二固定套8通过花键9与第一电机3连接，所述花键9的花键套与花键轴之间滑动连接；通过花键轴在花键套内滑动进而使得第二固定套8带动单晶硅棒进行滑动。

进一步的，所述第一固定套4和第二固定套8的内壁上均设置有弹性垫10；通过设置弹性垫10，将单晶硅棒放置进第一固定套4和第二固定套8能够防止单晶硅棒破损

具体的，所述滚磨装置7包括升降机构72和滚磨机构71；通过升降机构72带动滚磨机构71对单晶硅棒进行滚磨。

具体的，所述滚磨机构71包括第二电机711，所述第二电机711的输出端设置有滚磨筒712；通过第二电机711带动滚磨筒712转动进而对单晶硅棒进行滚磨。

具体的，所述升降机构72为电动升降杆，所述电动升降杆的活动端与滚磨机构71固定连接。

优选的，所述支撑台1的一侧设置有用于沿着支撑台1的长度方向设置的直线电机11，所述直线电机11的活动端设置有电动伸缩杆12，所述电动伸缩杆12的活动端设置有用于切割单晶硅棒的切割装置13和用于收集切割废料的收集装置14；通过直线电机11带动电动伸缩杆12移动，电动伸缩杆12带动切割装置13上升或者下降，进而带动电动切割装置13切割单晶硅棒，通过收集装置14对切割废料进行收集，避免污染空气。

具体的，所述切割装置13包括第三电机131，所述第三电机131的活动端设置有切割刀132，所述切割刀132的外部设置有防护罩133；通过第三电机131带动切割刀132转动进而对单晶硅棒进行切割。

具体的，所述收集装置14包括负压风机141，所述负压风机141的出风口连通有收集箱142；通过负压风机141将切割之后的废料吸进收集箱142中进行收集。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (9)

1.一种无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，包括用于放置单晶硅棒的支撑台(1)，所述支撑台(1)上沿着其长度方向上均布有落料槽(2)，所述支撑台(1)的一侧设置有用于带动单晶硅棒转动的第一电机(3)，所述单晶硅棒与第一电机(3)之间转动且滑动连接，所述支撑台(1)的另一侧设置有第一固定套(4)，所述第一固定套(4)的内壁设置有闭环波浪形的滑槽(5)，所述单晶硅棒上设置有夹持套杆，所述夹持套杆上设置有滑动在滑槽(5)内的滑块(6)，所述支撑台(1)的上方设置有用于滚磨单晶硅棒的滚磨装置(7)。

2.根据权利要求1所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述单晶硅棒靠近第一电机(3)的一端设置有第二固定套(8)，所述第二固定套(8)通过花键(9)与第一电机(3)连接，所述花键(9)的花键套与花键轴之间滑动连接。

3.根据权利要求2所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述第一固定套(4)和第二固定套(8)的内壁上均设置有弹性垫(10)。

4.根据权利要求1所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述滚磨装置(7)包括升降机构(72)和滚磨机构(71)。

5.根据权利要求4所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述滚磨机构(71)包括第二电机(711)，所述第二电机(711)的输出端设置有滚磨筒(712)。

6.根据权利要求4所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述升降机构(72)为电动升降杆，所述电动升降杆的活动端与滚磨机构(71)固定连接。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述支撑台(1)的一侧设置有用于沿着支撑台(1)的长度方向设置的直线电机(11)，所述直线电机(11)的活动端设置有电动伸缩杆(12)，所述电动伸缩杆(12)的活动端设置有用于切割单晶硅棒的切割装置(13)和用于收集切割废料的收集装置(14)。

8.根据权利要求7所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述切割装置包括第三电机(131)，所述第三电机(131)的活动端设置有切割刀(132)，所述切割刀(132)的外部设置有防护罩(133)。

9.根据权利要求7所述的无收尾直拉单晶硅生产装置，其特征在于，所述收集装置(14)包括负压风机(141)，所述负压风机(141)的出风口连通有收集箱(142)。

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